JPH0847888A - ロボットの防振装置 - Google Patents
ロボットの防振装置Info
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- JPH0847888A JPH0847888A JP7164160A JP16416095A JPH0847888A JP H0847888 A JPH0847888 A JP H0847888A JP 7164160 A JP7164160 A JP 7164160A JP 16416095 A JP16416095 A JP 16416095A JP H0847888 A JPH0847888 A JP H0847888A
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- 238000013016 damping Methods 0.000 claims description 24
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000004904 shortening Methods 0.000 abstract 1
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- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
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- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
Classifications
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0075—Means for protecting the manipulator from its environment or vice versa
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
- B25J19/0091—Shock absorbers
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/02—Programme-controlled manipulators characterised by movement of the arms, e.g. cartesian coordinate type
- B25J9/023—Cartesian coordinate type
- B25J9/026—Gantry-type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
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- B25J9/1641—Programme controls characterised by the control loop compensation for backlash, friction, compliance, elasticity in the joints
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
- F16F9/10—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium using liquid only; using a fluid of which the nature is immaterial
- F16F9/14—Devices with one or more members, e.g. pistons, vanes, moving to and fro in chambers and using throttling effect
- F16F9/16—Devices with one or more members, e.g. pistons, vanes, moving to and fro in chambers and using throttling effect involving only straight-line movement of the effective parts
- F16F9/22—Devices with one or more members, e.g. pistons, vanes, moving to and fro in chambers and using throttling effect involving only straight-line movement of the effective parts with one or more cylinders each having a single working space closed by a piston or plunger
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- F16F9/00—Springs, vibration-dampers, shock-absorbers, or similarly-constructed movement-dampers using a fluid or the equivalent as damping medium
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- F16F9/53—Means for adjusting damping characteristics by varying fluid viscosity, e.g. electromagnetically
- F16F9/532—Electrorheological [ER] fluid dampers
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ロボットの停止時に生じる振動を最少化する
とともに、停止時間を顕著に短縮させて生産性を向上さ
せ、製造コストを顕著に節減させる。 【構成】 駆動手段2の作動にしたがってY軸テーブル
1上でY軸方向へ移送されるX軸テーブル6と、該X軸
テーブル6上でX軸方向へ移送されるヘッド8を有する
ロボットにおいて、前記Y軸テーブル1には、ボールね
じ軸3およびX軸テーブル6の停止時に生じる振動を流
体抵抗により減衰させる振動減衰手段10が備えられて
いることを特徴とする。
とともに、停止時間を顕著に短縮させて生産性を向上さ
せ、製造コストを顕著に節減させる。 【構成】 駆動手段2の作動にしたがってY軸テーブル
1上でY軸方向へ移送されるX軸テーブル6と、該X軸
テーブル6上でX軸方向へ移送されるヘッド8を有する
ロボットにおいて、前記Y軸テーブル1には、ボールね
じ軸3およびX軸テーブル6の停止時に生じる振動を流
体抵抗により減衰させる振動減衰手段10が備えられて
いることを特徴とする。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品の挿入や組立
てなどに適用される産業用ロボットに関するもので、さ
らに詳しくは、ロボットの作動および停止時に生じる振
動を流体抵抗により減衰させて最少化されるようにした
ロボットの防振装置に関する。
てなどに適用される産業用ロボットに関するもので、さ
らに詳しくは、ロボットの作動および停止時に生じる振
動を流体抵抗により減衰させて最少化されるようにした
ロボットの防振装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、産業用ロボットは、電気、電
子、機械などの産業の全般にわたって使用されており、
とりわけ、直交座標ロボットは駆動が簡単で、かつ軽量
であるばかりか、固定密度を保持することにより、電子
部品などの挿入なり、組立てなどに汎用されている。
子、機械などの産業の全般にわたって使用されており、
とりわけ、直交座標ロボットは駆動が簡単で、かつ軽量
であるばかりか、固定密度を保持することにより、電子
部品などの挿入なり、組立てなどに汎用されている。
【0003】通常、直交座標ロボットは、図4に示すご
とく、所定の間隔をおいて設けられた一体のY軸テーブ
ル1には、その一側に装着されたX軸テーブル駆動手段
2の作動にしたがって回転されるボールねじ軸3がそれ
ぞれ結合されており、該ボールねじ軸3には移動可能に
それぞれ送られるボールナット4が結合されており、該
ボールナット4にはブラケット5を介してボールねじ軸
3上でY軸方向へ移送自在になるようX軸テーブル6が
固設されている。
とく、所定の間隔をおいて設けられた一体のY軸テーブ
ル1には、その一側に装着されたX軸テーブル駆動手段
2の作動にしたがって回転されるボールねじ軸3がそれ
ぞれ結合されており、該ボールねじ軸3には移動可能に
それぞれ送られるボールナット4が結合されており、該
ボールナット4にはブラケット5を介してボールねじ軸
3上でY軸方向へ移送自在になるようX軸テーブル6が
固設されている。
【0004】さらに、前記X軸テーブル6には、その一
側に装着されたヘッド駆動手段7の作動にしたがって回
転されるボールねじ軸3aが結合されており、該ボール
ねじ軸3aには部品(図示せず)などを吸着して所定の
位置で挿入あるいは組立てられるようノズル8aを下側
に装着させたヘッド8がX軸方向へ移送可能に結合され
ている。
側に装着されたヘッド駆動手段7の作動にしたがって回
転されるボールねじ軸3aが結合されており、該ボール
ねじ軸3aには部品(図示せず)などを吸着して所定の
位置で挿入あるいは組立てられるようノズル8aを下側
に装着させたヘッド8がX軸方向へ移送可能に結合され
ている。
【0005】一方、前記ボールねじ軸3は、図5に示す
ごとく、Y軸テーブル1上に固設された一対のハウジン
グ内に挿設されているベアリング部材9aにより支持さ
れることにより回転が円滑に行われるようになる。
ごとく、Y軸テーブル1上に固設された一対のハウジン
グ内に挿設されているベアリング部材9aにより支持さ
れることにより回転が円滑に行われるようになる。
【0006】したがって、所定の位置でノズル8aの先
端に電子部品などの部品を吸着させたヘッド8は、ヘッ
ド駆動手段7の作動にしたがって回転されるボールねじ
軸3aによりX軸方向へ所定の距離くらい移送されてか
ら、X軸テーブル駆動手段2の作動にしたがって回転さ
れるボールねじ軸3によりY軸方向へ所定の距離くらい
移送されて制御部(図示せず)であらかじめ入力された
プログラムにより適正位置で停止するようになり、この
際、ヘッド8に装着されたノズル8aが下降して適正の
位置で吸着された部品を挿入あるいは組立てられるよう
にされる。
端に電子部品などの部品を吸着させたヘッド8は、ヘッ
ド駆動手段7の作動にしたがって回転されるボールねじ
軸3aによりX軸方向へ所定の距離くらい移送されてか
ら、X軸テーブル駆動手段2の作動にしたがって回転さ
れるボールねじ軸3によりY軸方向へ所定の距離くらい
移送されて制御部(図示せず)であらかじめ入力された
プログラムにより適正位置で停止するようになり、この
際、ヘッド8に装着されたノズル8aが下降して適正の
位置で吸着された部品を挿入あるいは組立てられるよう
にされる。
【0007】さらに、部品の挿入および組立ての終了後
には、上述の部品および組立て時とは反対にヘッド8お
よびX軸テーブル6が反対方向へ移送されて初期の位置
に戻るようになり、この際、前記ボールねじ軸3,3a
は部品を組立てる際には正回転をするようになり、戻る
ときには逆回転を行う作動を反復して行いつつ作業を行
うようになる。
には、上述の部品および組立て時とは反対にヘッド8お
よびX軸テーブル6が反対方向へ移送されて初期の位置
に戻るようになり、この際、前記ボールねじ軸3,3a
は部品を組立てる際には正回転をするようになり、戻る
ときには逆回転を行う作動を反復して行いつつ作業を行
うようになる。
【0008】ところで、このようなロボットにおけるそ
の性能は部品の吸着後、どのくらいの速い速度で正確に
適正位置に移送されて部品を挿入あるいは組立てられる
かによって決められる。
の性能は部品の吸着後、どのくらいの速い速度で正確に
適正位置に移送されて部品を挿入あるいは組立てられる
かによって決められる。
【0009】通常、ロボットの動作において、X軸テー
ブル6のY軸方向への移送速度は図6に示すごとく、初
期の停止時にt0時間の間は加速を行い、ついでt1時
間の間は等速を行い、最終の停止時までのt2時間の間
は減速を行った後に停止するようになり、この際の停止
時には急激な減速に伴って必須に振動を発生させるよう
になる。
ブル6のY軸方向への移送速度は図6に示すごとく、初
期の停止時にt0時間の間は加速を行い、ついでt1時
間の間は等速を行い、最終の停止時までのt2時間の間
は減速を行った後に停止するようになり、この際の停止
時には急激な減速に伴って必須に振動を発生させるよう
になる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来のロボットにおいて、X軸テーブルの停止時に生じ
る振動は、とりわけ、ボールねじ軸を支持するベアリン
グ部材の強性なり、振動などによりそれぞれ異なるよう
に現われるが、この際のX軸テーブルの振動変位量は図
7に示すごとく、所定の時間tの経過後、正確な部品の
挿入あるいは組立てられる適正の変位量dを保持するこ
とにより、部品を正確に挿入あるいは組立てられる適正
の変位量dを保持するのに多くの時間tが要されること
により、生産性を顕著に低下させるばかりか、製造コス
トを高める一つの要因となるなど、種々の問題点があっ
た。
従来のロボットにおいて、X軸テーブルの停止時に生じ
る振動は、とりわけ、ボールねじ軸を支持するベアリン
グ部材の強性なり、振動などによりそれぞれ異なるよう
に現われるが、この際のX軸テーブルの振動変位量は図
7に示すごとく、所定の時間tの経過後、正確な部品の
挿入あるいは組立てられる適正の変位量dを保持するこ
とにより、部品を正確に挿入あるいは組立てられる適正
の変位量dを保持するのに多くの時間tが要されること
により、生産性を顕著に低下させるばかりか、製造コス
トを高める一つの要因となるなど、種々の問題点があっ
た。
【0011】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたものであり、その目的は、ロボットの停止時に
生じる振動を最少化するとともに、停止時間を顕著に短
縮させて生産性を向上させ、製造コストを顕著に節減で
きるロボットの防振装置を提供することにある。
なされたものであり、その目的は、ロボットの停止時に
生じる振動を最少化するとともに、停止時間を顕著に短
縮させて生産性を向上させ、製造コストを顕著に節減で
きるロボットの防振装置を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項1記載の第1の発明によるロボットの防振装
置は、駆動手段の作動にしたがってY軸テーブル上でY
軸方向へ移送されるX軸テーブルには、ボールねじ軸お
よびX軸テーブルの停止時に生じる振動を流体抵抗によ
り減衰させる振動減衰手段が備えられていることを要旨
とする。
に、請求項1記載の第1の発明によるロボットの防振装
置は、駆動手段の作動にしたがってY軸テーブル上でY
軸方向へ移送されるX軸テーブルには、ボールねじ軸お
よびX軸テーブルの停止時に生じる振動を流体抵抗によ
り減衰させる振動減衰手段が備えられていることを要旨
とする。
【0013】請求項2記載の第2の発明は、前記振動減
衰手段は、ボールねじ軸と一体に駆動される複数の抵抗
翼を有する連結軸と、前記抵抗翼に粘性抵抗を加える電
気粘性流体を内部に充填させたケース部材と、該電気粘
性流体に電圧を印加して帯電させる一対の電極板とから
なることを要旨とする。
衰手段は、ボールねじ軸と一体に駆動される複数の抵抗
翼を有する連結軸と、前記抵抗翼に粘性抵抗を加える電
気粘性流体を内部に充填させたケース部材と、該電気粘
性流体に電圧を印加して帯電させる一対の電極板とから
なることを要旨とする。
【0014】請求項3記載の第3の発明は、前記連結軸
は、ボールねじ軸との間に絶縁部材を介して一体に締付
け固定されたことを要旨とする。
は、ボールねじ軸との間に絶縁部材を介して一体に締付
け固定されたことを要旨とする。
【0015】請求項4記載の第4の発明は、前記ケース
部材は、連結軸との間に密封部材を介してシリングがな
されるようにされたことを要旨とする。
部材は、連結軸との間に密封部材を介してシリングがな
されるようにされたことを要旨とする。
【0016】
【作用】上述の如く構成すれば、第1の発明によるロボ
ットの防振装置は、駆動手段の作動にしたがってY軸テ
ーブル上でY軸方向へ移送されるX軸テーブルには、ボ
ールねじ軸およびX軸テーブルの停止時に生じる振動を
流体抵抗により減衰させる駆動減衰手段が備えられてい
るので、部品の挿入あるいは組立て工程に要される時間
を顕著に短縮させ得るばかりか、生産性が顕著に向上さ
れて製造コストを節減することができる。
ットの防振装置は、駆動手段の作動にしたがってY軸テ
ーブル上でY軸方向へ移送されるX軸テーブルには、ボ
ールねじ軸およびX軸テーブルの停止時に生じる振動を
流体抵抗により減衰させる駆動減衰手段が備えられてい
るので、部品の挿入あるいは組立て工程に要される時間
を顕著に短縮させ得るばかりか、生産性が顕著に向上さ
れて製造コストを節減することができる。
【0017】第2の発明は、前記振動減衰手段は、ボー
ルねじ軸と一体に駆動される複数の抵抗翼を有する連結
軸と、前記抵抗翼に粘性抵抗を加える電気粘性流体を内
部に充填させたケース部材と、該電気粘性流体に電圧を
印加して帯電させる一対の電極板とからなるので、前記
ボールねじ軸の停止時間が顕著に短縮されるとともに、
停止時に生じるボールねじ軸の振動減衰によりX軸テー
ブルの残留振動を最少化できる。
ルねじ軸と一体に駆動される複数の抵抗翼を有する連結
軸と、前記抵抗翼に粘性抵抗を加える電気粘性流体を内
部に充填させたケース部材と、該電気粘性流体に電圧を
印加して帯電させる一対の電極板とからなるので、前記
ボールねじ軸の停止時間が顕著に短縮されるとともに、
停止時に生じるボールねじ軸の振動減衰によりX軸テー
ブルの残留振動を最少化できる。
【0018】第3の発明は、前記連結軸は、ボールねじ
軸との間に絶縁部材を介して一体に締付け固定されたの
で、一体に回転可能となり、両電極板に電圧が印加され
ても、漏電などが防止されることにより極めて安全とな
る。
軸との間に絶縁部材を介して一体に締付け固定されたの
で、一体に回転可能となり、両電極板に電圧が印加され
ても、漏電などが防止されることにより極めて安全とな
る。
【0019】第4の発明は、前記ケース部材は、連結軸
との間に密封部材を介してシリングがなされるようにさ
れたので、前記電気粘性流体がケース部材の外部への漏
洩が防止される。
との間に密封部材を介してシリングがなされるようにさ
れたので、前記電気粘性流体がケース部材の外部への漏
洩が防止される。
【0020】
【実施例】以下、本発明による一実施例について図1な
いし図3に沿って詳述する。
いし図3に沿って詳述する。
【0021】同図において、従来の構成と同一の構成に
対しては、同一符号を併記してそれに対する詳細な説明
は省く。
対しては、同一符号を併記してそれに対する詳細な説明
は省く。
【0022】同図において、符号10は、Y軸テーブル
1の一側に装着されてX軸テーブル6の停止時にボール
ねじ軸3から生じる振動を流体抵抗により減衰させ、前
記X軸テーブル6の停止時間を短縮させる駆動減衰手段
を示している。
1の一側に装着されてX軸テーブル6の停止時にボール
ねじ軸3から生じる振動を流体抵抗により減衰させ、前
記X軸テーブル6の停止時間を短縮させる駆動減衰手段
を示している。
【0023】前記振動減衰手段10は、図2,3に示す
ごとく、ボールねじ軸3の一側先端には絶縁部材12を
介して連結軸14がボルトおよびナット等の締付手段に
より締付け固定されており、前記連結軸14の先端には
複数個の抵抗翼16が突設されている。
ごとく、ボールねじ軸3の一側先端には絶縁部材12を
介して連結軸14がボルトおよびナット等の締付手段に
より締付け固定されており、前記連結軸14の先端には
複数個の抵抗翼16が突設されている。
【0024】さらに、前記抵抗翼16は、連結軸14と
の間に形成された密封部材18によりシリングのなすケ
ース部材20の内側に位置されており、該ケース部材2
0の内側には電圧が印加されることにより、粘性および
強性の上昇される電気粘性流体22が充填されている。
の間に形成された密封部材18によりシリングのなすケ
ース部材20の内側に位置されており、該ケース部材2
0の内側には電圧が印加されることにより、粘性および
強性の上昇される電気粘性流体22が充填されている。
【0025】また、前記ケース部材20の内側には、一
対の電極板24a,24bが所定の間隔をおいて対向に
立設されており、前記電極板24a,24bには制御部
26から送られる信号により電圧を増幅させて印加する
電圧増幅手段28が接続されている。
対の電極板24a,24bが所定の間隔をおいて対向に
立設されており、前記電極板24a,24bには制御部
26から送られる信号により電圧を増幅させて印加する
電圧増幅手段28が接続されている。
【0026】図中、未説明符号30は、前記ケース部材
20をY軸テーブル1上に装着させるための固定ブラケ
ットを示している。
20をY軸テーブル1上に装着させるための固定ブラケ
ットを示している。
【0027】以下、上記のごとく構成された本発明によ
るロボットの防振装置の作用、効果について述べる。
るロボットの防振装置の作用、効果について述べる。
【0028】まず、部品などを吸着されたノズル8aを
有するヘッド8がヘッド駆動手段7の作動にしたがって
回転されるボールねじ軸3aによりX軸方向へ所定の距
離だけ移送されると、X軸テーブル駆動手段2の作動に
したがって回転されるボールねじ軸3aにより前記ヘッ
ド8はあらかじめプログラミングされた所定の位置に移
送されてから停止して適正の位置で部品を挿入あるいは
装着させるようになる。
有するヘッド8がヘッド駆動手段7の作動にしたがって
回転されるボールねじ軸3aによりX軸方向へ所定の距
離だけ移送されると、X軸テーブル駆動手段2の作動に
したがって回転されるボールねじ軸3aにより前記ヘッ
ド8はあらかじめプログラミングされた所定の位置に移
送されてから停止して適正の位置で部品を挿入あるいは
装着させるようになる。
【0029】この際、前記ボールねじ軸3の停止時には
X軸テーブル駆動手段2が減速を開始する時点から停止
する時点までの信号を制御部26から検出して電圧増幅
手段28に送るようになり、当該電圧増幅手段28から
増幅された電圧は、振動減衰手段10へ印加されること
により、ボールねじ軸3およびX軸テーブル6の停止時
に生じる振動を減衰させるようになる。
X軸テーブル駆動手段2が減速を開始する時点から停止
する時点までの信号を制御部26から検出して電圧増幅
手段28に送るようになり、当該電圧増幅手段28から
増幅された電圧は、振動減衰手段10へ印加されること
により、ボールねじ軸3およびX軸テーブル6の停止時
に生じる振動を減衰させるようになる。
【0030】すなわち、前記ケース部材20内の両電極
板24a,24bに電圧が印加されることにより、その
内部に充填された電気粘性流体22内の電気的性質を有
する流体粒などが帯電されることにより、流体間の結束
力が増大される。
板24a,24bに電圧が印加されることにより、その
内部に充填された電気粘性流体22内の電気的性質を有
する流体粒などが帯電されることにより、流体間の結束
力が増大される。
【0031】したがって、流体粒などの帯電により粘性
および強性の増大された電気粘性流体22内で回転され
る抵抗翼16は、前記電気粘性流体22から強い流体抵
抗を受けることにより、前記ボールねじ軸3の停止時間
が顕著に短縮されるとともに、停止時に生じるボールね
じ軸3の振動減衰によりX軸テーブル6の残留振動を最
少化させるようになる。
および強性の増大された電気粘性流体22内で回転され
る抵抗翼16は、前記電気粘性流体22から強い流体抵
抗を受けることにより、前記ボールねじ軸3の停止時間
が顕著に短縮されるとともに、停止時に生じるボールね
じ軸3の振動減衰によりX軸テーブル6の残留振動を最
少化させるようになる。
【0032】さらに、前記ケース部材20内に充填され
た電気粘性流体22は、ケース部材20の内側と連結軸
14との間に形成された密封部材18により完全なシリ
ングがなされることにより、前記電気粘性流体22がケ
ース部材20の外部への漏洩が防止される。
た電気粘性流体22は、ケース部材20の内側と連結軸
14との間に形成された密封部材18により完全なシリ
ングがなされることにより、前記電気粘性流体22がケ
ース部材20の外部への漏洩が防止される。
【0033】また、前記連結軸14とボールねじ軸3
は、絶縁部材12を介してボルトなどの締付手段により
締付け固定されることにより一体に回転可能となり、両
電極板24a,24bに電圧が印加されても、漏電など
が防止されることにより極めて安全となる。
は、絶縁部材12を介してボルトなどの締付手段により
締付け固定されることにより一体に回転可能となり、両
電極板24a,24bに電圧が印加されても、漏電など
が防止されることにより極めて安全となる。
【0034】この実施例では、X軸テーブル6を移送さ
せるボールねじ軸3の一側に振動減衰手段20を設けて
前記X軸テーブル6の停止作動時に生じる振動を減衰さ
せるようにしているが、これに限定されず、たとえば、
ヘッド8を移送させるボールねじ軸3aにも振動減衰手
段10を設けて前記ヘッド8の停止時に生じる振動を減
衰させることもあり得ることはもとよりである。
せるボールねじ軸3の一側に振動減衰手段20を設けて
前記X軸テーブル6の停止作動時に生じる振動を減衰さ
せるようにしているが、これに限定されず、たとえば、
ヘッド8を移送させるボールねじ軸3aにも振動減衰手
段10を設けて前記ヘッド8の停止時に生じる振動を減
衰させることもあり得ることはもとよりである。
【0035】
【発明の効果】上述のように、第1の発明によるロボッ
トの防振装置によれば、簡単な構造からなる振動減衰手
段によりボールねじ軸およびX,Y軸テーブルの停止時
に生じる振動を流体抵抗により減衰させて最少化するこ
とにより、部品の挿入および組立工程に要される時間が
顕著に短縮されるばかりか、これにより生産性が向上さ
れるとともに、製造コストを節減できるなど、種々の利
点を有するようになる。
トの防振装置によれば、簡単な構造からなる振動減衰手
段によりボールねじ軸およびX,Y軸テーブルの停止時
に生じる振動を流体抵抗により減衰させて最少化するこ
とにより、部品の挿入および組立工程に要される時間が
顕著に短縮されるばかりか、これにより生産性が向上さ
れるとともに、製造コストを節減できるなど、種々の利
点を有するようになる。
【0036】第2の発明は、前記振動減衰手段は、ボー
ルねじ軸と一体に駆動される複数の抵抗翼を有する連結
軸と、前記抵抗翼に粘性抵抗を加える電気粘性流体を内
部に充填させたケース部材と、該電気粘性流体に電圧を
印加して帯電させる一対の電極板とからなるので、前記
ボールねじ軸の停止時間が顕著に短縮されるとともに、
停止時に生じるボールねじ軸の振動減衰によりX軸テー
ブルの残留振動を最少化できる。
ルねじ軸と一体に駆動される複数の抵抗翼を有する連結
軸と、前記抵抗翼に粘性抵抗を加える電気粘性流体を内
部に充填させたケース部材と、該電気粘性流体に電圧を
印加して帯電させる一対の電極板とからなるので、前記
ボールねじ軸の停止時間が顕著に短縮されるとともに、
停止時に生じるボールねじ軸の振動減衰によりX軸テー
ブルの残留振動を最少化できる。
【0037】第3の発明は、前記連結軸は、ボールねじ
軸との間に絶縁部材を介して一体に締付け固定されたの
で、一体に回転可能となり、両電極板に電圧が印加され
ても、漏電などが防止されることにより極めて安全とな
る。
軸との間に絶縁部材を介して一体に締付け固定されたの
で、一体に回転可能となり、両電極板に電圧が印加され
ても、漏電などが防止されることにより極めて安全とな
る。
【0038】第4の発明は、前記ケース部材は、連結軸
との間に密封部材を介してシリングがなされるようにさ
れたので、前記電気粘性流体がケース部材の外部への漏
洩が防止される。
との間に密封部材を介してシリングがなされるようにさ
れたので、前記電気粘性流体がケース部材の外部への漏
洩が防止される。
【図1】本発明によるロボットの防振装置を示す側断面
図である。
図である。
【図2】本発明の要部を示す拡大断面図である。
【図3】本発明の要部を示す一部分解斜視図である。
【図4】従来の直交座標ロボットを示す斜視図である。
【図5】図4のV−V線矢視縦断面図である。
【図6】ロボットの作動から停止までの時間による速度
変化を示すグラフである。
変化を示すグラフである。
【図7】従来ロボットの停止時X軸テーブルの振動変位
量を示すグラフである。
量を示すグラフである。
1 Y軸テーブル 3 ボールねじ軸 6 X軸テーブル 10 振動減衰手段 12 絶縁部材 14 連結軸 16 抵抗翼 18 密封部材 20 ケース部材 22 電気粘性流体 24a,24b 電極板
Claims (4)
- 【請求項1】 駆動手段の作動にしたがってY軸テーブ
ル上でY軸方向へ移送されるX軸テーブルと、該X軸テ
ーブル上でX軸方向へ移送されるヘッドを有するロボッ
トにおいて、 前記Y軸テーブルには、ボールねじ軸およびX軸テーブ
ルの停止時に生じる振動を流体抵抗により減衰させる振
動減衰手段が備えられていることを特徴とするロボット
の防振装置。 - 【請求項2】 前記振動減衰手段は、ボールねじ軸と一
体に駆動される複数の抵抗翼を有する連結軸と、前記抵
抗翼に粘性抵抗を加える電気粘性流体を内部に充填させ
たケース部材と、該電気粘性流体に電圧を印加して帯電
させる一対の電極板とからなることを特徴とする請求項
1記載のロボットの防振装置。 - 【請求項3】 前記連結軸は、ボールねじ軸との間に絶
縁部材を介して一体に締付け固定されたことを特徴とす
る請求項2記載のロボットの防振装置。 - 【請求項4】 前記ケース部材は、連結軸との間に密封
部材を介してシリングがなされるようにされたことを特
徴とする請求項2記載のロボットの防振装置。
Applications Claiming Priority (2)
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---|---|---|---|
KR2019940016161U KR0129664Y1 (ko) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 로보트의 방진장치 |
KR1994U16161 | 1994-06-30 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0847888A true JPH0847888A (ja) | 1996-02-20 |
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ID=19387374
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7164160A Pending JPH0847888A (ja) | 1994-06-30 | 1995-06-29 | ロボットの防振装置 |
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---|---|
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JP (1) | JPH0847888A (ja) |
KR (1) | KR0129664Y1 (ja) |
DE (1) | DE19523966C2 (ja) |
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US9381653B2 (en) | 2014-03-10 | 2016-07-05 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Robot and substrate handling apparatus including the same |
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1994
- 1994-06-30 KR KR2019940016161U patent/KR0129664Y1/ko not_active IP Right Cessation
-
1995
- 1995-06-29 JP JP7164160A patent/JPH0847888A/ja active Pending
- 1995-06-30 DE DE19523966A patent/DE19523966C2/de not_active Expired - Fee Related
- 1995-06-30 US US08/497,048 patent/US5719481A/en not_active Expired - Fee Related
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KR960000743U (ko) | 1996-01-17 |
DE19523966A1 (de) | 1996-01-25 |
US5719481A (en) | 1998-02-17 |
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