JPH08327325A - チップマウントシステムのカメラ位置偏差補正方法及びその偏差補正方法を利用したチップ装着方法 - Google Patents
チップマウントシステムのカメラ位置偏差補正方法及びその偏差補正方法を利用したチップ装着方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 カメラ座標系とテーブル座標系とを互いに一
致させることなくＰＣＢ基板にチップ部品を正確に装着
可能とするロータリ型チップマウントシステムの位置偏
差補正方法を提供する。 【解決手段】 本方法によると、ジグノズルを利用して
カメラ座標系と装着テーブル座標系との間の位置偏差及
び角度偏差をカメラ座標値として読み取り、これをテー
ブル座標系の値で変換した後、チップ装着時にこの変換
値を補正値データとして利用する。
致させることなくＰＣＢ基板にチップ部品を正確に装着
可能とするロータリ型チップマウントシステムの位置偏
差補正方法を提供する。 【解決手段】 本方法によると、ジグノズルを利用して
カメラ座標系と装着テーブル座標系との間の位置偏差及
び角度偏差をカメラ座標値として読み取り、これをテー
ブル座標系の値で変換した後、チップ装着時にこの変換
値を補正値データとして利用する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はチップマウントシス
テムにおけるチップ装着方法に関するものであり、特に
ジグノズルを利用してカメラ座標系と装着テーブル座標
系との間の偏差を補正する偏差補正方法及びその補正方
法を利用したチップ装着方法に関するものである。
テムにおけるチップ装着方法に関するものであり、特に
ジグノズルを利用してカメラ座標系と装着テーブル座標
系との間の偏差を補正する偏差補正方法及びその補正方
法を利用したチップ装着方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、チップマウントシステムはプリ
ント回路基板上にチップを装着するための装置である。
図１に一般的なロータリ型チップマウントシステム100
を概略的に示す。ロータリ型チップマウントシステム10
0 は図１に示す矢印の方向に回転する12個のヘッド110
、供給トレー120 、ＰＣＢ基板160 を搬送する装着テ
ーブル130 、そしてＣＣＤカメラ(Charge-Coupled Devi
ce Camera) 140を具える。供給トレー120 は予め決めら
れた装着手順によって、その上部に載置されたチップ18
0 を図１のＸ方向に移送する。また各ヘッド110 は図２
に示すように４個の装着ノズル112 を具える。
ント回路基板上にチップを装着するための装置である。
図１に一般的なロータリ型チップマウントシステム100
を概略的に示す。ロータリ型チップマウントシステム10
0 は図１に示す矢印の方向に回転する12個のヘッド110
、供給トレー120 、ＰＣＢ基板160 を搬送する装着テ
ーブル130 、そしてＣＣＤカメラ(Charge-Coupled Devi
ce Camera) 140を具える。供給トレー120 は予め決めら
れた装着手順によって、その上部に載置されたチップ18
0 を図１のＸ方向に移送する。また各ヘッド110 は図２
に示すように４個の装着ノズル112 を具える。
【０００３】12個のロータリヘッド110 は、12個のステ
ーション（Ｓ１−Ｓ12）に従って移動し、チップマウン
トシステム100 はロータリヘッド110 がそれぞれのステ
ーションに位置した際に所定の機能を遂行する。各ロー
タリヘッド110 が第１ステーションＳ１に位置すると、
４個の中の一つの装着ノズル112 が供給トレー120 から
チップ180 を吸着する。ロータリヘッド110 が第２ステ
ーションＳ２に位置し、ロータリヘッド110 が第３ステ
ーションＳ３に位置すると、ＣＣＤカメラ140によって
装着ノズル112 に吸着されたチップ180 が撮影され、Ｃ
ＣＤカメラ140はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上でのチップ180
の座標Ｐ１、Ｑ１及びＰ軸となす角を認識する。
ーション（Ｓ１−Ｓ12）に従って移動し、チップマウン
トシステム100 はロータリヘッド110 がそれぞれのステ
ーションに位置した際に所定の機能を遂行する。各ロー
タリヘッド110 が第１ステーションＳ１に位置すると、
４個の中の一つの装着ノズル112 が供給トレー120 から
チップ180 を吸着する。ロータリヘッド110 が第２ステ
ーションＳ２に位置し、ロータリヘッド110 が第３ステ
ーションＳ３に位置すると、ＣＣＤカメラ140によって
装着ノズル112 に吸着されたチップ180 が撮影され、Ｃ
ＣＤカメラ140はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上でのチップ180
の座標Ｐ１、Ｑ１及びＰ軸となす角を認識する。
【０００４】ロータリヘッド110 が第５ステーションＳ
５に位置すると、チップ180 がカメラ座標系Ｐ−Ｑ上で
Ｐ軸に対してなす角度だけノズル112 が回転する。ロー
タリヘッド110 が第６ステーションＳ６から第７ステー
ションＳ７に移動する間に、カメラ座標系上で認識され
たチップの座標と基板上の装着位置とが一致するように
テーブルが移動する。ロータリヘッド110 が第７ステー
ションＳ７に位置すると、ロータリヘッド110 はチップ
180 を装着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 上に装着す
る。ロータリヘッド110 が第７ステーションＳ７でチッ
プ180 を装着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 に装着で
きずに第９ステーションＳ９に位置すると、ロータリヘ
ッド110 が電子制御ユニット150 の制御によってその装
着できなかったチップ180 を排除する。ロータリヘッド
110 が第11ステーションＳ11に位置すると、第５ステー
ションＳ５の位置で回転した装着ノズル112 が原点位置
に復帰する。
５に位置すると、チップ180 がカメラ座標系Ｐ−Ｑ上で
Ｐ軸に対してなす角度だけノズル112 が回転する。ロー
タリヘッド110 が第６ステーションＳ６から第７ステー
ションＳ７に移動する間に、カメラ座標系上で認識され
たチップの座標と基板上の装着位置とが一致するように
テーブルが移動する。ロータリヘッド110 が第７ステー
ションＳ７に位置すると、ロータリヘッド110 はチップ
180 を装着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 上に装着す
る。ロータリヘッド110 が第７ステーションＳ７でチッ
プ180 を装着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 に装着で
きずに第９ステーションＳ９に位置すると、ロータリヘ
ッド110 が電子制御ユニット150 の制御によってその装
着できなかったチップ180 を排除する。ロータリヘッド
110 が第11ステーションＳ11に位置すると、第５ステー
ションＳ５の位置で回転した装着ノズル112 が原点位置
に復帰する。
【０００５】以上のような過程を遂行するロータリ型チ
ップマウントシステム100 においては、ヘッド110 が第
５ステーションＳ５に位置すると、ノズル112 が回転す
る。ロータリヘッド110 が第６ステーションＳ６から第
７ステーションＳ７に移動する間に、カメラ座標系上で
認識されたチップの座標だけテーブルが移動する。従っ
て、カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−Ｙとが互
いに正確に一致しなければならない。
ップマウントシステム100 においては、ヘッド110 が第
５ステーションＳ５に位置すると、ノズル112 が回転す
る。ロータリヘッド110 が第６ステーションＳ６から第
７ステーションＳ７に移動する間に、カメラ座標系上で
認識されたチップの座標だけテーブルが移動する。従っ
て、カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−Ｙとが互
いに正確に一致しなければならない。
【０００６】カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−
Ｙとを互いに一致させるために、次のような方法でカメ
ラをチップマウントシステムに組み立てる。まず、装着
ノズル112 の中の一つを基準ノズル112aに選定した後、
基準ノズル112aの中心をテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点に
一致させる。次に、基準ノズル112aを第３ステーション
Ｓ３に移動させ、図４に示すように、基準ノズル112aの
中心とカメラ座標系Ｐ−Ｑの原点とを互いに一致させた
後、基準ノズル112aに隣接した２個の装着ノズル112 の
中点それぞれからカメラ座標系のＰ軸までの距離が互い
に等しくなるように、かつ、前記２個の装着ノズル112
それぞれからカメラ座標系Ｐ−Ｑの原点までの距離が互
いに等しくなるようにＣＣＤカメラ140 をロータリ型チ
ップマウントシステムに設置する。その際、設置者はＣ
ＣＤカメラ140 のモニタ140a上に表れた基準ノズル112a
及び装着ノズル112 を観察しながらＣＣＤカメラ140 を
設置する。
Ｙとを互いに一致させるために、次のような方法でカメ
ラをチップマウントシステムに組み立てる。まず、装着
ノズル112 の中の一つを基準ノズル112aに選定した後、
基準ノズル112aの中心をテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点に
一致させる。次に、基準ノズル112aを第３ステーション
Ｓ３に移動させ、図４に示すように、基準ノズル112aの
中心とカメラ座標系Ｐ−Ｑの原点とを互いに一致させた
後、基準ノズル112aに隣接した２個の装着ノズル112 の
中点それぞれからカメラ座標系のＰ軸までの距離が互い
に等しくなるように、かつ、前記２個の装着ノズル112
それぞれからカメラ座標系Ｐ−Ｑの原点までの距離が互
いに等しくなるようにＣＣＤカメラ140 をロータリ型チ
ップマウントシステムに設置する。その際、設置者はＣ
ＣＤカメラ140 のモニタ140a上に表れた基準ノズル112a
及び装着ノズル112 を観察しながらＣＣＤカメラ140 を
設置する。
【０００７】従って、カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座
標系Ｘ−Ｙが相互に一致したか否かは完全に設置者の視
覚及び操作に依存するようになる。そのため、二つの座
標系の間には誤差が生じ易く、これによりチップ装着が
精密に行われず装着不良が生じる可能性が高い。
標系Ｘ−Ｙが相互に一致したか否かは完全に設置者の視
覚及び操作に依存するようになる。そのため、二つの座
標系の間には誤差が生じ易く、これによりチップ装着が
精密に行われず装着不良が生じる可能性が高い。
【０００８】一方、Howellの米国特許第 5,237,622号及
びKisimoto et al. の米国特許第 4,978,224号などのい
くつかの特許は、カメラを利用してチップ部品を装着
し、その装着状態を検査する方法を開示している。しか
し、これらの特許はロータリ型チップマウントシステム
でのカメラ座標系と装着テーブル座標系との間の位置偏
差補正の方法については開示されていない。
びKisimoto et al. の米国特許第 4,978,224号などのい
くつかの特許は、カメラを利用してチップ部品を装着
し、その装着状態を検査する方法を開示している。しか
し、これらの特許はロータリ型チップマウントシステム
でのカメラ座標系と装着テーブル座標系との間の位置偏
差補正の方法については開示されていない。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明は以上のような
従来の問題点を解決するためのものであり、本発明の目
的はカメラ座標系とテーブル座標系とを互いに一致させ
ることなくＰＣＢ基板上にチップ部品が正確に装着でき
る、ロータリ型チップマウントシステムの位置偏差補正
方法を提供するものである。
従来の問題点を解決するためのものであり、本発明の目
的はカメラ座標系とテーブル座標系とを互いに一致させ
ることなくＰＣＢ基板上にチップ部品が正確に装着でき
る、ロータリ型チップマウントシステムの位置偏差補正
方法を提供するものである。
【００１０】本発明の他の目的はカメラ座標系とテーブ
ル座標系とを互いに一致させることなくＰＣＢ基板の上
にチップ部品が正確に装着できる、ロータリ型チップマ
ウントシステムのチップ装着方法を提供することにあ
る。
ル座標系とを互いに一致させることなくＰＣＢ基板の上
にチップ部品が正確に装着できる、ロータリ型チップマ
ウントシステムのチップ装着方法を提供することにあ
る。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明は、チップを供給する供給トレー、テーブル
座標系を有し、プリント回路基板を搬送する装着テーブ
ル、前記供給トレーから前記チップを吸着し、前記プリ
ント回路基板上に装着する多数の装着ノズルを具える多
数のロータリヘッド、およびカメラ座標系を有し、前記
装着ノズルに吸着された前記チップを前記カメラ座標系
上で認識するカメラを具えるロータリ型チップマウント
システムの前記カメラ座標系と前記テーブル座標系との
間の位置偏差補正方法として、 (1) 前記装着ノズルの内一つを基準ノズルに選定し、前
記基準ノズルの中心を前記テーブル座標系の原点と一致
させるステップ； (2) 前記カメラ座標系上において、前記基準ノズルの前
記中心の第１座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取るステップ； (3) ジグノズルを利用して前記テーブル座標系のＸ軸が
前記カメラ座標系のＰ軸と前記カメラ座標系の内でなす
角θｏを測定するステップ； (4) 前記第１座標Ｐｏ、Ｑｏと前記角θｏを利用して前
記テーブル座標系の原点と前記カメラ座標系の原点との
間の偏差を前記テーブル座標系上の第２座標Ｘｏ、Ｙｏ
として次式により求めるステップ；
に、本発明は、チップを供給する供給トレー、テーブル
座標系を有し、プリント回路基板を搬送する装着テーブ
ル、前記供給トレーから前記チップを吸着し、前記プリ
ント回路基板上に装着する多数の装着ノズルを具える多
数のロータリヘッド、およびカメラ座標系を有し、前記
装着ノズルに吸着された前記チップを前記カメラ座標系
上で認識するカメラを具えるロータリ型チップマウント
システムの前記カメラ座標系と前記テーブル座標系との
間の位置偏差補正方法として、 (1) 前記装着ノズルの内一つを基準ノズルに選定し、前
記基準ノズルの中心を前記テーブル座標系の原点と一致
させるステップ； (2) 前記カメラ座標系上において、前記基準ノズルの前
記中心の第１座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取るステップ； (3) ジグノズルを利用して前記テーブル座標系のＸ軸が
前記カメラ座標系のＰ軸と前記カメラ座標系の内でなす
角θｏを測定するステップ； (4) 前記第１座標Ｐｏ、Ｑｏと前記角θｏを利用して前
記テーブル座標系の原点と前記カメラ座標系の原点との
間の偏差を前記テーブル座標系上の第２座標Ｘｏ、Ｙｏ
として次式により求めるステップ；
【数６】 および、 (5) 前記装着ノズルが前記プリント回路基板上に前記チ
ップを装着する際に、前記第２座標と前記角θｏを補正
値として提供するステップを具えるチップマウントシス
テムのカメラ位置偏差補正方法を提供する。
ップを装着する際に、前記第２座標と前記角θｏを補正
値として提供するステップを具えるチップマウントシス
テムのカメラ位置偏差補正方法を提供する。
【００１２】本発明の他の実施例は、チップを供給する
供給トレー、テーブル座標系を有し、プリント回路基板
を搬送する装着テーブル、前記供給トレーから前記チッ
プを吸着し、前記プリント回路基板上に装着させる多数
の装着ノズルを具える多数のロータリヘッド、そしてカ
メラ座標系を有し、前記装着ノズルに吸着された前記チ
ップを前記カメラ座標系上で認識するカメラを具えるロ
ータリ型チップマウントシステムのチップ装着方法とし
て、 (1) 前記装着ノズルの内一つを基準ノズルに選定し、前
記基準ノズルの中心を前記テーブル座標系の原点と一致
させるステップ； (2) 前記カメラ座標系上において、前記基準ノズルの前
記中心の第１偏差座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取るステップ； (3) ジグノズルを利用して前記テーブル座標系のＸ軸が
前記カメラ座標系のＰ軸と前記カメラ座標系の内でなす
第１角θｏを測定するステップ； (4) 前記第１偏差座標Ｐｏ、Ｑｏと前記第１角θｏを利
用して前記テーブル座標系の原点と前記カメラ座標系の
原点との間の偏差を前記テーブル座標系上の第２偏差座
標Ｘｏ、Ｙｏとして次式により求めるステップ；
供給トレー、テーブル座標系を有し、プリント回路基板
を搬送する装着テーブル、前記供給トレーから前記チッ
プを吸着し、前記プリント回路基板上に装着させる多数
の装着ノズルを具える多数のロータリヘッド、そしてカ
メラ座標系を有し、前記装着ノズルに吸着された前記チ
ップを前記カメラ座標系上で認識するカメラを具えるロ
ータリ型チップマウントシステムのチップ装着方法とし
て、 (1) 前記装着ノズルの内一つを基準ノズルに選定し、前
記基準ノズルの中心を前記テーブル座標系の原点と一致
させるステップ； (2) 前記カメラ座標系上において、前記基準ノズルの前
記中心の第１偏差座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取るステップ； (3) ジグノズルを利用して前記テーブル座標系のＸ軸が
前記カメラ座標系のＰ軸と前記カメラ座標系の内でなす
第１角θｏを測定するステップ； (4) 前記第１偏差座標Ｐｏ、Ｑｏと前記第１角θｏを利
用して前記テーブル座標系の原点と前記カメラ座標系の
原点との間の偏差を前記テーブル座標系上の第２偏差座
標Ｘｏ、Ｙｏとして次式により求めるステップ；
【数７】 (5) 前記カメラ座標系上での前記チップの第１チップ座
標Ｐ１、Ｑ１及び前記カメラ座標系のＰ軸となす第２角
θｐを認識するステップ； (6) 前記チップの前記第１チップ座標Ｐ１、Ｑ１を第２
チップ座標Ｘ１、Ｙ１に次式により変換するステップ；
標Ｐ１、Ｑ１及び前記カメラ座標系のＰ軸となす第２角
θｐを認識するステップ； (6) 前記チップの前記第１チップ座標Ｐ１、Ｑ１を第２
チップ座標Ｘ１、Ｙ１に次式により変換するステップ；
【数８】 (7) 第２偏差座標Ｘｏ、Ｙｏと及び前記第２チップ座標
Ｘ１、Ｙ１を利用して次式により前記テーブル座標系上
の前記チップの真正な座標である第３チップ座標Ｘｃ、
Ｙｃを求めるステップ；
Ｘ１、Ｙ１を利用して次式により前記テーブル座標系上
の前記チップの真正な座標である第３チップ座標Ｘｃ、
Ｙｃを求めるステップ；
【数９】 (8) 次式により、前記チップが前記プリント回路基板上
に装着される所定の位置の装着座標Ｘｍ、Ｙｍから前記
第３チップ座標Ｘｃ、Ｙｃを減じ、前記第２角θｐから
前記第１角θｏを減じ前記装着テーブルのＸ及びＹ方向
移動距離ΔＸ、ΔＹと回転角Δθを求めるステップ；
に装着される所定の位置の装着座標Ｘｍ、Ｙｍから前記
第３チップ座標Ｘｃ、Ｙｃを減じ、前記第２角θｐから
前記第１角θｏを減じ前記装着テーブルのＸ及びＹ方向
移動距離ΔＸ、ΔＹと回転角Δθを求めるステップ；
【数10】ΔＸ＝Ｘｍ−Ｘｃ ΔＹ＝Ｙｍ−Ｙｃ Δθ＝θｐ−θｏ および、 (9) 前記移動距離ΔＸ、ΔＹだけ前記装着テーブルを移
動させ、前記回転角Δθだけ前記装着ノズルを回転させ
た後、前記チップを前記プリント回路基板上の前記所定
の位置に装着するステップを具えるチップマウントシス
テムのチップ装着方法を提供する。
動させ、前記回転角Δθだけ前記装着ノズルを回転させ
た後、前記チップを前記プリント回路基板上の前記所定
の位置に装着するステップを具えるチップマウントシス
テムのチップ装着方法を提供する。
【００１３】
【発明の実施の形態】以上のような本発明の目的とその
特徴及び長所などは、参照した本発明のいくつかの好適
な実施例に対する以下の説明から明確になるであろう。
特徴及び長所などは、参照した本発明のいくつかの好適
な実施例に対する以下の説明から明確になるであろう。
【００１４】以下、本発明を添付図面に基づいて詳細に
説明する。
説明する。
【００１５】図１を参照すると、ロータリ型チップマウ
ントシステム100 はチップ180 を供給する供給トレー12
0 、ＰＣＢ基板160 を搬送する装着テーブル130 、供給
トレー120 と装着テーブル130 との間で回転する12個の
ロータリヘッド110 、および部品認識のためのＣＣＤカ
メラ(Charge-Coupled Device Camera)140 を具える。
ントシステム100 はチップ180 を供給する供給トレー12
0 、ＰＣＢ基板160 を搬送する装着テーブル130 、供給
トレー120 と装着テーブル130 との間で回転する12個の
ロータリヘッド110 、および部品認識のためのＣＣＤカ
メラ(Charge-Coupled Device Camera)140 を具える。
【００１６】供給トレー120 は予め決められた装着手順
によって、その上部に載置されたチップ180 を図１のＸ
方向に移送する。各ロータリヘッド110 は図２に示すよ
うに４個の真空装着ノズル112 を具え、それぞれの装着
ノズル112 は互いに90度の間隔をおいて円周方向に配置
されている。それぞれの装着ノズル112 は真空圧力を利
用してチップ180 を吸着する。
によって、その上部に載置されたチップ180 を図１のＸ
方向に移送する。各ロータリヘッド110 は図２に示すよ
うに４個の真空装着ノズル112 を具え、それぞれの装着
ノズル112 は互いに90度の間隔をおいて円周方向に配置
されている。それぞれの装着ノズル112 は真空圧力を利
用してチップ180 を吸着する。
【００１７】一方、図３を参照すると、チップマウント
システム100 は電子制御ユニット（Electronic Control
Unit)150 を具える。電子制御ユニット150 はＣＣＤカ
メラ140 からのデータを基に装着テーブル130 を所定の
距離及び角度だけ移動させ、ロータリヘッド110 による
供給トレー120 からのチップ180 の吸着及びＰＣＢ基板
160 上でのチップ180 の装着を制御する。
システム100 は電子制御ユニット（Electronic Control
Unit)150 を具える。電子制御ユニット150 はＣＣＤカ
メラ140 からのデータを基に装着テーブル130 を所定の
距離及び角度だけ移動させ、ロータリヘッド110 による
供給トレー120 からのチップ180 の吸着及びＰＣＢ基板
160 上でのチップ180 の装着を制御する。
【００１８】12個のロータリヘッド110 は、図１に示す
ように、12個のステーション（Ｓ１−Ｓ12）に従って移
動し、チップマウントシステム100 はロータリヘッド11
0 がそれぞれのステーションに位置した際に所定の機能
を遂行する。
ように、12個のステーション（Ｓ１−Ｓ12）に従って移
動し、チップマウントシステム100 はロータリヘッド11
0 がそれぞれのステーションに位置した際に所定の機能
を遂行する。
【００１９】すなわち、各ロータリヘッド110 が第１ス
テーションＳ１に位置すると、４個の装着ノズル112 の
内一つの装着ノズル112 が供給トレー120 からチップ18
0 を吸着する。ロータリヘッド110 が第２ステーション
Ｓ２に位置すると、電子制御ユニット150 は装着ノズル
112 がチップ180 を吸着したか否かを検出する。ロータ
リヘッド110 が第３ステーションＳ３に位置すると、Ｃ
ＣＤカメラ140 によって装着ノズル112 に吸着されたチ
ップ180 が撮影され、ＣＣＤカメラ140 はカメラ座標系
Ｐ−Ｑ上でのチップ180 の座標Ｐ１、Ｑ１及びＰ軸とな
す角θｐを認識する。
テーションＳ１に位置すると、４個の装着ノズル112 の
内一つの装着ノズル112 が供給トレー120 からチップ18
0 を吸着する。ロータリヘッド110 が第２ステーション
Ｓ２に位置すると、電子制御ユニット150 は装着ノズル
112 がチップ180 を吸着したか否かを検出する。ロータ
リヘッド110 が第３ステーションＳ３に位置すると、Ｃ
ＣＤカメラ140 によって装着ノズル112 に吸着されたチ
ップ180 が撮影され、ＣＣＤカメラ140 はカメラ座標系
Ｐ−Ｑ上でのチップ180 の座標Ｐ１、Ｑ１及びＰ軸とな
す角θｐを認識する。
【００２０】各ロータリヘッド110 が第５ステーション
Ｓ５に位置すると、電子制御ユニット150 は装着ノズル
112 を回転させる。ロータリヘッド110 が第６ステーシ
ョンＳ６から第７ステーションＳ７に移動する間に、電
子制御ユニット150 はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上で認識され
たチップ180 の座標Ｐ１、Ｑ１に基づいてチップ180が
ＰＣＢ基板160 上に正確に装着できるよう装着テーブル
130 を移動させる。
Ｓ５に位置すると、電子制御ユニット150 は装着ノズル
112 を回転させる。ロータリヘッド110 が第６ステーシ
ョンＳ６から第７ステーションＳ７に移動する間に、電
子制御ユニット150 はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上で認識され
たチップ180 の座標Ｐ１、Ｑ１に基づいてチップ180が
ＰＣＢ基板160 上に正確に装着できるよう装着テーブル
130 を移動させる。
【００２１】ロータリヘッド110 が第７ステーションＳ
７に位置すると、ロータリヘッド110 はチップ180 を装
着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 上に装着する。ロー
タリヘッド110 が第７ステーションＳ７でチップ180 を
装着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 に装着できずに第
９ステーションＳ９に位置すると、ロータリヘッド110
は電子制御ユニット150 の制御によってその装着できな
かったチップ180 を排除する。
７に位置すると、ロータリヘッド110 はチップ180 を装
着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 上に装着する。ロー
タリヘッド110 が第７ステーションＳ７でチップ180 を
装着テーブル130 上のＰＣＢ基板160 に装着できずに第
９ステーションＳ９に位置すると、ロータリヘッド110
は電子制御ユニット150 の制御によってその装着できな
かったチップ180 を排除する。
【００２２】ロータリヘッド110 が第11ステーションＳ
11に位置すると、第５ステーションＳ５の位置で回転し
た装着ノズル112 は原点位置に復帰する。
11に位置すると、第５ステーションＳ５の位置で回転し
た装着ノズル112 は原点位置に復帰する。
【００２３】本発明の一実施例によると、チップマウン
トシステム100 の組立時にＣＣＤカメラ140 はカメラ座
標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−Ｙとが一致するように
チップマウントシステム100 に装着できない。その代わ
りにＣＣＤカメラ140 が装着された後にジグノズル170
を利用して、カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−
Ｙの間の位置偏差を次のように計算する。
トシステム100 の組立時にＣＣＤカメラ140 はカメラ座
標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−Ｙとが一致するように
チップマウントシステム100 に装着できない。その代わ
りにＣＣＤカメラ140 が装着された後にジグノズル170
を利用して、カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−
Ｙの間の位置偏差を次のように計算する。
【００２４】まず、12個のロータリヘッド110 が具える
多数の装着ノズル112 の中から選定した基準ノズル112a
を第７ステーションＳ７に移動させた後、基準ノズル11
2aの中心をテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点と一致させる。
12個のロータリヘッド110 、及び各ロータリヘッド110
で装着ノズル112 はそれぞれ固有の番号を有するが、望
ましくは基準ノズル112aは１番ロータリヘッド110 の１
番ノズルが選定される。
多数の装着ノズル112 の中から選定した基準ノズル112a
を第７ステーションＳ７に移動させた後、基準ノズル11
2aの中心をテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点と一致させる。
12個のロータリヘッド110 、及び各ロータリヘッド110
で装着ノズル112 はそれぞれ固有の番号を有するが、望
ましくは基準ノズル112aは１番ロータリヘッド110 の１
番ノズルが選定される。
【００２５】次に、基準ノズル112aを第３ステーション
Ｓ３に移動させ、カメラ座標系Ｐ−Ｑ上で基準ノズル11
2aの座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取る。一方、ジグノズル170
は図５に示すように長方形ベース172 、環状リング174
、及び組立体頭部(assemblyhead)176を具えるが、組立
体頭部176 を基準ノズル112aに固定させることにより、
基準ノズル112aにジグノズル170 を結合させる。ジグノ
ズル170 を固定する際には図６に示すように長方形ベー
ス172 の一側面がテーブル座標系Ｘ−ＹのＸ軸と平行と
なるように第７ステーションＳ７で固定する。
Ｓ３に移動させ、カメラ座標系Ｐ−Ｑ上で基準ノズル11
2aの座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取る。一方、ジグノズル170
は図５に示すように長方形ベース172 、環状リング174
、及び組立体頭部(assemblyhead)176を具えるが、組立
体頭部176 を基準ノズル112aに固定させることにより、
基準ノズル112aにジグノズル170 を結合させる。ジグノ
ズル170 を固定する際には図６に示すように長方形ベー
ス172 の一側面がテーブル座標系Ｘ−ＹのＸ軸と平行と
なるように第７ステーションＳ７で固定する。
【００２６】次に、再びジグノズル170 を第３ステーシ
ョンＳ３に移動させ、図７に示すように、カメラ座標系
Ｐ−Ｑ内でジグノズル170 がカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸
となす角θｏを判断する。その際、θｏはテーブル座標
系Ｘ−ＹのＸ軸がカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸に対してな
す角度を表す。前記のように測定したカメラ座標系Ｐ−
Ｑ上での基準ノズル112aの座標Ｐｏ、Ｑｏと、テーブル
座標系Ｘ−ＹのＸ軸とカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸間の角
θｏは電子制御ユニット150 にデータとして送られ、電
子制御ユニット150 はこれらデータを利用して２個の座
標系の間の偏差をテーブル座標系Ｘ−Ｙ上の値Ｐｏ、Ｑ
ｏとして求める。求める結果の値は次式により得られ
る。
ョンＳ３に移動させ、図７に示すように、カメラ座標系
Ｐ−Ｑ内でジグノズル170 がカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸
となす角θｏを判断する。その際、θｏはテーブル座標
系Ｘ−ＹのＸ軸がカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸に対してな
す角度を表す。前記のように測定したカメラ座標系Ｐ−
Ｑ上での基準ノズル112aの座標Ｐｏ、Ｑｏと、テーブル
座標系Ｘ−ＹのＸ軸とカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸間の角
θｏは電子制御ユニット150 にデータとして送られ、電
子制御ユニット150 はこれらデータを利用して２個の座
標系の間の偏差をテーブル座標系Ｘ−Ｙ上の値Ｐｏ、Ｑ
ｏとして求める。求める結果の値は次式により得られ
る。
【数11】 Ｘｏ＝−ＰｏＣｏｓθｏ−ＱｏＳｉｎθｏ Ｙｏ＝ ＰｏＳｉｎθｏ−ＱｏＣｏｓθｏ
【００２７】前記結果の値を求める過程を、以下でより
詳細に説明する。図８に示すようにカメラ座標系Ｐ−Ｑ
とテーブル座標系Ｘ−Ｙの偏差はカメラ座標系Ｐ−Ｑの
原点からテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点まで延長するベク
トル
詳細に説明する。図８に示すようにカメラ座標系Ｐ−Ｑ
とテーブル座標系Ｘ−Ｙの偏差はカメラ座標系Ｐ−Ｑの
原点からテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点まで延長するベク
トル
【外１】 として表わされ、これはカメラ座標系Ｐ−Ｑ上での値で
ある。
ある。
【数12】 これをテーブル座標系Ｘ−Ｙ上の値に変換すると、
【数13】 従って、
【数14】 すなわち、
【数15】 Ｘｏ＝−ＰｏＣｏｓθｏ−ＱｏＳｉｎθｏ Ｙｏ＝ ＰｏＳｉｎθｏ−ＱｏＣｏｓθｏ である。
【００２８】以上のように、テーブル座標系Ｘ−Ｙ上の
値として求めた二つの座標系の間の偏差は電子制御ユニ
ット150 に記憶され、ＰＣＢ基板160 上にチップ180 を
装着する際に、装着テーブル130 とＣＣＤカメラ140 と
の間の位置偏差補正値として提供される。
値として求めた二つの座標系の間の偏差は電子制御ユニ
ット150 に記憶され、ＰＣＢ基板160 上にチップ180 を
装着する際に、装着テーブル130 とＣＣＤカメラ140 と
の間の位置偏差補正値として提供される。
【００２９】以下に、前述の手順で求めた装着テーブル
130 とＣＣＤカメラ140 の間の位置偏差補正値を利用し
て、チップ180 をＰＣＢ基板160 上の所望の位置に正確
に装着する方法について説明する。前述したように、12
個のロータリヘッド110 は12個のステーションＳ１−Ｓ
12に従って移動し、チップマウントシステム100 はロー
タリヘッド110 がそれぞれのステーションに位置した際
に所定の機能を遂行する。
130 とＣＣＤカメラ140 の間の位置偏差補正値を利用し
て、チップ180 をＰＣＢ基板160 上の所望の位置に正確
に装着する方法について説明する。前述したように、12
個のロータリヘッド110 は12個のステーションＳ１−Ｓ
12に従って移動し、チップマウントシステム100 はロー
タリヘッド110 がそれぞれのステーションに位置した際
に所定の機能を遂行する。
【００３０】装着ノズル112 に吸着されたチップ180 が
第３ステーションに位置すると、ＣＣＤカメラ140 はカ
メラ座標系Ｐ−Ｑ上でのチップ180 の座標Ｐ１、Ｑ１及
びＰ軸となす角θｐを認識する。
第３ステーションに位置すると、ＣＣＤカメラ140 はカ
メラ座標系Ｐ−Ｑ上でのチップ180 の座標Ｐ１、Ｑ１及
びＰ軸となす角θｐを認識する。
【００３１】図９を参照すると、チップ180 の座標Ｐ
１、Ｑ１はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上でのベクトル
１、Ｑ１はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上でのベクトル
【外２】 として表わされる。すなわち、
【数16】 ここで、（外２）をテーブル座標系Ｘ−Ｙ上の値Ｘ１、
Ｙ１に変換すれば、
Ｙ１に変換すれば、
【数17】 となる。
【００３２】一方、図９に示すように、テーブル座標系
Ｘ−Ｙ上でチップ180 の座標Ｘｃ−Ｙｃはベクトル
Ｘ−Ｙ上でチップ180 の座標Ｘｃ−Ｙｃはベクトル
【外３】 として表わされ、
【数18】 である。従って、
【数19】 それ故、
【数20】 Ｘｃ＝−Ｐ１Ｃｏｓθｏ−Ｑ１Ｓｉｎθｏ＋Ｘｏ Ｙｃ＝−Ｐ１Ｓｉｎθｏ＋ＱｏＣｏｓθｏ＋Ｙｏ または、
【数21】 Ｘｃ＝（Ｐ１−Ｐｏ）Ｃｏｓθｏ＋（Ｑ１−Ｑｏ）Ｓｉｎθｏ Ｙｃ＝（Ｑ１−Ｑｏ）Ｃｏｓθｏ−（Ｐ１−Ｐｏ）Ｓｉｎθｏ となる。
【００３３】チップ180 がテーブル座標系Ｘ−ＹのＸ軸
となす角度Δθは、
となす角度Δθは、
【数22】Δθ＝θｐ−θｏ である。
【００３４】ここで、Ｘｃ−ＹｃおよびΔθは、それぞ
れテーブル座標系Ｘ−Ｙ上でのチップ180 の座標及びＸ
軸に対する角度であると同時に、チップ180 の装着時の
カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−Ｙとの間の位
置偏差及び装着ノズル112 によるチップ180 の吸着位置
偏差に対する補正値である。また、この補正値はカメラ
座標系Ｐ−Ｑ上で読み取ることのできるＰｏ、Ｐ１、Ｑ
ｏ、Ｑ１、θｏ、及びθｐの関数になっているために、
ＣＣＤカメラ140 によるチップ180 の認識だけで前記補
正値は容易に求められる。
れテーブル座標系Ｘ−Ｙ上でのチップ180 の座標及びＸ
軸に対する角度であると同時に、チップ180 の装着時の
カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系Ｘ−Ｙとの間の位
置偏差及び装着ノズル112 によるチップ180 の吸着位置
偏差に対する補正値である。また、この補正値はカメラ
座標系Ｐ−Ｑ上で読み取ることのできるＰｏ、Ｐ１、Ｑ
ｏ、Ｑ１、θｏ、及びθｐの関数になっているために、
ＣＣＤカメラ140 によるチップ180 の認識だけで前記補
正値は容易に求められる。
【００３５】一方、吸着されたチップ180 を装着するＰ
ＣＢ基板160 上の装着位置のテーブル座標系Ｘ−Ｙ上の
座標をＰ（Ｘｍ−Ｙｍ）とすれば、
ＣＢ基板160 上の装着位置のテーブル座標系Ｘ−Ｙ上の
座標をＰ（Ｘｍ−Ｙｍ）とすれば、
【数23】ΔＸ＝Ｘｍ−Ｘｃ ΔＹ＝Ｙｍ−Ｙｃ となる。従って、チップ180 の正確な装着のために、実
際に装着テーブル130 が移動しなければならないＸ方向
及びＹ方向の距離はΔＸ及びΔＹとなり、装着ノズル11
2 が回転しなければならない角度はΔθとなる。
際に装着テーブル130 が移動しなければならないＸ方向
及びＹ方向の距離はΔＸ及びΔＹとなり、装着ノズル11
2 が回転しなければならない角度はΔθとなる。
【００３６】前述したように、装着ノズル112 に吸着さ
れたチップ180 が第５ステーションＳ５に位置すると、
電子制御ユニット150 は装着ノズル112 をΔθだけ回転
させる。装着ノズル112 に吸着されたチップ180 が第６
ステーションＳ６から第７ステーションＳ７に移動する
間に、電子制御ユニット150 は装着テーブル130 をＸ軸
及びＹ軸方向にそれぞれΔＸ及びΔＹだけ移動させる。
従って、チップ180 は第７ステーションＳ７でＰＣＢ基
板160 上に正確に装着される。
れたチップ180 が第５ステーションＳ５に位置すると、
電子制御ユニット150 は装着ノズル112 をΔθだけ回転
させる。装着ノズル112 に吸着されたチップ180 が第６
ステーションＳ６から第７ステーションＳ７に移動する
間に、電子制御ユニット150 は装着テーブル130 をＸ軸
及びＹ軸方向にそれぞれΔＸ及びΔＹだけ移動させる。
従って、チップ180 は第７ステーションＳ７でＰＣＢ基
板160 上に正確に装着される。
【００３７】図10に、以上で説明した本発明によるチッ
プ装着方法の流れ図を示す。図10の流れ図を参照して本
発明のチップ装着方法を再度説明すると、まず、基準ノ
ズル112aの中心をテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点と一致さ
せる（ステップ210 ）。
プ装着方法の流れ図を示す。図10の流れ図を参照して本
発明のチップ装着方法を再度説明すると、まず、基準ノ
ズル112aの中心をテーブル座標系Ｘ−Ｙの原点と一致さ
せる（ステップ210 ）。
【００３８】次に、カメラ座標系Ｐ−Ｑ上で基準ノズル
112aの座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取り、次式のベクトルを得
る（ステップ220 ）。
112aの座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取り、次式のベクトルを得
る（ステップ220 ）。
【数24】
【００３９】ジグノズル170 の長方形ベース172 の一側
面がテーブル座標系Ｘ−ＹのＸ軸と平行となるように、
基準ノズル112aにジグノズル170 を固定する（ステップ
230）。
面がテーブル座標系Ｘ−ＹのＸ軸と平行となるように、
基準ノズル112aにジグノズル170 を固定する（ステップ
230）。
【００４０】カメラ座標系Ｐ−Ｑ内で長方形ベース172
の前記一側面がカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸となす角θｏ
を判断する（ステップ240 ）。
の前記一側面がカメラ座標系Ｐ−ＱのＰ軸となす角θｏ
を判断する（ステップ240 ）。
【００４１】次式のベクトル
【数25】 とθｏを利用して、テーブル座標系Ｘ−Ｙとカメラ座標
系Ｐ−Ｑの間の偏差を、次式によりテーブル座標系Ｘ−
Ｙ上の値Ｘｏ、Ｙｏとして求め、電子制御ユニット150
に記憶させる（ステップ250 ）。
系Ｐ−Ｑの間の偏差を、次式によりテーブル座標系Ｘ−
Ｙ上の値Ｘｏ、Ｙｏとして求め、電子制御ユニット150
に記憶させる（ステップ250 ）。
【数26】
【００４２】次に、装着ノズル112 に吸着されたチップ
180 が第３ステーションＳ３に位置した際に、ＣＣＤカ
メラ140 はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上でのチップ180 の座標
Ｐ１、Ｑ１及びＰ軸となす角θｐを認識する（ステップ
260 ）。
180 が第３ステーションＳ３に位置した際に、ＣＣＤカ
メラ140 はカメラ座標系Ｐ−Ｑ上でのチップ180 の座標
Ｐ１、Ｑ１及びＰ軸となす角θｐを認識する（ステップ
260 ）。
【００４３】
【数27】 で示すベクトルをテーブル座標系Ｘ−Ｙ上の値で変換す
る（ステップ270 ）。
る（ステップ270 ）。
【数28】
【００４４】（外１）と（外２）を利用して、次式によ
りテーブル座標系Ｘ−Ｙ上でのチップの座標を求める
（ステップ280 ）。
りテーブル座標系Ｘ−Ｙ上でのチップの座標を求める
（ステップ280 ）。
【数29】
【００４５】（外３）、θｏ及びθｐを利用して、次式
によりチップ180 のテーブル座標系Ｘ−Ｙでの装着座標
Ｘｍ、Ｙｍを補正する（ステップ290 ）。
によりチップ180 のテーブル座標系Ｘ−Ｙでの装着座標
Ｘｍ、Ｙｍを補正する（ステップ290 ）。
【数30】ΔＸ＝Ｘｍ−Ｘｃ ΔＹ＝Ｙｍ−Ｙｃ Δθ＝θｐ−θｏ
【００４６】装着ノズル112 に吸着されたチップ180 が
第５ステーションＳ５に位置した際に、装着テーブル13
0 をΔθだけ回転させ、装着ノズル112 に吸着されたチ
ップ180 が第６ステーションＳ６から第７ステーション
Ｓ７に移動する間に、電子制御ユニット150 は装着テー
ブル130 をＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれΔＸ、ΔＹだけ
移動させる（ステップ300 ）。
第５ステーションＳ５に位置した際に、装着テーブル13
0 をΔθだけ回転させ、装着ノズル112 に吸着されたチ
ップ180 が第６ステーションＳ６から第７ステーション
Ｓ７に移動する間に、電子制御ユニット150 は装着テー
ブル130 をＸ軸及びＹ軸方向にそれぞれΔＸ、ΔＹだけ
移動させる（ステップ300 ）。
【００４７】第７ステーションＳ７で装着ノズル112 は
チップ180 をＰＣＢ基板160 上に正確に装着する（ステ
ップ310 ）。
チップ180 をＰＣＢ基板160 上に正確に装着する（ステ
ップ310 ）。
【００４８】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明による
と、ＣＣＤカメラ140 をチップマウントシステム100 に
組み立てる際に、カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系
Ｘ−Ｙとが互いに一致するように注意する必要がない長
所がある。
と、ＣＣＤカメラ140 をチップマウントシステム100 に
組み立てる際に、カメラ座標系Ｐ−Ｑとテーブル座標系
Ｘ−Ｙとが互いに一致するように注意する必要がない長
所がある。
【００４９】のみならず、テーブル座標系Ｘ−Ｙとカメ
ラ座標系Ｐ−Ｑとの間の偏差がカメラ座標系Ｐ−Ｑ上で
読み取られるデータによって予め計算され、チップ装着
時に補正値として提供することができ、これによってチ
ップマウントシステム100 にＣＣＤカメラ140 の組立ま
たは設置時の公差に係わりなくチップ180 がＰＣＢ基板
160 上の所望の位置に正確に装着可能となる長所が提供
される。
ラ座標系Ｐ−Ｑとの間の偏差がカメラ座標系Ｐ−Ｑ上で
読み取られるデータによって予め計算され、チップ装着
時に補正値として提供することができ、これによってチ
ップマウントシステム100 にＣＣＤカメラ140 の組立ま
たは設置時の公差に係わりなくチップ180 がＰＣＢ基板
160 上の所望の位置に正確に装着可能となる長所が提供
される。
【００５０】以上、本発明を実施例によって詳細に説明
したが、本発明は実施例によって限定されず、本発明が
属する技術分野で通常の知識を有する者であれば本発明
の思想と精神を離れず、本発明の修正または変更は可能
であろう。
したが、本発明は実施例によって限定されず、本発明が
属する技術分野で通常の知識を有する者であれば本発明
の思想と精神を離れず、本発明の修正または変更は可能
であろう。
【図１】一般的なロータリ型チップマウントシステムの
概略的な構成図である。
概略的な構成図である。
【図２】図１に示すロータリヘッドの底面図である。
【図３】図１に示すチップマウントシステムの制御部の
構成を説明するための概略的なブロック図である。
構成を説明するための概略的なブロック図である。
【図４】図１に示すチップマウントシステム内にＣＣＤ
カメラを設置するための従来の方法を説明するＣＣＤカ
メラのモニタの概略図である。
カメラを設置するための従来の方法を説明するＣＣＤカ
メラのモニタの概略図である。
【図５】本発明の一実施例によるカメラ偏差補正方法に
利用されるジグノズルの斜視図である。
利用されるジグノズルの斜視図である。
【図６】図５に示すジグノズルとテーブル座標系との関
係を表すグラフである。
係を表すグラフである。
【図７】カメラ座標系上での図５のジグノズルの位置及
び角度を表すグラフである。
び角度を表すグラフである。
【図８】カメラ座標系とテーブル座標系との間の関係を
表すグラフである。
表すグラフである。
【図９】カメラ座標系とテーブル座標系上でのチップの
座標及びその偏差を補正するためのグラフである。
座標及びその偏差を補正するためのグラフである。
【図10】本発明の他の実施例によるチップ装着方法を表
す流れ図である。
す流れ図である。
100 チップマウントシステム 110 ロータリヘッド 112 装着ノズル 112a 基準ノズル 120 供給トレー 130 装着テーブル 140 ＣＣＤカメラ 150 電子制御ユニット 160 ＰＣＢ基板 170 ジグノズル 172 長方形ベース 174 環状リング 176 組立体頭部 180 チップ
Claims (22)
- 【請求項１】 チップを供給する供給トレー、テーブル
座標系を有し、プリント回路基板を搬送する装着テーブ
ル、前記供給トレーから前記チップを吸着し、前記プリ
ント回路基板上に装着させる多数の装着ノズルを具える
多数のロータリヘッド、およびカメラ座標系を有し、前
記装着ノズルに吸着された前記チップを前記カメラ座標
系上で認識するカメラとを具えるロータリ型チップマウ
ントシステムの前記カメラ座標系と前記テーブル座標系
の間の位置偏差補正方法として、 (1) 前記装着ノズルの内一つを基準ノズルに選定し、前
記基準ノズルの中心を前記テーブル座標系の原点と一致
させるステップ； (2) 前記カメラ座標系上において、前記基準ノズルの前
記中心の第１座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取るステップ； (3) ジグノズルを利用して、前記テーブル座標系のＸ軸
が前記カメラ座標系のＰ軸と前記カメラ座標系の中でな
す角θｏを測定するステップ； (4) 前記第１座標Ｐｏ、Ｑｏと前記角θｏを利用して前
記テーブル座標系の原点と前記カメラ座標系の原点との
間の偏差を前記テーブル座標系上の第２座標Ｘｏ、Ｙｏ
として次式により求めるステップ； 【数１】 および、 (5) 前記第２座標と前記角θｏを補正値として前記チッ
プマウントシステムに提供するステップを具えるチップ
マウントシステムのカメラ位置偏差補正方法。 - 【請求項２】 前記チップマウントシステムは12個のロ
ータリヘッドを具えることを特徴とする請求項１記載の
チップマウントシステムのカメラ位置偏差補正方法。 - 【請求項３】 前記ロータリヘッドは12個のステーショ
ンに従って回転することを特徴とする請求項２記載のチ
ップマウントシステムのカメラ位置偏差補正方法。 - 【請求項４】 前記ステップ２において、前記カメラは
前記基準ノズルを具える前記ロータリヘッドが前記12個
のステーションの中で第３ステーションに位置する際に
前記基準ノズルの前記中心の第１座標Ｐｏ、Ｑｏを読
み、前記第１座標は前記カメラ座標系上での前記テーブ
ル座標系の原点の座標であることを特徴とする請求項３
記載のチップマウントシステムのカメラ位置偏差補正方
法。 - 【請求項５】 前記ジグノズルは長方形ベース、環状リ
ング及び組立体頭部を具え、前記ジグノズルの前記長方
形ベースの一側面が前記テーブル座標系の前記Ｘ軸と平
行となるように前記組立体頭部が前記基準ノズルに固定
することを特徴とする請求項３記載のチップマウントシ
ステムのカメラ位置偏差補正方法。 - 【請求項６】 前記ステップ３において、前記ジグノズ
ルが前記12個のステーション中の第３ステーションに位
置した後、前記カメラにより前記長方形ベースの前記一
側面が前記カメラ座標系の前記Ｐ軸と前記カメラ座標系
内でなす角度を測定することにより前記角θｏを測定す
ることを特徴とする請求項５記載のチップマウントシス
テムのカメラ位置偏差補正方法。 - 【請求項７】 前記ロータリヘッドは円周方向に互いに
同一な間隔で配置された４個の装着ノズルを具えること
を特徴とする請求項２記載のチップマウントシステムの
カメラ位置偏差補正方法。 - 【請求項８】 前記基準ノズルは前記多数のロータリヘ
ッドの中で第１ヘッドの第１ノズルであることを特徴と
する請求項１記載のチップマウントシステムのカメラ位
置偏差補正方法。 - 【請求項９】 前記カメラは電荷結合素子カメラ(Charg
e-Coupled Device Camera)であることを特徴とする請求
項１記載のチップマウントシステムのカメラ位置偏差補
正方法。 - 【請求項１０】 チップを供給する供給トレー、テーブ
ル座標系を有し、プリント回路基板を搬送する装着テー
ブル、前記供給トレーから前記チップを吸着し、前記プ
リント回路基板上に装着させるそれぞれ多数の装着ノズ
ルを具える多数のロータリヘッド、そしてカメラ座標系
を有し、前記装着ノズルに吸着された前記チップを前記
カメラ座標系上で認識するカメラを具えるロータリ型チ
ップマウントシステムのチップ装着方法として、 (1) 前記装着ノズルの中で一つを基準ノズルに選定し、
前記基準ノズルの中心を前記テーブル座標系の原点と一
致させるステップ； (2) 前記カメラ座標系上において、前記基準ノズルの前
記中心の第１偏差座標Ｐｏ、Ｑｏを読み取るステップ； (3) ジグノズルを利用して前記テーブル座標系のＸ軸が
前記カメラ座標系のＰ軸と前記カメラ座標系の内でなす
第１角θｏを測定するステップ； (4) 前記第１偏差座標Ｐｏ、Ｑｏと前記第１角θｏを利
用して前記テーブル座標系の原点と前記カメラ座標系の
原点との間の偏差を前記テーブル座標系上の第２偏差座
標Ｘｏ、Ｙｏとして次式により求めるステップ； 【数２】 (5) 前記カメラ座標系上での前記チップの第１チップ座
標Ｐ１、Ｑ１及び前記カメラ座標系のＰ軸となす第２角
θｐを認識するするステップ； (6) 前記チップの前記第１チップ座標Ｐ１、Ｑ１を第２
チップ座標Ｘ１、Ｙ１に次式により変換するステップ； 【数３】 (7) 第２偏差座標Ｘｏ、Ｙｏと及び前記第２チップ座標
Ｘ１、Ｙ１を利用して次式により前記テーブル座標系上
の前記チップの真の座標である第３チップ座標Ｘｃ、Ｙ
ｃを求めるステップ； 【数４】 (8) 次式により、前記チップが前記プリント回路基板上
に装着される所定の位置の装着座標Ｘｍ、Ｙｍから前記
第３チップ座標Ｘｃ、Ｙｃを減じ、前記第２角θｐから
前記第１角θｏを減じ、前記装着テーブルのＸ及びＹ方
向の移動距離ΔＸ、ΔＹおよび回転角Δθを求めるステ
ップ； 【数５】ΔＸ＝Ｘｍ−Ｘｃ ΔＹ＝Ｙｍ−Ｙｃ Δθ＝θｐ−θｏ および、 (9) 前記移動距離ΔＸ、ΔＹだけ前記装着テーブルを移
動させ、前記回転角Δθだけ前記装着ノズルを回転させ
た後、前記チップを前記プリント回路基板上の前記所定
の位置に装着するステップを具えるチップマウントシス
テムのチップ装着方法。 - 【請求項１１】 前記チップマウントシステムが12個の
ロータリヘッドを具えることを特徴とする請求項10記載
のチップマウントシステムのチップ装着方法。 - 【請求項１２】 前記ロータリヘッドは12個のステーシ
ョンに従って回転することを特徴とする請求項11記載の
チップマウントシステムのチップ装着方法。 - 【請求項１３】 前記ステップ２において、前記カメラ
は前記基準ノズルを具える前記ロータリヘッドが前記ス
テーションの中の第３ステーションに位置する際に前記
基準ノズルの前記中心の第１偏差座標Ｐｏ、Ｑｏを読み
取り、前記第１偏差座標は前記カメラ座標系上での前記
テーブル座標系の原点の座標であることを特徴とする請
求項12記載のチップマウントシステムのチップ装着方
法。 - 【請求項１４】 前記ジグノズルは長方形ベース、環状
リング、及び組立体頭部を具え、前記ジグノズルの前記
長方形ベースの一側面が前記テーブル座標系の前記Ｘ軸
と平行となるように前記組立体頭部を前記基準ノズルに
固定することを特徴とする請求項12記載のチップマウン
トシステムのチップ装着方法。 - 【請求項１５】 前記ステップ３において、前記ジグノ
ズルが前記第３ステーションに位置した後、前記カメラ
は前記長方形ベースの前記一側面が前記カメラ座標系の
前記Ｐ軸と前記カメラ座標系内でなす角度を測定するこ
とにより、前記角θｏを測定することを特徴とする請求
項14記載のチップマウントシステムのチップ装着方法。 - 【請求項１６】 前記ロータリヘッドが円周方向に互い
に同一な間隔で配置された４個の装着ノズルを具えるこ
とを特徴とする請求項11記載のチップマウントシステム
のチップ装着方法。 - 【請求項１７】 前記基準ノズルは前記多数のロータリ
ヘッドの中で第１ヘッドの第１ノズルであることを特徴
とする請求項10記載のチップマウントシステムのチップ
装着方法。 - 【請求項１８】 前記カメラは電荷結合素子カメラ(Cha
rge-Coupled DeviceCamera)であることを特徴とする請
求項10記載のチップマウントシステムのチップ装着方
法。 - 【請求項１９】 前記ステップ５は前記装着ノズルに吸
着された前記チップが前記第３ステーションに位置した
際に遂行されることを特徴とする請求項10記載のチップ
マウントシステムのチップ装着方法。 - 【請求項２０】 前記ステップ９において前記装着ノズ
ルに吸着された前記チップが前記ステーションの中で第
５ステーションから第６ステーションの間を移動する間
に前記移動距離ΔＸ、ΔＹだけ前記装着テーブルが移動
することを特徴とする請求項10記載のチップマウントシ
ステムのチップ装着方法。 - 【請求項２１】 前記ステップ９において前記装着ノズ
ルに吸着された前記チップが前記ステーションの中で第
５ステーションに位置された際に、前記回転角Δθだけ
前記装着ノズルが回転することを特徴とする請求項10記
載のチップマウントシステムのチップ装着方法。 - 【請求項２２】 前記ステップ９において前記装着ノズ
ルに吸着された前記チップが前記ステーションの中で第
７ステーションに位置した際に、前記装着ノズルが前記
チップを前記プリント回路基板上に正確に装着すること
を特徴とする請求項10記載のチップマウントシステムの
チップ装着方法。
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