JPH06502341A - 物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法と装置産業上の分 野 本発明は、超小型電子技術、および電子工学の分野に関する。より詳しく言うと 、物品表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法とその装置に関す る。

従来の技術 半導体装置やマイクロ集積回路の平面技術において、物品の表面に塗った保護用 ポリマー被覆剤の溶液の乾燥方法とその装置は公知である。

それは、被覆剤を加工室の室温に保つ段階と、それに続き、圧力下でより高温に 保つ段階と、冷却段階とを含んでいる。この方法は、高品質の堰疵のないポリマ ーフィルムを形成し、かつある期間、その保護特性を維持するという課題に応え ることを目的としている。

被覆剤の保護特性は、乾燥中（乾燥は、ポリマー被覆剤から溶剤が逃げていく過 程と理解される。）に生ずる物理化学の過程で、形成されて広がる微小な割れや ふくれに大きく影響される。

被覆剤の完全乾燥は、ポリマーの中の溶剤の（液体の拡散）から、ガス体中の溶 剤（ガスの拡散込の移行過程、及び液状から蒸気（第１種相変換）への溶剤の変 換を含んでいる。

前述の過程の運動特性によって、被覆剤から溶剤を脱出させるメカニズムが決ま る。室温（２０〜２４℃）で行われる乾燥の第１段階は、ポリマー被覆剤の中の 溶剤の含有量が多いことと、その液体の拡散が高率であることが特徴である。

被覆剤が乾燥するにつれて、ポリマー中の溶剤の拡散は遅くなり、乾燥の進度は 低下する。ポリマー被覆剤を加工室の室温に保ったままでは、価値ある保護特性 （粘着力、珊疵のない状態）を得られないことが知られている。

従って、第２段階で、高い温度に保つことが行われる。

拡散の進度を増し、被覆剤の内在的ストレスを軽減するために、ポリマーの高い 流動を得るのに必要な温度が選ばれている。但し、高温に長時間置くと、熱破壊 または、熱重合の好ましくない反応を生じるので、ポリマー材の熱安定性が考慮 される。

ポリマー被覆剤を決められた高温に保つ初期段階で、溶剤は急テンポで逃げ出す 。その最大値に達すると、この進度は落ちてゼロになる。

被覆剤の外面で溶剤が蒸発するのと並行して、被覆剤（内在的な蒸気形成）の中 にあるガス微小割れの表面にも、相変換（蒸発）が生ずると考えられる。

たとえば、フォトレジストの被覆剤の内在的な蒸気形成と、保護特性との間に関 連があることが、実験で確認された。

微小割れ内の溶剤が蒸発している時の運動特性は、多くの要因により決まる。

即ち、被覆剤中の溶剤の含有量、溶剤蒸気の圧力、超微小空洞の最初の形と寸法 、被覆剤の量に対する微小割れの分布密度、溶剤の液体拡散の程度、ポリマー被 覆剤のねばり強さと表面張力、及び被覆剤の温度による。

内在的な蒸気の形成進度が加速されると、被覆剤の不安定度が増し、物品に対す る粘着力が減少する。この現象は、溶剤の蒸気が飽和状態になり、被覆剤の外面 に孔を開け、微小な割れが広がる結果生じるものである。

被覆剤の外面近くと、被覆剤と物品の境界に近い所の微小割れの位置は、欠陥を 形成する過程に大きな影響を与える。

被覆剤の外面に近い所にある微小割れは、開口しても、ポリマー被覆剤の深層に は作用せず、保護特性と粘着力に影響しないが、物品とポリマー被覆剤との境界 にある微小割れによって保護特性と粘着力は影響を受ける。後者は、外面が開口 する時被覆剤を分離させ、バンクさせて貫通孔を形成させる。

被覆剤の中層にある微小割れは、貫通孔の形成に先行して生じ、被覆剤の内在的 なストレスが集中する領域では、物品に対する粘着力が弱まる。

乾燥の第１段階では、溶剤の含有量の多い保護用被覆剤における内在的な蒸気発 生は、ポリマー被覆剤の保護特性を減少させるような顕著な影響を与えない。

これは、次のような理由により説明される。

被覆剤中の液体の拡散が高い割合にあるので、溶剤の蒸発が好ましい状態にあり 、かつポリマー溶液が高い流動状態にあるので、微小割れの広がりを阻止する力 が、十分にあるからである。

溶剤の含有量が減少すると、ポリマー被覆剤の粘度が増し、平面化能力が失われ る（平面化能力とは、開口した微小割れの端の凹凸を直し、平面を作るポリマー の能力の意である）。

関連した方法がないので、溶液の流動が減少して、危険な形や寸法の微小割れを 直すことができなくなる瞬間を正確につきとめることはできない。

実際にデータで確認されたところによると、大半の融二五と９ｘ上被履剤を得る ためには、遠心分離器にかけて、余分なポリマー保護用被覆剤を取り除くことが 、唯一の可能な方法と考えられる。

ガス状微小割れが、保護用被覆剤にバンクを発生させる原因であり、また粘着力 を弱める原因と思われるので、微小割れの寸法と形について考慮する必要がある 。

大きな微小割れをなくせば、当然、被覆剤の保護特性は改良される。

同時に、乾燥された被覆剤を長く放置すると、微小割れであっても危険である。

おそらく、各過程を実行する際の条件と、保護特性の要件とによって、その寸法 ならびに保護特性が必要な値以下に劣化しないような、微小割れの許容最大寸法 が決められると思う。

本発明に最も類似している従来技術は、物品に塗られる保護用ポリマー被覆剤の 溶液乾燥方法である。これは、ポリマー被覆剤を、加工室の室温内に２０秒から １時間保つ段階と、ポリマー被覆剤を高い温度で、被覆剤の保護特性を悪化する 微小割れの広がりを抑圧するのに十分な圧力下に保つ段階と、ポリマー被覆剤を 冷却する段階とを含んでいる（ライ・ピー・ラウリシエフ、（Ｖ、　Ｐ、　Ｌａ ｗｉｓｃｈｅｖ）ヴイ゛エイ゛ベレミシエフ（Ｖ、　Ａ、　Ｐｅｒｅｒｎｙｓｃ ｈｅｖ）　「フォトレジスト　フィルムから溶剤を取り除くメカニズムの研究Ｊ 　１９７５、「エレクトロニクスＪ誌５（５３）号、５８〜６５頁参照）。

内在的蒸気形成作用を防止し、ガス状微小割れの広がりを抑圧する要因は、保護 用被覆剤を高い温度に保つ時の外部圧力である。

前述の方法で乾燥したポリマー被覆剤は、バンクや弱い個所を有しており、粘着 力がなく、作用寿命が短いという欠点を有している。これらの欠点は、被覆剤を 乾燥中に、微小割れが広がることによって起こる。

ポリマー被覆剤を高い温度に保つ段階で、この過程を中止しても、必ずしも、ポ リマー被覆剤の保護特性に対する要求を満たすとは限らない。

物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法を実施する装置は 公知である。それは、ポリマー被覆剤を高い温度に保つ高温気密室を備えており 、バルブが付いているパイプラインを介して、高圧主管と、出口で外気に接続さ れ、かつ気密式ダンパーが付いている搬入口、物品を搬入口から搬出口へ移動さ せる搬送機、及びヒーターを有している（［エレクトロニック・インダストリー Ｊ　Ｎｏ、　５（７７）、１９７９．　モスク７、ライ・ライ・７ヌ７！Ｊエン ：］（Ｖ、ｖ。

Ａｎｕｆｒｉｅｎｋｏ）、ライ・アイ・オスニン（Ｖ、　■、　０ｓｎｉｎ）、 ライ−エイ・ペレミシェフ（Ｖ、　Ａ、　Ｐｅｒｅｍｙｓｃｈｅｖ）、ライ・エ ル・サンデロフ（Ｖ、　Ｌ、　５ａｎｄｅｒｏｖ）、ライ−１ヌ・ツァレフ閏Ｎ 、　Ｔｓａｒｅｖ）、「フォトレジスト被覆剤ＡＦＦ−２を形成する装置」５０ 〜５２頁）。

このような装置では、ポリマー被覆剤を高い温度に保つ段階で、圧力は高められ る。この場合、高温室内に物品を搬入し、気密式ダンパーが付いている搬入口を 閉めた後にのみ、圧力を高めることができる。従って、通常の圧力で、被覆剤の 保護特性を悪化させる被覆剤内の微小割れの広がりが除かれる温度まで、被覆剤 が冷却される前に、圧力が放出されてしまう。

被覆剤を加熱中に、圧力反応が少しでも遅れると、被覆剤の小さな厚さくミクロ メーターの割れ）と熱容量のため、顕著なマイナス効果が出てくる。

被覆剤を高温室の中に搬入後、被覆剤は、高温室のガスに瞬間的に熱せられるが 、強い圧力を瞬間的にかけることはできない。このような加熱状態では、物品を 搬出するために高温室を開ける前に、被覆剤の圧力を放出しなければならない。

しかし、過大な圧力なしでポリマー被覆剤を加熱すると、内部の蒸気発生か強く なり、保護用被覆剤の微小割れの広がりにとって好都合な状態になる。

発明の開示 本発明の解決すべき課題は、被覆剤を室温に保つ段階で、温度が上がる前に圧力 が上がるように、ポリマー被覆剤を乾燥状態とし、かつ冷却段階で、圧力を止め る前に温度が下がるような状態を作りだすことができるようにした、物品の表面 に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法を提供し、かつ製造コストが 安く、便利で、信頼性がある装置を提供することである。

上記課題を解決するため、本発明では、ポリマー被覆剤を、室温で２０秒から１ 時間保つ段階と、ポリマー被覆剤を高い温度で、保護特性を悪化させる被覆剤内 の微小割れの広がりを抑えるのに十分な圧力下で保つ第２段階と、ポリマー被覆 剤を冷却する段階を含む、物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の 乾燥方法において、保護特性を悪化させる被覆剤内の微小割れの広がりを抑える のに十分な圧力を、ポリマー被覆剤を室温内に保つ段階で強め、その圧力をポリ マー被覆剤を冷却する段階まで維持し、かつ冷却段階を、大気圧下で、保護特性 を悪化させる被覆剤内の微小割れの広がりが除かれる温度に達するまで続けるこ とを特徴としている。

また、上記課題を解決するための本発明の方法を実施する装置は、圧力調節弁を 有するパイプラインを介して、高圧主管と、外気への出口に接続され、かつ、気 密式ダンパーが付いている搬入口、気密式ダンパーが付いている搬出口、搬入口 から搬出口へ物品を運ぶ搬送機、及びヒーターを備える、ポリマー被覆剤を高い 温度に保つ高温気密室を含む装置において、物品の流れの上手で、高温気密室の 手前に、気密式ダンパーが付いている搬入口を介して、高温気密室と連絡してい る、ポリマー被覆剤を室温で乾燥するための別の気密室が設けられ、この気密室 は、気密式ダンパーが付いている搬入口を有しており、圧力調節弁を有するパイ プラインを介して、高圧主管と、外気への出口に接続されへ物品を搬入口から高 温気密室の搬入口へ運ぶ搬送機を備えており、かつ物品の流れの下手で、高温気 密室の後に、ポリマー被覆剤を冷却する別の気密室が設けられており、それは、 気密式ダンパーが付いている搬出口を介して、高温気密室に連通しており、圧力 調節弁を有するパイプラインを介して、高圧主管と、外気への出口に接続されて おり、さらに、物品を高温気密室の搬出口から冷却気密室の搬出口へ運ぶ搬送機 を有していることを特徴としている。

冷却時間を短縮するため、ポリマー被覆剤を冷却する気密室に、クーラーを補助 的に設けることが望ましい。

物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法によると、被覆剤 を室温に保つ段階で、外部圧力は高められるので、被覆剤の保護特性を悪化させ るガス状の微小割れの広がりを止める圧力に達する前に、ポリマー被覆剤の温度 によって、それが変化する可能性は除かれる。

圧下で加熱された保護被覆剤から、残留溶剤が活発に逃げ出し、保護特性を悪化 させる被覆剤表面の微小割れが発生するのが防止される。

図面の簡単な説明 方法における、Ｘ軸に沿う乾燥時間ｔに対する、Ｙ軸に沿う温度Ｔと圧力Ｐの依 存関係を示す。

図２は、Ｘ軸に沿う乾燥時間ｔに対する、Ｙ軸に沿う溶剤の脱出速度■の依存関 係を示す。

図３は、本発明による、物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾 燥装置の縦断面図である。

実施例 本発明による物品の表面に塗った保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法は、 外部圧力が強まるゾーンで、圧力によって、被覆剤の保護特性を悪化させる微小 の広がりを抑えられる外部圧力に保つ。予め決めた保護特性を得るのに十分な処 理時間を与えるが、被覆剤に構造的な熱変化が生じないようにする。

筒用段階：適当な圧力下で、被覆剤を、大気圧下で被覆剤の保護特性を悪化させ る微小割れが広がらない温度にまで冷却する。

第■段階は、たとえば遠心分離法で、物品の表面に、被覆剤の形でポリマー溶液 を塗ることから始まる。

物品を回転させながら、被覆剤を塗るのが、被覆剤を室温Ｔｒに保つ第１段階加 速させられるので、乾燥速度Ｖは最大になる。

第１段階では、被覆剤の溶剤含有量が減少し、被覆剤の粘度は増し、被覆剤に生 ずる微小割れを直すポリマー材の能力は減るのが特徴である。

ポリマー被覆剤が、第１段階でそのような状態に移行する時（図１の■”段階） に、外部圧力を強めることによって、内部の蒸気発生で微小空洞の寸法が大きく なるのを防止する必要がある。この圧力により、内部の蒸気発生は抑えられる。

従って、被覆剤の保護特性を悪化させる微小割れの広がりが抑えられる。

ポリマー被覆剤を室温Ｔ１に保ち、外部圧力が強くなり始めるＩ°段階の期間は 、被覆剤が最適条件に達するのに要する時間によって決められる。

各特別ケースの最適条件とは、微小割れの広がりの少ない、従ってこの場合、保 護特性の悪化は最小になるような被覆剤の状態と考えられる。

この状態は、被覆剤の多数の物理化学的及び機械的特性により決まる。

すなわち、被覆剤の厚さ、溶剤の含有量、その蒸気の圧力、溶剤の拡散速度、被 覆剤の粘度、表面張力、被覆剤の多孔性、温度、及び外部圧力による。

ポリマー被覆剤の各タイプは、その最適条件と、室温に保つ期間により、特性づ けされることは明らかである。

時間τ、は実験で決まり、ポリマー被覆剤の大半は２０秒〜１時間の間である。

もし、ポリマー被覆剤を第■段階に保つ時間τ；が２０秒以下なら、溶剤の含有 量はまだ相当にあり、次の第１Ｉ段階で、より多くの逃げが発生する。

ポリマー被覆剤を第１段階に１時間以上保つとＪ乾燥時間は増えて、保護特性は 良くならない。

ポリマーと溶剤の性質、被覆剤の温度Ｔ５７、保護特性の要求により決められる 圧力の適正値は、０．３〜０．８ＭＰ　ａ、の範囲である。０．３ＭＰ　ａ、以 下の圧力は、微小割れの広がりを縮小するのに十分でない。また０、８ＭＰａ、 以上に圧力が増えても被覆剤の保護特性は良くならない。

第１Ｉ段階（図１、図２）で、被覆剤を高い温度ＴＩＩ（図１）に保つことは、 微小割れの広がりを抑える圧力Ｐ、の条件下でなされる。

温度をＴｌ＋に高めると、ポリマー被覆剤の粘度は低下し易くなり、溶剤の脱出 速度Ｖ（図２、ＩＩ’段階）は加速される。

気密室（１）は、気密式ダンパー（３）が付いている搬入口（２）と、気密式ダ ンパ口（４）へ運ぶ搬送機（７）が配置されている。搬送機（７）は、コンベヤ ベルトの形インにつながっている。このパイプラインは、バルブ（１２）により 、気密室（１）を大気と連絡させている。

気密室（１）の後、物品の流れ方向に、ポリマー被覆剤を高めた温度に保つ高温 気密室（１３）が配置されている。

気密室（１）の搬出口（４）は、高温気密室（１３）の搬入口（１４）の役をし ている。気密室（１）は、この搬出口（４）を介して高温気密室（１３）と連絡 されている。

高温気密室（１３）は、物品を搬出するための搬出口（１５）と気密式ダンパー （１６）を有している。高温気密室（１３）の内部には、物品を受け取る台（１ ７）と、搬入口（１４）から搬出口（１５）へ物品を運ぶコンベヤベルト式の搬 送機（１８）が設けられている。

高温気密室（１３）は、継ぎ手（２０）及び圧力調節弁（２１）（２２）　（２ ３）を有するパイプライン（１９）を介して、高圧主管（８）に接続されている 。

高温気密室（１３）の内部には、ヒーター（２４）が設けられている。

高温気密室（１３）の後、物品の流れ方向に、ポリマー被覆剤を冷却するための 別の気密室（２５）が配置されている。この気密室（２５）は、高温気密室（１ ３）の搬出口（１５）の２役を兼ねる搬入口（２６）と気密式ダンパー（２７） を備えている。

搬入口（２６）は、高温気密室（１３）と気密室（２５）の連絡口の役目をして いる。気密室（２５）は、気密式ダンパー（２９）が付いている搬出口（２８） を有している。

気密室（２５）の内部には、物品を受け取る台（３のと、搬入口（２６）から搬 出口（２８）へ物品を運ぶ搬送機（３１）が設けられている。

気密室（２５）は、継ぎ手（３３）及び圧力調節弁（３４）　（３５）　（３６ ）を有する分岐バイブ（３２）を介して、高圧主管（８）に接続されている。

台（３０）には、クーラー（３７）が固着されている。

図３の実線矢印は、気密室（１）（１３）　（２５）に圧力が強まる時の、パイ プラインに沿ったガスの流れ方向を示す。

破線矢印は、ガスが大気に放出されて、圧力が減る時のガスの流れ方向を示す。

気密室（１）内で物品を運ぶ搬送機（７）と、高温気密室（１３）内で物品を運 ぶ搬送機（１８）との間の距離は、気密室（１）から、開かれた搬出口（４）の 気密式ダンパー（５）を有する高温気密室（１３）まで物品を自由に動かせる長 さ以上とする。

高温気密室（１３）の搬送機（１８）と別の気密室（２５）の搬送機（３１）と の間の距離も、同じような関係にある。

本発明による、物品の表面に塗られたポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法を実施 する装置は、次のように作用する。

まず、高温気密室（１３）の準備を整える。この目的のために、気密式ダンパー （５）（１６）を閉じ、ヒーター（２４）をつけ、高圧主管（８）の圧力調節弁 （２１）（２２）を開く（高温気密室（１３）と大気を接続している弁（２３） は、ポリマー被覆剤の全乾燥中閉じられている）。

ポリマー被覆剤溶液を表面に塗られた物品を、気密室（１）内に設けた台（６） 上の搬送機（７）で、開かれた搬入口（２）から搬入する。

搬入口（２）の気密式ダンパー（３）を閉じ、圧力調節弁（ＩＯＸＩＩ）を、気 密室（１）内の圧力を高めるために開く。（気密室（１）と大気を接続している 弁（１２）は閉じられている）。

搬出口（４）の気密式ダンパー（５）を開き、搬送機（７）（１８）を使用して 、物品を高温気密室（１３）の台（１７）に搬送する。この場合、気密室（１） と高温気密室（１３）内の高められた圧力とは同じである。

物品を高温気密室（１３）に保つ間、冷却気密室（２５）の準備をする。

この目的のため、搬出口（２８）の気密式ダンパー（２９）を閉じ、気密室（２ ５）と大気を接続している弁（３６）も閉じる。ついで、高圧主管（８）の圧力 調節弁（３４）　（３５）を開く。ついで、クーラー（３７）を始動する。

バルブ（１１）（１２）を開き、バルブ（１０）を閉じて、気密室（１）内の圧 力を解放した後、ポリマー被覆剤を塗った物品を高温気密室（１３）に保つ間、 気密式ダンパー（３）が付いている搬入口（２）を開いて、次の物品を受け入れ る。

被覆剤を高温気密室（１３）に保つ所定時間が終了したら、搬出口（２６）のダ ンパー（１６）を開き、搬送機（１８）（３１）で物品を冷却気密室（２５）の 台（３０）へ運び、ダンパー（２７）を閉じる。

予め決めた温度までポリマー被覆剤を冷却し終ったら、バルブ（３６）を開けて 、圧力を放出する。

搬出口（２８）のダンパー（２９）も開き、搬送機（３１）で、物品を冷却気密 室（２５）から搬出する。

冷却時間を短縮するため、気密室（２５）はクーラー（３７）を備えており、そ れにより、気密室（２５）内で被覆剤の冷却処理が開始される。

本発明による方法を実施する装置によると、連続した流れの物品に、ポリマー被 覆剤を被覆して乾燥することができる。

各種の被覆剤によって、低温保有時間や冷却時間は異なるので、気密室（１）（ １３）　（２５）には、物品を受け取る台（６）（１７）　（３０）を数台置き 、搬送機（７）（１８Ｘ３１）で、気密室（１）（１３）　（２５）内の別の台 に物品を置き換えることができるようにしてもよい。

このような技術的な手段により、本装置を連続式にすることができる。

本発明の要旨をより正確に理解するため、実験例について述べる。

実験例 本発明による方法で乾燥したポリマー被覆剤の保護特性と、公知の方法による乾 燥後の被覆剤とを比較評価してみた。

フォトレジストポリマー被覆剤を乾燥するため、公知の装置と本発明による装置 を使用した。

本発明による装置の気密室（１）（図３）に物品を搬入した。物品は、クロムめ っきをしたガラス板で、これに、塩基性のジアゾキノン化合物のフォトレジスト の溶液を０．７μｍの厚さに塗った。

フォトレジスト被覆剤を乾燥した後、この物品は、マスクを作るために使用され る。

気密室（１）を閉じた後、高圧主管（８）からガスを供給し、気密室（１）を、 ０５ＭＰ　ａ、の圧力で気密にする。この圧力は、その後気密室（１３）　（２ ５）で被覆剤を保つ時も、一定不変である。

気密室（１）に被覆剤を保存した時間は３分で、気密室（１）の温度は２２±２ ℃、気密室（１３）の保存時間は１５分、温度は１００℃であった。

第１ＩＩ段階の気密室（２５）での冷却時間は３分、冷却最終温度は２２±２℃ であった。

本発明の方法により乾燥された被覆剤と、公知の方法によるものの欠陥検査を、 一般に認められた方法で行った。そのテスト結果は、下表の通りである。

保護特性　保護特性　テスト　８と、　゛による　−、本発明に　公知の本発明 に　公知の本発明に　公知のよる方法　方法　よる方法　方法　よる方法　方法 １μ屹上の大きさの　０．２ きずの密度、ｃｍ”　以下　０．０３　０．０９　０．０２８　０．１６　０． ０４　０．２９八’７りを含む、ｃｍ−’　０．０１？　０．０６９　０．０１ ５　０．１４　０，０２　０．２７クロム残留物、ｃｍ−２０，０１３０，０２ １０，０１３０，０２０，０２０，０２保護特性標準に合致 しない物品数　個　０００１０９ 保護泪被覆剤の下　０２ のマスク層Ｉ、チンク’４ｍ　以下　０．１　０．１５　０．１　０．２　０， １２　０．３５マスクエフチンク′で標準１こ 合致しない物品数個　０００３０１０ ０５μｍ以上の被　不可 覆剤の下の局部的 マスク層Ｘブｆ７り′、Ｃｍ−’　０　０　０　０　０　０．０１局部的エフチ ンク′の標準 に合致しない物品数　００　００　００７保護特性指数は、テストした１０物品 の算術的方法で決めた。

公知の保護特性標準と、２ケ月と４ケ月後の、公知の方法と、本発明の方法とに より乾燥した被覆剤のテストの指数を比較し、これら標準に合致しない物品数を 見れば、被覆剤の寿命の長さを推測できる。

産業上の利用分野 本発明は、集積回路の製造やマイクロ印刷のプロセスや機器に適用しうる。

その他、本発明は、薄い保護用ポリマー被覆剤、たとえば電線の皮膜絶縁剤の生 産に適用することができる。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. １．ポリマー被覆剤を室温で２０秒から１時間保つ段階と、ポリマー被覆剤を高 い温度で、保護特性を悪化させる被覆剤内の微小割れの広がりを抑えるのに十分 な圧力下で保つ第２段階と、ポリマー被覆剤を冷却する段階を含む乾燥方法にお いて、保護特性を悪化させる被覆剤内の微小割れの広がりを抑えるのに十分な圧 力を、ポリマー被覆剤を室温内に保つ段階で強め、その圧力を、ポリマー被覆剤 を冷却する段階まで維持し、かつ冷却段階を、大気圧下で保護特性を悪化させる 被覆剤内の微小割れの広がりが除かれる温度に達するまで続けることを特徴とす る物品の表面に塗られた保護用ポリマー被覆剤中の溶液の乾燥方法。
2. ２．圧力調節弁（２１）（２２）（２３）を有するパイプライン（１９）を介し て、高圧主管（８）と、外気への出口とに接続され、かつ気密式ダンパー（５） が付いている搬入口（１４）、気密式ダンパー（１６）が付いている搬出口（１ ５）、搬入口（１４）から搬出口（１５）へ物品を運ぶ搬送機（１８）、及びヒ ーター（２４）を備えてなる、ポリマー被覆剤を高い温度に保つ高温気密室（１ ３）を含む装置において、物品の流れの上手で、高温気密室（１３）の手前に、 気密式ダンパー（５）が付いている搬入口（１４）を介して高温気密室（１３） と連絡している、ポリマー被覆剤を室温で乾燥するための別の気密室（１）が設 置されており・その気密室（１）は、気密式ダンパー（３）の付いている搬入口 （２）を有し、圧力調節弁（１０）（１１）（１２））を有するパイプラインを 介して、高圧主管（８）と、外気への出口に接続されていて、物品を搬入口（２ ）から高温気密室（１３）の搬入口（１４）へ運ぶ搬送機（７）が配置されてお り、更に、物品の流れの下手で、高温気密室（１３）の後に、ポリマー被覆剤を 冷却する別の気密室（２５）が設けられており、それは、気密式ダンパー（１６ ）が付いている搬出口（１５）を介して高温気密室（１３）に連絡しており、圧 力調節弁（３４）（３５）（３６）を有するパイプラインを介して、高圧主管（ ８）と、外気への出口に接続されており、さらに、物品を高温気密室（１３）の 搬出口（１５）から冷却気密室の搬出口（２８）へ運ぶ搬送機を有していること を特徴とする請求項１に記載のポリマー被覆剤の溶液び乾燥方法を実施する装置 。
3. ３．ポリマー被覆剤を冷却する気密室（２５）が、クーラー（３７）を備えてい ることを特徴とする請求項２に記載のポリマー被覆剤の溶液の乾燥方法を実施す るための請求項２に記載の装置。