JPH08338785A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPH08338785A JPH08338785A JP7170348A JP17034895A JPH08338785A JP H08338785 A JPH08338785 A JP H08338785A JP 7170348 A JP7170348 A JP 7170348A JP 17034895 A JP17034895 A JP 17034895A JP H08338785 A JPH08338785 A JP H08338785A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 高速かつ安定した検査が可能で、かつ製造コ
ストの低減を図った表面検査装置を提供する。 【構成】 移動してくるメガネレンズ２の表面２ａを照
明する光源３１と、表面２ａからの光を受光し電気信号
に変換する受光素子４３、４４と、表面２ａからの正反
射光が受光素子で受光された時に得られる電気信号のピ
ークを検出し、その検出時から一定時間経過時に、受光
素子で受光される表面２ａからの散乱光に応じた電気信
号に基づいてメガネレンズ２の良否を判定する演算器５
とを備える。表面２ａの検査を自動的に行うことができ
る。レンズ２が所定の検査位置まで移動してきたことを
検知する手段を設ける必要が無い。
ストの低減を図った表面検査装置を提供する。 【構成】 移動してくるメガネレンズ２の表面２ａを照
明する光源３１と、表面２ａからの光を受光し電気信号
に変換する受光素子４３、４４と、表面２ａからの正反
射光が受光素子で受光された時に得られる電気信号のピ
ークを検出し、その検出時から一定時間経過時に、受光
素子で受光される表面２ａからの散乱光に応じた電気信
号に基づいてメガネレンズ２の良否を判定する演算器５
とを備える。表面２ａの検査を自動的に行うことができ
る。レンズ２が所定の検査位置まで移動してきたことを
検知する手段を設ける必要が無い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、表面が曲面である被
検査物の表面を検査する装置、特に移動してくる多数の
被検査物の表面を検査するための表面検査装置に関す
る。
検査物の表面を検査する装置、特に移動してくる多数の
被検査物の表面を検査するための表面検査装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、メガネレンズのような表面が曲面
である被検査物の表面を検査する場合、特にコンベア上
を移動してくる多数の被検査物の表面を検査する場合、
作業者が被検査物を１個ずつ取ってその表面を目視によ
り検査する方法が一般的であった。
である被検査物の表面を検査する場合、特にコンベア上
を移動してくる多数の被検査物の表面を検査する場合、
作業者が被検査物を１個ずつ取ってその表面を目視によ
り検査する方法が一般的であった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の目視による表面検査方法では、大量に移動してくる
被検査物を作業者自身の目により休み無く検査して良否
を判定しなければならないので、作業者の疲労による検
査ミスや個人差による判定のばらつき等が発生し易く、
高速で安定した検査を行うのが難しい。
来の目視による表面検査方法では、大量に移動してくる
被検査物を作業者自身の目により休み無く検査して良否
を判定しなければならないので、作業者の疲労による検
査ミスや個人差による判定のばらつき等が発生し易く、
高速で安定した検査を行うのが難しい。
【０００４】また、コンベア上を移動してくる多数の被
検査物の表面を自動的に検査する装置を作ろうとする場
合、被検査物が所定の検査位置まで移動してきたことを
検知するための検知手段が必ず必要となり、その分だけ
部品点数が増えて製造コストが増大してしまう。
検査物の表面を自動的に検査する装置を作ろうとする場
合、被検査物が所定の検査位置まで移動してきたことを
検知するための検知手段が必ず必要となり、その分だけ
部品点数が増えて製造コストが増大してしまう。
【０００５】この発明はこのような事情に鑑みてなされ
たもので、その課題は高速かつ安定した検査が可能で、
かつ製造コストの低減を図った表面検査装置を提供する
ことである。
たもので、その課題は高速かつ安定した検査が可能で、
かつ製造コストの低減を図った表面検査装置を提供する
ことである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前述の課題を解決するた
め請求項１記載の発明の表面検査装置は、表面が曲面で
ある被検査物の表面を検査する表面検査装置であって、
移動してくる前記被検査物の表面の少なくとも一部を照
明するための光源と、前記表面からの反射光を受光し電
気信号に変換する変換手段と、前記表面からの正反射光
が前記変換手段で受光された時に得られる前記電気信号
のピークを検出し、その検出時から一定時間経過時に、
前記変換手段で受光される前記表面からの散乱光に応じ
た前記電気信号に基づいて前記被検査物の良否を判定す
る判定手段とを備えている。
め請求項１記載の発明の表面検査装置は、表面が曲面で
ある被検査物の表面を検査する表面検査装置であって、
移動してくる前記被検査物の表面の少なくとも一部を照
明するための光源と、前記表面からの反射光を受光し電
気信号に変換する変換手段と、前記表面からの正反射光
が前記変換手段で受光された時に得られる前記電気信号
のピークを検出し、その検出時から一定時間経過時に、
前記変換手段で受光される前記表面からの散乱光に応じ
た前記電気信号に基づいて前記被検査物の良否を判定す
る判定手段とを備えている。
【０００７】請求項２記載の発明の表面検査装置は、前
記一定時間は、前記被検査物の表面形状及び前記被検査
物の移動速度に応じて設定されている。
記一定時間は、前記被検査物の表面形状及び前記被検査
物の移動速度に応じて設定されている。
【０００８】請求項３記載の発明の表面検査装置は、前
記表面からの散乱光をｐ偏光成分とｓ偏光成分とに分割
するための受光光学系を備え、前記変換手段として、前
記偏光成分をそれぞれ別個に受光し電気信号に変換する
複数の変換手段が設けられ、かつ前記判定手段は、前記
複数の変換手段の電気信号を比較することにより前記良
否を判定するように構成されている。
記表面からの散乱光をｐ偏光成分とｓ偏光成分とに分割
するための受光光学系を備え、前記変換手段として、前
記偏光成分をそれぞれ別個に受光し電気信号に変換する
複数の変換手段が設けられ、かつ前記判定手段は、前記
複数の変換手段の電気信号を比較することにより前記良
否を判定するように構成されている。
【０００９】
【作用】請求項１記載の表面検査装置では、光源によっ
て照明された被検査物の表面からの正反射光が変換手段
で受光された時に得られる電気信号のピークが判定手段
により検出され、その検出時から一定時間経過時に、変
換手段で受光される被検査物の表面からの散乱光に応じ
た電気信号に基づいて被検査物の良否が判定手段により
判定される。そのため、移動してくる被検査物の表面を
作業者自身の目により検査して良否を判定する必要がな
く、作業者の疲労による検査ミスや個人差による判定の
ばらつき等が発生しない。
て照明された被検査物の表面からの正反射光が変換手段
で受光された時に得られる電気信号のピークが判定手段
により検出され、その検出時から一定時間経過時に、変
換手段で受光される被検査物の表面からの散乱光に応じ
た電気信号に基づいて被検査物の良否が判定手段により
判定される。そのため、移動してくる被検査物の表面を
作業者自身の目により検査して良否を判定する必要がな
く、作業者の疲労による検査ミスや個人差による判定の
ばらつき等が発生しない。
【００１０】また、被検査物の表面からの正反射光が変
換手段で受光された時に得られる電気信号のピークを判
定手段が検出し、その検出時から一定時間経過時に判定
手段が被検査物の表面からの散乱光に応じた変換手段の
電気信号に基づいて被検査物の良否を判定するので、被
検査物が所定の検査位置まで移動してきたことを検知す
るための検知手段を設ける必要が無く、その分だけ部品
点数が削減される。
換手段で受光された時に得られる電気信号のピークを判
定手段が検出し、その検出時から一定時間経過時に判定
手段が被検査物の表面からの散乱光に応じた変換手段の
電気信号に基づいて被検査物の良否を判定するので、被
検査物が所定の検査位置まで移動してきたことを検知す
るための検知手段を設ける必要が無く、その分だけ部品
点数が削減される。
【００１１】請求項２記載の表面検査装置では、判定手
段が電気信号のピークを検出してから良否を判定するま
での一定時間は、被検査物の表面形状及びその移動速度
に応じて設定されているので、被検査物の表面形状及び
その移動速度に応じた検査を行うことができる。
段が電気信号のピークを検出してから良否を判定するま
での一定時間は、被検査物の表面形状及びその移動速度
に応じて設定されているので、被検査物の表面形状及び
その移動速度に応じた検査を行うことができる。
【００１２】請求項３記載の表面検査装置では、被検査
物の表面からの散乱光が受光光学系によりｐ偏光成分と
ｓ偏光成分とに分割され、両偏光成分が複数の変換手段
でそれぞれ別個に受光されて電気信号に変換され、両電
気信号が判定手段により比較されることにより、被検査
物の良否が判定される。そのため、光源の光量変動や、
外乱光による影響の少ない安定した検査を行うことがで
きる。
物の表面からの散乱光が受光光学系によりｐ偏光成分と
ｓ偏光成分とに分割され、両偏光成分が複数の変換手段
でそれぞれ別個に受光されて電気信号に変換され、両電
気信号が判定手段により比較されることにより、被検査
物の良否が判定される。そのため、光源の光量変動や、
外乱光による影響の少ない安定した検査を行うことがで
きる。
【００１３】
【実施例】以下この発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１４】図１はこの発明の一実施例に係る表面検査
装置を示している。この表面検査装置は、表面が曲面で
ある被検査物（例えば、この実施例ではメガネレンズ）
の表面を検査するためのものである。表面検査装置は、
コンベア１により搬送されて図１の矢印方向へ移動して
くるメガネレンズ（以下、単にレンズという）２の表面
２ａの一部に光を照射する投光系３と、表面２ａからの
散乱光及び正反射光を受ける受光系４と、ＣＰＵ等から
なる演算器５とを備えている。
装置を示している。この表面検査装置は、表面が曲面で
ある被検査物（例えば、この実施例ではメガネレンズ）
の表面を検査するためのものである。表面検査装置は、
コンベア１により搬送されて図１の矢印方向へ移動して
くるメガネレンズ（以下、単にレンズという）２の表面
２ａの一部に光を照射する投光系３と、表面２ａからの
散乱光及び正反射光を受ける受光系４と、ＣＰＵ等から
なる演算器５とを備えている。
【００１５】投光系３は、光源３１と、光源３１からの
光を平行光にしてレンズ２の表面２ａに照射するコリメ
ータレンズ３２とからなる。
光を平行光にしてレンズ２の表面２ａに照射するコリメ
ータレンズ３２とからなる。
【００１６】受光系４は、レンズ２の表面２ａからの散
乱光及び正反射光を集光するディテクタレンズ４１と、
このディテクタレンズ４１で集光された光をｐ偏光成分
とｓ偏光成分とに分割する偏光ビームスプリッタ４２
と、受光素子４３、４４とからなる。受光素子４３は、
偏光ビームスプリッタ４２を透過するｐ偏光成分の光を
受光し、受光量に応じた電気信号を演算器５へ出力す
る。受光素子４４は、偏光ビームスプリッタ４２で反射
されたｓ偏光成分の光を受光し、受光量に応じた電気信
号を演算器５へ出力する。
乱光及び正反射光を集光するディテクタレンズ４１と、
このディテクタレンズ４１で集光された光をｐ偏光成分
とｓ偏光成分とに分割する偏光ビームスプリッタ４２
と、受光素子４３、４４とからなる。受光素子４３は、
偏光ビームスプリッタ４２を透過するｐ偏光成分の光を
受光し、受光量に応じた電気信号を演算器５へ出力す
る。受光素子４４は、偏光ビームスプリッタ４２で反射
されたｓ偏光成分の光を受光し、受光量に応じた電気信
号を演算器５へ出力する。
【００１７】投光系３と受光系４は次のような位置関係
に配置されている。
に配置されている。
【００１８】移動してくるレンズ２が、その表面２ａの
中央部（頂部）に投光系３からの光５０が入射するよう
な所定の検出位置（図２の実線で示す位置）に位置する
と、光５０が表面２ａの中央部で正反射した正反射光５
１が受光系４のディテクタレンズ４１に入射するように
投光系３と受光系４が配置されている。また、レンズ２
が前記所定の検出位置からさらに図２の矢印方向へ所定
量だけ移動して同図の破線で示す検査位置に位置する
と、光５０が表面２ａ（前記中央部より周辺側にある部
分）で正反射した正反射光５１′はディテクタレンズ４
１に入射せず、光５０が表面２ａで散乱した散乱光５２
のみがディテクタレンズ４１に入射するように投光系３
と受光系４が配置されている。
中央部（頂部）に投光系３からの光５０が入射するよう
な所定の検出位置（図２の実線で示す位置）に位置する
と、光５０が表面２ａの中央部で正反射した正反射光５
１が受光系４のディテクタレンズ４１に入射するように
投光系３と受光系４が配置されている。また、レンズ２
が前記所定の検出位置からさらに図２の矢印方向へ所定
量だけ移動して同図の破線で示す検査位置に位置する
と、光５０が表面２ａ（前記中央部より周辺側にある部
分）で正反射した正反射光５１′はディテクタレンズ４
１に入射せず、光５０が表面２ａで散乱した散乱光５２
のみがディテクタレンズ４１に入射するように投光系３
と受光系４が配置されている。
【００１９】演算器５は、レンズ２の表面２ａからの正
反射光５１が受光素子４３、４４で受光された時に得ら
れる図３に示す電気信号６０（この実施例では、ｓ偏光
成分の光を受光する受光素子４４からの電気信号）のピ
ーク６１を検出し、その検出時から一定時間ｔの経過時
に、受光素子４３、４４からそれぞれ出力される電気信
号を比較する（例えば、両電気信号の差を演算する）こ
とによりレンズ２の良否を判定するように構成されてい
る。そして、演算器５には、前記一定時間ｔを計時する
ためのタイマー６が接続されている。
反射光５１が受光素子４３、４４で受光された時に得ら
れる図３に示す電気信号６０（この実施例では、ｓ偏光
成分の光を受光する受光素子４４からの電気信号）のピ
ーク６１を検出し、その検出時から一定時間ｔの経過時
に、受光素子４３、４４からそれぞれ出力される電気信
号を比較する（例えば、両電気信号の差を演算する）こ
とによりレンズ２の良否を判定するように構成されてい
る。そして、演算器５には、前記一定時間ｔを計時する
ためのタイマー６が接続されている。
【００２０】前記一定時間ｔは、レンズ２の表面形状及
びコンベア１の移動速度（すなわちレンズ２の移動速
度）に応じて設定されている。具体的には、レンズ２
が、その表面２ａからの正反射光５１が受光系４に入射
する前記所定の検出位置（図２の実線で示す位置）か
ら、表面２ａからの散乱光のみが受光系４に入射する前
記検査位置（図２の破線で示す位置）まで移動するのに
要する時間を前記一定時間ｔとすればよい。
びコンベア１の移動速度（すなわちレンズ２の移動速
度）に応じて設定されている。具体的には、レンズ２
が、その表面２ａからの正反射光５１が受光系４に入射
する前記所定の検出位置（図２の実線で示す位置）か
ら、表面２ａからの散乱光のみが受光系４に入射する前
記検査位置（図２の破線で示す位置）まで移動するのに
要する時間を前記一定時間ｔとすればよい。
【００２１】なお、この一実施例において、ディテクタ
レンズ４１と偏光ビームスプリッタ４２とにより、レン
ズ２の表面２ａからの散乱光をｐ偏光成分とｓ偏光成分
とに分割するための受光光学系が構成されている。
レンズ４１と偏光ビームスプリッタ４２とにより、レン
ズ２の表面２ａからの散乱光をｐ偏光成分とｓ偏光成分
とに分割するための受光光学系が構成されている。
【００２２】次に、上記構成を有する一実施例の動作を
説明する。
説明する。
【００２３】コンペア１により搬送されて移動してくる
レンズ２が、図２の実線で示す所定の検出位置に位置す
ると、光源３１からの光がコリメータレンズ３２により
平行光にされた光５０がレンズ２の表面２ａの中央部に
照射され、その表面２ａからの正反射光５１（図２参
照）が受光系４のディテクタレンズ４１に入射する。こ
の正反射光５１は、ディテクタレンズ４１で集光され、
偏光ビームスプリッタ４２によりｐ偏光成分とｓ偏光成
分とに分割され、ｐ偏光成分の正反射光は受光素子４３
で受光され、ｓ偏光成分の正反射光は受光素子４４で受
光される。
レンズ２が、図２の実線で示す所定の検出位置に位置す
ると、光源３１からの光がコリメータレンズ３２により
平行光にされた光５０がレンズ２の表面２ａの中央部に
照射され、その表面２ａからの正反射光５１（図２参
照）が受光系４のディテクタレンズ４１に入射する。こ
の正反射光５１は、ディテクタレンズ４１で集光され、
偏光ビームスプリッタ４２によりｐ偏光成分とｓ偏光成
分とに分割され、ｐ偏光成分の正反射光は受光素子４３
で受光され、ｓ偏光成分の正反射光は受光素子４４で受
光される。
【００２４】このとき、演算器５は、受光素子４４から
出力される電気信号６０のピーク６１を検出し、タイマ
ー６による一定時間ｔの計時を開始する（図３のＴ１
時）。
出力される電気信号６０のピーク６１を検出し、タイマ
ー６による一定時間ｔの計時を開始する（図３のＴ１
時）。
【００２５】タイマー６による一定時間ｔの計時が終了
すると（ピーク６１の検出時から一定時間ｔが経過した
図３のＴ２時）、レンズ２は図２の破線で示す前記検査
位置に位置しているので、光５０が表面２ａで正反射し
た正反射光５１′はディテクタレンズ４１に入射せず、
光５０が表面２ａで散乱した散乱光５２のみがディテク
タレンズ４１に入射する（図１及び図２参照）。この散
乱光５２は、ディテクタレンズ４１で集光され、偏光ビ
ームスプリッタ４２によりｐ偏光成分とｓ偏光成分とに
分割され、ｐ偏光成分の散乱光は受光素子４３で受光さ
れ、ｓ偏光成分の散乱光は受光素子４４で受光される。
受光素子４３、４４は、受光した散乱光の光量に応じた
電気信号を演算器５へそれぞれ出力する。例えば、受光
素子４４からは、前記ピーク６１より値の小さい電気信
号６１ａが出力される。
すると（ピーク６１の検出時から一定時間ｔが経過した
図３のＴ２時）、レンズ２は図２の破線で示す前記検査
位置に位置しているので、光５０が表面２ａで正反射し
た正反射光５１′はディテクタレンズ４１に入射せず、
光５０が表面２ａで散乱した散乱光５２のみがディテク
タレンズ４１に入射する（図１及び図２参照）。この散
乱光５２は、ディテクタレンズ４１で集光され、偏光ビ
ームスプリッタ４２によりｐ偏光成分とｓ偏光成分とに
分割され、ｐ偏光成分の散乱光は受光素子４３で受光さ
れ、ｓ偏光成分の散乱光は受光素子４４で受光される。
受光素子４３、４４は、受光した散乱光の光量に応じた
電気信号を演算器５へそれぞれ出力する。例えば、受光
素子４４からは、前記ピーク６１より値の小さい電気信
号６１ａが出力される。
【００２６】このとき（図３のＴ２時）、演算器５は、
受光素子４３、４４からそれぞれ出力される電気信号を
比較することによりレンズ２の良否を判定する。
受光素子４３、４４からそれぞれ出力される電気信号を
比較することによりレンズ２の良否を判定する。
【００２７】そして、次のレンズ２が前記所定の検出位
置に位置すると（図３のＴ３時）、演算器５は、受光素
子４４から出力される電気信号６０のピーク６１を検出
し、タイマー６による一定時間ｔの計時を再び開始す
る。
置に位置すると（図３のＴ３時）、演算器５は、受光素
子４４から出力される電気信号６０のピーク６１を検出
し、タイマー６による一定時間ｔの計時を再び開始す
る。
【００２８】タイマー６による一定時間ｔの計時が終了
すると（ピーク６１の検出時から一定時間ｔが経過した
図３のＴ４時）、演算器５は、受光素子４３、４４から
それぞれ出力される電気信号を比較することによりレン
ズ２の良否を判定する。
すると（ピーク６１の検出時から一定時間ｔが経過した
図３のＴ４時）、演算器５は、受光素子４３、４４から
それぞれ出力される電気信号を比較することによりレン
ズ２の良否を判定する。
【００２９】このようにして、移動してくる多数のレン
ズ２の表面２ａの検査が自動的に行われる。
ズ２の表面２ａの検査が自動的に行われる。
【００３０】このように、上記実施例によれば、移動し
てくるレンズ２の表面２ａの検査を自動的に行うことが
できる。そのため、移動してくるレンズ２を作業者自身
の目により検査して良否を判定する必要がなく、作業者
の疲労による検査ミスや個人差による判定のばらつき等
が発生しない。したがって、レンズ２の表面の検査を高
速でかつ安定して行うことができる。
てくるレンズ２の表面２ａの検査を自動的に行うことが
できる。そのため、移動してくるレンズ２を作業者自身
の目により検査して良否を判定する必要がなく、作業者
の疲労による検査ミスや個人差による判定のばらつき等
が発生しない。したがって、レンズ２の表面の検査を高
速でかつ安定して行うことができる。
【００３１】また、レンズ２の表面２ａからの正反射光
５１が受光素子４３、４４で受光された時に得られる電
気信号６０のピーク６１を演算器５が検出し、その検出
時から一定時間ｔの経過時に演算器５が表面２ａからの
散乱光５２に応じた受光素子４３、４４の電気信号に基
づいてレンズ２の良否を判定するので、レンズ２が所定
の検査位置まで移動してきたことを検知するための検知
手段を設ける必要が無く、その分だけ部品点数が削減さ
れる。したがって、製造コストを削減することができ
る。
５１が受光素子４３、４４で受光された時に得られる電
気信号６０のピーク６１を演算器５が検出し、その検出
時から一定時間ｔの経過時に演算器５が表面２ａからの
散乱光５２に応じた受光素子４３、４４の電気信号に基
づいてレンズ２の良否を判定するので、レンズ２が所定
の検査位置まで移動してきたことを検知するための検知
手段を設ける必要が無く、その分だけ部品点数が削減さ
れる。したがって、製造コストを削減することができ
る。
【００３２】また、ｐ偏光成分の散乱光量とｓ偏光成分
の散乱光量とを比較してレンズ２の良否を判定するの
で、光源３１の光量変動や、外乱光による影響の少ない
安定したレンズ２の表面の検査を行うことができる。
の散乱光量とを比較してレンズ２の良否を判定するの
で、光源３１の光量変動や、外乱光による影響の少ない
安定したレンズ２の表面の検査を行うことができる。
【００３３】なお、上記実施例において、投光系３は、
メガネレンズ２の表面２ａの少なくとも一部を照明する
ものであればよい。光３１としてレーザ光源を用いるこ
ともできる。この場合、コリメータレンズ３２を不要に
できる。
メガネレンズ２の表面２ａの少なくとも一部を照明する
ものであればよい。光３１としてレーザ光源を用いるこ
ともできる。この場合、コリメータレンズ３２を不要に
できる。
【００３４】また、上記各実施例では、メガネレンズ２
について説明したが、この発明は表面が曲面である被検
査物について広く適用可能である。
について説明したが、この発明は表面が曲面である被検
査物について広く適用可能である。
【００３５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の発
明に係る表面検査装置によれば、光源によって照明され
た被検査物の表面からの正反射光が変換手段で受光され
た時に得られる電気信号のピークが判定手段により検出
され、その検出時から一定時間経過時に、変換手段で受
光される被検査物の表面からの散乱光に応じた電気信号
に基づいて被検査物の良否が判定手段により判定され
る。そのため、移動してくる被検査物の表面を作業者自
身の目により検査して良否を判定する必要がなく、作業
者の疲労による検査ミスや個人差による判定のばらつき
等が発生しない。したがって、高速かつ安定した検査を
行うことができる。
明に係る表面検査装置によれば、光源によって照明され
た被検査物の表面からの正反射光が変換手段で受光され
た時に得られる電気信号のピークが判定手段により検出
され、その検出時から一定時間経過時に、変換手段で受
光される被検査物の表面からの散乱光に応じた電気信号
に基づいて被検査物の良否が判定手段により判定され
る。そのため、移動してくる被検査物の表面を作業者自
身の目により検査して良否を判定する必要がなく、作業
者の疲労による検査ミスや個人差による判定のばらつき
等が発生しない。したがって、高速かつ安定した検査を
行うことができる。
【００３６】また、被検査物の表面からの正反射光が変
換手段で受光された時に得られる電気信号のピークを判
定手段が検出し、その検出時から一定時間経過時に判定
手段が被検査物の表面からの散乱光に応じた変換手段の
電気信号に基づいて被検査物の良否を判定するので、被
検査物が所定の検査位置まで移動してきたことを検知す
るための検知手段を設ける必要が無く、その分だけ部品
点数が削減される。したがって、製造コストを削減する
ことができる。
換手段で受光された時に得られる電気信号のピークを判
定手段が検出し、その検出時から一定時間経過時に判定
手段が被検査物の表面からの散乱光に応じた変換手段の
電気信号に基づいて被検査物の良否を判定するので、被
検査物が所定の検査位置まで移動してきたことを検知す
るための検知手段を設ける必要が無く、その分だけ部品
点数が削減される。したがって、製造コストを削減する
ことができる。
【００３７】請求項２記載の発明に係る表面検査装置に
よれば、判定手段が電気信号のピークを検出してから良
否を判定するまでの一定時間は、被検査物の表面形状及
びその移動速度に応じて設定されているので、被検査物
の表面形状及びその移動速度に応じた検査を行うことが
できる。
よれば、判定手段が電気信号のピークを検出してから良
否を判定するまでの一定時間は、被検査物の表面形状及
びその移動速度に応じて設定されているので、被検査物
の表面形状及びその移動速度に応じた検査を行うことが
できる。
【００３８】請求項３記載の発明に係る表面検査装置に
よれば、被検査物の表面からの散乱光が受光光学系によ
りｐ偏光成分とｓ偏光成分とに分割され、両偏光成分が
複数の変換手段でそれぞれ別個に受光されて電気信号に
変換され、両電気信号が判定手段により比較されること
により、被検査物の良否が判定される。そのため、光源
の光量変動や、外乱光による影響の少ない安定した検査
を行うことができる。
よれば、被検査物の表面からの散乱光が受光光学系によ
りｐ偏光成分とｓ偏光成分とに分割され、両偏光成分が
複数の変換手段でそれぞれ別個に受光されて電気信号に
変換され、両電気信号が判定手段により比較されること
により、被検査物の良否が判定される。そのため、光源
の光量変動や、外乱光による影響の少ない安定した検査
を行うことができる。
【図１】図１はこの発明の一実施例に係る表面検査装置
を示す概略構成図である。
を示す概略構成図である。
【図２】図２は一実施例に係る表面検査装置の動作を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
【図３】図３は一実施例に係る表面検査装置の受光素子
で得られる電気信号を示す信号波形図である。
で得られる電気信号を示す信号波形図である。
２ メガネレンズ（被検査物） ２ａ 表面 ５ 演算器（判定手段） ３１ 光源 ４３、４４ 受光素子（変換手段） ６０ 電気信号 ６１ ピーク
Claims (3)
- 【請求項１】 表面が曲面である被検査物の表面を検査
する表面検査装置であって、 移動してくる前記被検査物の表面の少なくとも一部を照
明するための光源と、 前記表面からの反射光を受光し電気信号に変換する変換
手段と、 前記表面からの正反射光が前記変換手段で受光された時
に得られる前記電気信号のピークを検出し、その検出時
から一定時間経過時に、前記変換手段で受光される前記
表面からの散乱光に応じた前記電気信号に基づいて前記
被検査物の良否を判定する判定手段とを備えていること
を特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】 前記一定時間は、前記被検査物の表面形
状及び前記被検査物の移動速度に応じて設定されている
ことを特徴とする請求項１記載の表面検査装置。 - 【請求項３】 前記表面からの散乱光をｐ偏光成分とｓ
偏光成分とに分割するための受光光学系を備え、前記変
換手段として、前記偏光成分をそれぞれ別個に受光し電
気信号に変換する複数の変換手段が設けられ、かつ前記
判定手段は、前記複数の変換手段の電気信号を比較する
ことにより前記良否を判定するように構成されているこ
とを特徴とする請求項１又は２記載の表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7170348A JPH08338785A (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7170348A JPH08338785A (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08338785A true JPH08338785A (ja) | 1996-12-24 |
Family
ID=15903269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7170348A Withdrawn JPH08338785A (ja) | 1995-06-13 | 1995-06-13 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08338785A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7443500B2 (en) * | 2003-07-09 | 2008-10-28 | Carl Zeiss Smt Ag | Apparatus for scattered light inspection of optical elements |
| WO2013098511A1 (fr) * | 2011-12-29 | 2013-07-04 | Essilor International (Compagnie Generale D'optique) | Gabarit de lentille ophtalmique fabrique par prototypage rapide additif |
| KR20170024768A (ko) * | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 삼성전자주식회사 | 마스크 오차 측정 장치 및 마스크 오차 측정 방법 |
-
1995
- 1995-06-13 JP JP7170348A patent/JPH08338785A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7443500B2 (en) * | 2003-07-09 | 2008-10-28 | Carl Zeiss Smt Ag | Apparatus for scattered light inspection of optical elements |
| WO2013098511A1 (fr) * | 2011-12-29 | 2013-07-04 | Essilor International (Compagnie Generale D'optique) | Gabarit de lentille ophtalmique fabrique par prototypage rapide additif |
| FR2985214A1 (fr) * | 2011-12-29 | 2013-07-05 | Essilor Int | Gabarit de lentille optique fabrique par prototypage rapide additif |
| KR20170024768A (ko) * | 2015-08-26 | 2017-03-08 | 삼성전자주식회사 | 마스크 오차 측정 장치 및 마스크 오차 측정 방법 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |