JPH08339905A - サーミスターとその調整方法 - Google Patents

サーミスターとその調整方法

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JPH08339905A
JPH08339905A JP16918195A JP16918195A JPH08339905A JP H08339905 A JPH08339905 A JP H08339905A JP 16918195 A JP16918195 A JP 16918195A JP 16918195 A JP16918195 A JP 16918195A JP H08339905 A JPH08339905 A JP H08339905A
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thermistor
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JP16918195A
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English (en)
Inventor
Kazuhiko Oyama
和彦 大山
Junichi Fukuyama
淳一 福山
Shinichi Harada
慎一 原田
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Taiyo Yuden Co Ltd
Original Assignee
Taiyo Yuden Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 製造後にサーミスターの抵抗値を容易且つ正
確に調整可能とする。 【構成】 サーミスターは、温度により抵抗値が変化す
るサーミスター層11、11…の積層体からなるサーミ
スター素体21と、このサーミスター素体21の各々の
サーミスター層11、11…の層間に形成され、対向し
た複数対の内部電極13、14を有する。サーミスター
素体21の表面には、前記内部電極13、14に各々導
通した引出電極15、16が露出して配列され、これら
各々の引出電極15、16は、サーミスター素体21の
表面に形成された導体膜からなる接続電極27、28に
より互いに導通しており、この接続電極27、28は、
サーミスター素体21の端面に形成された端子電極2
3、25に各々導通している。この端子電極23、25
の間にあらわれる抵抗値は、前記接続電極27、28を
任意の位置で切断し、同接続電極27、28を通して端
子電極23、25に導通していた引出電極15、16を
切り離すことで増加し、その調整が可能である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は温度により抵抗値が変化
し、電子機器の温度補償、電流制御、温度検出等に使用
されるサーミスターとその抵抗を調整する方法に関し、
特にサーミスター層の積層体により作られるサーミスタ
ーとその調整方法に関する。
【0002】この種のサーミスターは、抵抗器、コンデ
ンサー、インダクター等と同様にしてチップ化が進んで
おり、その多くは積層セラミックコンデンサーと同様
に、角柱或は角板状のチップ状のセラミック素体の両端
面に接続用の端子、いわゆる外部電極を設けたものであ
る。図7は特に、セラミックの積層体からなるサーミス
ター素体1を有するサーミスターを示している。すなわ
ち、サーミスター素体1を構成するサーミスター層4の
層間に2組の内部電極5、6が形成され、これら内部電
極5、6がサーミスター層4を介して対向している。各
組の内部電極5、6は、各々サーミスター素体1の対向
する端面側に導出され、サーミスター素体1の各々の端
部に形成された端子電極2、3に導通している。このよ
うなサーミスターにおいて、その抵抗値はセラミック素
体1に固有の抵抗率と、その内部において対向した内部
電極5、6の間の距離と面積により決定される。
【0003】このようなサーミスターは、例えば移動通
信器等で使用される水晶発振器の温度補償回路に使用さ
れ、コンデンサーや抵抗等の回路要素と共に温度補償形
水晶発振器(TCXO)に組み込まれる。この場合、個
々の水晶発振器はその温度に対する周波数特性が異なる
ので、個々の水晶発振器の温度特性にマッチングした温
度特性を有するサーミスターを組み込む必要がある。そ
して、実際に組み込んだサーミスターの温度特性が水晶
発振器の温度特性にマッチングしない場合、別の温度特
性を有するサーミスターと交換する必要がある。しか
し、サーミスターを交換するには手数がかかり、しかも
それだけ多くのサーミスターを用意しなければならない
という問題がある。そこで、温度−抵抗値特性を調整す
ることができるサーミスターが要望されている。
【0004】
【発明が解決しようとしている課題】しかしながら、従
来のサーミスターでは、その抵抗値の調整は困難であっ
た。その理由は次の通りである。すなわち、抵抗器等に
おける抵抗値の調整は、抵抗膜をレーザービームでカッ
トしてトリミングすることにより行われているが、レー
ザートリミングに際しては素体に熱が発生する。ところ
が、サーミスターは、もともと抵抗値の温度特性が大き
い素子であるため、レーザートリミングした場合、抵抗
値が大きく変動し、抵抗値を測定しながらレーザートリ
ミングすることは不可能である。本発明は、従来のサー
ミスターにおける前記のような課題に鑑み、製造後の抵
抗値の調整が可能なサーミスターとその抵抗値の調整方
法を提供することを可能とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明では、その内部で対向する複数対の内部電極
13、14に各々導通した引出電極15、16を、サー
ミスター素体21の表面に露出して配列し、この配列さ
れた各組の引出電極15、16をサーミスター素体21
の表面に形成された導体膜からなる接続電極27、28
で互いに導通した。そして、この接続電極27、28を
任意の位置で切断することで、同接続電極27、28を
介して端子電極23、25と導通していた引出電極1
5、16を切り離し、端子電極23、25の間に表れる
抵抗値を増加させることができるようにした。
【0006】すなわち、本発明によるサーミスターは、
温度により抵抗値が変化するサーミスター層11、11
…の積層体からなるサーミスター素体21と、このサー
ミスター素体21の各々のサーミスター層11、11…
の層間に形成され、対向した複数対の内部電極13、1
4と、この内部電極13、14に各々導通し、サーミス
ター素体21の表面に露出して配列された引出電極1
5、16と、各組の内部電極13、14に各々導通する
引出電極15、16を互いに導通するようサーミスター
素体21の表面に形成された導体膜からなる接続電極2
7、28と、この接続電極27、28に導通してサーミ
スター素体21の表面に形成された端子電極23、25
とを有することを特徴とする。
【0007】ここで、サーミスター層11、11…の層
間に形成された内部電極13、14は、サーミスター層
11、11…の厚み方向に対向していても、またサーミ
スター層11、11…の平面方向に対向していてもよ
い。さらに、このような引出電極15、16を有する内
部電極13、14が形成されたサーミスター層11、1
1…の間に、引出電極15、16を有しておらず、且つ
双方の内部電極13、14が形成された領域と対向する
領域にわたって中間内部電極19、19…が形成された
サーミスター層11、11…を挿入してもよい。
【0008】引出電極15、16は、サーミスター素体
21の同じ表面に露出して配列されているのがよいが、
同じ内部電極13、14に導通する引出電極15、16
がサーミスター素体21の異なる複数の面に導出されて
いる場合もある。また、引出電極15、16は、それら
の一部のみが接続電極27、28に覆われ、他の部分は
サーミスター素体21の表面に露出しているのがよい。
この引出電極15、16に各々導通する端子電極23、
25は、一般にはサーミスター素体21の両端に形成さ
れている。さらに、本発明において、前記のサーミスタ
ーの端子電極23、25の間にあらわれる抵抗値の調整
は、前記接続電極27、28を任意の位置で切断し、同
接続電極27、28を通して端子電極23、25に導通
していた引出電極15、16を切り離し、端子電極2
3、25の間に表れる抵抗値を増加させることで行う。
【0009】
【作用】前記本発明によるサーミスターでは、サーミス
ター素体21の内部で対向する複数対の内部電極13、
14に各々導通した引出電極15、16を、サーミスタ
ー素体21の表面に露出して配列し、この配列された各
組の引出電極15、16をサーミスター素体21の表面
に形成された導体膜からなる接続電極27、28で互い
に導通しているので、この導体膜からなる接続電極2
7、28を切断することで、同接続電極27、28を通
して端子電極23、25に導通していた引出電極15、
16を切り離すことができる。そうすると、接続電極2
7、28を通して端子電極23、25に接続された内部
電極13、14の数が少なくなり、サーミスター素体2
1の内部で対向する内部電極13、14の数が実質的に
減少し、端子電極23、25の間に表れる抵抗値が増加
する。そして、抵抗値は切り離す内部電極13、14の
数により段階的に増加するので、レーザートリミングに
よりサーミスター素体21が加熱されることでその抵抗
値が変動しても、常温に戻ったときの抵抗値を容易に予
測することが可能である。このため、或る程度正確に抵
抗値の調整が可能となる。
【0010】このサーミスターにおいて、端子電極2
3、25の間で得ようとする抵抗値の大小により、内部
電極13、14は、サーミスター層11、11…をサー
ミスター層11、11…の方向に対向させるか、サーミ
スター層11、11…の平面方向に対向させるかを決定
する。後者の場合は、同一のサーミスター層11、11
…上に対向する内部電極13、14を印刷して形成する
ので、抵抗値のばらつきが少なく、正確な抵抗値の調整
が可能である。さらに、このような引出電極15、16
を有する内部電極13、14が形成されたサーミスター
層11、11…の間に、前述のような中間内部電極1
9、19…が形成されたサーミスター層11、11…を
挿入することにより、端子電極23、25に表れる抵抗
値を小さくすることができる。
【0011】引出電極15、16がサーミスター素体2
1の同じ表面に露出して配列されていると、接続電極2
7、28のトリミングがサーミスター素体21の同じ面
で行えるので、調整が容易である。また、引出電極1
5、16の一部のみが接続電極27、28に覆われ、他
の部分はサーミスター素体21の表面に露出している
と、その露出した引出電極15、16を目安に接続電極
27、28をカットできるので、やはり調整が容易に行
える。さらに、同じ内部電極13、14に導通する引出
電極15、16がサーミスター素体21の異なる複数の
面に導出されていると、接続電極27、28をサーミス
ター素体21の任意の面に設けることができる。この引
出電極15、16に各々導通する端子電極23、25を
サーミスター素体21の両端に形成すると、サーミスタ
ーを積層セラミックコンデンサー等の他のチップ状回路
部品と同様にして回路基板上に搭載し、接続することが
できる。
【0012】
【実施例】次に、図面を参照しながら、本発明の実施例
について具体的且つ詳細に説明する。図1(a)に本発
明の実施例によるサーミスターのサーミスター素体21
の層構造を示す。サーミスター素体21を構成するサー
ミスター層11、17、18は、抵抗値に正または負の
温度特性を有するサーミスターからなり、図示の場合は
矩形状の層からなっている。このサーミスター層11、
17、18のうち、中間のサーミスター層11、11…
の表面に2種類の内部電極13、14が各々形成されて
いる。このうち内部電極13、13…は、サーミスター
層11、11…の図において手前側の辺の一方側に寄っ
て引出電極15、15…が形成されている。また、他方
のサーミスター層11、11…に形成された内部電極1
4、14…は、サーミスター層11、11…の図におい
て手前側の辺の他方側に寄って引出電極16、16…が
形成されている。
【0013】このような内部電極13、14が形成され
たサーミスター層11、11…は、必要な組数だけ交互
に積層し、さらにその両側に内部電極13、14が形成
されていないサーミスター層17、18が適当な数だけ
積層され、この積層体により図1(b)で示すようなサ
ーミスター素体21が構成されている。このサーミスタ
ー素体21では、その内部で積層されたサーミスター層
11、11…を介して一対の内部電極13、14が交互
に対向している。そして、これら内部電極13、14の
引出電極15、16が、サーミスター素体21の同じ側
面に二列に並んでその積層方向に配列されている。
【0014】図1(c)に完成したサーミスターの外観
を示すが、この図に示すように、積層体からなるサーミ
スター素体21の側面と端面に各々接続電極27、28
と端子電極23、25が形成されている。接続電極2
7、28は、前記の引出電極15、16が導出された側
の側面に、これら引出電極15、16の外側のみを各々
覆うように形成された帯状の導体膜により形成されてい
る。この接続電極27、28により、サーミスター素体
21の側面に二列に配列された前記引出電極15、16
が各々互いに接続されている。接続電極27、28によ
り覆われてない引出電極15、16の内側部分は、サー
ミスター素体21の側面に露出している。さらに、これ
ら接続電極27、28は、サーミスター素体21の両端
に形成された導体膜からなる端子電極23、25に各々
一体に連なって導通している。これにより、端子電極2
3、25は、接続電極27、28及び引出電極15、1
6を介して各々内部電極13、14に接続し、サーミス
タ層11、11…を介してそれら内部電極13、14の
間に形成される抵抗値が端子電極23、25に表れる。
【0015】このようなサーミスターは、前述のように
個々に積層されて製造される訳ではなく、実際は積層セ
ラミックコンデンサーと同様にして、セラミックグリー
ンシートの形成、その表面への内部電極パターンの印
刷、セラミックグリーンシートの積層、その積層体の裁
断、積層体の焼成、焼成済みの積層体への外部電極の形
成という工程を経て、多数のものが同時に製造される。
すなわち、まず酸化マンガン、酸化コバルトを主成分と
し、酸化銅等の焼結助剤や酸化アルミニウム等の原子価
制御剤等を含むサーミスターセラミック粉末を溶剤で溶
解された樹脂バインダーに一様に分散したセラミックス
ラリーを作る。このセラミックスラリーをドクターブレ
ード法等でポリエチレンテレフタレートフィルム等のベ
ースフィルム上に薄く塗布し、乾燥してセラミックグリ
ーンシートを作る。次に、このセラミックグリーンシー
ト上にPdペースト等の導電ペーストを使用してサーミ
スター素体複数個分の内部電極パターンを印刷する。そ
して、前記図1(a)で示すような積層体が得られるよ
う、ベースフィルムから剥離されたセラミックグリーン
シートを順次積層し、サーミスター素体を複数個分含む
未焼成のセラミック積層体を得る。その後、この積層体
を裁断し、焼成することにより、個々に分離された図1
(b)で示すようなサーミスター素体21を得る。この
サーミスター素体21の表面に、図1(c)で示された
接続電極27、28及び端子電極23、25の形状に従
って導電ペーストを塗布し、これを焼き付けることによ
り、接続電極27、28及び端子電極23、25を形成
する。これにより、図1(c)に示すようなサーミスタ
ーが完成する。
【0016】このようなサーミスターは、例えば温度補
償形水晶発振器を構成する回路基板上に接続電極27、
28を上側にして搭載し、組み込む。そして、水晶発振
器とサーミスターとの温度特性のマッチングを検査し、
これをもとに接続電極27、28を図1(c)で二点鎖
線で示す如くカットし、いくつかの内部電極13、14
を端子電極23、25と切り離す。これにより、端子電
極23、25に表れる抵抗値が増大し、その調整が行わ
れる。この調整は、切り離す内部電極13、14の数に
より増大する抵抗値を予め予測しながら、サーミスター
の抵抗値が水晶発振器の温度特性に最適にマッチングす
るように行う。接続電極27、28のカットは、通常レ
ーザビームを接続電極27、28に照射してカットす
る、いわゆるレーザートリミングにより行う。
【0017】次に、図2に示す実施例について説明する
と、前記図1の実施例では、二組の内部電極13、14
がサーミスター素体21を構成するサーミスター層1
1、11…を介して対向していた。この実施例では、同
じサーミスター層11、11…に二種類の内部電極1
3、14が共に形成されており、これらが各サーミスタ
ー層11、11…の平面方向に対向している。図2
(a)は、サーミスター素体21を構成するサーミスタ
ー層11、11…の層構造を示し、同図(b)は、完成
したサーミスターの外観を示す。この実施例によるサー
ミスターでは、同じサーミスター層11、11…に二種
類の内部電極13、14を共に印刷して積層するため、
内部電極13、14の間の位置ずれ等が起こりにくく、
得られる抵抗値のバラツキが小さいという利点がある。
【0018】次に、図3で示す実施例について説明する
と、同図(a)に示すように、この実施例では前記図2
の実施例において、内部電極13、14の引出電極1
5、16を各サーミスター層11、11…の対向する二
辺に導出したものである。このため、図3(b)で示す
完成したサーミスターでは、サーミスター素体21の図
において隠れた裏面側にも引出電極15、16が配列さ
れることになる。この実施例では、サーミスター素体2
1の二つの側面の何れかに接続電極27、28を形成で
きるので、製造が容易である。なお、サーミスター素体
21の二つの側面に接続電極27、28を形成してしま
うと、その両側面の接続電極27、28を共にトリミン
グしないと抵抗値の調整ができないことになる。それで
は、サーミスターを回路基板上に搭載した状態ではトリ
ミングが不可能になってしまうので、接続電極27、2
8はサーミスター素体21の二つの側面の何れか一方に
形成する。
【0019】次に、図4で示す実施例について説明する
と、同図(a)に示すように、この実施例では前記図3
の実施例において、内部電極13、14の引出電極1
5、16を各サーミスター層11、11…の対向する二
辺に導出したのに加え、それと直交する辺にも引出電極
15、16を導出したものである。このため、図4
(b)で示す完成したサーミスターでは、サーミスター
素体21の図において隠れた裏面側の他、それと直交す
る側面にも引出電極15、16が配列されている。な
お、図4(b)においてセラミック素体21の陰に隠れ
た側面にある引出電極16は図示されていない。この実
施例では、サーミスター素体21の四つの側面の何れか
に接続電極27、28を形成できるので、製造が容易で
ある。なお、サーミスター素体21の四つの側面の全て
に接続電極27、28を形成してしまうと、それら側面
の接続電極27、28を全てトリミングしないと抵抗値
の調整ができないことになるのは、前記図3の実施例と
同様である。それでは、サーミスターを回路基板上に搭
載した状態ではトリミングが不可能になってしまうと共
に、トリミングも面倒になる。そこで、接続電極27、
28はサーミスター素体21の双方の引出電極15、1
6が導出された二つの側面の何れか一方或は、各々の引
出電極15、16が導出された対向する二つの側面に形
成する。
【0020】次に、図5で示す実施例について説明する
と、同図(a)、(b)に示すように、この実施例で
は、前記図1に示された実施例と同様に、二つの種類の
内部電極13、14が異なるサーミスター層11、11
…に形成され、これらの内部電極13、14がサーミス
ター層11、11…を介して対向している。そして、一
方の内部電極13は他方の内部電極14より狭く、且つ
内部電極14がセラミック層11…の表面に占める領域
より内側の領域に形成されている。このため、内部電極
13、14に多少の印刷ずれ、積層ずれ等が生じても、
それらの実質的な対向面積が変わらないようになってい
る。これにより、製品間の抵抗値のバラツキが生じにく
い。
【0021】次に、図6で示す実施例について説明する
と、この実施例では、図2に示した実施例と同様に、同
じサーミスター層11、11…に二種類の内部電極1
3、14が共に形成されており、これらが各サーミスタ
ー層11、11…の平面方向に対向しているが、これら
内部電極13、14が形成されたサーミスター層11、
11…の間に引出電極15、16を有しておらず、且つ
双方の内部電極13、14が形成された領域と対向する
領域にわたって中間内部電極19、19…が形成された
サーミスター層11、11…が挿入されている。このよ
うな中間内部電極19、19…を挿入することにより、
端子電極23、25に表れる抵抗値を小さくすることが
できる。以上の実施例において、内部電極13、14、
19は、中間内部電極19を含めて3種類であったが、
それ以上の種類の内部電極を有していてもよい。特に引
出電極15、16を有する内部電極が3種類以上設けら
れることもある。
【0022】
【発明の効果】以上説明した通り、本発明のよるサーミ
スターとその調整方法では、サーミスターの抵抗値を容
易且つ正確に調整することができるので、サーミスター
を組み込んだ回路の温度特性のマッチングが悪い場合で
も、必要に応じてサーミスターをその都度交換すること
なく、その抵抗値の調整により対応できる。これによ
り、サーミスターを組み込んだ回路機器の組立や調整が
容易となり、サーミスターの無駄も省けるので、製品の
製造が容易となり、その生産性の向上やコストの低減等
を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例によるサーミスターのサーミス
ター素体の層構造を示す分解斜視図、そのサーミスター
素体の外観斜視図及び完成したサーミスターの外観斜視
図である。
【図2】本発明の他の実施例によるサーミスターのサー
ミスター素体の層構造を示す分解斜視図及び完成したサ
ーミスターの外観斜視図である。
【図3】本発明の他の実施例によるサーミスターのサー
ミスター素体の層構造を示す分解斜視図及び完成したサ
ーミスターの外観斜視図である。
【図4】本発明の他の実施例によるサーミスターのサー
ミスター素体の層構造を示す分解斜視図及び完成したサ
ーミスターの外観斜視図である。
【図5】本発明の他の実施例によるサーミスターのサー
ミスター素体の層構造を示す分解斜視図及び完成したサ
ーミスターの外観斜視図である。
【図6】本発明の他の実施例によるサーミスターのサー
ミスター素体の層構造を示す分解斜視図及び完成したサ
ーミスターの外観斜視図である。
【図7】従来例によるサーミスターの一部切断斜視図図
である。
【符号の説明】
11 サーミスター素体を構成するサーミスター層 13 内部電極 14 内部電極 15 引出電極 16 引出電極 19 中間内部電極 21 サーミスター素体 23 端子電極 25 端子電極 27 接続電極 28 接続電極

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 温度により抵抗値が変化するサーミスタ
    ー層(11)、(11)…の積層体からなるサーミスタ
    ー素体(21)と、このサーミスター素体(21)の各
    々のサーミスター層(11)、(11)…の層間に形成
    され、対向した複数対の内部電極(13)、(14)と
    を有するサーミスターにおいて、前記内部電極(1
    3)、(14)に各々導通し、サーミスター素体(2
    1)の表面に露出して配列された引出電極(15)、
    (16)と、各組の内部電極(13)、(14)に各々
    導通する引出電極(15)、(16)を互いに導通する
    ようサーミスター素体(21)の表面に形成された導体
    膜からなる接続電極(27)、(28)と、この接続電
    極(27)、(28)に導通してサーミスター素体(2
    1)の表面に形成された端子電極(23)、(25)と
    を有することを特徴とするサーミスター。
  2. 【請求項2】 サーミスター層(11)、(11)…の
    層間に形成された内部電極(13)、(14)は、サー
    ミスター層(11)、(11)…の厚み方向に対向して
    いることを特徴とする前記請求項1に記載のサーミスタ
    ー。
  3. 【請求項3】 サーミスター層(11)、(11)…の
    層間に形成された内部電極(13)、(14)は、サー
    ミスター層(11)、(11)…の平面方向に対向して
    いることを特徴とする前記請求項1に記載のサーミスタ
    ー。
  4. 【請求項4】 引出電極(15)、(16)は、サーミ
    スター素体(21)の同じ表面に露出して配列されてい
    ることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載のサー
    ミスター。
  5. 【請求項5】 同じ内部電極(13)、(14)に導通
    する引出電極(15)、(16)がサーミスター素体
    (21)の異なる複数の面に導出されていることを特徴
    とする請求項1〜4の何れかに記載のサーミスター。
  6. 【請求項6】 引出電極(15)、(16)は、それら
    の一部のみが接続電極(27)、(28)に覆われ、他
    の部分はサーミスター素体(21)の表面に露出してい
    ることを特徴とする請求項1〜5の何れかに記載のサー
    ミスター。
  7. 【請求項7】 端子電極(23)、(25)は、サーミ
    スター素体(21)の両端に形成されていることを特徴
    とする請求項1〜6の何れかに記載のサーミスター。
  8. 【請求項8】 引出電極(15)、(16)を有する内
    部電極(13)、(14)が形成されたサーミスター層
    (11)、(11)の間に、引出電極(15)、(1
    6)を有しておらず、且つ双方の内部電極(13)、
    (14)が形成された領域と対向する領域にわたって中
    間内部電極(19)、(19)…が形成されたサーミス
    ター層(11)、(11)…が挿入されていることを特
    徴とする請求項1〜7の何れかに記載のサーミスター。
  9. 【請求項9】 温度により抵抗値が変化するサーミスタ
    ー素体(21)の内部で対向した複数対の内部電極(1
    3)、(14)と各々導通する端子電極(23)、(2
    5)の間の抵抗値を調整する方法において、サーミスタ
    ー層(11)、(11)…の積層体からなるサーミスタ
    ー素体(21)と、このサーミスター素体(21)の各
    々のサーミスター層(11)、(11)…の層間に形成
    され、対向した複数対の内部電極(13)、(14)
    と、これらの内部電極(13)、(14)に各々導通
    し、サーミスター素体(21)の表面に露出して配列さ
    れた引出電極(15)、(16)と、各組の内部電極
    (13)、(14)に各々導通する引出電極(15)、
    (16)を互いに導通するようサーミスター素体(2
    1)の表面に形成された導体膜からなる接続電極(2
    7)、(28)と、この接続電極(27)、(28)に
    導通してサーミスター素体(21)の表面に形成された
    端子電極(23)、(25)とを有するサーミスターに
    ついて、前記接続電極(27)、(28)を任意の位置
    で切断し、同接続電極(27)、(28)を通して端子
    電極(23)、(25)に導通していた引出電極(1
    5)、(16)を切り離し、端子電極(23)、(2
    5)の間に表れる抵抗値を調整することを特徴とするサ
    ーミスターの調整方法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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