JPH084775B2 - 物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法 - Google Patents

物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法

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JPH084775B2
JPH084775B2 JP3509639A JP50963991A JPH084775B2 JP H084775 B2 JPH084775 B2 JP H084775B2 JP 3509639 A JP3509639 A JP 3509639A JP 50963991 A JP50963991 A JP 50963991A JP H084775 B2 JPH084775 B2 JP H084775B2
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アレキサンドロヴィッチ ペレミシェフ，ヴラディミール
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ナウチュノ・プロイズヴォドストヴェンナヤ フィルマ アクトシオネルノエ オブシェストヴォ ザクリトゴ ティパ“テクノロジア オボルドヴァニエ マテリアリ”（アー／オー“トム”）
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の分野 本発明は、超小型電子技術、および電子工学の分野に
関する。より詳しく言うと、物品表面に塗った保護用ポ
リマー被覆剤中の溶液の乾燥方法に関する。
従来の技術 半導体やマイクロ集積回路の平面技術において、物品
の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤の溶液の乾燥方法
は公知である。
それは、被覆剤を加工室の室温に保つ段階と、それに
続き、圧力下でより高温に保つ段階と、冷却段階とを含
んでいる。この方法は、高品質の瑕疵のないポリマーフ
ィルムを形成し、かつある期間、その保護特性を維持す
るという課題に応えることを目的としている。
被覆剤の保護特性は、乾燥中（乾燥は、ポリマー被覆
剤から溶剤が逃げていく過程と理解される。）に生ずる
物理化学の過程で、形成されて広がる微小な割れやふく
れに大きく影響される。
被覆剤の完全乾燥は、ポリマーの中の溶剤の（液体の
拡散）から、ガス体中の溶剤（ガスの拡散）への移行過
程、及び液状から蒸気（第１種相変換）への溶剤の変換
を含んでいる。
前述の過程の運動特性によって、被覆剤から溶剤を脱
出させるメカニズムが決まる。室温（20〜24℃）で行わ
れる乾燥の第１段階は、ポリマー被覆剤の中の溶剤の含
有量が多いことと、その液体の拡散が高率であることが
特徴である。
被覆剤が乾燥するにつれて、ポリマー中の溶剤の拡散
は遅くなり、乾燥の進度は低下する。ポリマー被覆剤を
加工室の室温に保ったままでは、価値ある保護特性（粘
着力、瑕疵のない状態）を得られないことが知られてい
る。
従って、第２段階で、高い温度に保つことが行われ
る。
拡散の進度を増し、被覆剤の内在的ストレスを軽減す
るために、ポリマーの高い流動を得るのに必要な温度が
選ばれている。但し、高温に長時間置くと、熱破壊また
は、熱重合の好ましくない反応を生じるので、ポリマー
材の熱安定性が考慮される。
ポリマー被覆剤を決められた高温に保つ初期段階で、
溶剤は急テンポで逃げ出す。その最大値に達すると、こ
の進度は落ちてゼロになる。
被覆剤の外面で溶剤が蒸発するのと並行して、被覆剤
（内在的な蒸気形成）の中にあるガス微小割れの表面に
も、相変換（蒸発）が生ずると考えられる。
たとえば、フォトレジストの被覆剤の内在的な蒸気形
成と、保護特性との間に関連があることが、実験で確認
された。
微小割れ内の溶剤が蒸発している時の運動特性は、多
くの要因により決まる。即ち、被覆剤中の溶剤の含有
量、溶剤蒸気の圧力、超微小空洞の最初の形と寸法、被
覆剤の量に対する微小割れの分布密度、溶剤の液体拡散
の程度、ポリマー被覆剤のねばり強さと表面張力、及び
被覆剤の温度による。
内在的な蒸気の形成進度が加速されると、被覆剤の不
安定度が増し、物品に対する粘着力が減少する。この現
象は、溶剤の蒸気が飽和状態になり、被覆剤の外面に孔
を開け、微小な割れが広がる結果生じるものである。
被覆剤の外面近くと、被覆剤と物品の境界に近い所の
微小割れの位置は、欠陥を形成する過程に大きな影響を
与える。
被覆剤の外面に近い所にある微小割れは、開口して
も、ポリマー被覆剤の深層には作用せず、保護特性と粘
着力に影響しないが、物品とポリマー被覆剤との境界に
ある微小割れによって保護特性と粘着力は影響を受け
る。後者は、外面が開口する時被覆剤を分離させ、パン
クさせて貫通孔を形成させる。
被覆剤の中層にある微小割れは、貫通孔の形成に先行
して生じ、被覆剤の内在的なストレスが集中する領域で
は、物品に対する粘着力が弱まる。
乾燥の第１段階では、溶剤の含有量の多い保護用被覆
剤における内在的な蒸気発生は、ポリマー被覆剤の保護
特性を減少させるような顕著な影響を与えない。
これは、次のような理由により説明される。
被覆剤中の液体の拡散が高い割合にあるので、溶剤の
蒸発が好ましい状態にあり、かつポリマー溶液が高い流
動状態にあるので、微小割れの広がりを阻止する力が、
十分にあるからである。
溶剤の含有量が減少すると、ポリマー被覆剤の粘度が増
し、平面化能力が失われる（平面化能力とは、開口した
微小割れの端の凹凸を有し、平面を作るポリマーの能力
の意である）。
関連した方法がないので、溶液の流動が減少して、危
険な形や寸法の微小割れを直すことができなくなる瞬間
を正確につきとめることはできない。
実際にデータで確認されたところによると、大半のフ
ォトレジスト被覆剤を得るためには、遠心分離器にかけ
て、余分なポリマー保護用被覆剤を取り除くことが、唯
一の可能な方法と考えられる。
ガス状微小割れが、保護用被覆剤にパンクを発生させ
る原因であり、また粘着力を弱める原因と思われるの
で、微小割れの寸法と形について考慮する必要がある。
大きな微小割れをなくせば、当然、被覆剤の保護特性
は改良される。
同時に、乾燥された被覆剤を長く放置すると、微小割
れであっても危険である。
おそらく、各過程を実行する際の条件と、保護特性の
要件とによって、その寸法ならびに保護特性が必要な値
以下に劣化しないような、微小割れの許容最大寸法が決
められると思う。
本発明に最も類似している従来技術は、物品に塗られ
る保護用ポリマー被覆剤の溶液乾燥方法である。これ
は、ポリマー被覆剤を、加工室の室温内に20秒から１時
間保つ段階と、ポリマー被覆剤を高い温度で、被覆剤の
保護特性を悪化する微小割れの広がりを抑圧するのに十
分な圧力下に保つ段階と、ポリマー被覆剤を冷却する段
階とを含んでいる（ヴイ・ピー・ラウリシェフ、（V.P.
Lavrischev）ヴイ・エイ・ペレミシェフ（V.A.Peremysc
hev）「フォトレジスト フィルムから溶剤を取り除く
メカニズムの研究」1975、「エレクトロニクス」誌５
（53）号、58〜65頁参照）。
内在的蒸気形成作用を防止し、ガス状微小割れの広が
りを抑圧する要因は、保護用被覆剤を高い温度に保つ時
の外部圧力である。
前述の方法で乾燥したポリマー被覆剤は、パンクや弱
い個所を有しており、粘着力がなく、作用寿命が短いと
いう欠点を有している。これらの欠点は、被覆剤を乾燥
中に、微小割れが広がることによって起こる。
ポリマー被覆剤を高い温度に保つ段階で、この過程を
中止しても、必ずしも、ポリマー被覆剤の保護特性に対
する要求を満たすとは限らない。
物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の
乾燥方法を実施する装置は公知である。それは、ポリマ
ー被覆剤を高い温度に保つ高温気密室を備えており、バ
ルブが付いているパイプラインを介して、高圧主管と、
出口で外気に接続され、かつ気密式ダンパーが付いてい
る搬入口、物品を搬入口から搬出口へ移動させる搬送
機、及びヒーターを有している（「エレクトロニック・
インダストリー」No.5（77）,1979,モスクワ、ヴイ・ヴ
イ・アヌフリェンコ（V.V.Anufrienko）、ヴイ・アイ・
オスニン（V.I.Osnin）、ヴイ・エイ・ペレミシェフ
（V.A.Peremyschey）、ヴイ・エル・サンデロフ（V.L.S
andeov）、ヴイ・エヌ・ツァレフ（V.N.Tsarev）、「フ
ォトレジスト被覆剤AFF−２を形成する装置」50〜52
頁）。
このような装置では、ポリマー被覆剤を高い温度に保
つ段階で、圧力は高められる。この場合、高温室内に物
品を搬入し、気密式ダンパーが付いている搬入口を閉め
た後にのみ、圧力を高めることができる。従って、通常
の圧力で、被覆剤の保護特性を悪化させる被覆剤内の微
小割れの広がりが除かれる温度まで、被覆剤が冷却され
る前に、圧力が放出されてしまう。
被覆剤を加熱中に、圧力反応が少しでも遅れると、被
覆剤の小さな厚さ（ミクロメーターの割れ）と熱容量の
ため、顕著なマイナス効果が出てくる。
被覆剤を高温室の中に搬入後、被覆剤は、高温室のガ
スに瞬間的に熱せられるが、強い圧力を瞬間的にかける
ことはできない。このような加熱状態では、物品を搬出
するために高温室を開ける前に、被覆剤の圧力を放出し
なければならない。しかし、過大な圧力なしでポリマー
被覆剤を加熱すると、内部の蒸気発生が強くなり、保護
用被覆剤の微小割れの広がりにとって好都合な状態にな
る。
発明の開示 本発明の解決すべき課題は、被覆剤を室温に保つ段階
で、温度が上がる前に圧力が上がるように、ポリマー被
覆剤を乾燥状態とし、かつ冷却段階で、圧力を止める前
に温度が下がるような状態を作りだすことができるよう
にした、物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の
溶液の乾燥方法を提供し、かつ製造コストが安く、便利
で、信頼性がある装置を提供することである。
上記課題を解決するため、本発明では、ポリマー被覆
剤を、室温で20秒から１時間保つ段階と、ポリマー被覆
剤を高い温度で、保護特性を悪化させる被覆剤内の微小
割れの広がりを抑えるのに十分な圧力下で保つ第２段階
と、ポリマー被覆剤を冷却する段階を含む、物品の表面
に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法にお
いて、保護特性を悪化させる被覆剤内の微小割れの広が
りを抑えるのに十分な圧力を、ポリマー被覆剤を室温内
に保つ段階で強め、その圧力をポリマー被覆剤を冷却す
る段階まで維持し、かつ冷却段階を、大気圧下で、保護
特性を悪化させる被覆剤内の微小割れの広がりが除かれ
る温度に達するまで続けることを特徴としている。
また、上記課題を解決するための本発明の方法を実施
する装置は、圧力調節弁を有するパイプラインを介し
て、高圧主管と、外気への出口に接続され、かつ、気密
式ダンパーが付いている搬入口、気密式ダンパーが付い
ている搬出口、搬入口から搬出口へ物品を運ぶ搬送機、
及びヒーターを備える、ポリマー被覆剤を高い温度に保
つ高温気密室を含む装置において、物品の流れの上手
で、高温気密室の手前に、気密式ダンパーが付いている
搬入口を介して、高温気密室と連絡している、ポリマー
被覆剤を室温で乾燥するための別の気密室が設けられ、
この気密室は、気密式ダンパーが付いている搬入口を有
しており、圧力調節弁を有するパイプラインを介して、
高圧主管と、外気への出口に接続され、物品を搬入口か
ら高温気密室の搬入口へ運ぶ搬送機を備えており、かつ
物品の流れの下手で、高温気密室の後に、ポリマー被覆
剤を冷却する別の気密室が設けられており、それは、気
密式ダンパーが付いている搬出口を介して、高温気密室
に連通しており、圧力調節弁を有するパイプラインを介
して、高圧主管と、外気への出口に接続されており、さ
らに、物品を高温気密室の搬出口から冷却気密室の搬出
口へ運ぶ搬送機を有していることを特徴としている。
冷却時間を短縮するため、ポリマー被覆剤を冷却する
気密室に、クーラーを補助的に設けることが望ましい。
物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の
乾燥方法によると、被覆剤を室温に保つ段階で、外部圧
力は高められるので、被覆剤の保護特性を悪化させるガ
ス状の微小割れの広がりを止める圧力に達する前に、ポ
リマー被覆剤の温度によって、それが変化する可能性は
除かれる。
更に、ポリマー被覆剤を冷却する段階でも、圧力は高
められているので、大気圧下で加熱された保護被覆剤か
ら、残留溶剤が活発に逃げ出し、保護特性を悪化させる
被覆剤表面の微小割れが発生するのが防止される。
図面の簡単な説明 本発明の実施例を、添付図面に基づいて詳しく説明す
る。
図１は、本発明の、物品の表面に塗った保護用ポリマ
ー被覆剤中の溶液の乾燥方法における、Ｘ軸に沿う乾燥
時間ｔに対する、Ｙ軸に沿う温度Ｔと圧力Ｐの依存関係
を示す。
図２は、Ｘ軸に沿う乾燥時間ｔに対する、Ｙ軸に沿う
溶剤の脱出速度Ｖの依存関係を示す。
図３は、本発明による、物品の表面に塗った保護用ポ
リマー被覆剤中の溶液の乾燥装置の縦断面図である。
実施例 本発明による物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆
剤中の溶液の乾燥方法は、次の段階を含む。
第Ｉ段階（図１）：被覆剤を、加工室の室温で、20秒
から１時間保つ。その間、外部圧力が強まるゾーンで、
圧力によって、被覆剤の保護特性を悪化させる微小割れ
の広がりが抑えられる。
第II段階：被覆剤を高い温度に、かつ被覆剤の保護特
性を悪化させる微小割れの広がりを抑えられる外部圧力
に保つ。予め決めた保護特性を得るのに十分な処理時間
を与えるが、被覆剤に構造的な熱変化が生じないように
する。
第III段階：適当な圧力下で、被覆剤を、大気圧下で
被覆剤の保護特性を悪化させる微小割れが広がらない温
度にまで冷却する。
第Ｉ段階は、たとえば遠心分離法で、物品の表面に、
被覆剤の形でポリマー溶液を塗ることから始まる。
物品を回転させながら、被覆剤を塗るのが、被覆剤を
室温T1に保つ第Ｉ段階の最初のＩ′段階（図１）であ
る。
この場合、Ｉ′段階（図２）で、溶剤が、遠心分離機
で強制的にガス状の拡散を加速させられるので、乾燥速
度Ｖは最大になる。
第Ｉ段階では、被覆剤の溶剤含有量が減少し、被覆剤の
粘度は増し、被覆剤に生ずる微笑割れを直すポリマー材
の能力は減るのが特徴である。
ポリマー被覆剤が、第Ｉ段階でそのような状態に移行
する時（図１のＩ″段階）に、外部圧力を強めることに
よって、内部の蒸気発生で微小空洞の寸法が大きくなる
のを防止する必要がある。この圧力により、内部の蒸気
発生は抑えられる。従って、被覆剤の保護特性を悪化さ
せる微小割れの広がりが抑えられる。
ポリマー被覆剤を室温TIに保ち、外部圧力が強くなり
始めるＩ′段階の期間は、被覆剤が最適条件に達するの
に要する時間によって決められる。
各特別ケースの最適条件とは、微小割れの広がりの少
ない、従ってこの場合、保護特性の悪化は最小になるよ
うな被覆剤の状態と考えられる。
この状態は、被覆剤の多数の物理化学的及び機械的特
性により決まる。
すなわち、被覆剤の厚さ、溶剤の含有量、その蒸気の
圧力、溶剤の拡散速度、被覆剤の粘度、表面張力、被覆
剤の多孔性、温度、及び外部圧力による。
ポリマー被覆剤の各タイプは、その最適条件と、室温
に保つ期間により、特性づけされることは明らかであ
る。
時間τ１は実験で決まり、ポリマー被覆剤の大半は20
秒〜１時間の間である。
もし、ポリマー被覆剤を第Ｉ段階に保つ時間τ１が20
秒以下なら、溶剤の含有量はまだ相当にあり、次の第II
段階で、より多くの逃げが発生する。
ポリマー被覆剤を第Ｉ段階に１時間以上保つと、乾燥
時間は増えて、保護特性は良くならない。
ポリマーと溶剤の性質、被覆剤の温度TII、保護特性
の要求により決められる圧力の適正値は、0.3〜0.8MPa.
の範囲である。0.3MPa.以下の圧力は、微小割れの広が
りを縮小するのに十分でない。また0.8MPa.以上に圧力
が増えても被覆剤の保護特性は良くならない。
第II段階（図１、図２）で、被覆剤を高い温度T
II（図１）に保つことは、微小割れの広がりを抑える圧
力PIの条件下でなされる。
温度をTIIに高めると、ポリマー被覆剤の粘度は低下
し易くなり、溶剤の脱出速度Ｖ（図２、II′段階）は加
速される。
ポリマー被覆剤を温度TII（図１）に保つ時間τII〜
τＩは、30秒から１時間で、ポリマー被覆剤の厚さとタ
イプ、被覆剤が塗られる物品の質量と熱容量、被覆剤の
温度TIIと、ポリマーの熱安定性、熱と質量の移行速度
による。
ポリマーを第II段階で30秒以下に保つのと、被覆剤か
ら溶剤を取り除くのに不十分である。ポリマー被覆剤を
高めた温度で１時間以上保つと、ポリマー被覆剤の構造
が破壊されてしまい、その保護特性は急速に悪化する。
従って、第II段階の高められた温度TIIと、時間τII
〜τＩは、ポリマー被覆剤のタイプによって選ばれる。
たとえば、ジアジキノン化合物のウォトレジスト被覆剤
のための、第II段階の温度TIIは、80〜100℃がよい。
第II段階で温度TIIを80℃以下にすると、溶剤を完全
に取り除くことができず、物品の表面に対する被覆剤の
粘着力が低下してしまう。
ポリマー被覆剤の温度TIIを100℃以上にすると、ポリ
マーの熱破壊が加速されて、保護特性の質が安定しな
い。
ポリメタクリル酸メチルの基板に電子耐性ポリマー被
覆剤を乾燥させる第II段階の温度と時間は、上記と殆ど
同じような依存関係で決められる。
これは、温度範囲160〜200℃で、保存時間τII〜τＩ
を60秒から１時間以内とする。更に続けて、ポリマー被
覆剤を、TIと同じである温度TIII（図1,第III段階）に
冷却する。この第III段階では、溶剤の脱出速度Ｖ（図
２、第III段階）は徐々に落ち、ゼロになる。
図３に示すように、物品の表面に塗られる保護用ポリ
マー被覆剤中の溶液の乾燥方法を実施する装置は、物品
の流れ方向の最初に、物品（図示せず）の上にポリマー
被覆剤を塗って、加工室の室温に保つ、気密室（１）を
備えている。
気密室（１）は、気密式ダンパー（３）が付いている
搬入口（２）と、気密式ダンパー（５）が付いている搬
出口（４）を有している。
気密室（１）の内部には、物品を受け取る台（６）
と、物品を搬入口（２）から搬出口（４）へ運ぶ搬送機
（７）が配置されている。搬送機（７）は、コンベヤベ
ルトの形をしている。
気密室（１）は、気密室（１）の壁内に設けた継ぎ手
（９）を介して、高圧主管（８）と接続されており、高
圧主管（８）は、圧力調節弁（10）（11）を有する別の
パイプラインにつながっている。このパイプラインは、
バルブ（12）により、気密室（１）を大気と連絡させて
いる。
気密室（１）の後、物品の流れ方向に、ポリマー被覆
剤を高めた温度に保つ高温気密室（13）が配置されてい
る。
気密室（１）の搬出口（４）は、高温気密室（13）の
搬入口（14）の役をしている。気密室（１）は、この搬
出口（４）を介して高温気密室（13）と連絡されてい
る。
高温気密室（13）は、物品を搬出するための搬出口
（15）と気密式ダンパー（16）を有している。高温気密
式（13）の内部には、物品を受け取る台（17）と、搬入
口（14）から搬出口（15）へ物品を運ぶコンベヤベルト
式の搬送機（18）が設けられている。
高温気密室（13）は、継ぎ手（20）及び圧力調節弁
（21）（22）（23）を有するパイプライン（19）を介し
て、高圧主管（８）に接続されている。
高温気密室（13）の内部には、ヒーター（24）が設け
られている。
高温気密室（13）の後、物品の流れ方向に、ポリマー
被覆剤を冷却するための別の気密室（25）が配置されて
いる。この気密室（25）は、高温気密室（13）の搬出口
（15）の２役を兼ねる搬入口（26）と気密式ダンパー
（27）を備えている。
搬入口（26）は、高温気密室（13）と気密室（25）の
連絡口の役目をしている。気密室（25）は、気密式ダン
パー（29）が付いている搬出口（28）を有している。
気密室（25）の内部には、物品を受け取る台（30）
と、搬入口（26）から搬出口（28）へ物品を運ぶ搬送機
（31）が設けられている。
気密室（25）は、継ぎ手（33）及び圧力調節弁（34）
（35）（36）を有する分岐パイプ（32）を介して、高圧
主管（８）に接続されている。
台（30）には、クーラー（37）が固着されている。
図３の実線矢印は、気密室（１）（13）（25）に圧力
が強まる時の、パイプラインに沿ったガスの流れ方向を
示す。
破線矢印は、ガスが大気に放出されて、圧力が減る時
のガスの流れ方向を示す。
気密室（１）内で物品を運ぶ搬送機（７）と、高温気
密室（13）内で物品を運ぶ搬送機（18）との間の距離
は、気密室（１）から、開かれた搬出口（４）の気密式
ダンパー（５）を有する高温気密室（13）まで物品を自
由に動かせる長さ以上とする。
高温気密室（13）の搬送機（18）と別の気密室（25）
の搬送機（31）との間の距離も、同じような関係にあ
る。
本発明による、物品の表面に塗られたポリマー被覆剤
中の溶液の乾燥方法を実施する装置は、次のように作用
する。
まず、高温気密室（13）の準備を整える。この目的の
ために、気密式ダンパー（５）（16）を閉じ、ヒーター
（24）をつけ、高圧主管（８）の圧力調節弁（21）（2
2）を開く（高温気密室（13）と大気を接続している弁
（23）は、ポリマー被覆剤の全乾燥中閉じられてい
る）。
ポリマー被覆剤溶液を表面に塗られた物品を、気密室
（１）内に設けた台（６）上の搬送機（７）で、開かれ
た搬入口（２）から搬入する。
搬入口（２）の気密式ダンパー（３）を閉じ、圧力調
節弁（10）（11）を、気密室（１）内の圧力を高めるた
めに開く。（気密室（１）と大気を接続している弁（1
2）は閉じられている）。
搬出口（４）の気密式ダンパー（５）を開き、搬送機
（７）（18）を使用して、物品を高温気密室（13）の台
（17）に搬送する。この場合、気密室（１）と高温気密
室（13）内の高められた圧力とは同じである。
物品を高温気密室（13）に保つ間、冷却気密室（25）
の準備をする。
この目的のため、搬出口（28）の気密式ダンパー（2
9）を閉じ、気密室（25）と大気を接続している弁（3
6）も閉じる。ついで、高圧主管（８）の圧力調節弁（3
4）（35）を開く。ついで、クーラー（37）を始動す
る。
バルブ（11）（12）を開き、バルブ（10）を閉じて、
気密室（１）内の圧力を解放した後、ポリマー被覆剤を
塗った物品を高温気密室（13）に保つ間、気密式ダンパ
ー（３）が付いている搬入口（２）を開いて、次の物品
を受け入れる。
被覆剤を高温気密室（13）に保つ所定時間が終了した
ら、搬出口（26）のダンパー（16）を開き、搬送機（1
8）（31）で物品を冷却気密室（25）の台（30）へ運
び、ダンパー（27）を閉じる。
予め決めた温度までポリマー被覆剤を冷却し終った
ら、バルブ（36）を開けて、圧力を放出する。
搬出口（28）のダンパー（29）も開き、搬送機（31）
で、物品を冷却気密室（25）から搬出する。
冷却時間を短縮するため、気密室（25）はクーラー
（37）を備えており、それにより、気密室（25）内で被
覆剤の冷却処理が開始される。
本発明による方法を実施する装置によると、連続した
流れの物品に、ポリマー被覆剤を被覆して乾燥すること
ができる。
各種の被覆剤によって、低温保有時間や冷却時間は異
なるので、気密室（１）（13）（25）には、物品を受け
取る台（６）（17）（30）を数台置き、搬送機（７）
（18）（31）で、気密室（１）（13）（25）内の別の台
に物品を置き換えることができるようにしてもよい。
このような技術的な手段により、本装置を連続式にす
ることができる。
本発明の要旨をより正確に理解するため、実験例につ
いて述べる。
実験例 本発明による方法で乾燥したポリマー被覆剤の保護特
性と、公知の方法による乾燥後の被覆剤とを比較評価し
てみた。
フォトレジストポリマー被覆剤を乾燥するため、公知
の装置と本発明による装置を使用した。
本発明による装置の気密室（１）（図３）に物品を搬
入した。物品は、クロムめっきをしたガラス板で、これ
に、塩基性のジアゾキノン化合物のフォトレジストの溶
液を0.7μｍの厚さに塗った。
フォトレジスト被覆剤を乾燥した後、この物品は、マ
スクを作るために使用される。
気密室（１）を閉じた後、高圧主管（８）からガスを
供給し、気密室（１）を、0.5MPa.の圧力で気密にす
る。この圧力は、その後気密室（13）（25）で被覆剤を
保つ時も、一定不変である。
気密室（１）に被覆剤を保存した時間は３分で、気密
室（１）の温度は22±２℃、気密室（13）の保存時間は
15分、温度は100℃であった。
第III段階の気密室（25）での冷却時間は３分、冷却
最終温度は22±２℃であった。
本発明の方法により乾燥された被覆剤と、公知の方法
によるものの欠陥検査を、一般に認められた方法で行っ
た。そのテスト結果は、下表の通りである。
保護特性指数は、テストした10物品の算術的方法で決
めた。
公知の保護特性標準と、２ケ月と４ケ月後の、公知の
方法と、本発明の方法とにより乾燥した被覆剤のテスト
の指数を比較し、これら標準に合致しない物品数を見れ
ば、被覆剤の寿命の長さを推測できる。
産業上の利用分野 本発明は、集積回路の製造やマイクロ印刷のプロセス
や機器に適用しうる。
その他、本発明は、薄い保護用ポリマー被覆剤、たと
えば電線の皮膜絶縁剤の生産に適用することができる。
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/027 21/56 Ｅ

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ポリマー被覆剤を室温で20秒から１時間保
    つ段階と、ポリマー被覆剤を高い温度で、保護特性を悪
    化させる被覆剤内の微小割れの広がりを抑えるのに十分
    な圧力下で保つ第２段階と、ポリマー被覆剤を冷却する
    段階を含む乾燥方法において、保護特性を悪化させる被
    覆剤内の微小割れの広がりを抑えるために、ポリマー被
    覆剤を室温内に保つ段階で圧力を十分に強め、その圧力
    を、ポリマー被覆剤を冷却する段階まで維持し、かつ冷
    却段階を、大気圧下で保護特性を悪化させる被覆剤内の
    微小割れの広がりが除かれる温度に達するまで続けるこ
    とを特徴とする物品の表面に塗られた保護用ポリマー被
    覆剤中の溶液の乾燥方法。
JP3509639A 1991-05-08 1991-05-08 物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法 Expired - Lifetime JPH084775B2 (ja)

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