JPH0837171A - 半導体材料の水切乾燥装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダミー半導体材料の補充作業等を一切行なう
ことなく、回転主軸を回転中心の原点とするローターを
該回転主軸に対して交差方向に水平横移動されることで
その回転バランスの調整を可能ならせしめることであ
る。 【構成】ローターケーシング１内に、ローター４の回転
主軸３にローター水平移動機構２を取り付けて設置する
と共にこのローター水平移動機構２上にローター４を載
置し、該ローター水平移動機構２を回転主軸３に取り付
ける回転ベース2-1 と、回転ベース2-1 上に、ローター
４上に対向状に配設せれている両クレードル５の対向方
向に向けて水平移動自在に配設したローター４を定着載
置するローター載置部2-2 と、ローター設置部2-2 を水
平横移動させる起動部2-3 から構成することにより、回
転主軸３を回転中心の原点とするローター４を該回転主
軸３に対して交差方向に機械的に水平移動されてロータ
ー４の回転バランスを調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体シリコンウェハ
やガラスフォトマスク等の半導体材料のエッチング工
程，レジスト剥離工程等、これらの処理に伴う一連の洗
浄工程等の前処理工程が行なわれた後、最後にスピーン
ドライヤと称されている遠心力を利用して半導体材料に
付着している洗浄液等の水滴を除去してその乾燥を行な
う水切乾燥装置の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】従来、この種の水切乾燥
装置としては種々構造のものが知られている。一般にス
ピンドルドライヤと称されている遠心力を利用して半導
体材料に付着している洗浄液等の水滴を除去してその乾
燥を行なう水切乾燥装置が知られ、半導体材料を定数枚
毎にまとめてそのエッチング処理，レジスト剥離処理，
これらの処理に伴う一連の洗浄処理が順次行なわれ、最
後に水切乾燥処理が行なわれる方式が主流とされてい
る。ところで、この方式に採用されている従来の水切乾
燥装置は、高速回転にて駆動回転させるローターと、こ
のローターを包囲するローターケーシングと、回転主軸
を中心とするローター上に対向状に設置されて半導体材
料を定数枚毎にまとめて収容する両クレードルと、から
構成されいる。然るに、従来の水切乾燥装置は例えば半
導体材料を定数枚毎にまとめて収容した両カセット（通
称キャリアと称されている）がエッチング工程，レジス
ト剥離工程等、これらの処理に伴う一連の洗浄工程へと
順次搬送され、最後に半導体材料を収容搬送する両カセ
ットが乾燥工程へと搬送されてきた後、両カセットが回
転主軸を中心とするローター上に対向状に配設されてい
る両クレードル内に夫々収められることによって定数枚
毎にまとめられた半導体材料をカセットを介して両クレ
ードル内に収容し、ローターを高速回転させて水切り乾
燥を行なう様に構成されている。

【０００３】しかし乍ら、近年において乾燥装置のロー
ター上には上述した様に半導体材料が定数枚毎に収容さ
れた２つのカセットを受けとる２つのクレードルが配設
装備されているにも拘らず、一方（片方）のクレードル
のみに定数枚の半導体材料が収容されたカセットを収
め、他方のクレードルには前記カセットを収めない空の
状態で使用したり、或いは一方のクレードルには定数枚
の半導体材料が収容されたカセットを収め、他方のクレ
ードルには定数枚に満たない枚数の半導体材料が収容さ
れたカセットを収めて使用する等の乾燥装置の使用形態
が使用者によって区々になってきている。従って、従来
では一方のみのクレードルに定数枚の半導体材料を収容
して使用する場合には定数枚のダミー半導体材料を収容
したカセットを他方のクレードルに収めてたり、或いは
定数枚に満たない枚数の半導体材料を他方のクレードル
に収容して使用する場合には該クレードルに収められて
いるカセットに不足枚数分のダミー半導体材料を収容す
るといった補充作業を行なって回転主軸を回転中心とす
るローターの回転バランスの調整を行なわなければなら
ないし、しかも、これらの作業は全て作業者自身が手作
業で行なわなければならず、乾燥作業の低下を招くばか
りか、上記した各処理工程の流れに支障を来す等の数々
の問題が起き、各使用者からその改良が望まれていた。

【０００４】ちなみに、半導体材料を定数枚毎にまとめ
て収容したカセットはエッチング処理工程，レジスト剥
離処理工程、これらの処理工程に伴う一連の洗浄処理工
程、そして最後に水切乾燥処理工程へ搬送装置（搬送ロ
ボット）によって自動的に搬送されるものであり、そし
てこの搬送装置によってカセット内に収容されている半
導体材料の枚数が自動的にカウントされてその枚数がこ
れら各処理工程の中央制御部、所謂中央処理装置に順次
送られて処理される様になっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこの様な従来
事情に鑑みてなされたもので、ダミー半導体材料の補充
作業等を一切行なうことなく、回転主軸を回転中心の原
点とするローターを該回転主軸に対して交差方向に水平
横移動されることでその回転バランスの調整を可能なら
せしめた半導体材料の水切乾燥装置の提供を目的とする
ものである。

【０００６】

【課題を達成するための手段】上記目的を達成するため
本本発明が講じる技術的手段は、ローターケーシング内
にローターを設置し、このローターの回転主軸を中心と
する該ローター上に対向状に配設された両クレドル内に
搬入収容された半導体材料をローターの高速回転により
水切乾燥する水切乾燥装置に於いて、前記回転主軸にロ
ーター水平移動機構を取り付けてこのローター水平移動
機構上にローターを載置し、該ローター起動部を回転主
軸に取り付ける回転ベースと、回転ベース上に、前記両
クレードルの対向方向に向けて水平移動自在に配設した
ローターを定着載置するローター載置部と、ローター設
置部を水平移動させる起動部から構成したことを特徴と
する。

【０００７】

【作用】而して、上記した本発明の技術的手段によれ
ば、起動部を動作させてローターを定着載置するロータ
ー設置部を水平横移動させる、例えばローター上に対向
状に配設されている両クレードルの内、一方のクレード
ルのみに定数枚の半導体材料が収容されたカセットが収
められ、他方のクレードル側には前記カセットが収めら
れていない空の状態で乾燥装置が使用される使用形態の
場合、ローター設置部を起動部により他方（空）のクレ
ードル側に移動させることにより、ローターは他方のク
レードル側に水平に移動され、回転主軸の軸芯線上に位
置した状態が回転原点位置となるローターの中心部が回
転主軸の軸芯線上から外れた他方のクレードル側に変位
せしめられてローターの回転バランスが調整される。そ
して、回転主軸に固着支持され該主軸の回転により回転
する回転ベースと共にローターが高速回転せしめて半導
体材料の水切り乾燥が行なわれる。

【０００８】

【実施例】本発明の実施の一例を図面に基づいて以下説
明すると、図中１は上面開放でその上面開口部を円形形
状を呈する半導体材料Ａの出入れ口とし且つ不図示の開
閉蓋により開閉する円筒筒状に形成されたローターケー
シング，２はローターケーシング１内に、その底部中心
より貫通突出させて臨ませた回転主軸３の上端に取り付
けてケーシング１内に設置したローター水平移動機構，
４はローター水平移動機構２の後述するローター設置部
2aに取り付けて該機構２上に載置してローターケーシン
グ１内に設置したローター、５はローター４上にその中
心部に向けて対向状に配設したクレードルであり、一方
又は両方のクレードル５内に、不図示の搬送装置により
搬入されて収められたカセット６内の半導体材料Ａを、
回転主軸３に取り付けたローター水平移動機構２と共に
ローター４を高速回転させて水切り乾燥を行なう様にし
てある。

【０００９】クレードル５は、定数枚毎にまとめて例え
ば25枚程度の半導体材料Ａをまとめて一方向に並列状に
収容し得る大きさに形成されているカセット６を収納し
得る周知の形状，大きさを呈し、回転主軸３を中心とす
るローター４上に対向状に配設する。即ち、カセット６
を収納し得る大きさで上面を開放させた平面略矩形状の
箱型に形成され、ローター４上に固着せしめてその中心
に向けて対向状に配設せしめた上面及び対向面を開放さ
せた平面略コ型状を呈する両支持枠７の両側壁に軸支せ
しめてその軸支部を支点に対向側を上下傾動自在になら
せしめた状態でローター４上に対向状に配設される。
又、回転主軸３は、内部軸芯を上下端に貫通された内部
中空状に形成し、その上端側をローターケーシング１の
底部中心より貫通突出させて該ケーシング１内に臨ませ
た垂直状態で当該底部に回転自在に装着して、下端側に
取り付けたスプロケット又はプリー８等に亘りモーター
９からチェーン又はベルト10等を巻回架け渡してモータ
ー９により回転させてローター水平移動機構２と共にロ
ーター４を高速回転させる様にしてある。

【００１０】上記ローター水平移動機構２は、ローター
４上に配設された両クレードル５内、例えば一方のクレ
ードル５のみに定数枚の半導体材料Ａが収容されたカセ
ット６が収められ、他方のクレードル５には前記カセッ
ト６が収められない空の状態で乾燥装置が使用される場
合、カセット６が収められたクレードル５側（図５及び
図６において右側）を回転主軸３の軸芯線上Ｐに近づけ
てローター４の回転バランスを調整すべくローター４自
体を当初の位置から、即ち回転主軸３の軸芯線上Ｐに位
置した状態が回転原点位置となるローター４の中心部を
回転主軸３の軸芯線上Ｐから外れたカセット６が収めら
れていないクレードル５側（図５及び図６において左
側）に変位せしめる如くローター４自体を前記原点位置
から水平に横移動せしめるためのもので、回転主軸３の
上端に固着支持させる回転ベース2-1 と、この回転ベー
ス上2-1 に、前記両クレードル５の対向方向に向けて水
平移動自在に配設したローター４を載置固定するロータ
ー載置部2-2 と、このローター載置部2-2 を水平移動さ
せる起動部2-3 から構成する。

【００１１】回転ベース2-1 は、ローター４と同様に平
面略矩形状に形成され、その中心部に回転主軸３の上端
に嵌合固着せしめて取り付ける取付具11を取り付け、こ
の取付具11をローターケーシング１内に臨む回転主軸３
の上端に取り付けてローターケーシング１内に水平に設
置する。

【００１２】ローター載置部2-2 は、ローター４を載せ
て回転ベース2-1 上を水平に横移動させるためのもの
で、回転ベース2-1 の両側長辺側に、その長辺方向に適
宜の間隔をおいて固着配設した両側の各ガイドブロック
12間に亘りガイドシャフト13を貫通状に挿通せしめて両
側平行で且つ回転ベース2-1 の長辺方向にスライド自在
に設け、回転ベース2-1 の両側短辺側に位置する両側ガ
イドシャフト13の端部間に亘りローター取付板14を固着
具備せしめて全体形状を回転ベース2-1 の大きさと略同
じ程度の平面略矩形状に枠組み形成し、両側のガイドシ
ャフト13により回転ベース2-1 上長手方向に水平移動自
在に取り付けて、両ローター取付板14上にローター４を
載せて該取付板14に取付固定する。この場合、ローター
４上の両クレードル５が、回転ベース2-1 の長手方向両
側（両ローター取付板14側）に夫々位置する様に位置決
めピン等を用いて位置決めを行ないながら両ローター取
付板14上にローター４を載せ、ボルト止めにて固定する
ものである。図中15は、両ローター取付板14の対向面
に、一方は直接固着せしめ、他方は支持軸16の突端部に
固着せしめて両側のガイドシャフト13間に平行で且つ後
述する偏心カム23の直径間隔にて互いに向き合う様に配
設した対向面に潤滑性の高い合成樹脂板17を備えたロー
ター載置部2-2 のカム突き当て部であり、この両カム突
き当て部15が偏心カム23の外周に常時接触した状態で位
置し、偏心カム23の回転に伴いローター載置部2-2 を回
転ベース2-1 の長手方向に移動させる、即ちローター４
を回転ベース2-1 の長手方向に移動させる様にしてあ
る。

【００１３】起動部2-3 は、ローター載置部2-2 を回転
ベース2-1 の長辺方向に水平に移動されるその動作を起
こさせるためのもので、回転主軸３内を上下端貫通状に
挿通させて下端部側をサーボモーターやパルスモーター
等その他の駆動機18に連繋させて該駆動機18の動力によ
り上下動自在に支持させた上下シャフト19を配設し、こ
の上下シャフト19の上端部に長さ方向中途部位を嵌合固
着せしめて正面略Ｔ字状にカム操作杆20を取り付けて、
このカム操作杆20を、その一端部に固着せしめて垂設し
たガイドロッド21とにより回転ベース2-1 の中央にロー
ター載置部2-2の両側ガイドシャフト13と平行に位置さ
せて上下動自在に配設し、このカム操作杆20の他端側に
おけるその両側にはカム軸22にて偏心回動可能に軸着せ
しめた対をなす偏心カム23を、前記両側カム突き当て部
15の間隔にて配設せしめてこの偏心カム23を両側カム突
き当て部15間に回転可能に配設する。そして、カム操作
杆20の他端部には両側ガイドシャフト13方向に向けて貫
通状に挿通固着せしめて平面略Ｔ字状にカム起動軸24を
取り付けると共に、このカム起動軸24の両端部側を両偏
心カム23に穿設した長孔25に亘り貫通状に挿通せしめ
て、前記上下シャフト19と両偏心カム23とをカム操作杆
20とカム起動軸24にて連繋せしめてなる。図中26はカム
起動軸24の両端部に固着せしめて垂設したガイドロッド
であり、この両ガイドロッド26によりカム起動軸24は上
下に平行動自在に支持されてカム操作杆20と共に上下に
平行移動する様にしてある。

【００１４】而して、起動部２は上下シャフト19の駆動
機18による上下運動を、該上下シャフト19と共に上下す
るカム操作杆20とカム起動軸24にて連繋せしめた両偏心
カム23に、長孔25の開孔範囲で垂直に移動するカム起動
軸24の上下移動範囲で伝達せしめて該両偏心カム23をカ
ム軸22を支点に回転させることにより、ローター載置部
2-2 を横移動させる水平運動に変換せしめて、ローター
載置部2-2 を水平移動（図４において左方向に移動）さ
せる様に構成してなるものである。

【００１５】尚、本実施例装置はローター４の中心部を
回転主軸３の軸芯線上Ｐに位置させたローター４の回転
原点位置を図３に示した如く、上下シャフト19が下降限
まで下降せしめた状態で偏心カム23の長孔25がカム軸22
の横架高さと同一レベルでその側方に横長状に位置させ
た状態とし、そして、ローター４の中心部が回転主軸３
から横方向に水平に外れるその最大変位位置を図４に示
した如く、上下シャフト19が上昇限まで上昇せしめた状
態で偏心カム23の長孔25がカム起動軸24の垂直移動によ
りカム軸22を支点に斜め右上まで変位せしめた状態、即
ち偏心カム23が反時計方向に回転せしめてローター載置
部2-2 が左方向に横移動した状態（図６参照）としてな
る。従って、ローター４上に配設された両クレードル５
内、例えば一方のクレードル５のみに定数枚の半導体材
料Ａが収容されたカセット６を収め、他方のクレードル
５には前記カセット６を収めない空の状態で本実施例装
置を使用する場合は、図５及び図６に示した如く右側の
クレードル５に定数枚の半導体材料Ａが収容されたカセ
ット６が収められる様に該カセット６を、エッチング工
程，レジスト剥離工程等、これらの処理に伴う一連の洗
浄工程へと順次搬送し、最後に本実施例装置により行な
われる乾燥工程へと搬送する搬送装置に対するカセット
６の掴持位置（掴持形態）を予め設定してから半導体材
料Ａの一連の前処理に伴う乾燥作業を行なう様にする。

【００１６】次に、以上の如く構成した本実施例の水切
乾燥装置の動きを図５及び図６を参照しながら説明する
と、まず初めにローター４の中心部を回転主軸３の軸芯
線上Ｐに位置させた回転原点位置にローター４を待機さ
せた状態にして置く（図５の状態）。この状態で搬送装
置により定数枚の半導体材料Ａが収容されたカセット６
がローター４上右側のクレードル５内に搬入収められる
と、駆動機18が作動を開始して上下シャフト19を上昇せ
しめ、偏心カム23を反時計方向に回転させてローター載
置部2-2 を左方向に水平に移動せしめてローター４の中
心部が回転主軸３の軸芯線上Ｐから左方向に外れて変位
する如くローター４を移動させて回転主軸３に対するロ
ーター４の回転バランスを調整するものである。そし
て、半導体材料Ａの乾燥が終了すると、駆動機18が作動
を開始して上下シャフト19を下降せしめ、偏心カム23を
時計方向に回転させてローター載置部2-2 を右方向に水
平移動せしめてローター４の中心部を回転主軸３の軸芯
線上Ｐに位置させる如くローター４を移動させて該ロー
ター４を当初の回転原点位置に戻す。以後は上記した動
作を繰り返してローター４の回転バランスを調整しなが
ら乾燥作業を行なうものである。

【００１７】尚、上記した実施例にあってはローター４
を回転原点位置から左方向（一方向）のみに水平移動さ
せてその回転バランスを調整する構成形態として詳述し
たが、回転原点位置を境として左右両方向に水平移動さ
せる様にするも可能であり、勿論自由である。又、駆動
機18の作動開始タイミングは搬送装置の動きと所定場所
に配設された検知センサーの働き、そして予め設定され
た乾燥時間のタイマーにより電気的に制御するものであ
り、ローター４の回転バランスを調整する起動部2-3 に
よるローター４の移動量調整は上下シャフト19を上下さ
せる駆動機18として用いたサーボモーターやパルスモー
ターの回転制御、或いは上下シャフト19の上下移動量を
検知する検知センサー等を配設して電気的に制御するも
のである。更に、ローター載置部2-2 を水平移動させる
起動部2-3 として、ボールネジを利用するも勿論自由で
ある。詳しく説明すると、ボールネジを回転ベース2-1
上長手方向に両側ガイドシャフト13と平行に横架配設せ
しめると共に、ボールネジを貫通状に螺合挿通せしめる
ボールナットをローター載置部2-2 のローター取付板14
等の下面に固着具備せしめ、且つボールネジの一端を同
じく回転ベース2-1上に、動力軸を同軸軸芯線上に位置
させて配設したサーボモーターやパルスモーター等その
他の小型の駆動機に直結連繋せしめて、該駆動機により
ボールネジを回転させてローター載置部2-2 を水平移動
させる様にするも勿論自由である。

【００１８】

【発明の効果】本発明半導体材料の水切乾燥装置は叙上
の如く構成してなるから、下記の作用降下を秦する。

【００１９】ローター上に対向状に配設されている両ク
レードル内、例えば一方のクレードルのみに定数枚の半
導体材料が収容されたカセットが収められ、他方のクレ
ードル側には前記カセットが収められていない空の状態
で乾燥装置が使用される使用形態の場合、ローター設置
部を起動部により他方（空）のクレードル側に移動させ
ることにより、ローターは他方のクレードル側に水平に
移動され、回転主軸の軸芯線上Ｐに位置した状態が回転
原点位置となるローターの中心部が回転主軸の軸芯線上
から外れた他方のクレードル側に変位せしめられてロー
ターの回転バランスが調整される。従って、本発明の水
切乾燥装置によれば、従来の様に作業者自身が手作業に
よりダミー半導体材料の補充作業等を行なうと言った手
間の掛かる手作業を一切行なうことなく、回転主軸を回
転中心の原点とするローターを該回転主軸に対して交差
方向に機械的に水平移動されることでローターの回転バ
ランスの調整が可能となり、上記使用形態における作業
性の向上を図り得る。しかも、作業者の労働を大幅に削
減させることができることから、作業者の疲労を軽減さ
せることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明半導体材料の水切乾燥装置の実施の一
例を示した縦断正面図。

【図２】 ローター水平移動機構を示した平面図。

【図３】 図２のIII −III 線に沿えた縦断正面図。

【図４】 ローター載置部を水平移動させた状態の同縦
断正面図。

【図５】 回転主軸の軸芯線上に位置した状態が回転原
点位置となるローターの中心部を該軸芯線上に位置させ
た状態を示した要部の縦断正面図。

【図６】 ローター載置部を水平移動せしめてローター
の中心部を回転主軸の軸芯線上から変位せしめた状態を
示した同要部の縦断正面図。

【符号の説明】

Ａ…半導体材料 １…ロー
ターケーシング ２…ローター水平移動機構 2-1 …回転
ベース 2-2 …ローター載置部 2-3 …起
動部 ３…ローターの回転主軸 ４…ロー
ター ５…クレードル ６…カセ
ット

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年１２月２４日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】全文

【補正方法】変更

【補正内容】

【書類名】 明 細 書

【発明の名称】 半導体材料の水切乾燥装置

【特許請求の範囲】

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体シリコンウェハ
やガラスフォトマスク等の半導体材料のエッチング工
程，レジスト剥離工程等、これらの処理に伴う一連の洗
浄工程等の前処理工程が行なわれた後、最後にスピーン
ドライヤと称されている遠心力を利用して半導体材料に
付着している洗浄液等の水滴を除去してその乾燥を行な
う水切乾燥装置の改良に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及びその問題点】従来、この種の水切乾燥
装置としては種々構造のものが知られている。一般にス
ピンドルドライヤと称されている遠心力を利用して半導
体材料に付着している洗浄液等の水滴を除去してその乾
燥を行なう水切乾燥装置が知られ、半導体材料を定数枚
毎にまとめてそのエッチング処理，レジスト剥離処理，
これらの処理に伴う一連の洗浄処理が順次行なわれ、最
後に水切乾燥処理が行なわれる方式が主流とされてい
る。ところで、この方式に採用されている従来の水切乾
燥装置は、高速回転にて駆動回転させるローターと、こ
のローターを包囲するローターケーシングと、回転主軸
を中心とするローター上に対向状に設置されて半導体材
料を定数枚毎にまとめて収容する両クレードルと、から
構成されいる。然るに、従来の水切乾燥装置は例えば半
導体材料を定数枚毎にまとめて収容した両カセット（通
称、キャリアと称されている）がエッチング工程，レジ
スト剥離工程等、これらの処理に伴う一連の洗浄工程へ
と順次搬送され、最後に半導体材料を収容搬送する両カ
セットが乾燥工程へと搬送されてきた後、両カセットが
回転主軸を中心とするローター上に対向状に配設されて
いる両クレードル内に夫々収められることによって定数
枚毎にまとめられた半導体材料をカセットを介して両ク
レードル内に収容し、ローターを高速回転させて水切り
乾燥を行なう様に構成されている。

【０００３】しかし乍ら、近年において乾燥装置のロー
ター上には上述した様に半導体材料が定数枚毎に収容さ
れた２つのカセットを受けとる２つのクレードルが配設
装備されているにも拘らず、一方（片方）のクレードル
のみに定数枚の半導体材料が収容されたカセットを収
め、他方のクレードルには前記カセットを収めない空の
状態で使用したり、或いは一方のクレードルには定数枚
の半導体材料が収容されたカセットを収め、他方のクレ
ードルには定数枚に満たない枚数の半導体材料が収容さ
れたカセットを収めて使用する等の乾燥装置の使用形態
が使用者によって区々になってきている。従って、従来
では一方のみのクレードルに定数枚の半導体材料を収容
して使用する場合には定数枚のダミー半導体材料を収容
したカセットを他方のクレードルに収めたたり、或いは
定数枚に満たない枚数の半導体材料を他方のクレードル
に収容して使用する場合には該クレードルに収められて
いるカセットに不足枚数分のダミー半導体材料を収容す
るといった補充作業を行なって回転主軸を回転中心とす
るローターの回転バランスの調整を行なわなければなら
ないし、しかも、これらの作業は全て作業者自身が手作
業で行なわなければならず、乾燥作業の低下を招くばか
りか、上記した各処理工程の流れに支障を来す等の数々
の問題が起き、各使用者からその改良が望まれていた。

【０００４】ちなみに、半導体材料を定数枚毎にまとめ
て収容したカセットはエッチング処理工程，レジスト剥
離処理工程、これらの処理工程に伴う一連の洗浄処理工
程、そして最後に水切乾燥処理工程へ搬送装置（搬送ロ
ボット）によって自動的に搬送されるものであり、そし
てこの搬送装置によってカセット内に収容されている半
導体材料の枚数が自動的にカウントされてその枚数がこ
れら各処理工程の中央制御部、所謂中央処理装置に順次
送られて処理される様になっている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明はこの様な従来
事情に鑑みてなされたもので、ダミー半導体材料の補充
作業等を一切行なうことなく、回転主軸を回転中心の原
点とするローターを該回転主軸に対して交差方向に水平
横移動されることでその回転バランスの調整を可能なら
せしめた半導体材料の水切乾燥装置の提供を目的とする
ものである。

【０００６】

【課題を達成するための手段】上記目的を達成するため
に本発明が講じる技術的手段は、ローターケーシング内
にローターを設置し、このローターを回転可能に支持す
る回転主軸を中心とする該ローター上に複数のクレード
ルを対向状に配設し、対向する両クレドル内に半導体材
料を搬入収容してローターの高速回転により水切乾燥す
る水切乾燥装置に於いて、前記ローターケーシングの底
面中心より貫通突出させて同ケーシング内に臨ませた回
転主軸の上端にローター水平移動機構を取り付ける共
に、このローター水平移動機構上にローターを載置して
なり、該ローター水平移動機構を回転主軸の突出上端に
固着支持させて設置する回転ベースと、この回転ベース
上に、前記両クレードルの対向方向に向けて水平移動自
在に配設したローターを載置固定するローター載置部
と、このローター載置部を水平移動させる起動部から構
成したことを特徴とする。

【０００７】

【作 用】而して、上記した本発明の技術的手段によ
れば、起動部を動作させてローターを載置固定するロー
ター設置部を回転主軸に対して交差方向に水平横移動さ
せる、例えばローター上に対向状に配設されている両ク
レードルの内、一方のクレードルのみに定数枚の半導体
材料が収容されたカセットが収められ、他方のクレード
ル側には前記カセットが収められていない空の使用形態
で乾燥装置が使用される場合、ローター設置部を起動部
により他方（空）のクレードル側に移動させることによ
り、ローターは他方のクレードル側に水平に移動され、
回転主軸の軸芯線上に位置した状態が回転原点位置とな
るローターの中心部が回転主軸の軸芯線上から外れた他
方のクレードル側に変位せしめられてローターの回転バ
ランスが調整される。そして、回転主軸に固着支持され
該主軸の回転により回転する回転ベースと共にローター
が高速回転せしめて半導体材料の水切り乾燥が行なわれ
る。

【０００８】

【実 施 例】本発明の実施の一例を図面に基づいて以
下説明すると、図中１は上面開放でその上面開口部を円
形形状を呈する半導体材料Ａの出入れ口とし且つ不図示
の開閉蓋により開閉する円筒筒状に形成されたローター
ケーシング，２はローターケーシング１内に、その底部
中心より貫通突出させて臨ませた回転主軸３の突出上端
に取り付けて設置したローター水平移動機構，４はロー
ター水平移動機構２の後述するローター設置部2aに取り
付けて該機構２上に載置してローターケーシング１内に
設置したローター、５はローター４上にその中心部に向
けて、即ち回転主軸３の軸心線上Ｐに向けて対向状に配
設したクレードルであり、一方又は両方のクレードル５
内に、不図示の搬送装置により搬入されて収められたカ
セット６内の半導体材料Ａを、回転主軸３の上端に設置
され該主軸３の回転により回転するローター水平移動機
構２と共にローター４を高速回転させて水切り乾燥を行
なう様にしてある。

【０００９】クレードル５は、定数枚毎にまとめて例え
ば25枚程度の半導体材料Ａをまとめて一方向に並列状に
収容し得る大きさに形成されているカセット６を収納し
得る周知の形状，大きさを呈し、回転主軸３を中心とす
るローター４上に対向状に配設する。詳しく説明する
と、カセット６を収納し得る大きさで上面を開放させた
平面略矩形状の箱型に形成され、ローター４上に固着せ
しめてその中心に向けて対向状に配設せしめた上面及び
対向面を開放させた平面略コ型状を呈する両支持枠７の
両側壁に軸支せしめてその軸支部を支点に対向側を上下
傾動自在にならせしめた状態でローター４上に対向状に
配設される。回転主軸３は、内部軸芯を上下端に貫通さ
れた内部中空状に形成し、その上端側をローターケーシ
ング１の底部中心より貫通突出させて該ケーシング１内
に臨ませた垂直状態で当該底部に回転自在に装着して、
下端側に取り付けたスプロケット又はプリー８等に亘り
その側方に設置したモーター９からチェーン又はベルト
10等を巻回架け渡してモーター９により駆動回転させて
ローター水平移動機構２と共にローター４を高速回転さ
せる様にしてある。

【００１０】上記ローター水平移動機構２は、ローター
４上に配設された両クレードル５内、例えば一方のクレ
ードル５のみに定数枚の半導体材料Ａが収容されたカセ
ット６が収められ、他方のクレードル５には前記カセッ
ト６が収められない空の使用形態で乾燥装置が使用され
る場合、カセット６が収められたクレードル５側（図５
及び図６において右側）を回転主軸３の軸芯線上Ｐに近
づけてローター４の回転バランスを調整すべくローター
４自体を当初の位置から、即ち回転主軸３の軸芯線上Ｐ
に位置した状態が回転原点位置となるローター４の中心
部を回転主軸３の軸芯線上Ｐから外れたカセット６が収
められていないクレードル５側（図５及び図６において
左側）に変位せしめる如くローター４自体を前記原点位
置から水平に横移動せしめてローター４の回転バランス
を調整するためのもので、回転主軸３の上端に固着支持
させる回転ベース2-1 と、この回転ベース上2-1 に、前
記両クレードル５の対向方向に向けて水平移動自在に配
設したローター４を載置固定するローター載置部2-2
と、このローター載置部2-2 を水平移動させる起動部2-
3 から構成する。

【００１１】回転ベース2-1 は、ローター４と同様に平
面略矩形状に形成され、その中心部に回転主軸３の上端
に嵌合固着せしめて取り付ける取付具11を取り付け、こ
の取付具11をローターケーシング１内に臨む回転主軸３
の上端に取り付けてローターケーシング１内に水平に設
置する。

【００１２】ローター載置部2-2 は、ローター４を載せ
て回転ベース2-1 上を水平に横移動させるためのもの
で、回転ベース2-1 の両側長辺側に、その長辺方向に適
宜の間隔をおいて固着配設した両側の各ガイドブロック
12間に亘りガイドシャフト13を貫通状に挿通せしめて両
側平行で且つ回転ベース2-1 の長辺方向にスライド自在
に設け、回転ベース2-1 の両側短辺側に位置する両側ガ
イドシャフト13の端部間に亘りローター取付板14を固着
せしめて全体形状を回転ベース2-1 の大きさと略同じ程
度の平面略矩形状に枠組み形成し、両側のガイドシャフ
ト13により回転ベース2-1 上長手方向に水平移動自在に
取り付けて、両ローター取付板14上にローター４を載せ
て該取付板14に取付固定する。この場合、ローター４上
の両クレードル５が、回転ベース2-1 の長手方向両側
（両ローター取付板14側）に夫々位置する様に位置決め
ピン等を用いて位置決めを行ないながら両ローター取付
板14上にローター４を載せ、ボルト止めにて固定するも
のである。

【００１３】図中15は、両ローター取付板14の対向面
に、一方は直接固着せしめ、他方は支持軸16の突端部に
固着せしめて両側のガイドシャフト13間に平行で且つ後
述する偏心カム23の直径間隔にて互いに向き合う様に配
設した対向面に潤滑性の高い合成樹脂板17を備えたロー
ター載置部2-2 のカム突き当て部であり、この両カム突
き当て部15が偏心カム23の外周に常時接触した状態で位
置し、偏心カム23の回転に伴いローター載置部2-2 を回
転ベース2-1 の長手方向に移動させる、即ちローター４
を回転ベース2-1 の長手方向に移動させる様にしてあ
る。

【００１４】起動部2-3 は、ローター載置部2-2 を回転
ベース2-1 の長辺方向に水平に移動させるその動作を起
こさせるためのもので、回転主軸３内を上下端貫通状に
挿通さると共に下端側をサーボモーターやパルスモータ
ー等その他の駆動機18に連繋させて該駆動機18の回転動
力により上下動自在に支持させた上下シャフト19を配設
し、ローター４上に突出臨ませた上下シャフト19の上端
には長さ方向中途部位を嵌合固着せしめて正面略Ｔ字状
にカム操作杆20を取り付けて、このカム操作杆20を、そ
の一端部に固着せしめて垂設したガイドロッド21とによ
り回転ベース2-1 の中央にローター載置部2-2 の両側ガ
イドシャフト13と平行に位置させて上下動自在に配設
し、カム操作杆20の他端側におけるその両側にはカム軸
22にて偏心回動可能に軸着せしめた対をなす偏心カム23
を、前記両側カム突き当て部15の間隔にて配設せしめて
この偏心カム23を両側カム突き当て部15間に回転可能に
配設する。更に、カム操作杆20の他端部には両側ガイド
シャフト13方向に向けて貫通状に挿通固着せしめて平面
略Ｔ字状にカム起動軸24を取り付けると共に、このカム
起動軸24の両端部側を両偏心カム23に穿設した長孔25に
貫通状に挿通せしめて、前記上下シャフト19と両偏心カ
ム23とをカム操作杆20とカム起動軸24にて連繋せしめ
る。即ち、上下シャフト19の上下の動きをカム操作杆20
とカム起動軸24を介して両偏心カム23に伝え、該両偏心
カム23をそのカム軸22を支点に反時計方向又は時計方向
に回転させてローター載置部2-2 を水平に横移動させる
ものである。

【００１５】図中26は、カム起動軸24の両端部に固着せ
しめて垂設したガイドロッドであり、この両ガイドロッ
ド26によりカム起動軸24は上下に平行動自在に支持さ
れ、上下シャフト19の垂直な上下の動きに対してカム操
作杆20と共に上下に平行移動するものである。

【００１６】而して、起動部2-3 は上下シャフト19の駆
動機18による上下運動を、該上下シャフト19と共に上下
するカム操作杆20とカム起動軸24にて連繋せしめた両偏
心カム23に、長孔25の開孔範囲で上下に垂直に移動する
カム起動軸24の上下移動範囲で伝達せしめて該両偏心カ
ム23をカム軸22を支点に回転させることにより、ロータ
ー載置部2-2 を横移動させる水平運動に変換せしめて、
ローター載置部2-2 を水平移動（図４において左方向に
移動）させる様に構成してなるものである。

【００１７】尚、本実施例装置はローター４の中心部を
回転主軸３の軸芯線上Ｐに位置させたローター４の回転
原点位置を図３に示した如く、上下シャフト19が下降限
まで下降せしめた状態で偏心カム23の長孔25がカム軸22
の横架高さと同一レベルでその側方に横長状に位置させ
た状態とし、そして、ローター４の中心部が回転主軸３
から横方向に水平に外れるその最大変位位置を図４に示
した如く、上下シャフト19が上昇限まで上昇せしめた状
態で偏心カム23の長孔25がカム起動軸24の垂直移動によ
りカム軸22を支点に斜め右上まで変位せしめた状態、即
ち偏心カム23が反時計方向に回転せしめてローター載置
部2-2 が左方向に横移動した状態（図６参照）としてな
る。従って、ローター４上に配設された両クレードル５
内、例えば一方のクレードル５のみに定数枚の半導体材
料Ａが収容されたカセット６を収め、他方のクレードル
５には前記カセット６を収めない空の使用形態で本実施
例装置を使用する場合は、図５及び図６に示した如く右
側のクレードル５に定数枚の半導体材料Ａが収容された
カセット６が収められる様に該カセット６を、エッチン
グ工程，レジスト剥離工程等、これらの処理に伴う一連
の洗浄工程へと順次搬送し、最後に本実施例装置により
行なわれる乾燥工程へと搬送する搬送装置に対するカセ
ット６の掴持位置（掴持形態）を予め設定してから半導
体材料Ａの一連の前処理に伴う乾燥作業を行なう様にす
る。

【００１８】次に、以上の如く構成した本実施例の水切
乾燥装置の動きを図５及び図６を参照しながら説明する
と、まず初めにローター４の中心部を回転主軸３の軸芯
線上Ｐに位置させた回転原点位置にローター４を待機さ
せた状態にして置く（図５の状態）。この状態で搬送装
置により定数枚の半導体材料Ａが収容されたカセット６
がローター４上右側のクレードル５内に搬入収められる
と、起動部2-3 の駆動機18が作動を開始して上下シャフ
ト19を上昇せしめ、偏心カム23を反時計方向に回転させ
てローター載置部2-2 を左方向に水平に移動せしめてロ
ーター４の中心部が回転主軸３の軸芯線上Ｐから左方向
に外れて変位する如くローター４を移動させて回転主軸
３に対するローター４の回転バランスを調整するもので
ある。そして、半導体材料Ａの乾燥が終了すると、駆動
機18が作動を開始して上下シャフト19を下降せしめ、偏
心カム23を時計方向に回転させてローター載置部2-2 を
右方向に水平移動せしめてローター４の中心部を回転主
軸３の軸芯線上Ｐに位置させる如くローター４を移動さ
せて該ローター４を当初の回転原点位置に戻す。以後は
上記した動作を繰り返してローター４の回転バランスを
調整しながら乾燥作業を行なうものである。従って、回
転主軸３を回転中心の原点とするローター４を該回転主
軸３の軸芯線上Ｐに対して交差する水平方向に機械的に
移動されることで、ローター４の回転バランスの調整を
自動的に行なうことができる。

【００１９】図７は、駆動機18による上下シャフト19の
上下動自在な支持に変えて、同上下シャフト19の下端
を、ローテーテイングユニオン27を介してその側方に設
置した周方向の回転を軸方向の動きに変える変換機能を
備えたＡＣモーター等の駆動機28に支持させることで、
上下シャフト19を回転主軸３に上下貫通状で上下動自在
に配設し、前記駆動機28により上下シャフト19に上下運
動を与えてローター載置部2-2 を水平横移動させる様に
起動部2-3 の一部を構成した他の実施例を示す。詳しく
説明すると、通常のモーターと同様に回転する本体部分
の回転運動を歯車機構を介してこの歯車機構内臓のボッ
クス28a から出没自在に突出させた連結ロッド29に対し
て上下の動きに変換する上下変換機能を備えた駆動機28
を図示した如く回転主軸３及び上下シャフト19の側方
に、連結ロッド29を下方に向けた下向き垂直に設置し、
そのロッド29先端に上下シャフト19との連結腕30の一端
を固着せしめて同連結腕30を上下シャフト19方向に向け
て水平に取り付けると共に、連結腕30の他端にはローテ
ーテイングユニオン27の一方を取り付け、上下シャフト
19の下端に取り付けたローテーテイングユニオン27の他
方とによって、駆動機28と上下シャフト19とを連結する
ことで、上下シャフト19を駆動機28により上下動自在に
支持させると共に、回転主軸３の回転方向に対してはロ
ーテーテイングユニオン27によりフリー状態にする。従
って、上下シャフト19はローター４を高速回転させての
水切り乾燥時に回転主軸３と共に回転する。即ち、上下
シャフト19は上端に取り付けたローター４と共に回転す
るカム操作杆20と一緒に回転するものである。

【００２０】而して、斯様の様にローター４の横移動量
調整機構を、回転主軸３の内部に上下貫通状に挿通する
と共にローテーテイングユニオン27を介して回転主軸３
の回転方向に回転自在に配設した上下シャフト19を、そ
の下端を支持する駆動機18により上下に移動させること
で、ローター４を載置固定するローター載置部2-2 を水
平横移動させる様に構成してなるから、両グレードル５
に対する半導体材料Ａの搬入枚数により変わる、例えば
一方のクレードル５には定数枚の半導体材料Ａが収容さ
れたカセット６を収められ、他方のクレードル５には定
数枚に満たない枚数の半導体材料Ａが収容されたカセッ
ト６を収めて使用する等の半導体材料Ａの搬入枚数によ
り変わる種々の使用形態に応じたローター４の回転バラ
ンスの調整を設定にするために、その使用形態に応じた
上下シャフト19の上下移動に伴うローター載置部2-2 の
水平横移動量を乾燥装置の中央制御部に入力（記憶）す
る準備段階で、ローター４を高速回転させながら上下シ
ャフト19を上下に動かしてローター載置部2-2 の前記水
平横移動量を種々の使用形態に応じて決定することがで
きる。即ち、使用者の使用形態に応じたローター載置部
2-2 の個々の水平横移動量にて中央制御部に入力した状
態で提供することができることから、便利且つ実用的効
果が大である。

【００２１】尚、上記した実施例にあってはローター４
を回転原点位置から左方向（一方向）のみに水平移動さ
せてその回転バランスを調整する構成形態として詳述し
たが、回転原点位置を境として左右両方向に水平移動さ
せる様にするも可能であり、勿論自由である。

【００２２】又、駆動機18の作動開始タイミングは搬送
装置の動きと所定場所に配設された検知センサーの働
き、そして予め設定された乾燥時間のタイマーにより電
気的に制御するものであり、ローター４の回転バランス
を調整する起動部2-3 によるローター４の移動量調整は
上下シャフト19を上下させる駆動機18として用いたサー
ボモーターやパルスモーターの回転制御、或いは上下シ
ャフト19の上下移動量を検知する検知センサー等を配設
して電気的に制御するものである。

【００２３】更に、ローター載置部2-2 を水平移動させ
る起動部2-3 として、ボールネジを利用するも勿論自由
である。詳しく説明すると、ボールネジを回転ベース2-
1 上長手方向に両側ガイドシャフト13と平行に横架配設
せしめると共に、ボールネジを貫通状に螺合挿通せしめ
るボールナットをローター載置部2-2 のローター取付板
14等の下面に固着具備せしめ、且つボールネジの一端を
同じく回転ベース2-1上に、動力軸を同軸軸芯線上に位
置させて配設したサーボモーターやパルスモーター等そ
の他の小型の駆動機に直結連繋せしめて、該駆動機によ
りボールネジを回転させてローター載置部2-2 を水平移
動させる様にするも勿論自由である。

【００２４】

【発明の効果】本発明半導体材料の水切乾燥装置は叙上
の如く構成してなるから、下記の作用降下を秦する。ロ
ーター上に対向状に配設されている両クレードル内、例
えば一方のクレードルのみに定数枚の半導体材料が収容
されたカセットが収められ、他方のクレードル側には前
記カセットが収められていない空の使用形態で乾燥装置
が使用される場合、ローター設置部を起動部により他方
（空）のクレードル側に移動させることにより、ロータ
ーは他方のクレードル側に水平に移動され、回転主軸の
軸芯線上Ｐに位置した状態が回転原点位置となるロータ
ーの中心部が回転主軸の軸芯線上から外れた他方のクレ
ードル側に変位せしめられてローターの回転バランスが
調整される。従って、本発明の水切乾燥装置によれば、
従来の様に作業者自身が手作業によりダミー半導体材料
の補充作業等を行なうと言った手間の掛かる手作業を一
切行なうことなく、回転主軸を回転中心の原点とするロ
ーターを該回転主軸に対して交差方向に機械的に水平移
動されることでローターの回転バランスの調整が可能と
なり、上記使用形態における作業性の向上を図り得る。
しかも、作業者の労働を大幅に削減させることができる
ことから、作業者の疲労を軽減させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明半導体材料の水切乾燥装置の実施の一
例を示す縦断正面図

【図２】 ローター水平移動機構を示す平面図

【図３】 図２のIII −III 線に沿えた縦断正面図

【図４】 ローター載置部を水平移動させた状態の同縦
断正面図

【図５】 回転主軸の軸芯線上に位置した状態が回転原
点位置となるローターの中心部を該軸芯線上に位置させ
た状態を示す要部の縦断正面図

【図６】 ローター載置部を水平移動せしめてローター
の中心部を回転主軸の軸芯線上から変位せしめた状態を
示す同要部の縦断正面図

【図７】 ローター水平移動機構を構成する起動部の一
部を変えた他の実施例を示す縦断正面図

【符号の説明】 Ａ…半導体材料 １…ロー
ターケーシング ２…ローター水平移動機構 2-1 …回転
ベース 2-2 …ローター載置部 2-3 …起
動部 ３…ローターの回転主軸 ４…ロー
ター ５…クレードル ６…カセ
ット

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図７

【補正方法】追加

【補正内容】

【図７】

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ローターケーシング内にローターを設置
   し、このローターの回転主軸を中心とする該ローター上
   に対向状に配設された両クレドル内に搬入収容された半
   導体材料をローターの高速回転により水切乾燥する水切
   乾燥装置に於いて、前記回転主軸にローター水平移動機
   構を取り付けてこのローター水平移動機構上にローター
   を載置し、該ローター水平移動機構を回転主軸の上端に
   固着支持させて設置する回転ベースと、回転ベース上
   に、前記両クレードルの対向方向に向けて水平移動自在
   に配設したローターを定着載置するローター載置部と、
   ローター載置部を水平移動させる起動部から構成したこ
   とを特徴とする半導体材料の水切乾燥装置。