JPH083426A - 成形用エポキシ樹脂組成物 - Google Patents
成形用エポキシ樹脂組成物Info
- Publication number
- JPH083426A JPH083426A JP6136049A JP13604994A JPH083426A JP H083426 A JPH083426 A JP H083426A JP 6136049 A JP6136049 A JP 6136049A JP 13604994 A JP13604994 A JP 13604994A JP H083426 A JPH083426 A JP H083426A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- volume
- less
- epoxy resin
- component
- resin composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Abstract
を示す成形物を与える成形用樹脂組成物を提供するこ
と。 【構成】150℃での溶融粘度が1ポイズ以上20ポイ
ズ以下のエポキシ樹脂中に、平均粒径0.1μm以上
1.5μm以下の球状粉末(x成分)と、平均粒径2μ
m以上15μm以下の球状粉末(y成分)と、平均粒径
が20μm以上70μm以下の球状粉末(z成分)、ま
たはこれらと破砕状粉末(m成分)からなる充填材を含
有してなり、x、y、z成分の合計体積に占める各x、
y、z成分の割合が、それぞれ10体積%以上24体積
%以下、0.1体積%以上36体積%以下、57体積%
以上76体積%以下であり、m成分の充填材に占める割
合が1重量%以上30重量%以下であり、硬化物のガラ
ス転移点温度が150℃以上であることを特徴とする成
形用エポキシ樹脂組成物。
Description
ァー成形に適した充填材含有エポキシ樹脂組成物に関
し、特に、電子部品の封止用材料として有用なエポキシ
樹脂組成物に関する。
半導体の封止には、経済的に有用なエポキシ樹脂組成物
のトランスファーモールドが行われている。特に、最近
では、LSIの表面実装が行われており、半導体の基盤
への実装時に半導体パッケージが直接半田浴中に浸漬さ
れる場合が増えてきている。この時、封止パッケージが
200 ℃以上の高温にさらされるため、封止パッケージ中
に吸湿していた水分が膨張してクラックが入ったり、熱
ストレスによる応力のため素子や金属フレームと封止材
界面との間に剥離を生じる。クラックや剥離界面から侵
入した湿気等の影響により、素子の不良が発生すること
が問題となっている。このため樹脂封止材には低吸湿性
および耐クラック性が要求される。現状では、o−クレ
ゾールノボラックのグリシジルエーテル化物やテトラメ
チルビフェノールのグリシジルエーテル化物等のエポキ
シ化合物を通常使用する。これらの化合物にシリカ等の
無機充填材を加えて封止材とするが、近年の技術動向と
して充填材の含有量を上げる検討がなされている。例え
ばシリカ系充填材の含量を増すことにより樹脂に由来す
る吸湿量を低減させ、かつシリコンチップと半導体パッ
ケージとの熱膨張率を近づけることで熱時の発生応力を
緩和する手法でパッケージクラックや剥離の発生を回避
する方策が有効とされてきている。
に、使用するエポキシ樹脂の粘度を低減させる方法が考
えられる。しかし、一般にエポキシの粘度を低減すると
硬化物のガラス転移点温度(Tg)は低下する傾向にあ
る。Tgを超えた温度領域では硬化成形物の力学物性は低
下することから、パワーIC等、パッケージ自身に耐熱
性を必要とする分野等に高Tgを示す封止材が要求されて
いる。また、近年、電機製品や家電製品は小型化する傾
向にある。耐熱性の低い材料を用いた場合では電子封止
部品を発熱部位から遠ざけて設置しなければならないと
の制限があるが、高Tgを示す封止材によってこの制限の
必要性が低下し、製品設計の自由度が広がる。この様な
事情からも耐熱性のある材料が求められている。テトラ
メチルビフェノールのグリシジルエーテル化物等のエポ
キシ化合物は溶融粘度が低く、シリカ高充填に適しては
いるが、Tgは120〜140℃と低い。テトラメチルビ
フェノールのグリシジルエーテル化物をアミン系硬化剤
と組み合わせることでTgを150℃以上に設定すること
は可能であるが、この場合は成形物の耐湿信頼性が低下
し、封止材として使用する利点が小さくなる。o−クレ
ゾールノボラックのグリシジルエーテル化物等の多官能
エポキシ化合物を用いると、Tgは150〜200℃と高
くなるものの、溶融粘度が比較的大きいためパッケージ
クラックを防ぐだけのシリカ高充填の達成が困難にな
る。例えば、パッケージクラックを防止するまで高充填
を行うと樹脂組成物の流れ性が大きく損なわれ、成形が
不可能となる。この様にシリカの高充填と高Tgの達成は
相反する関係にあった。
として樹脂自身の耐熱性を上げる手法や、反応性シリコ
ーンとの変性により低応力化する手法が知られている。
この場合は充填材量の割合が樹脂組成物に対し65〜8
0重量%であってもパッケージクラックを防ぐことがで
きる。しかしながら多官能化による高耐熱性化や、シリ
コーンによる低応力化に伴い樹脂成分の粘度はさらに増
大するため、十分な流れ性を確保しつつ、さらなる高性
能化のための異種成分の添加やシリカの増量等といった
処方上の自由度が小さくなる。この様に封止材の高性能
化と流れ性の増大も相反する関係にあった。
性と耐パッケージクラック性が優れ、高Tgを示す成形物
を与える成形用樹脂組成物を提供することである。
重ねた結果、特定配合の充填材を配合した樹脂組成物が
本発明の目的を達成することを見出し、本発明を完成す
るに至った。すなわち本発明は以下の通りである。
上20ポイズ以下のエポキシ樹脂中に、平均粒径0.1
μm以上1.5μm以下の球状粉末(x成分)と、平均
粒径2μm以上15μm以下の球状粉末(y成分)と、
平均粒径が20μm以上70μm以下の球状粉末(z成
分)からなる充填材を含有してなり、x、y、z成分の
合計体積に占める各x、y、z成分の割合が、それぞれ
10体積%以上24体積%以下、0.1体積%以上36
体積%以下、57体積%以上76体積%以下であり、硬
化物のガラス転移点温度が150℃以上であることを特
徴とする成形用エポキシ樹脂組成物。
上20ポイズ以下のエポキシ樹脂中に、平均粒径0.1
μm以上1.5μm以下の球状粉末(x成分)と、平均
粒径2μm以上15μm以下の球状粉末(y成分)と、
平均粒径が20μm以上70μm以下の球状粉末(z成
分)と、破砕状粉末(m成分)からなる充填材を含有し
てなり、x、y、z成分の合計体積に占める各x、y、
z成分の割合が、それぞれ10体積%以上24体積%以
下、0.1体積%以上36体積%以下、57体積%以上
76体積%以下であり、m成分の充填材に占める割合が
1重量%以上30重量%以下であり、硬化物のガラス転
移点温度が150℃以上であることを特徴とする成形用
エポキシ樹脂組成物。
のグリシジルエーテル化物で、該充填材の全組成物に対
する割合が60重量%以上94重量%以下であり、EM
MI−1−66の規格に準じて175℃×70kg/ cm2
で測定したスパイラルフローが20インチ以上である上
記(1)または(2)記載の成形用エポキシ樹脂組成
物。
本発明で使用される球状粉末としては、例えばシリカ、
アルミナ、窒化アルミニウム、窒化珪素、炭化珪素、珪
砂、珪石粉末、タルク、ホワイトカーボン、アエロジ
ル、ウォラストナイト、マイカ、クレー、ガラス球、金
属球等があり、熱膨張率および高純度の面から溶融シリ
カ粉末、結晶シリカ粉末、アルミナ粉末等からなる球状
粉末が好ましい。
ペクト比1.0〜1.2の実質的な球形であれば良い。
溶射法やゾル−ゲル法で作製された市販球状シリカ粉末
程度の球形度を持つものが好ましいが、これらより真球
に近い物はさらに好ましい。また、球形化処理が困難な
場合には微粉末化してからメカノケミカル的手法により
バインダを加えて球形化することによっても球状粉末が
得られる。
形体であれば良い。中でも合成あるいは天然の石英塊を
粉砕して得られる非晶性または結晶性の石英破砕状粉末
が適し、具体的には溶融破砕シリカ等が好適である。
の三群からなる。x、y、z成分の平均粒径は、それぞ
れ0.1μm以上1.5μm以下、2μm以上15μm
以下、20μm以上70μm以下であり、好ましくはそ
れぞれ0.1μm以上1μm以下、2μm以上10μm
以下、20μm以上50μm以下である。本発明で用い
る各球状粉末の粒径分散は狭い方が好ましく、さらには
単一分散に近いものが適している。このためx、y、z
成分共に分級操作で粒径を揃える操作を行ったものを使
用することが好ましい。なお、本発明での平均粒径とは
レーザー散乱粒度分布計等の粒度分布測定装置を用いて
粒子径分布を測定した場合の、重量累積50%の時の粒
径値で定義される。
yとz成分の計算上の合計体積に対するx、y、z成分
の体積の割合はそれぞれ10体積%以上24体積%以
下、0.1体積%以上36体積%以下、57体積%以上
76体積%以下であるが、それぞれ10体積%以上20
体積%以下、4体積%以上30体積%以下、60体積%
以上76体積%以下がさらに好ましい。この範囲以外で
は樹脂組成物の流れ性は低下する。
z成分のそれぞれの重量を各成分の真比重で割った値を
それぞれの成分の体積として計算したものである。一般
に、粒子径分布を持つ粒子の見掛けの体積は、測定容器
への充填の仕方、異種の粒子の集合体を混合する場合に
はその混合の前後等で変化する。従って、本発明では粒
子集合体の各成分の体積%の計算に見掛けの体積を使わ
ない。
は平均粒径が1μm以上70μm以下、好ましくは1μ
m以上30μm以下のものが用いられる。破砕状粉末
(m成分)の配合比は球状粉末x、y、z成分および破
砕状粉末m成分の合計重量に対するm成分の重量の割合
が1重量%以上30重量%以下で規定される。配合量が
この範囲未満であると樹脂の種類、封止装置や金型の形
状によって発生するバリやフラッシュ(樹脂分の滲み出
しによる樹脂薄膜)の低減効果に乏しく、この範囲を超
えると樹脂組成物の流れ性が低下する。
ておくことが好ましい。具体的には回転翼や空気を利用
するミキサーやコニーダー等の装置、容器を振動、震
盪、回転させる装置等を用いて混合することができる。
充填材が十分混合されているかどうかの判定には異なる
場所でのサンプルの粒度分布を測定し、それらが実質的
に同一であるかどうかを調べると良い。また、必要に応
じて充填材をカップリング剤や樹脂で予め処理して用い
ても良い。処理の方法としては溶媒を用いて混合した後
に溶媒を留去する方法や、直接充填材に配合し、混合機
を用いて処理する方法がある。
0重量%以上95重量%以下が使用できる。この範囲未
満では公知の充填材配合で十分な流れ性が得られるた
め、本発明を適用する意義が薄く、この範囲を超えると
流れ性が損なわれる。充填材の持つ低吸湿性、低熱膨張
性を活かすため、充填材量は60重量%以上94重量%
以下が好ましく、83重量%以上91重量%以下であれ
ばなお好ましい。
溶融粘度が150℃で1ポイズ以上20ポイズ以下のエ
ポキシ樹脂を用いることができる。エポキシ樹脂の粘度
が1ポイズ未満であると高Tgを示しつつ、優れた硬化物
性を示す半導体用封止成形物を得ることが困難であり、
20ポイズを超えると十分な流れ性を確保しつつ、パッ
ケージクラックを防止する量の充填材や高性能化のため
の成分の添加が困難となり、処方上の自由度が減少す
る。
二個以上のエポキシ基を持つ多官能エポキシ樹脂があげ
られ、具体的に例示すると、フェノール、o−クレゾー
ル、カテコール等のフェノール類やヒドロキシナフタレ
ン、ジヒドロキシナフタレン等のナフトール類とホルム
アルデヒド等のアルデヒド類との反応生成物であるポリ
フェノール系やポリナフトール系ノボラック樹脂類、フ
ェノール、o−クレゾール、メチル−t-ブチルフェノー
ル等のフェノール類とヒドロキシベンズアルデヒド等の
芳香族アルデヒド類との縮合により得られたトリチル骨
格含有ポリフェノール類、フェノール、o−クレゾー
ル、カテコール等のフェノール類やヒドロキシナフタレ
ン、ジヒドロキシナフタレン等のナフトール類とキシリ
レンジクロリド類等との反応生成物であるポリアラルキ
ルフェノール樹脂類やポリアラルキルナフトール樹脂
類、フェノール、o−クレゾール、カテコール等のフェ
ノール類やヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシナフタ
レン等のナフトール類と、ジシクロペンタジエンやリモ
ネン等の不飽和脂環式炭化水素類との反応生成物である
脂環式炭化水素含有ポリフェノール樹脂類やポリナフト
ール樹脂類、フェノール類やナフトール類と芳香族カル
ボニル化合物との縮合反応により得られる多価フェノー
ルや多価ナフトール類のグリシジルエーテル化合物類、
フェニル)メタン、1,1,2,2,−テトラキス(4 −ヒドロ
キシフェニル)エタン、1,3 −ビス〔ビス(4 −ヒドロ
キシフェニル)メチル〕ベンゼン、1,4 −ビス〔ビス
(4 −ヒドロキシフェニル)メチル〕ベンゼン等を基本
骨格とする三価以上のフェノール類や、カリクサレン等
の環状フェノール類から誘導されるグリシジルエーテル
化合物等があり、これらのエポキシ樹脂の一種または二
種以上が使用される。中でもポリフェノール系ノボラッ
ク樹脂類、トリチル骨格含有ポリフェノール類、ポリア
ラルキルフェノール系樹脂、脂環式炭化水素含有ポリフ
ェノール樹脂類、フェノール類と芳香族カルボニル化合
物との縮合反応により得られる多価フェノールや多価ナ
フトール類等のグリシジルエーテル化合物類が好適であ
る。
エポキシ樹脂以外にエポキシ樹脂組成物の粘度調整や物
性向上を目的として、下記の公知のエポキシ樹脂を添加
することも可能である。このエポキシ樹脂としては、ビ
スフェノールA、ビスフェノールF、ハイドロキノン、
レゾルシン、ジヒドロキシナフタレン、ビス(4 −ヒド
ロキシフェニル)メンタン、ビス(4 −ヒドロキシフェ
ニル)ジシクロペンタン、4,4'−ジヒドロキシベンゾフ
ェノン、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)エーテル、ビ
ス(4 −ヒドロキシ−3 −メチルフェニル)エーテル、
ビス(3,5 −ジメチル−4 −ヒドロキシフェニル)エー
テル、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビ
ス(4 −ヒドロキシ−3 −メチルフェニル)スルフィ
ド、ビス(3,5 −ジメチル−4 −ヒドロキシフェニル)
スルフィド、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)スルホ
ン、ビス(4 −ヒドロキシ−3 −メチルフェニル)スル
ホン、ビス(3,5 −ジメチル−4 −ヒドロキシフェニ
ル)スルホン、1,1 −ビス(4 −ヒドロキシフェニル)
シクロヘキサン、1,1 −ビス(4 −ヒドロキシ−3 −メ
チルフェニル)シクロヘキサン、1,1 −ビス(3,5 −ジ
メチル−4 −ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、4,
4'−ジヒドロキシビフェニル、4,4'−ジヒドロキシ−3,
3',5,5' −テトラメチルビフェニル、ビス(ヒドロキシ
ナフチル)メタン、1,1'−ビナフトール、1,1'−ビス
(3 −t −ブチル−6 −メチル−4 −ヒドロキシフェニ
ル)ブタン等の二価フェノール類から誘導されるグリシ
ジルエーテル化合物またはテトラブロムビスフェノール
A等のハロゲン化ビスフェノール類から誘導されるジグ
リシジルエーテル化合物、
ール、4 −アミノメタクレゾール、6 −アミノメタクレ
ゾール、4,4' −ジアミノジフェニルメタン、3,3' −ジア
ミノジフェニルメタン、4,4' −ジアミノジフェニルエー
テル、3,4'- ジアミノジフェニルエーテル、1,4−ビス
(4 −アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4 −ビス(3 −
アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3 −ビス(4 −アミノ
フェノキシ)ベンゼン、1,3 −ビス(3 −アミノフェノ
キシ)ベンゼン、2,2 −ビス(4 −アミノフェノキシフ
ェニル)プロパン、p−フェニレンジアミン、m−フェ
ニレンジアミン、2,4 −トルエンジアミン、2,6 −トル
エンジアミン、p−キシリレンジアミン、m−キシリレ
ンジアミン、1,4 −シクロヘキサンビス(メチルアミ
ン)、1,3 −シクロヘキサンビス(メチルアミン)等か
ら誘導されるアミン系エポキシ樹脂、
酸、テレフタル酸、イソフタル酸等の芳香族カルボン酸
から誘導されるグリシジルエステル系化合物、5,5 −ジ
メチルヒダントイン等から誘導されるヒダントイン系エ
ポキシ化合物、2,2 −ビス(3,4 −エポキシシクロヘキ
シル)プロパン、2,2 −ビス〔4 −(2,3 −エポキシプ
ロピル)シクロヘキシル〕プロパン、ビニルシクロヘキ
センジオキサイド、3,4−エポキシシクロヘキシルメチ
ル−3,4 −エポキシシクロヘキサンカルボキシレート等
の脂環式エポキシ樹脂、ポリブタジエン等の不飽和炭化
水素化合物中の二重結合を酸化して得られる脂肪族エポ
キシ樹脂、N,N−ジグリシジルアニリン等があり、こ
れらのエポキシ樹脂の一種または二種以上が使用され
る。
は公知のものが使用できる。これらを例示すると、フェ
ノール、o−クレゾール、カテコール等のフェノール類
やヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシナフタレン等の
ナフトール類とホルムアルデヒド等のアルデヒド類との
反応生成物であるポリフェノール系やポリナフトール系
ノボラック樹脂類、フェノール、o−クレゾール、カテ
コール等のフェノール類やヒドロキシナフタレン、ジヒ
ドロキシナフタレン等のナフトール類とキシリレンジク
ロリド類等との反応生成物であるポリアラルキルフェノ
ール樹脂類やポリアラルキルナフトール樹脂類、フェノ
ール、o−クレゾール、カテコール等のフェノール類や
ヒドロキシナフタレン、ジヒドロキシナフタレン等のナ
フトール類と、ジシクロペンタジエンやリモネン等の不
飽和脂環式炭化水素類との反応生成物である脂環式炭化
水素含有ポリフェノール樹脂類やポリナフトール樹脂
類、
シフェニル)−メタン、1,1,2,2,−テトラキス(4 −ヒ
ドロキシフェニル)エタン、1,3 −ビス〔ビス(4 −ヒ
ドロキシフェニル)メチル〕ベンゼン、1,4 −ビス〔ビ
ス(4 −ヒドロキシフェニル)メチル〕ベンゼン等を基
本骨格とする三価以上のフェノール類やカリクサレン等
の環状フェノール類、ビスフェノールA、ビスフェノー
ルF、ハイドロキノン、レゾルシン、ジヒドロキシナフ
タレン、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)エタン、ビス
(4 −ヒドロキシフェニル)プロパン、ビス(4 −ヒド
ロキシフェニル)ブタン、ビス(4 −ヒドロキシフェニ
ル)ペンタン、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)ヘキサ
ン、1,3,3 −トリメチル−1 −m−ヒドロキシフェニル
インダン−5 または7 −オール、ビス(4 −ヒドロキシ
フェニル)メンタン、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)
ジシクロペンタン、4,4'−ジヒドロキシベンゾフェノ
ン、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)エーテル、ビス
(4 −ヒドロキシ−3 −メチルフェニル)エーテル、ビ
ス(3,5 −ジメチル−4 −ヒドロキシフェニル)エーテ
ル、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)スルフィド、ビス
(4 −ヒドロキシ−3 −メチルフェニル)スルフィド、
ビス(3,5 −ジメチル−4 −ヒドロキシフェニル)スル
フィド、ビス(4 −ヒドロキシフェニル)スルホン、ビ
ス(4 −ヒドロキシ−3 −メチルフェニル)スルホン、
ビス(3,5 −ジメチル−4 −ヒドロキシフェニル)スル
ホン、1,1 −ビス(4 −ヒドロキシフェニル)シクロヘ
キサン、1,1 −ビス(4 −ヒドロキシ−3 −メチルフェ
ニル)シクロヘキサン、1,1 −ビス(3,5 −ジメチル−
4 −ヒドロキシフェニル)シクロヘキサン、4,4'−ジヒ
ドロキシビフェニル、4,4'−ジヒドロキシ−3,3',5,5'
−テトラメチルビフェニル、ビス(ヒドロキシナフチ
ル)メタン、1,1'−ビナフトール、1,1'−ビス(3 −t
−ブチル−6 −メチル−4 −ヒドロキシフェニル)ブタ
ン等の二価フェノール類またはテトラブロムビスフェノ
ールA等のハロゲン化ビスフェノール類、
の縮合反応により得られる多価フェノール、マレイン
酸、フタル酸、ナジク酸、メチル−テトラヒドロフタル
酸、メチルナジク酸等のポリカルボン酸およびその無水
物、ジアミノジフェニルメタン、ジアミノジフェニルス
ルホン、ジアミノジフェニルエーテル、フェニレンジア
ミン、ジアミノジシクロヘキシルメタン、キシリレンジ
アミン、トルエンジアミン、ジアミノシクロヘキサン、
ジクロロ−ジアミノジフェニルメタン(それぞれ異性体
を含む)、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン
等のポリアミン化合物、さらにはジシアンジアミド、テ
トラメチルグアニジン等、エポキシ基と反応可能な活性
水素含有化合物が例示できる。なかでも、フェノール系
ノボラック樹脂、ナフトール系ノボラック樹脂、フェノ
ール系アラルキル樹脂、ナフトール系アラルキル樹脂、
脂環式炭化水素含有ポリフェノール樹脂、脂環式炭化水
素含有ポリナフトール樹脂が硬化性及び耐湿性の点から
好ましく用いられる。
ポキシ樹脂に対するエポキシ硬化剤の配合割合は、0.
7〜1.2当量が良く、さらには等量配合が好ましい。
これらの配合が等量配合から極端にずれると、耐湿性、
硬化性等が低下するので好ましくない。
法について述べると、硬化促進剤を用いることにより容
易に短時間で硬化せしめることが可能となる。特に封止
材に用いる場合は必須である。このような触媒について
例示すると、トリフェニルホスフィン、トリ−4−メチ
ルフェニルホスフィン、トリ−4−メトキシフェニルホ
スフィン、トリブチルホスフィン、トリオクチルホスフ
ィン、トリ−2−シアノエチルホスフィンなどの有機ホ
スフィン化合物、テトラフェニルホスホニウムテトラフ
ェニルボレート等の有機ホスホニウム塩、トリブチルア
ミン、トリエチルアミン、1,8−ジアザビシクロ
(5,4,0)ウンデセン−7、トリアミルアミン等の
三級アミン、塩化ベンジルトリメチルアンモニウム、水
酸化ベンジルトリメチルアンモニウム、トリエチルアン
モニウムテトラフェニルボレート等の4級アンモニウム
塩、イミダゾール類、三弗化ホウ素錯体、遷移金属アセ
チルアセトナート、ベンゾイルパーオキシド、ジ−t−
ブチルパーオキシド、ジクミルパーオキシド、ラウロイ
ルパーオキシド、アセチルパーオキシド、メチルエチル
ケトンパーオキシド、シクロヘキサノンパーオキシド、
t−ブチルハイドロパーオキシド、アゾビスブチロニト
リル等のラジカル開始剤が例示されるが、これらに限定
されるものではない。これらの中でも、有機ホスフィン
化合物、イミダゾール類およびこれらの塩(具体的に
は、テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレー
ト、4−メチルイミダゾールテトラフェニルボレート
等)あるいはトリエチルアンモニウムテトラフェニルボ
レートが特に好ましい。
重量部に対して0.1〜10重量部が使用され、さらに
好ましくは0.5〜3重量部が使用される。使用量がこ
の範囲未満では短時間での成形が困難となり、成形物の
単位時間当たりの生産性が低下する。また、この範囲を
超えると高温での硬化性が必要以上に大きくなり、操作
性が難しくなったり、コンパウンドの保存安定性が低下
する等の問題点が生じる。
重合禁止剤を併用することも可能である。例示すると、
2,6−ジ−t−ブチル−4 −メチルフェノール、2,2'−
メチレンビス(4 −エチル−6 −t−ブチルフェノー
ル)、4,4'−メチレンビス(2,6−ジ−t−ブチルフェ
ノール)、4,4'−チオビス(3 −メチル−6 −t−ブチ
ルフェノール)、ハイドロキノンモノメチルエーテル等
のフェノール類、ハイドロキノン、カテコール、p−t
−ブチルカテコール、2,5 −ジ−t−ブチルハイドロキ
ノン、メチルハイドロキノン、t−ブチルハイドロキノ
ン、ピロガロール等の多価フェノール、フェノチアジ
ン、ベンゾフェノチアジン、アセトアミドフェノチアジ
ン等のフェノチアジン系化合物、N−ニトロソジフェニ
ルアミン、N−ニトロソジメチルアミン等のN−ニトロ
ソアミン系化合物がある。
に応じて天然ワックス、合成ワックス、高級脂肪酸及び
その金属塩類、若しくはパラフィン等の離型剤あるいは
カーボンブラックのような着色剤、さらに、シランカッ
プリング剤等の表面処理剤等を添加してもよい。また難
燃化のために三酸化アンチモン、リン化合物、ブロム化
エポキシ樹脂等の難燃剤を加えてもよい。難燃効果を出
すためにはブロム化エポキシ樹脂が特に好ましい。
ストマーを添加またはあらかじめ反応して用いてもよ
い。具体的には、ポリブタジエン、ブタジエン−アクリ
ロニトリル共重合体、シリコーンゴム、シリコーンオイ
ル等の添加型あるいは反応型のエラストマーが挙げられ
る。
ルあるいはコニーダー等の一般の混練機により、溶融混
合することによりコンパウンド化が可能である。
等、電子部品を封止するには、トランスファーモール
ド、コンプレッションモールド、インジェクションモー
ルド等の従来から公知の成形法により硬化成形すればよ
い。
標としてスパイラルフローが挙げられる。スパイラルフ
ローが20インチ以上との意味はEMMI−1−66の
規格に準じて175℃×70kg/ cm2 の条件で測定を行
った時、成形用樹脂組成物の硬化物の先端が20インチ
以上の点まで到達していることを意味する(EMMIは
Epoxy Molding Materials Instituteの略。米国プラス
チック工業協会規格。)。この値が20インチより小さ
くなると汎用的に使われているトランスファーモールド
法では金型内への組成物の未充填や一回当たりのコンパ
ウンド使用量を過剰に用いて高圧で成形を行わなければ
製品が得られない等の問題が生じる。また、この値が小
さいと1ショット当たりに成形できる金型内の製品個数
が少なくなる。これは単位時間当たりの生産性が低下す
ることにつながり、工業的に不利となる。スパイラルフ
ローの値が大きいと1ショット当たりの製品個数が多く
なるばかりでなく、粘度上昇を招くことから通常では使
用出来なかった高性能化のための樹脂成分や改質剤の使
用が可能となる等、処方応用の範囲が広がることを意味
する。この様に成形用樹脂組成物において十分なスパイ
ラルフローが確保できることは実使用上大きな利点が得
られることを意味する。
れに限定されるものではない。 参考例1〜7 表1に示す平均粒径を持つ球状シリカと破砕状溶融シリ
カを用いて、表2に示す体積%で配合後、十分混合して
参考例1〜7の充填材を得た。なお、表1の平均粒径に
ついては、レーザー散乱粒度分布計(Malvern 社製、Ma
ster Sizer MS-20を使用。)を用いて粒度分布を測定し
た時の重量累積50%の粒径値をもって平均粒径とし
た。
シジルエーテル化物(商品名スミエポキシESCN−1
95、溶融粘度2.6ポイズ/150℃、加水分解性塩
素180ppm、住友化学工業(株)社製、エポキシ1
とする。)、フェノール類とヒドロキシベンズアルデヒ
ドの縮合により得られたポリフェノールのグリシジルエ
ーテル化物(商品名スミエポキシTMH−574、溶融
粘度3.3ポイズ/150℃、加水分解性塩素400p
pm、住友化学工業(株)社製、エポキシ2とす
る。)、硬化剤としてフェノールノボラック(商品名タ
マノール759 、荒川化学社製)、硬化促進剤としてトリ
フェニルホスフィン、離型剤としてカルナバワックス、
カップリング剤(商品名SH-6040 、東レダウコーニング
シリコーン社製)と参考例1〜7の充填材をそれぞれを
表3および表4に示した量(g )で配合し、ロールで加
熱混練し、プレス成形を行った。さらに、180 ℃オーブ
ン中で5 時間ポストキュアーを行い、硬化成形物を得
た。この硬化成形物のガラス転移温度、吸水率、曲げ強
度、成形性を測定した。成形性については成形品のバリ
や表面の荒れ等の製品外観を○、△、×の三段階で表示
した。○は実用上問題のないレベル、△は使用可能であ
るが○には劣るレベル、×は実用できないレベルである
ことを示す。これらの結果を表3および表4に示す。
る。 ・スパイラルフロー:EMMI−1−66に準じて175
℃×70kg/ cm2 の条件で行った(単位はinch)。 ・ガラス転移温度(Tg)、熱膨張率:熱機械的分析装置
(SHIMADZU DT-30 )を用いて測定した。
トロン万能材料試験機(SHIMADZU IS-10T)で測定し
た。 ・吸水率:恒温恒湿糟(TABAI PR-2)を用い、85℃/
85% RHの条件で模擬素子を封止したパッケージの重量変
化を測定した。 ・クラック性試験:模擬素子を実装したパッケージ8個
を用いて、85℃/85%RH×72時間の条件で吸水させてか
ら直ちに240 ℃のハンダ浴に30秒間浸し、パッケージク
ラックの発生の有無を調べた。
充填材が高充填されていても優れた流れ性を示し、硬化
物の樹脂に起因する吸湿性や熱膨張率の高さも低減され
ていて、かつTgも150℃以上を示す。また、本発明の
樹脂組成物で封止された半導体パッケージは優れた耐パ
ッケージクラック性を示す。この様に本発明の成形用エ
ポキシ樹脂組成物は特に半導体封止材に適している。
Claims (8)
- 【請求項1】150℃での溶融粘度が1ポイズ以上20
ポイズ以下のエポキシ樹脂中に、平均粒径0.1μm以
上1.5μm以下の球状粉末(x成分)と、平均粒径2
μm以上15μm以下の球状粉末(y成分)と、平均粒
径が20μm以上70μm以下の球状粉末(z成分)か
らなる充填材を含有してなり、x、y、z成分の合計体
積に占める各x、y、z成分の割合が、それぞれ10体
積%以上24体積%以下、0.1体積%以上36体積%
以下、57体積%以上76体積%以下であり、硬化物の
ガラス転移点温度が150℃以上であることを特徴とす
る成形用エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項2】150℃での溶融粘度が1ポイズ以上20
ポイズ以下のエポキシ樹脂中に、平均粒径0.1μm以
上1.5μm以下の球状粉末(x成分)と、平均粒径2
μm以上15μm以下の球状粉末(y成分)と、平均粒
径が20μm以上70μm以下の球状粉末(z成分)
と、破砕状粉末(m成分)からなる充填材を含有してな
り、x、y、z成分の合計体積に占める各x、y、z成
分の割合が、それぞれ10体積%以上24体積%以下、
0.1体積%以上36体積%以下、57体積%以上76
体積%以下であり、m成分の充填材に占める割合が1重
量%以上30重量%以下であり、硬化物のガラス転移点
温度が150℃以上であることを特徴とする成形用エポ
キシ樹脂組成物。 - 【請求項3】球状粉末x、y、z成分が球状シリカから
なり、破砕状粉末m成分が平均粒径1μm以上30μm
以下のシリカ粉末である請求項2記載の成形用エポキシ
樹脂組成物。 - 【請求項4】球状粉末x、y、z成分の平均粒径がそれ
ぞれ0.1μm以上1μm以下、2μm以上10μm以
下、20μm以上50μm以下であり、かつx、y、z
成分の合計体積に占める各x、y、z成分の割合が、そ
れぞれ10体積%以上20体積%以下、4体積%以上3
0体積%以下、60体積%以上76体積%以下である請
求項1、2または3記載の成形用エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項5】該充填材の全組成物に対する割合が60重
量%以上94重量%以下であり、EMMI−1−66の
規格に準じて175℃×70kg/ cm2 で測定したスパイ
ラルフローが20インチ以上である請求項1、2、3ま
たは4記載の成形用エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項6】該充填材の全組成物に対する割合が重量8
3重量%以上91重量%以下である請求項5記載の成形
用エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項7】エポキシ樹脂がオルソクレゾールノボラッ
クのグリシジルエーテル化物である請求項1、2、3、
4、5または6記載の成形用エポキシ樹脂組成物。 - 【請求項8】エポキシ樹脂が、フェノール類とヒドロキ
シベンズアルデヒドの縮合により得られたポリフェノー
ルのグリシジルエーテル化物である請求項1、2、3、
4、5または6記載の成形用エポキシ樹脂組成物。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13604994A JP3413962B2 (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 成形用エポキシ樹脂組成物 |
US08/487,628 US5719225A (en) | 1994-06-13 | 1995-06-07 | Filler-containing resin composition suitable for injection molding and transfer molding |
TW084105866A TW349976B (en) | 1994-06-13 | 1995-06-09 | Electronic parts epoxy resin composition |
KR1019950015428A KR960000984A (ko) | 1994-06-13 | 1995-06-12 | 성형용 수지 조성물 |
GB9511887A GB2290297B (en) | 1994-06-13 | 1995-06-12 | Filler-containing resin composition suitable for injection molding and transfer molding |
CA 2151572 CA2151572A1 (en) | 1994-06-13 | 1995-06-12 | Filler containing resin composition suitable for injection molding and transfer molding |
DE1995121330 DE19521330C2 (de) | 1994-06-13 | 1995-06-12 | Füllstoff enthaltende Harzzusammensetzung mit Eignung zum Spritzgießen und Spritzpressen |
US08/885,196 US5780145A (en) | 1994-06-13 | 1997-06-30 | Filler-containing resin composition suitable for injection molding and transfer molding |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13604994A JP3413962B2 (ja) | 1994-06-17 | 1994-06-17 | 成形用エポキシ樹脂組成物 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH083426A true JPH083426A (ja) | 1996-01-09 |
JP3413962B2 JP3413962B2 (ja) | 2003-06-09 |
Family
ID=15165989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13604994A Expired - Lifetime JP3413962B2 (ja) | 1994-06-13 | 1994-06-17 | 成形用エポキシ樹脂組成物 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3413962B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006042766A1 (de) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Robert Bosch Gmbh | Bauelemente-modul für hochtemperaturanwendungen und verfahren zum herstellen eines derartigen bauelemente-moduls |
JP2007277406A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Micron:Kk | 高熱伝導性樹脂コンパウンド・高熱伝導性樹脂成形体・放熱シート用配合粒子、高熱伝導性樹脂コンパウンド・高熱伝導性樹脂成形体・放熱シート、および、その製造方法 |
JP2008248004A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Admatechs Co Ltd | 樹脂組成物添加用無機粉末及び樹脂組成物 |
JP2015205796A (ja) * | 2014-04-21 | 2015-11-19 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 球状粒子及びその製造方法、並びにそれを含有する樹脂組成物 |
WO2016136075A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 株式会社日立製作所 | 電気絶縁樹脂組成物及びこれを用いた電気絶縁樹脂硬化物、受変電設備 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03119051A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-21 | Toray Ind Inc | エポキシ樹脂組成物 |
JPH03177450A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-08-01 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体用エポキシ樹脂組成物および半導体装置の製造法 |
JPH05230284A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-07 | Hitachi Ltd | 樹脂組成物その製造法並びに樹脂封止型半導体装置 |
-
1994
- 1994-06-17 JP JP13604994A patent/JP3413962B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03119051A (ja) * | 1989-10-02 | 1991-05-21 | Toray Ind Inc | エポキシ樹脂組成物 |
JPH03177450A (ja) * | 1989-12-05 | 1991-08-01 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体用エポキシ樹脂組成物および半導体装置の製造法 |
JPH05230284A (ja) * | 1992-02-19 | 1993-09-07 | Hitachi Ltd | 樹脂組成物その製造法並びに樹脂封止型半導体装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006042766A1 (de) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Robert Bosch Gmbh | Bauelemente-modul für hochtemperaturanwendungen und verfahren zum herstellen eines derartigen bauelemente-moduls |
JP2007277406A (ja) * | 2006-04-06 | 2007-10-25 | Micron:Kk | 高熱伝導性樹脂コンパウンド・高熱伝導性樹脂成形体・放熱シート用配合粒子、高熱伝導性樹脂コンパウンド・高熱伝導性樹脂成形体・放熱シート、および、その製造方法 |
JP2008248004A (ja) * | 2007-03-29 | 2008-10-16 | Admatechs Co Ltd | 樹脂組成物添加用無機粉末及び樹脂組成物 |
JP2015205796A (ja) * | 2014-04-21 | 2015-11-19 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 球状粒子及びその製造方法、並びにそれを含有する樹脂組成物 |
WO2016136075A1 (ja) * | 2015-02-27 | 2016-09-01 | 株式会社日立製作所 | 電気絶縁樹脂組成物及びこれを用いた電気絶縁樹脂硬化物、受変電設備 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3413962B2 (ja) | 2003-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP2119737B1 (en) | Electronic packaging | |
US5644003A (en) | Epoxy resin composition, process for producing the same and resin-sealed semiconductor device | |
JPH083365A (ja) | 成形用樹脂組成物 | |
US5719225A (en) | Filler-containing resin composition suitable for injection molding and transfer molding | |
JP2006233016A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JP2016009814A (ja) | 半導体封止用樹脂シート及び樹脂封止型半導体装置 | |
JP2008121003A (ja) | 封止用エポキシ樹脂成形材料及びこれを用いた電子部品装置 | |
JP3413962B2 (ja) | 成形用エポキシ樹脂組成物 | |
KR100539729B1 (ko) | 에폭시수지조성물및수지-봉입된반도체장치 | |
JP3334336B2 (ja) | 成形用樹脂組成物 | |
JP3508289B2 (ja) | エポキシ樹脂組成物および樹脂封止型半導体装置 | |
KR102137549B1 (ko) | 반도체 소자 밀봉용 에폭시 수지 조성물 및 이를 이용하여 밀봉된 반도체 소자 | |
JP2003003080A (ja) | 成形用樹脂組成物 | |
JPH08134329A (ja) | エポキシ樹脂組成物の製造方法 | |
JPH07316399A (ja) | 熱硬化性樹脂組成物および電子部品 | |
JPH0848846A (ja) | 成形用イミド樹脂組成物 | |
JPH0521651A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂成形材料 | |
JPH07330953A (ja) | 成形用樹脂組成物 | |
JPH05160301A (ja) | 樹脂封止型半導体装置 | |
JP2006143950A (ja) | エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 | |
JPH03210325A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂成形材料 | |
JP3856061B2 (ja) | 触媒組成物及びエポキシ樹脂組成物 | |
JPH03197529A (ja) | 半導体封止用エポキシ樹脂成形材料 | |
TW202321367A (zh) | 半導體密封用樹脂組成物及半導體裝置 | |
JP2658749B2 (ja) | 半導体封止用樹脂組成物及び半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R3D02 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080404 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090404 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090404 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100404 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100404 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110404 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120404 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120404 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130404 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140404 Year of fee payment: 11 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |