JPH0834613A - 高均質高純度イットリウム含有ジルコニア粉末の製造法 - Google Patents

高均質高純度イットリウム含有ジルコニア粉末の製造法

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JPH0834613A
JPH0834613A JP6093133A JP9313394A JPH0834613A JP H0834613 A JPH0834613 A JP H0834613A JP 6093133 A JP6093133 A JP 6093133A JP 9313394 A JP9313394 A JP 9313394A JP H0834613 A JPH0834613 A JP H0834613A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 組成変動がなく、均質度が高く、しかも粒径
が小さく、更に焼結性の良いY−ZrO2粉末を経済的に
製造し得る方法を提供する。 【構成】 ジルコニウム、イットリウム及び尿素の混合
溶液を調整し、これに硫酸アンモニウム溶液を滴下して
水酸化物を共沈させ、それを熱分解及び仮焼することに
よってイットリウム含有ジルコニア粉末とする方法にお
いて、前記ジルコニウム溶液に過酸化水素水を加え、か
つ、該沈澱生成後に70℃以上で熟成することを特徴と
している。高靭性で再現性の高いPSZ焼結体の原料粉
末として、構造材料用原料粉末として好適である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は組成変動のない易焼結性
高純度イットリウム含有ジルコニア粉末の製造法に関す
る。高靭性で再現性の高いPSZ焼結体の原料粉末とし
て、構造材料用原料粉末として好適である。
【0002】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】ZrO2
セラミックスは高温において耐酸性及び導電性に優れ、
熱膨張係数及び熱伝導が比較的大きく、しかも高温での
靭性に優れ、更には高温において赤外線及び可視光線の
透過性が比較的良い特性を有する。そのため、耐熱材料
は、高温照明材料等として利用されている。
【0003】ジルコニア焼結体の最も大きな用途は耐火
物であり、PZT等の電子材料、耐アルカリガラス、自
動車排気ガス用センサー、ZTC等、ファインセラミッ
クスとしての用途は全体の20%程度である。それらの
中で、強靱性ジルコニア(PZT)の用途は全体の2%程
度である。
【0004】一方、イットリウム含有ジルコニア〔Y−
ZrO2〕焼結体は、高強度・強靱性・耐熱性・化学的安
定性等の機能を有するため、強靱性構造材料として広範
囲に利用されている。強靱性ジルコニア(ZTC)や部分
安定化ジルコニア(PSZ)の利用は最近かなり進展して
きたが、それに伴い材料に対し益々厳しい要求がなされ
てきた。
【0005】Y−ZrO2焼結体は、従来、PSZ型ZT
Cの応用用途として、粉砕用ボール、刃物類(包丁、
鉄、電気バリカンの刃)、スポーツ用品(ゴルフクラブ・
ヘッドのフェース、ゴルフ靴のスパイク・ピン)等にシ
ェアを占めてきた。今後、光ファイバー用フェルール、
家庭電気部品(磁気ヘッド・ローラー、ガイド、軸受
等)、機械部品(ノズル、ダイス、ポンプ等)としての伸
びが期待されている。
【0006】PSZ焼結体の破壊強度や破壊靭性はイッ
トリアの含有量に依存するが、イットリア含有量が同じ
場合でも、焼結体の微構造によってその性能は大きく影
響されている。最近では、組成変動が小さく、また粒径
の小さい高密度焼結体が必要とされている。
【0007】従来、Y−ZrO2用の原料粉末は、工業的
に中和共沈法、加水分解法、アルコキシド法の3つの方
法によって製造されている。勿論、ジルコニア原料粉末
の調製法には上記3方法以外のものもあるが、現在それ
ほど一般的な方法とはなっていない。
【0008】中和共沈法及び加水分解法においては、高
純度のジルコニウム塩(特に、ZrOCl2)と安定化剤(イ
ットリウム塩)の混合溶液から水酸化物を沈殿させ、こ
れを水洗・乾燥・仮焼・粉砕してY−ZrO2粉末を得て
いる。また、アルコキシド法においては、ジルコニウム
と安定化剤のアルコキシドを有機溶媒中で混合し、これ
を加水分解してゾル化に引続きゲル化した後、乾燥・粉
砕・仮焼・再粉砕している。
【0009】ジルコニウムとイットリウムの分布が不均
質になると、焼結体の破壊強度や破壊靭性のバラツキが
大きくなり、材料としての再現性が悪くなる。この点、
中和共沈法又は加水分解法由来の原料粉末から作成され
た焼結体の場合、組成変動が比較的大きく、しかも破壊
靭性のバラツキが大きいので、構造材料としてあまり満
足できるものではない。また、アルコキシド法由来の焼
結体では、組成変動が比較的小さいものの、コスト的に
はかなり問題がある。
【0010】このように、構造材料用として用いられる
Y−ZrO2焼結体の原料粉末は、微粒・易焼結性・組成
の均一性等が要求される。然るに、現在使用されている
Y−ZrO2粉末は組成変動が大きいために、これから均
質な微構造を持った焼結体を作成することは極めて難し
い。
【0011】本発明は、かゝる事情のもとで、組成変動
がなく、均質度が高く、しかも粒径が小さく、更に焼結
性の良いY−ZrO2粉末を経済的に製造し得る方法を提
供することを目的としている。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明者は、前記課題を
解決するために鋭意研究を重ねた結果、ジルコニウム・
イオン〔Zr4+〕を過酸化水素〔H22〕水によってマ
スクし、ほぼ同じpH領域でイットリウム・イオン〔Y
3+〕と共沈させることによって、組成変動のない高均質
Y−ZrO2(t−相)を製造できることを見い出した。
【0013】すなわち、本発明は、ジルコニウム、イッ
トリウム及び尿素の混合溶液を調整し、これに硫酸アン
モニウム溶液を滴下して水酸化物を共沈させ、それを熱
分解及び仮焼することによってイットリウム含有ジルコ
ニア粉末とする方法において、前記ジルコニウム溶液に
過酸化水素水を加え、かつ、該沈澱生成性後に70℃以
上で熟成することを特徴とする組成変動のない易焼結性
高純度イットリウム含有ジルコニア粉末の製造法を要旨
としている。
【0014】
【作用】以下に本発明を更に詳細に説明する。
【0015】PSZ焼結体の作成において、その微構造
や物性を決める最も重要な要因は、原料粉末の特性であ
る。粉末特性の中で特に重要なものは、二次粒子の有無
と安定剤(Y3+)の分布である。二次粒子の存在は、成形
体の充填性を不均一にするのみならず焼結体の微構造も
不均一にし、結果としてその焼結を阻害する。また、安
定化剤の不均一分布は、複数の結晶相の出現や不均一な
微構造をもたらす。例えば、焼結体の中で安定化剤を多
量に含む領域は、粒径の大きな立方晶(c−相)からな
る。これに対し安定化剤の少ない領域は、粒径の小さい
不安定な正方晶(t−相)からなる。したがって、焼結体
の化学組成が同じであっても、安定化剤の不均一性の程
度によってその微構造が影響され、結果として破壊強度
や破壊靭性などの機械的性質が大きく変動する。
【0016】湿式法により複合酸化物を作成する場合、
一般に中和共沈法を利用することが多い。組成変動のな
い共沈物を中和共沈法によって調製するためには、一般
に両イオンの沈殿領域がpH>4以内であることが必要
と言われる。Zr4+及びY3+は、それぞれ酸性領域(pH
>1)及び弱アルカリ領域(pH>7)において水酸化物
を沈殿する。したがって、Zr4+及びY3+の沈殿領域の
間には、約ΔpH=6もの差がある。上記混合溶液中に
アンモニア水〔NH4OH〕を滴下すると、pH=1〜
2において先ず水酸化ジルコニウム〔Zr(OH)4〕が沈
殿し、次いでpH=7〜7.5において水酸化イットリ
ウム〔Y(OH)3〕が沈殿する。すなわち、通常の中和
沈殿法においては、水酸化物が2段階に分かれて沈殿し
てくる。したがて、中和共沈法の沈殿条件を如何に制御
しても、組成変動のない共沈物又は仮焼粉末を得ること
は原理的に不可能である。
【0017】一方、本発明の原理は以下のとおりであ
る。
【0018】Zr4+とY3+を均質に共沈させる方法とし
て、マスキング剤を利用してZr4+の溶解度積を小さく
する方法、つまり、Zr4+のpH−溶解度曲線をY3+の
値に接近させる方法である。上記マスキング法で得られ
る共沈物は、原理的に組成変動のないものになる。マス
キング剤の使用が可能になるには、以下の条件をクリア
ーする必要がある。
【0019】すなわち、 pH−溶解度曲線がシフトして、共存イオンの値に近
づくこと、 共存イオンに悪い影響を与えないこと、 共沈物及び仮焼粉末に残存しないこと、等である。
【0020】これらの条件を満たすマスキング剤の一つ
として、過酸化水素〔H22〕がある。H22の存在下
では、Zr4+のpH−溶解度曲線はpH=4近傍までシ
フトされる。したがって、H22の存在下におけるZr4
+とY3+のpH−溶解度曲線は、見掛上、約ΔpH=3.
5以内に接近したことになる。それ故、H22を使用す
ることによって、組成変動の極めて小さい共沈物を得る
ことが可能である。
【0021】塩基沈殿剤として、苛性ソーダ〔NaO
H〕や苛性カリ〔KOH〕等のアルカリを用いると、共
沈物のみならず仮焼粉末中にも少量のアルカリ金属が残
存し、それが焼結性や焼結体の微構造或いは焼結体の破
壊靭性などにも悪い影響を及ぼす。また、NH4OHを
用いると共沈物の純度は高くなるものの、沈殿の性状は
かなり悪くなる。沈殿の性状が悪くなると、洗浄や濾過
が困難になるばかりでなく、不純物の吸着や吸蔵が著し
く増加する。マスキング剤を含む混合溶液にNH4OH
を使用すると、通常の共沈法に比べ沈殿の性状は更に悪
くなる。
【0022】しかし、沈殿の性状を良くする方法とし
て、均質沈殿法や沈澱性状良質化法があり、本発明で
は、後者の沈澱性状良質化法を採用するものである。マ
スキング剤の使用に際して、沈殿性状良質化法で得られ
る共沈物を尿素中で十分熟成することによって、比較的
組成変動のない、良質の共沈物に改良できる。
【0023】本発明は、以下の3段階のプロセスから構
成される。すなわち、第1段階は、Zr4+溶液中にH2
2を滴下し、Zr4+をマスクする過程である。先ず、Zr4
+溶液中に所定量のH22を添加し、次いで安定化剤で
あるY3+溶液を所定量添加し、更に尿素を添加して混合
溶液を調製する。H22の添加量は〔H22〕/〔Zr4
+〕=2×10-3〜1×10-2(mol ratio)の範囲が望ま
しい。添加量が2×10-3(mol ratio)以下になると、
Zr4+のマスク効果は認められるものの、その効果は十
分でない。一方、その添加量が1×10-2(molratio)以
上になると、マスキング効果は殆ど変わらなくなる。し
かしながら、母液中に存在する過剰のH22が急速に発
泡するため、沈殿の飛散が起こったり、生成した沈殿の
性状が不均質になったりする。Y3+の添加量は、必要に
応じて任意に変化させることが可能である。また、尿素
の添加量は〔(NH2)2CO/Zr4+〕=1〜20(mol ra
tio)の範囲が望ましい。
【0024】ここで、Zr4+溶液、Y3+溶液は、それら
の塩化物や酸化物等の水溶液が用いられる。但し、上記
溶液として硫酸塩を用いると、尿素添加の際、過酸化水
素水によるZr4+のマスキングがデスマスキングされ、
直ちに水酸化ジルコニウムが沈殿してくる。その結果、
尿素による均質沈殿法が利用できない。また、弗化物を
用いると、Zr4+は弗素によって強力にマスキングされ
るため、尿素を使用した均質沈殿法では沈殿が生成しな
い。
【0025】第2段階は、混合溶液中に(NH4)2SO4
溶液を滴下して共沈物を得る過程である。(NH4)2SO
4の添加量は[(NH4)2SO4]/[Zr4+]=0.15〜
1.0(mol ratio)の範囲が望ましい。添加量が0.15
(mol ratio)以下になると、(NH4)2SO4の沈澱性状の
良質化効果は認められるものの、その効果は十分でな
い。一方、その添加量1.0(mol ratio)以上になると、
沈澱性状の良質化効果が顕著になる。しかも、共沈物が
粗大化するのみならず、仮焼物の1次粒子サイズも著し
く大きくなり、結果として仮焼物は難焼結性になる。尿
素を含む混合溶液中に(NH4)2SO4を添加すると、Zr
4+に対するH22のマスクが破られ、直ちに沈澱が生成
してくる。
【0026】第3段階は、引き続き一旦生成した共沈物
を70℃以上で熟成する過程である。熟成温度に上限は
特にないが、100℃以下が望ましい。得られる沈澱は
洗浄性や濾過性が極めて良好である。
【0027】上記3過程を経て得られる共沈物は、通常
の洗浄・乾燥・熱分解・仮焼過程を経てY−ZrO2粉末
になる。本発明によって得られるY−ZrO2粉末は高純
度で、組成変動が小さく、しかも易焼結性である。
【0028】本発明は、従来の中和共沈法に“マスキン
グ法”及び“沈澱高性状化法”並びに“熟成”を組合せ
た新しい共沈法である。この改良型共沈法は、従来、中
和共沈法の適用が困難であったpH−溶解度曲線の著し
く異なる複数イオンを含む混合溶液から、組成変動のな
い均一な共沈物を製造する方法である。この方法で得ら
れる共沈物は性状が一段と良く、その仮焼物は高純度
で、易焼結性であり、しかも組成変動が殆どないという
特徴がある。
【0029】次に本発明の実施例を示す。
【0030】
【実施例1】濃度0.1molのオキシ塩化ジルコニウム溶
液48.5ml中に過酸化水素水(30%)を2.5mlを加え
た後、これに濃度0.1molの塩化イットリウム溶液1.
5mlと尿素30gを添加して混合溶液を調整した。この
混合溶液に濃度0.1molの硫酸アンモニウム溶液を滴下
して共沈物を得た。引き続きこのスラリーを撹拌しなが
ら5℃/minで昇温し、100℃で2hrs熟成させた。得
られた共沈物を洗浄及び乾燥した後、酸素雰囲気中60
0℃で熱分解し、引続き900℃にて2hrs仮焼した。
【0031】得られた仮焼物の化学組成はY23(3mol
%)−ZrO2で、結晶相は100%正方晶であり、組成
変動は2×10-3であった。静水圧下2ton/cm2で成形
した圧粉体を、酸素雰囲気中5℃/min定速昇温し、1
500℃まで加熱したところ、理論密度の約97%の嵩
密度を有した焼結体が得られた。
【0032】
【実施例2】実施例1において、Zr4+とY3+の混合量
を変え、化学組成を変化させて共沈物を調製したとこ
ろ、Y23=2〜15mol%の範囲においてはほぼ同様
の結果が得られた。但し、Y23=10mol%の範囲を
超えると、イットリウムの添加量と共に共沈物の性状は
徐々に幾分悪くなり、それに伴って組成変動も多少大き
くなる傾向を示した。
【0033】
【比較例1】濃度0.1molのオキシ塩化ジルコニウム溶
液48.5mlに過酸化水素水(30%)を2.5ml加えた
後、これに濃度0.1molの塩化イットリウム溶液1.5m
lと尿素30gを添加して混合溶液を調整した。一方、濃
度0.1mlの硫酸アンモニウム溶液にアンモニア水を加
えてpH=8〜9に調整した。この硫酸アンモニウム溶
液を、前記混合溶液に溶下して共沈物を得た。引き続き
スラリーを撹拌しながら5℃/minで昇温し、100℃
で2hrs熟成させた。得られた共沈物を洗浄及び乾燥し
た後、酸素雰囲気中600℃で熱分解し、引続き900
℃にて2hrs仮焼した。得られた仮焼物の化学組成はY2
3(3mol%)−ZrO2で、結晶相は100%正方晶であ
り、組成変動は4×10-3であった。静水圧下2ton/c
m2で成形した圧粉体を、酸素雰囲気中5℃/min定速昇
温し、1500℃まで加熱したところ、理論密度の約9
6%の嵩密度を有した焼結体であった。
【0034】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
得られるY−ZrO2粉末は殆ど組成変動がないのみなら
ず、コスト的にも極めて有利である。したがって、本発
明によって得られるY−ZrO2粉末は、高靭性で再現性
の高いPSZ焼結体の原料粉末として、構造材料用原料
粉末として広く利用される可能性が高い。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ジルコニウム、イットリウム及び尿素の
    混合溶液を調整し、これに硫酸アンモニウム溶液を滴下
    して水酸化物を共沈させ、それを熱分解及び仮焼するこ
    とによってイットリウム含有ジルコニア粉末とする方法
    において、前記ジルコニウム溶液に過酸化水素水を加
    え、かつ、該沈澱生成後に70℃以上で熟成することを
    特徴とする組成変動のない易焼結性高純度イットリウム
    含有ジルコニア粉末の製造法。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004096713A1 (en) * 2003-04-30 2004-11-11 Magnesium Elektron Ltd. Process for preparing zirconium oxides and zirconium-based mixed oxides
FR2868768A1 (fr) * 2004-04-07 2005-10-14 Rhodia Chimie Sa Composition a base d'oxydes de zirconium et d'ytrium, procede de preparation et utilisation dans un systeme catalytique
JP2014189474A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Doshisha 高強度強靱性ZrO2−Al2O3系固溶体セラミックスの作製法
CN114394830A (zh) * 2021-12-28 2022-04-26 中红外激光研究院(江苏)有限公司 一种高强度氧化锆陶瓷的制备方法
CN115287064A (zh) * 2022-09-01 2022-11-04 北京航空航天大学 一种稀土掺杂ysz磷光粉末的制备方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5935029A (ja) * 1982-08-20 1984-02-25 Etsuro Kato ジルコニア系微粉末の製造方法
JPH0476334A (ja) * 1990-07-16 1992-03-11 Sanki Eng Co Ltd 冷房装置および冷暖房装置
JPH04104910A (ja) * 1990-08-17 1992-04-07 Chichibu Cement Co Ltd 水和ジルコニウムゾルの製造方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5935029A (ja) * 1982-08-20 1984-02-25 Etsuro Kato ジルコニア系微粉末の製造方法
JPH0476334A (ja) * 1990-07-16 1992-03-11 Sanki Eng Co Ltd 冷房装置および冷暖房装置
JPH04104910A (ja) * 1990-08-17 1992-04-07 Chichibu Cement Co Ltd 水和ジルコニウムゾルの製造方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004096713A1 (en) * 2003-04-30 2004-11-11 Magnesium Elektron Ltd. Process for preparing zirconium oxides and zirconium-based mixed oxides
CN100374376C (zh) * 2003-04-30 2008-03-12 镁电子有限公司 锆基氧化物的制备方法和用途
US7632477B2 (en) 2003-04-30 2009-12-15 Magnesium Elektron, Ltd. Process for preparing zirconium oxides and zirconium-based mixed oxides
KR101121876B1 (ko) * 2003-04-30 2012-03-19 마그네슘 일렉트론 리미티드 지르코늄 산화물 및 지르코늄계 혼합 산화물의 제조 방법
FR2868768A1 (fr) * 2004-04-07 2005-10-14 Rhodia Chimie Sa Composition a base d'oxydes de zirconium et d'ytrium, procede de preparation et utilisation dans un systeme catalytique
WO2005100248A1 (fr) * 2004-04-07 2005-10-27 Rhodia Chimie Composition a base d'oxydes de zirconium et d'yttrium, procede de preparation et utilisation dans un systeme catalytique
JP2007532453A (ja) * 2004-04-07 2007-11-15 ロディア・シミ ジルコニウム及びイットリウムをベースとする組成物、その製造方法並びに触媒系におけるその使用
JP2014189474A (ja) * 2013-03-28 2014-10-06 Doshisha 高強度強靱性ZrO2−Al2O3系固溶体セラミックスの作製法
CN114394830A (zh) * 2021-12-28 2022-04-26 中红外激光研究院(江苏)有限公司 一种高强度氧化锆陶瓷的制备方法
CN114394830B (zh) * 2021-12-28 2023-06-09 中红外激光研究院(江苏)有限公司 一种高强度氧化锆陶瓷的制备方法
CN115287064A (zh) * 2022-09-01 2022-11-04 北京航空航天大学 一种稀土掺杂ysz磷光粉末的制备方法
CN115287064B (zh) * 2022-09-01 2023-11-14 北京航空航天大学 一种稀土掺杂ysz磷光粉末的制备方法

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