JPH08339084A

JPH08339084A - 活性エネルギー線硬化性樹脂組成物

Info

Publication number: JPH08339084A
Application number: JP16803095A
Authority: JP
Inventors: Masami Okuo; 雅巳奥尾; Yoshiki Higuchi; 慶樹樋口; Hiroshi Omura; 博大村; Shuji Suyama; 修治須山
Original assignee: Nippon Oil and Fats Co Ltd
Current assignee: NOF Corp
Priority date: 1995-06-09
Filing date: 1995-06-09
Publication date: 1996-12-24

Abstract

(57)【要約】【目的】アルカリ現像性に優れている、すなわちアル
カリ水溶液による現像が容易な活性エネルギー線硬化性
樹脂組成物を提供する。また、レジスト材料などとして
用いられた場合、活性エネルギー線に対する感度が良好
で、鮮明な画像が得られる上に、ノンタック性の被膜を
与え、しかも硬化後の樹脂の耐アルカリ性および耐化学
薬品性に優れた活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を提
供する。【構成】活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、
（Ａ）カルボキシル基などの酸基を有する親水性セグメ
ント（Ｉ）、（メタ）アクリル酸エステルなどから形成
される疎水性セグメント（II）からなるブロック共重合
体、（Ｂ）重合性単量体および（Ｃ）重合開始剤を含有
する。ブロック共重合体中のセグメント（Ｉ）のガラス
転移温度（Tg）が−５℃以上であり、セグメント（Ｉ）
またはセグメント（II）のガラス転移温度（Tg）が８０
℃以下である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、例えば活性エネルギ
ー線の硬化によるレジスト材料として用いられる活性エ
ネルギー線硬化性樹脂組成物に関するものである。さら
に詳しくは、アルカリ現像性、感度および解像度に優
れ、ノンタック性の被膜を形成できるとともに、耐アル
カリ性および耐化学薬品性にも優れた活性エネルギー線
硬化性樹脂組成物に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】レジスト材料の使用が始まった当時の未
露光部を除去する現像方法としては、１，１，１−トリ
クロロエタンに代表される有機ハロゲン溶剤を用いる溶
剤現像型が主流であった。しかし、労働環境、自然環境
の問題から、近年ではこのタイプのレジストはあまり使
用されておらず、代わってアルカリ現像型のレジスト材
料が使用されている。また近年、使用後の現像液の中性
化処理などのコスト低減、現像設備の簡素化、アルカリ
水溶液の作業者への影響などを考慮して、中性水による
現像が可能な水現像型レジストが開発されつつある。こ
の水現像型レジストは、アルカリ現像型レジストと比較
して確かに前述したメリットがあるが、高い耐熱性や機
械的強度などが比較的要求されない印刷版材料の分野で
主に用いられている。

【０００３】一方、比較的高い耐熱性や機械的強度が要
求されるプリント配線板や液晶ディスプレーのカラーフ
ィルターなどの用途には、現在もアルカリ現像型レジス
トが広く用いられている。

【０００４】アルカリ現像型レジストは、例えばプリン
ト配線板用の銅張積層板やカラーフィルター用ガラス基
板上に塗布されて、フォトマスクを介した露光の後、
０．５〜２．０重量％炭酸ナトリウム水溶液やテトラメ
チルアンモニウムハイドロオキサイド水溶液のような希
薄アルカリ水溶液による現像が行われて未露光部が除去
される。さらに、銅張積層板の場合には、活性エネルギ
ー線硬化像をレジストとして露出部の金属のエッチング
や金属メッキが行われる。また、カラーフィルターの場
合には、後工程でカラーフィルターに上塗りされるＩＴ
Ｏ（インジウムティンオキサイド）膜のエッチングが行
われる。さらに、その上には有機溶剤を含有した液晶配
向膜が設置される。

【０００５】従って、このようなアルカリ現像型レジス
トは、未露光部については希薄アルカリ水溶液で完全に
除去される必要があり、また、露光部については適度な
耐アルカリ性が必要である。さらに、その後のエッチン
グ、金属メッキや有機溶剤に侵されないための耐化学薬
品性が必要である。

【０００６】従来から、アルカリ現像型レジストは、種
々提案されており、カルボン酸基を有する重合体を含む
もの（例えば、特公昭５４−３４３２７号公報、特開平
２−２９４３０１号公報）、フェノール基を有する重合
体を含むもの（例えば、特開平６−４３６４７号公報、
特開平５−１４７７４２号公報）、酸無水物基を有する
重合体を含むもの（例えば、特開平２−２９８９４７号
公報）、スルホン酸基を有する重合体を含むもの（例え
ば、特開平４−１２２９４１号公報、特開平４−２０４
４５３号公報）が開示されている。

【０００７】また、特開平６−２７６４号公報では、下
記ｘ）、ｙ）およびｚ）よりなる製版用光硬化性エラス
トマー組成物が開示されている。すなわち、ｘ）はガラ
ス転移温度（Tg）が−３０℃以下の疎水性軟質セグメン
ト（Ｘ）およびガラス転移温度が＋３０℃以上の親水性
硬質セグメント（Ｙ）の２つのセグメントからなるか、
またはそれら（Ｘ）、（Ｙ）に加えて更に、ガラス転移
温度が＋５０℃以上の疎水性硬質セグメント（Ｚ）の３
つのセグメントからなるブロック共重合体より形成され
る両親媒性エラストマー結合剤である。ｙ）は遊離基機
構によって重合でき、結合剤と相溶性であり、少なくと
も１個のエチレン性不飽和末端基を有し、かつ常圧下で
１００℃よりも高い沸点を有する低分子量化合物であ
る。ｚ）は化学線の作用下に化合物ｙ）の重合を開始す
ることができる化合物である。

【０００８】このような両親媒性エラストマー結合剤を
用いた組成物では、適度な露光後の水系現像により印刷
インキ耐性やショア硬度に優れた露光印刷版を得ること
ができる。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この両親媒
性エラストマー結合剤は、ガラス転移温度（Tg）が−３
０℃以下の疎水性軟質セグメンント（Ｘ）を必須成分と
するために、塗膜表面にタック性があり、画像の形状が
記録されたフォトマスクを密着して露光することが困難
であるという問題がある。また、親水性硬質セグメント
（Ｙ）が不飽和カルボン酸のみから構成されているため
に、硬化物の耐アルカリ性、耐薬品性に劣るという問題
がある。

【００１０】このように従来の技術では、アルカリ現像
が可能なレジスト材料として、感度や解像度に優れてい
ることはもちろんのこと、それに加えてノンタック性の
塗膜を得ることができ、かつ耐アルカリ性、耐化学薬品
性に優れたものはほとんど見い出されていない。

【００１１】この発明は、上記のような従来技術に存在
する問題に着目してなされたものである。その目的とす
るところは、アルカリ現像性に優れる、すなわちアルカ
リ水溶液による現像が容易な活性エネルギー線硬化性樹
脂組成物を提供することにある。

【００１２】その他の目的とするところは、レジスト材
料などとして用いられた場合、活性エネルギー線に対す
る感度が良好で、鮮明な画像が得られる上に、ノンタッ
ク性の被膜を与え、しかも硬化後の樹脂の耐アルカリ
性、耐薬品性にも優れた活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物を提供することにある。

【００１３】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、請求項１に記載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成
物の発明では、（Ａ）酸基を有する親水性セグメント
（Ｉ）と、疎水性セグメント（II）とからなるブロック
共重合体、（Ｂ）活性エネルギー線の照射により重合す
る重合性単量体および（Ｃ）活性エネルギー線により重
合性単量体の重合を開始させるための重合開始剤を含有
し、前記ブロック共重合体（Ａ）中の疎水性セグメント
（II）のガラス転移温度（Tg）が−５℃以上であり、か
つ酸基を有する親水性セグメント（Ｉ）または疎水性セ
グメント（II）のガラス転移温度（Tg）が８０℃以下で
ある。

【００１４】請求項２に記載の発明では、請求項１に記
載の発明において、酸基を有する親水性セグメント
（Ｉ）が、不飽和カルボン酸、不飽和酸無水物、スルホ
ン酸基含有単量体またはリン酸基含有単量体より形成さ
れたものである。

【００１５】請求項３に記載の発明では、請求項１また
は請求項２に記載の発明において、ブロック共重合体
（Ａ）中の酸基を有する親水性セグメント（Ｉ）の含有
量が１５〜８５重量％であり、組成物中のブロック共重
合体（Ａ）の含有量が３５〜８０重量％である。

【００１６】以下に、この発明について詳細に説明す
る。この発明において使用されるブロック共重合体は、
酸基を有する親水性セグメント（Ｉ）と疎水性セグメン
ト（II）とより構成されている。このようなブロック共
重合体を使用することにより、レジスト材料などとし
て、アルカリ現像性、耐アルカリ性、耐化学薬品性、感
度、解像度およびノンタック性が向上する。特に、セグ
メント（Ｉ）に酸基を導入したことにより、この酸基が
アルカリと反応してアルカリ現像性を向上させる。ま
た、疎水性セグメント（II）を有することにより、耐ア
ルカリ性や耐化学薬品性が向上する。

【００１７】しかも、ブロック共重合体であることか
ら、両セグメント（Ｉ），（II）がいわゆる海島構造を
形成して局在的に結合していることから、アルカリ現像
性と耐アルカリ性を両立させることができ、活性エネル
ギー線照射部と非照射部における溶解性の差が顕著にな
り、感度や解像度が向上する。加えて、疎水性セグメン
ト（II）のガラス転移温度（Tg）を−５℃以上に設定し
たことから、樹脂組成物より形成される被膜表面がノン
タック性となる。

【００１８】このブロック共重合体中へ酸基を有する親
水性セグメント（Ｉ）を導入するためには、酸基を有す
るビニル単量体を使用する必要がある。酸基としては、
カルボキシル基、スルホン酸基、リン酸基などが挙げら
れる。

【００１９】この酸基を有するビニル単量体としては、
下記の (1)〜(5) の単量体が挙げられ、これらの単量体
の中から適宜その１種を単独でまたは２種以上を混合し
て使用することができる。 (1) メタクリル酸、アクリル酸、マレイン酸、フマル
酸、イタコン酸、シトラコン酸、β−メタクリロイルオ
キシエチルハイドロジェンサクシネート、β−アクリロ
イルオキシエチルハイドロジェンサクシネートなどの不
飽和カルボン酸。 (2) マレイン酸無水物、イタコン酸無水物、シトラコン
酸無水物、４−メタクリロキシエチルトリメリット酸無
水物などの不飽和酸無水物、ヒドロキシフェノキシエチ
ルメタクリレート。 (3) ヒドロキシフェノキシエチルアクリレート、エチレ
ンオキサイドの付加モル数が２〜９０のヒドロキシフェ
ノキシポリエチレングリコールメタクリレート、エチレ
ンオキサイドの付加モル数が２〜９０のヒドロキシフェ
ノキシポリエチレングリコールアクリレート、プロピレ
ンオキサイドの付加モル数が２〜９０のヒドロキフェノ
キシポリプロピレングリコールメタクリレート、プロピ
レンオキサイドの付加モル数が２〜９０のヒドロキフェ
ノキシポリプロピレングリコールアクリレート、ビニル
フェノール、ヒドロキシフェニルマレイミドなどのフェ
ノール基含有単量体。 (4) スルホエチルメタクリレート、スルホエチルアクリ
レート、スチレンスルホン酸、アクリルアミド−ｔ−ブ
チルスルホン酸、メタリルスルホン酸などのスルホン酸
基含有単量体。 (5) モノ２ーメタクリロイルオキシエチルアシッドホス
フェート、モノ２ーアクリロイルオキシエチルアシッド
ホスフェートなどのリン酸基含有単量体。

【００２０】これらのビニル単量体の中でも、アルカリ
水溶液による溶解性が大きい(1) 、(3) 、(4) の単量体
が好ましい。酸基を有するセグメント（Ｉ）は (1)〜
(5) の酸基を有するビニル単量体を下記の (6)〜(15)の
親水性単量体単独またはこれと(a) 〜(j) の疎水性単量
体とを共重合することにより得られる。 (6) Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、アクリルアミ
ド、Ｎ，Ｎ−ジエチルアクリルアミド、Ｎ−イソプロピ
ルアクリルアミド、アクリロイルモルホリン、Ｎ，Ｎ−
ジメチルアミニプロピルアクリルアミド、メタアクリル
アミド、Ｎ−メチロールアクリルアミドなどの（メタ）
アクリルアミド。 (7) Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノエチルメタクリレート、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノエチルメタクリレート、Ｎ，Ｎ
−ジエチルアミノエチルアクリレート、Ｎ，Ｎ−ジメチ
ルアミノエチルアクリレートなどのアミノアルキル（メ
タ）アクリレート。 (8) ２−ヒドロキシエチルアクリレート、２−ヒドロキ
シエチルメタクリレート、２−ヒドロキシプロピルアク
リレート、２−ヒドロキシプロピルメタクリレート、
２，３−ジヒドロキシプロピルメタクリレートなどのヒ
ドロキシアルキル（メタ）アクリレート。 (9) ＥＯの付加モル数が２〜９８のポリエチレングリコ
ールモノメタクリレート、ＥＯの付加モル数が２〜９８
のメトキシポリエチレングリコールモノメタクリレー
ト、ＥＯ付加モル数が２〜９８のフェノキシポリエチレ
ングリコールモノアクリレート、ＥＯ付加モル数が１〜
４のノニルフェノールモノエトキシレートアクリレー
ト、メトキシエチルアクリレート、エトキシジエチレン
グリコールアクリレートなどのポリオキシエチレンのモ
ノ（メタ）アクリレート。 (10)メタクリル酸のナトリウム塩、アクリル酸のナトリ
ウム塩、スチレンスルホン酸ナトリウム、スルホン酸ナ
トリウムエトキシメタクリレート、スルホン酸ナトリウ
ムエトキシアクリレートなどの酸基含有単量体のアルカ
リ金属塩。 (11)メタクリル酸ヒドロキシエチルトリメチルアンモニ
ウムクロライド、メタクリル酸ヒドロキシプロピルトリ
メチルアンモニウムクロライド、アクリル酸ヒドロキシ
エチルトリメチルアンモニウムクロライドなどの四級ア
ンモニウム塩基含有（メタ）アクリレート。 (12)アリルグリコール、ＥＯ付加モル数が３〜３２のポ
リエチレングリコールモノアリルエーテル、メトキシポ
リエチレングリコールモノアリルエーテルなどの（メ
タ）アリル化合物。 (13)Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム
などの環状複素環含有化合物。 (14)アクリロニトリル、メタクリロニトリル、シアン化
ビニリデンなどのシアン化ビニル。 (15)化学式（１）〜（７）で例示され、具体的には日本
油脂（株）製のラピゾールＡＩＳ−１１２およびＡＩＳ
−２１２、花王（株）製のラテムルＳ−１８０、１８０
−Ａ、日本乳化剤（株）製のＡｎｔｏｘ−ＭＳ−２Ｎ、
Ａｎｔｏｘ−ＭＳ−６０、ＲＡ−４２１１、三洋化成
（株）製のエレミノールＪＳ−２、ＲＳ−３０、第一工
業製薬（株）製のアクアロンＨＳ−２０、ＨＳ−１０、
ＨＳ−５、ニューフロンテアＡ−２２９Ｅ、旭電化工業
（株）製のＳＥ−１０Ｎなどの商品名で各社より販売さ
れている反応性乳化剤。

【００２１】なお、以下の各式において、Фは芳香環を
表す。（１）式の芳香環に結合される置換基はどの位置
でもよい。

【００２２】

【化１】

【００２３】但し、（ＯＡ）_m，（ＡＯ）_nはポリオキ
シアルキレン基、Ｒ，Ｒ’はアルキル基を表す。

【００２４】

【化２】

【００２５】但し、Ｒはアルキル基を表す。

【００２６】

【化３】

【００２７】

【化４】

【００２８】

【化５】

【００２９】但し、芳香環（Φ）に結合する置換基はパ
ラ位である。

【００３０】

【化６】

【００３１】

【化７】

【００３２】但し、芳香環（Φ）に結合する置換基はパ
ラ位である。 (a) メチルアクリレート、エチルアクリレート、プロピ
ルアクリレート、ブチルアクリレート、オクタデシルア
クリレート、ドコシルアクリレートなどの炭素数１〜２
２のアルキル基を有するアクリル酸エステル。 (b) メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、プ
ロピルメタクリレート、ブチルメタクリレート、オクタ
デシルメタクリレート、ドコシルメタクリレートなどの
炭素数１〜２２のアルキル基を有するメタクリル酸エス
テル。 (c) ジメチルフマレート、ジエチルフマレート、ジブチ
ルフマレート、ジメチルイタコネート、ジブチルイタコ
ネート、メチルエチルフマレート、メチルブチルフマレ
ート、メチルエチルイタコネートなどの不飽和ジカルボ
ン酸エステル。 (d) スチレン、α−メチルスチレン、クロロスチレンな
どのスチレン誘導体。 (e) メチルビニルケトン、ブチルビニルケトンなどの不
飽和ケトン。 (f) ビニルアセテート、ビニルブチレートなどのビニル
エステル。 (g) メチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテルなど
のビニルーテル。 (h) Ｎ−フェノルマレイミド、Ｎ−シクロヘキシルマレ
イミドなどのＮ−置換マレイミド。 (i) 塩化ビニル、臭化ビニル、フッ化ビニル、塩化ビニ
リデンなどのハロゲン化ビニルやハロゲン化ビニリデ
ン。 (j) アリルフェニルエーテル、アリルメチルエーテル、
アリルプロピオネート、アリルミリステート、アリルシ
クロヘキシルプロピオネートなどのアリル化合物。

【００３３】酸基を有する親水性セグメント（Ｉ）の中
の酸基を有する単量体の割合は、酸基を有するセグメン
ト（Ｉ）全体の５〜８０重量％、より好ましくは１０〜
６０重量％である。この割合が５重量％より少ないと、
レジスト材料としてのアルカリ現像性、感度、解像度に
好結果が得られず、また８０重量％を越えると耐アルカ
リ性、耐化学薬品性に好結果が得られない。

【００３４】セグメント（Ｉ）の含有量は、ブロック共
重合体全体の１５〜８５重量％、より好ましくは３０〜
６０重量％である。この含有量が１５重量％より少ない
と、レジスト材料としてのアルカリ現像性、感度、解像
度に好結果が得られず、また８５重量％より多くなる
と、感度、耐アルカリ性、耐化学薬品性に好結果が得ら
れない。

【００３５】疎水性セグメント（II）を導入するために
必要な単量体としては、セグメント（Ｉ）に導入される
疎水性単量体として例示した前記 (a)〜(i) の単量体と
同様のものが挙げられる。これらの単量体の中から適宜
その１種を単独でまたは２種以上を混合して使用するこ
とができる。これらのビニル単量体の中でも、ラジカル
重合性の良好な (a)、 (b)、 (c)、 (d)、 (f)の単量体
が好ましい。

【００３６】疎水性セグメント（II）の含有量は、ブロ
ック共重合体全体の１５〜８５重量％、より好ましくは
４０〜７０重量％である。この含有量が１５重量％より
少ないと、レジスト材料としての感度、耐アルカリ性、
耐化学薬品性に好結果が得られず、また８５重量％より
多くなると、アルカリ現像性、感度、解像度に好結果が
得られない。

【００３７】また、ブロック共重合体の疎水性セグメン
ト（II）のガラス転移温度（Tg）は、示差走査熱量分析
法（ＤＳＣ）により測定される温度で−５℃以上である
ことが必要で、０℃以上であることが望ましい。このガ
ラス転移温度が−５℃より低いと、成膜した組成物の被
膜がタック性を有するので不適当である。

【００３８】一方、親水性セグメント（Ｉ）あるいは疎
水性セグメント（II）の少なくとも一方のガラス転移温
度が８０℃以下であることが必要で、６０℃以下である
ことが望ましい。両方のセグメントのガラス転移温度が
ともに８０℃を越えると、アルカリ現像性、感度が悪化
するので不適当である。

【００３９】次に、ブロック共重合体の合成は、常法に
従って行われる。具体的には、アニオンリビング法、逐
次添加法、高分子反応法、ポリメリックペルオキシド
法、ポリメリックアゾ化合物法などが採用されるが、製
造の容易性および収率向上の観点から最も好ましいのは
ポリメリックペルオキシド法である。

【００４０】また重合方法としては、塊状重合法、溶液
重合法、懸濁重合法、乳化重合法の何れの方法であって
もよい。ここで、ポリメリックペルオキシドとは、一分
子中に複数のペルオキシド結合を有する化合物をいう。
ブロック共重合体は、このポリメリックペルオキシドを
重合開始剤として２段階の重合によって得られる。ポリ
メリックペルオキシドとしては従来公知のものが使用可
能であり、好ましくは次の化学式（８）〜（１２）で示
されるようなポリメリックペルオキシドを用いて、疎水
性ビニル単量体の１種または２種類以上を重合する。な
お、以下の化学式において、Φは芳香環を表す。

【００４１】

【化８】

【００４２】

【化９】

【００４３】

【化１０】

【００４４】

【化１１】

【００４５】

【化１２】

【００４６】重合に際し、ポリメリックペルオキシドの
活性酸素を約５０％残存させたところで重合を停止させ
ることにより、ペルオキシド結合を含有する疎水性の重
合体を得ることができる。得られた重合体を重合開始剤
として、セグメント（Ｉ）の必須成分であるビニル単量
体 (1)〜(5) の単独またはこれと (a)〜(i) のビニル単
量体の内の１種または２種以上とを共重合することによ
って、目的とするブロック共重合体を合成することがで
きる。

【００４７】逆に、ポリメリックペルオキシドを用い、
セグメント（Ｉ）の必須成分であるビニル単量体 (1)〜
(5) の単独またはこれと (a)〜(i) のビニル単量体の１
種または２種以上とを共重合してペルオキシド結合を含
有する重合体を得、次いで疎水性ビニル単量体の１種ま
たは２種以上を重合することもできる。

【００４８】ところで、活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物には通常、ベース樹脂、単量体および活性エネルギ
ー線により重合を開始するための重合開始剤が必須成分
として含まれる。

【００４９】前記ブロック共重合体は、活性エネルギー
線硬化性樹脂組成物のうちのベース樹脂として使用さ
れ、その含有量は組成物中３５〜８０重量％が好まし
く、４０〜７０重量％がさらに好ましい。

【００５０】次に、重合性単量体（Ｂ）は、活性エネル
ギー線の照射により重合する単量体であり、一般に知ら
れているものが使用可能である。この重合性単量体
（Ｂ）としては、例えばブロック共重合体の製造におい
て例示した (1)〜(15)および (a)〜(i) の単官能のラジ
カル重合性単量体のほか、下記（α）に例示される多官
能のラジカル重合性単量体や（β) 〜（δ）に例示され
る単官能および多官能のカチオン重合性単量体が挙げら
れる。これらの単量体の中から適宜その１種を単独で、
または２種以上を混合して使用することができる。（α）多官能ラジカル重合性単量体ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチ
ルグリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレング
リコールジ（メタ）アクリレート、トリプロピレングリ
コールジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸
ネオペンチルグリコールエステルジ（メタ）アクリレー
ト、１，６−ヘキサンジオールのジグリシジルエーテル
のアクリル酸付加物、ヒドロキシピバルアルデヒドとト
リメチロールプロパンのアセタール化物のジ（メタ）ア
クリレート、２，２−ビス［４−（アクリロイロキシ）
フェニル］プロパン、水添ビスフェノールＡエチレンオ
キサイド付加物のジ（メタ）アクリレート、トリシクロ
デカンジメタノールジ（メタ）アクリレート、トリメチ
ロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリ
スリトールトリ（メタ）アクリレート、トリメチロール
プロパンプロピレンオキサイド付加物トリ（メタ）アク
リレート、グリセリンプロピレンオキサイド付加物トリ
（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキ
サ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペン
タ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールの低
級脂肪酸およびアクリル酸のエステル、トリス（アクリ
ロイロキシエチル）イソシアネート、ジペンタエリスリ
トールのカプロラクトン付加物（メタ）アクリレート、
プロピオン酸ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）ア
クリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコ
ールジ（メタ）アクリレートのカプロラクトン付加物な
どの多官能のラジカル重合性単量体。（β）エポキシ化合物ビスフェノールＡ、ビスフェノールＦなどの多価フェノ
ールあるいはそのアルキレンオキサイド付加体とエピク
ロルヒドリンとの反応によって得られるエポキシ樹脂
や、フェノールノボラック型、クレゾールノボラック型
などのノボラック型エポキシ樹脂に代表される芳香族系
エポキシ樹脂、水添したビスフェノールＡまたはそのア
ルキレンオキサイド付加体とエピクロルヒドリンとの反
応によって得られるエポキシ樹脂や３，４−エポキシシ
クロヘキシルメチル−３，４−エポキシシクロヘキサン
カルボキシレートなどのシクロヘキセンオキサイド基、
トリシクロデセンオキサイド基、シクロペンテンオキサ
イド基等の脂環を有する脂環式エポキシ樹脂、１，４−
ブタンジオール、１，６−ヘキサンジオールなどの脂環
式多価アルコールやそのアルキレンオキサイド付加体と
エピクロルヒドリンとの反応によって得られるポリグリ
シジルエーテルや、脂肪族長鎖二塩基酸のジグリシジル
エステルに代表される脂肪族系エポキシ樹脂。（γ）グリシジル化合物メチルグリシジルエーテル、ブチルグリシジルエーテ
ル、２−エチルヘキシルグリシジルエーテル、フェニル
グリシジルエーテル、アリルグリシジルエーテル、など
のグリシジルエーテル、ジグリシジルフタレート、ジグ
リシジルテトラヒドロフタレートなどのグリシジルエス
テル、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン、テトラグリシジ
ルジアミノフェニルメタン、トリグリシジルｐ−アミノ
フェノールなどのグリシジルアミン。（δ）ビニルエーテル２−エチルヘキシルビニルエーテル、オクチルビニルエ
ーテル、フェニルビニルエーテル、ナフチルビニルエー
テル、２−クロロエチルビニルエーテル、２−ビニロキ
シエチルアクリレート、２−ビニロキシエチルメタクリ
レート、ジエチレングリコールジビニルエーテル。

【００５１】これらの単量体の中でも、活性エネルギー
線硬化性の良好な（α）多官能ラジカル重合性単量体、
（δ）ビニルエーテルが、活性エネルギー線による硬化
性を向上させる観点から好ましい。

【００５２】重合性単量体（Ｂ）の含有量は、活性エネ
ルギー線による硬化性を維持させるため、活性エネルギ
ー線硬化性樹脂組成物中２０〜６０重量％が好ましい。
次に、活性エネルギー線により重合性単量体（Ｂ）の重
合を開始させるための重合開始剤（Ｃ）は、樹脂組成物
の加工時に適度の熱安定性を有し、かつ単量体の重合ま
たは硬化を開始するために必要なラジカルやカチオンな
どの活性種を活性エネルギー線により生成する化合物で
ある。この重合開始剤（Ｃ）としては、従来公知のもの
が使用可能であり、例えば下記に示すラジカル重合系の
ものやカチオン重合系のものが挙げられ、これらの重合
開始剤の中から適宜その１種を単独で、または２種以上
を混合して使用することができる。（ア）ラジカル重合系ジエチルチオキサントン、２−メチル−１−［４−（メ
チルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパノン、
ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインエチルエ
ーテル、ベンゾフェノン、ベンゾフェノンメチルエーテ
ル、２−エチルアントラキノン、２，４−ジメチルチオ
キサントン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセト
フェノン、ｐ−ｔ−ブチルトリクロロアセトフェノン、
ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２−ヒドロ
キシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン。（イ）カチオン重合系トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロホスフェー
ト、トリフェニルスルホニウムテトラフルオロボレー
ト、トリス（３，５−ジメチル−４−ヒドロキシフェニ
ル）スルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、（η
6 −ベンゼン）（η5 −シクロペンタジエニル）鉄（２
価）のヘキサフルオロホスフェート塩、ジフェニルヨー
ドニウムテトラフルオロボレート、フェニル−４−メトキ
シフェニルヨードニウムヘキサフルオロアンチモネー
ト。

【００５３】これらの重合開始剤の中でも、活性エネル
ギー線に対する感度が良好な２−メチル−１−［４−
（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパノ
ン、２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタン−
１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル
−プロパン−１−オン、２，４，６−トリメチルベンゾ
イルジフェニルホスフィンオキサイド、トリフェニルス
ルホニウムヘキサフルオロアンチモネートが好ましい。

【００５４】この重合開始剤の含有量は、活性エネルギ
ー線硬化性樹脂組成物中０．１〜２０重量％であること
が、活性エネルギー線による速やかな硬化性の観点から
好ましい。

【００５５】この発明の活性エネルギー線硬化性樹脂組
成物には、必要によりチオキサントン、アントラセン、
ペリレンなどの光増感剤、酸化防止剤、熱硬化型触媒、
染料、顔料、チクソトロピー賦与剤、可塑剤、界面活性
剤などを含有させてもよい。また、フェノール樹脂、メ
ラミン樹脂、ポリイミドなどの熱硬化性樹脂、ポリオレ
フィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ナイロン、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリカーボネートなどの熱可塑
性樹脂を添加してもよい。

【００５６】以上述べた各成分を混合することにより、
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を調製することがで
きる。また、これを使用する際には、この樹脂組成物を
メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチル
セロソルブ、エチルセロソルブ、プロピレングリコール
モノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコール
モノエチルエーテルアセテート、乳酸エチル、水等の溶
媒に溶解もしくは分散させることによって、粘度や塗布
性を調節することができる。

【００５７】この活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
は、使用に際し、転写、バーコータ、ロールコータ、ス
ピンコータなどにより、印刷基版に用いられる表面が砂
目立て処理されたアルミ板、銅製やアルミニウム製など
の半導体用基板、液晶ディスプレイ基板などの被着体に
塗布される。また、離型紙、フィルムなどに塗布してシ
ート状としたのち、上記被着体に貼り付けてもよい。

【００５８】この塗布ないし貼り付け後に、フォトマス
クを介して紫外線、電子線、Ｘ線およびγ線などの活性
エネルギー線を照射して樹脂組成物を硬化させる。その
後、アルカリ水溶液にて現像を行って未照射部分を除去
することにより、フォトマスク形状の画像が形成され
る。現像には、通常１０重量％以下の濃度のアルカリ水
溶液を用い、８０℃以下の温度で行われる。

【００５９】この樹脂組成物によれば、アルカリ水溶液
による現像は容易であり、上記操作により感度良好にし
て鮮明な画像を形成でき、硬化画像の耐アルカリ性や耐
化学薬品性にも優れている。

【００６０】

【実施例】以下に、参考例、比較参考例、実施例および
比較例により、この発明をさらに具体的に説明する。な
お、実施例および比較例中で用いた重合体ａ〜ｉ、水溶
性ポリエステルおよびエラストマーブロック共重合体
は、下記の参考例１〜５、比較参考例１〜６の方法にて
製造したものである。また、各例中の部および％は、特
に断りのない限り、重量基準である。

【００６１】また、参考例および比較参考例の方法によ
り製造されたペルオキシド結合含有重合体およびブロッ
ク共重合体の分析値は、以下の方法により求めたもので
ある。（活性酸素量）ヨードメトリー法により求めた。（重量平均分子量Ｍｗ）ＳＥＣ法（サイズエクスクルー
ジョンクロマトグラフ）で測定を行った。（ガラス転移温度）示差走査熱量分析法（ＤＳＣ）によ
り測定を行った。〔参考例１〕（１−ａ、ペルオキシド結合含有重合体の製法）温度
計、撹拌器および還流冷却器を備えた反応器に、プロピ
レングリコールモノメチルエーテル６０ｇを仕込み、窒
素ガスを吹込みながら７０℃に加熱する。次に、前記化
学式（１２）の化合物４ｇとブチルメタクリレート４０
ｇからなる混合溶液を２時間かけて仕込み、さらに２時
間重合反応を行った。得られた溶液はペルオキシド結合
含有重合体（前駆体ａ）を43重量％含有する透明な液体
であった。また、活性酸素の測定よりペルオキシド結合
が仕込量に対して51％残存していた。重合結果を分析結
果とともに表１に示した。

【００６２】なお、表１〜７中の略号は次の通りであ
る。また、（）内は各前駆体中の単量体組成を表す。
ＭＡＡ：メタクリル酸、ＭＡｎ：マレイン酸無水物、Ｈ
ＰＭＩ：ヒドロキシフェニルマレイミド、ＳＥＭＡ：ス
ルホエチルメタクリレートモノ２ーメタクリロイルオ
キシエチルアシッドホスフェート、ＰＭＥ−４００：メ
トキシポリエチレングリコールメタクリレート（ＥＯ
の付加モル数：９）、ＢＭＡ：ブチルメタクリレー
ト、ＥＡ：エチルアクリレート、Ｓｔ：スチレン、Ｂ
Ａ：ブチルアクリレート、ＭＭＡ：メチルメタクリレ
ート、ＤＬＰＯ：ジラウロイルペルオキシド

【００６３】

【表１】

【００６４】

【表２】

【００６５】（１−ｂ、ブロック共重合体の製造）温度
計、撹拌器、及び還流冷却器を備えた反応器に、１−ａ
のペルオキシ結合含有重合体（前駆体ａ）のプロピレン
グリコールモノメチルエーテル溶液１０４ｇ、メタクリ
ル酸１０ｇ、マレイン酸無水物２ｇ、ブチルメタクリレ
ート２３ｇおよびスチレン５ｇおよびプロピレングリコ
ールモノメチルエーテル６０ｇを仕込み、窒素ガスを吹
込みながら７０℃に加熱し、６時間ブロック共重合反応
を行い、ブロック共重合体を含む半透明の重合体混合液
を得た。

【００６６】このようにして得られた重合体ａのプロピ
レングリコールモノメチルエーテル溶液を、重合反応
後、固形分３０重量％に調節した。重合条件を表３に、
重合結果および分析値を表４に示す。〔参考例２〜５および比較参考例１，２〕反応器への単
量体の種類および仕込量、重合開始剤の種類および仕込
量ならびに前駆体の種類を表１〜４に示すように変更し
た以外は、参考例１の場合と同様にして、前駆体ｂ〜ｇ
および重合体ｂ〜ｇの３０重量％プロピレングリコール
モノメチルエーテル溶液を得た。重合した結果を前駆体
ａおよび重合体ａの結果と合わせて、表１〜６に示し
た。なお、表中の（）内は前駆体中の単量体組成を示
す。

【００６７】

【表３】

【００６８】

【表４】

【００６９】

【表５】

【００７０】

【表６】

【００７１】〔比較参考例３〕温度計、撹拌器、及び還
流冷却器を備えた反応器に、プロピレングリコールモノ
メチルエーテル溶液１２０ｇを仕込み、窒素ガスを吹込
みながら７０℃に加熱した。次に、予め調製しておいた
メタクリル酸１０ｇ、マレイン酸無水物２ｇ、ブチルメ
タクリレート６３ｇ、スチレン５ｇおよびジラウロイル
ペルオキシド５ｇの混合液を２時間かけて仕込み、更に
８時間重合反応を行い、ランダム共重合体を含む透明溶
液を得た。

【００７２】このようにして得られた重合体ｈのプロピ
レングリコールモノメチルエーテル溶液を、重合反応
後、固形分３０重量％に調節した。重合した結果を表７
に示した。〔比較参考例４〕温度計、撹拌器および還流冷却器を備
えた反応器に、プロピレングリコールモノメチルエーテ
ル溶液１２０ｇを仕込み、窒素ガスを吹込みながら７０
℃に加熱した。次に、予め調製しておいたメタクリル酸
ブチル５６ｇ、スルホキシエチルメタクリレート２４ｇ
およびジラウロイルペルオキシド５ｇの混合液を２時間
かけて仕込み、更に８時間重合反応を行い、ランダム共
重合体を含む透明溶液を得た。

【００７３】このようにして得られた重合体ｉのプロピ
レングリコールモノメチルエーテル溶液を、重合反応
後、固形分３０重量％に調節した。重合した結果を、重
合体ｈの結果と合わせて、表７に示した。

【００７４】

【表７】

【００７５】〔比較参考例５〕温度計、撹拌器、及び還
流冷却器を備えた反応器に、エチレングリコールテレフ
タレート７６ｇ、イソフタル酸４２ｇ、セバシン酸６７
ｇ、エチレングリコール５−ナトリウムスルホイソフタ
レート４３ｇ、エチレングリコール４７ｇ、三酸化アン
チモン６０ｍｇおよび酢酸ナトリウム３水和物２００ｍ
ｇを窒素雰囲気下で撹袢しながら１６０〜２２０℃の温
度で３時間エステル化反応を行った。次いで、温度を２
７０℃に上げ、徐々に反応系内を減圧にして約１時間で
圧力１３ｐａ以下とし、さらに１時間縮合反応を行い、
無色透明の水溶性飽和ポリエステルを得た。〔比較参考例６〕（６−ａアニオン重合）温度計および撹拌器を備えた
ガラス製のオートクレープへトルエン３４．６ｇおよび
スチレン７３．０ｇを仕込み、窒素ガスを吹込んで容器
内を窒素雰囲気にした後、ブチルリチウム０．１３ｇお
よびヘキサン０．９ｇの混合液を仕込んだ。そして、加
温しながら２時間攪拌した後、トルエン１３８．６ｇで
希釈した。次に、イソプレン３４．１ｇを仕込んで更に
２．５時間攪拌してから、１，１−ジフェニルエテン
０．６８ｇおよびテトラヒドロフラン１７８ｇの混合液
を加えた。

【００７６】続いて、これを塩化ナトリウム／氷水混合
液で冷却した。さらに、ｔーブチルメタクリレート１
４．１ｇを添加して、冷浴中で１時間攪拌を続けた後、
メタノール０．７９ｇを加えて重合を停止した。次い
で、得られた反応溶液を５０００ｇのメタノールに滴下
して生成した重合体を沈殿させた。沈殿した重合体を吸
引濾過し、洗浄した後、乾燥した。（６−ｂ、ｔ−ブチル保護基の脱離反応）温度計、撹拌
器および還流冷却器を備えた反応器に、単離された重合
物１００ｇおよびトルエン２３０ｇを加えて均一溶解し
た。これにｐ−トルエンスルホン酸０．６ｇを加えて８
０℃で６時間加熱した。冷却してから、反応物を２５０
０ｇのメタノールに滴下して重合体を沈殿させた。さら
に、これを洗浄し、真空下で室温において乾燥してエラ
ストマーブロック共重合体を得た。〔実施例１〕重合体ａのプロピレングリコールモノメチ
ルエーテル溶液（固形分３０％）２０ｇに、単量体とし
てトリメチロールプロパンの６モルエチレオキサイド付
加物のトリアクリレート（共栄社油脂製ＴＭＰ−６ＥＯ
−３Ａ）３ｇと、活性エネルギー線により重合を開始す
る重合開始剤として２−メチル−１−［４−（メチルチ
オ）フェニル］−２−モルフォリノプロパノン（チバガ
イギー社製イルガキュアー９０７）１．５ｇとを混合し
た。これを、室温で１０分間撹拌して、活性エネルギー
線硬化性樹脂組成物を調製した。〔実施例２〜１２および比較例１〜４〕重合体の種類お
よび添加量、単量体の種類および添加量、活性エネルギ
ー線により重合を開始する重合開始剤の種類および添加
量を表８に示すように変更した以外は、実施例１と同様
にして、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を調製し
た。

【００７７】なお、表８中の略号は次の通りである。ＴＭＰ−６ＥＯ−３Ａ：トリメチロールプロパンの９モ
ルエチレオキサイド付加物のトリアクリレート、９ＥＧ−ＤＡ：ポリエチレングリコール（ＥＯの付加モ
ル数：９）のジアクリレート、９０７：２−メチル−１−［４−（メチルチオ）フェニ
ル］−２−モルフォリノプロパノン（チバガイギー製イ
ルガキュア９０７）６５１：２，２−ジメトキシ−１，２−ジフェニルエタ
ン−１−オン（チバガイギー社製イルガキュアー６５
１）、１１７３：２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニル
−プロパン−１−オン（チバガイギー社製ダロキュア１
１７３）ＴＰＯ：２，４，６−トリメチルベンゾイルジフェニル
ホスフィンオキサイド（ＢＡＳＦ社製ルシリンＴＰＯ）ＰＶＰ：アルカリ溶解性のポリビニルフェノール、丸善
石油化学（株）製マルカリンカーＭＰＥ：比較参考例５で合成した水溶性飽和ポリエステルＥＢＣＯ：比較参考例６で合成したエラストマーブロッ
ク共重合体〔比較例５〕重合体ａのプロピレングリコールモノメチ
ルエーテル溶液（固形分３０％）２０ｇを、丸善石油化
学（株）製マルカリンカーＭのプロピレングリコールモ
ノメチルエーテル溶液（３０％）２０ｇに変更した以外
は、実施例１の場合と同様にして活性エネルギー線硬化
性樹脂組成物とした。〔比較例６〕重合体ａのプロピレングリコールモノメチ
ルエーテル溶液（固形分３０％）２０ｇの代わりに、比
較参考例５で得た水溶性飽和ポリエステル６ｇおよびプ
ロピレングリコールモノメチルエーテル１４ｇを用いた
以外は、実施例１の場合と同様にして活性エネルギー線
硬化性樹脂組成物とした。〔比較例７〕重合体ａのプロピレングリコールモノメチ
ルエーテル溶液（固形分３０％）２０ｇの代わりに、比
較参考例６で得たエラストマーブロック共重合体６ｇお
よびプロピレングリコールモノメチルエーテル１４ｇを
用いた以外は、実施例１の場合と同様にして活性エネル
ギー線硬化性樹脂組成物とした。

【００７８】

【表８】

【００７９】上記の実施例１〜１２および比較例１〜７
の各活性エネルギー線硬化樹脂組成物につき、下記の要
領でアルカリ現像性、感度、解像度、耐アルカリ性、耐
化学薬品性およびタック性を調べた。これらの結果を表
９に示す。〈アルカリ現像性〉表面に砂目立て処理を施してあるアルミ板上に光硬化
性樹脂組成物を、（株）エイブル製スピンコーターＡＳ
Ｓ−３００を用いて、２μｍの膜厚に塗布した。

【００８０】７０℃の熱風乾燥器中にて２０分間乾燥
して溶剤を除去した。２〜４０μｍのラインとスペースをもつフォトマスク
を介して、空気中で２０ｍＷ／ｃｍの超高圧水銀灯を用
いて１０秒間露光を行った。

【００８１】露光後の塗膜に対して表８に示す所定の
温度の１重量％炭酸ナトリウム水溶液を気液混合法で３
kg/cm²の圧力でスプレー現像を行い未露光部分の除去を
行い、未露光部分が現像によって消失する時間を測定し
た。

【００８２】表９においてアルカリ現像性の欄の現像時
間（秒）が短いことは、アルカリ現像性が良好であるこ
とを示している。〈感度〉アルカリ現像性試験のにおいて、２〜４０
μｍのラインとスペースをもつフォトマスクの代わりに
グレースケール（イーストマンコダック社製フォトグラ
フィックステップタブレットＮｏ．２）を介して露光し
た以外は、アルカリ現像性試験と同様の操作にて、パタ
ーン露光−現像を行った。残存したグレースケールの最
高段数を求めて感度とした。

【００８３】表９において段数が大きいことは、感度が
高いことを示している。〈解像度〉アルカリ現像性試験において、露光、現像後
にフォトマスクのラインとスペースの像が抜けている最
少部分のラインとスペースの大きさを解像度（μｍ）と
した。表９で解像度の値が小さいことは、より高い解像
度であることを示している。〈耐アルカリ性〉アルカリ現像性試験において露光−現
像を行った後の基板上の塗膜を、２５℃に温度調整され
た５重量％水酸化ナトリウム水溶液中に１時間浸漬した
後の塗膜の外観を目視により観察した。浸漬前のものと
比較して変化のない場合を○、塗膜が破壊された場合を
×とした。〈耐化学薬品性〉アルカリ現像性試験において露光−現
像を行った後の基板上の塗膜を、２５℃に温度調整され
た１０ vol％硫酸水溶液またはトリクロロエタン中に１
時間浸漬した後の塗膜の外観を目視により観察した。浸
漬前のものと比較して変化のない場合を○、塗膜が破壊
された場合を×とした。〈タック性〉アルカリ現像性試験において塗布−乾燥を
行った後の塗膜を手で触れた時に、全く粘り気が感じら
れず、露光後にはフォトマスクが塗膜に付着しない場合
を○、塗膜を手で触れた時に、粘り気があるが、露光後
にはフォトマスクが塗膜に付着しない場合を△、塗膜を
手で触れた時に、粘り気があり、露光後にはフォトマス
クが塗膜に付着してしまう場合を×とした。

【００８４】

【表９】

【００８５】表９中、耐化学薬品性の欄の「硫酸」は、
１０ vol％硫酸水溶液、「トリクロ」はトリクロロエタ
ンを示し、測定結果で「不可」とあるのは、評価や測定
が不可能であることを示す。

【００８６】上記の表９から明らかなように、実施例１
〜１２の各活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、いず
れも、優れた感度、解像度およびアルカリ現像性を示す
ことはもちろんのこと、加えてノンタック性の塗膜を与
え、かつ優れた耐アルカリ性および耐化学薬品性を示
す。

【００８７】これに対し、酸基を有する親水性セグメン
ト（Ｉ）および疎水性セグメント（II）のそれぞれのガ
ラス転移温度（Tg）がともに８０℃を越える重合体ｆを
用いた比較例１の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
は、アルカリ現像性、感度に劣っている。疎水性セグメ
ントのガラス転移温度が−５℃よりも低い重合体ｇを用
いた比較例２の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、
塗膜にタック性があり、またそのために、露光後にはフ
ォトマスクが塗膜に付着してしまい、アルカリ現像性、
感度、解像度、耐アルカリ性、耐化学薬品性の評価が不
能であった。

【００８８】さらに、ブロック共重合体に代えて、ラン
ダム共重合体ｈを用いた比較例３では、アルカリ現像中
に露光部分についても一部除去されてしまうために、感
度、解像度、耐アルカリ性、耐化学薬品性の評価が不能
であった。ランダム共重合体ｉを用いた比較例４では、
アルカリ現像性、感度、解像度、耐アルカリ性、耐化学
薬品性に劣っている。

【００８９】また、ブロック共重合体に代えて、ポリビ
ニルフェノール（比較例５）、水溶性飽和ポリエステル
（比較例６）またはエラストマーブロック共重合体（比
較例７）を用いた活性エネルギー線硬化性樹脂組成物
は、アルカリ現像性、耐アルカリ性、耐化学薬品性また
はノンタック性に劣っている。

【００９０】なお、前記実施態様より把握される技術的
思想について、以下に記載する。（１）酸基を有する親水性セグメント（Ｉ）は、酸基を
有する親水性単量体の単独重合または酸基を有する親水
性単量体と疎水性単量体との共重合により形成されるも
のである請求項１に記載の活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物。この構成により、セグメント（Ｉ）に酸性と親
水性とを付与し、アルカリ現像性を発揮させることがで
きる。（２）活性エネルギー線の照射により重合する重合性単
量体（Ｂ）は、多官能ラジカル重合性単量体またはビニ
ルエーテルである請求項１に記載の活性エネルギー線硬
化性樹脂組成物。このように構成すれば、活性エネルギ
ー線による硬化性を向上させることができる。（３）活性エネルギー線の照射により重合する重合性単
量体（Ｂ）の含有量は、２０〜６０重量％である請求項
１に記載の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。この構
成によれば、活性エネルギー線による硬化性を維持する
ことができる。（４）活性エネルギー線により重合性単量体の重合を開
始させるための重合開始剤（Ｃ）は、ラジカル重合開始
剤またはカチオン重合開始剤であり、かつその含有量が
０．１〜２０重量％である請求項１に記載の活性エネル
ギー線硬化性樹脂組成物。この構成によれば、活性エネ
ルギー線による重合性単量体の重合を円滑に行うことが
できる。

【００９１】

【発明の効果】以上詳述したように、請求項１に記載の
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の発明によれば、ア
ルカリ現像性に優れる、すなわちアルカリ水溶液による
現像が容易である。しかも、レジスト材料などとして用
いられた場合、活性エネルギー線に対する感度が良好
で、鮮明な画像が得られる上に、ノンタック性の被膜を
形成でき、かつ硬化後の樹脂の耐アルカリ性、耐薬品性
にも優れている。

【００９２】従って、この発明の樹脂組成物をプリント
配線板用のソルダーレジスト、印刷用の版材、液晶ディ
スプレイ用のカラーフィルター、保護膜、平坦化膜など
の永久レジストとして好適に利用することができる。

【００９３】請求項２に記載の発明によれば、アルカリ
現像性を確実に発揮させることができる。請求項３に記
載の発明によれば、アルカリ現像性を高めることができ
るとともに、耐アルカリ性や耐薬品性を向上させること
ができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｈ０５Ｋ 3/28 Ｄ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】（Ａ）酸基を有する親水性セグメント
（Ｉ）と、疎水性セグメント（II）とからなるブロック
共重合体、（Ｂ）活性エネルギー線の照射により重合す
る重合性単量体および（Ｃ）活性エネルギー線により重
合性単量体の重合を開始させるための重合開始剤を含有
し、前記ブロック共重合体（Ａ）中の疎水性セグメント（I
I）のガラス転移温度（Tg）が−５℃以上であり、かつ
酸基を有する親水性セグメント（Ｉ）または疎水性セグ
メント（II）のガラス転移温度（Tg）が８０℃以下であ
る活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。
【請求項２】酸基を有する親水性セグメント（Ｉ）
が、不飽和カルボン酸、不飽和酸無水物、スルホン酸基
含有単量体またはリン酸基含有単量体より形成されたも
のである請求項１に記載の活性エネルギー線硬化性樹脂
組成物。
【請求項３】ブロック共重合体（Ａ）中の酸基を有す
る親水性セグメント（Ｉ）の含有量が１５〜８５重量％
であり、組成物中のブロック共重合体（Ａ）の含有量が
３５〜８０重量％である請求項１または請求項２に記載
の活性エネルギー線硬化性樹脂組成物。