JPH08326983A - 配管用ヒータ - Google Patents
配管用ヒータInfo
- Publication number
- JPH08326983A JPH08326983A JP7130204A JP13020495A JPH08326983A JP H08326983 A JPH08326983 A JP H08326983A JP 7130204 A JP7130204 A JP 7130204A JP 13020495 A JP13020495 A JP 13020495A JP H08326983 A JPH08326983 A JP H08326983A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piping
- cover
- pipe
- heater
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
- F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
- F16L53/35—Ohmic-resistance heating
- F16L53/38—Ohmic-resistance heating using elongate electric heating elements, e.g. wires or ribbons
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L—PIPES; JOINTS OR FITTINGS FOR PIPES; SUPPORTS FOR PIPES, CABLES OR PROTECTIVE TUBING; MEANS FOR THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16L53/00—Heating of pipes or pipe systems; Cooling of pipes or pipe systems
- F16L53/30—Heating of pipes or pipe systems
- F16L53/35—Ohmic-resistance heating
Abstract
(57)【要約】
【目的】 配管への着脱が簡便な配管用ヒータを提供す
る。 【構成】 配管の外面に装着して配管を加熱するヒータ
であって、筒状のカバー11とカバー11の内側長手方向に
延在する電熱部12と電熱部12の両端に接続された給電部
13, 14からなる。カバー11の側面長手方向には全長にわ
たりスリット11aが設けられており、その幅は装着する
配管１の外径より充分に小さく、又、カバー11はスリッ
ト11a の幅を拡縮する方向にばね性を有している。更
に、長手方向の可撓性を高めるためにスリット11a の両
縁から周方向に一定ピッチ・一定深さの切り込み11b が
設けられている。配管１に対して自己保持が可能。又、
複数のヒータの直列接続が可能。
る。 【構成】 配管の外面に装着して配管を加熱するヒータ
であって、筒状のカバー11とカバー11の内側長手方向に
延在する電熱部12と電熱部12の両端に接続された給電部
13, 14からなる。カバー11の側面長手方向には全長にわ
たりスリット11aが設けられており、その幅は装着する
配管１の外径より充分に小さく、又、カバー11はスリッ
ト11a の幅を拡縮する方向にばね性を有している。更
に、長手方向の可撓性を高めるためにスリット11a の両
縁から周方向に一定ピッチ・一定深さの切り込み11b が
設けられている。配管１に対して自己保持が可能。又、
複数のヒータの直列接続が可能。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は配管用ヒータの構造に関
する。半導体ウェーハの処理（例えばＣＶＤ）等におい
て、処理用のガスを予め一定の温度に加熱しておくこと
を要する場合がある。その際にはガスボンベからその処
理装置への配管やその処理装置内の配管に配管用ヒータ
を装着して配管を加熱し、その配管内を流れるガスを加
熱する方法がとられる。
する。半導体ウェーハの処理（例えばＣＶＤ）等におい
て、処理用のガスを予め一定の温度に加熱しておくこと
を要する場合がある。その際にはガスボンベからその処
理装置への配管やその処理装置内の配管に配管用ヒータ
を装着して配管を加熱し、その配管内を流れるガスを加
熱する方法がとられる。
【０００２】
【従来の技術】従来の配管用ヒータの例を図２を参照し
ながら説明する。図２は従来例を示す図であり、従来の
ヒータを配管に装着した状態の一例を斜視図で示してい
る。ヒータはリボン状の電熱部２２と、その一端に接続
された給電部２３からなり、電熱部２２を配管１に螺旋
状に巻き付け、給電部２３を電源（図示は省略）に接続
して使用する。
ながら説明する。図２は従来例を示す図であり、従来の
ヒータを配管に装着した状態の一例を斜視図で示してい
る。ヒータはリボン状の電熱部２２と、その一端に接続
された給電部２３からなり、電熱部２２を配管１に螺旋
状に巻き付け、給電部２３を電源（図示は省略）に接続
して使用する。
【０００３】電熱部２２としては、抵抗線を絶縁物に埋
め込んだもの、電熱材料からなる面発熱体を使用するも
の等がある。
め込んだもの、電熱材料からなる面発熱体を使用するも
の等がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来の配管用ヒータでは、長い配管への巻き付け及びメ
ンテナンスのための取り外し・再巻き付けの作業に長時
間を要し、近接する平行配管や複雑に屈曲した配管では
特に作業性が悪い、という問題があった。本発明は、こ
のような問題を解決して、着脱が簡便な配管用ヒータを
提供することを目的とする。
従来の配管用ヒータでは、長い配管への巻き付け及びメ
ンテナンスのための取り外し・再巻き付けの作業に長時
間を要し、近接する平行配管や複雑に屈曲した配管では
特に作業性が悪い、という問題があった。本発明は、こ
のような問題を解決して、着脱が簡便な配管用ヒータを
提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この目的は本発明によれ
ば、配管の外面に装着して該配管を加熱するヒータであ
って、筒状のカバーと該カバーの内側長手方向に延在す
る電熱部と該電熱部に接続された給電部からなり、該カ
バーは側面全長にわたりスリットを有し、該スリットの
幅は装着する配管の外径より小さく、該カバーは該スリ
ット幅を拡縮する方向にばね性を有していることを特徴
とする配管用ヒータとすることで、更に、前記スリット
の両縁からそれぞれ周方向に切り込みを設けて長手方向
の可撓性を増大し、又、前記給電部を前記電熱部の両端
にそれぞれ接続し、該両給電部にそれぞれコネクタを設
けることで、達成される。
ば、配管の外面に装着して該配管を加熱するヒータであ
って、筒状のカバーと該カバーの内側長手方向に延在す
る電熱部と該電熱部に接続された給電部からなり、該カ
バーは側面全長にわたりスリットを有し、該スリットの
幅は装着する配管の外径より小さく、該カバーは該スリ
ット幅を拡縮する方向にばね性を有していることを特徴
とする配管用ヒータとすることで、更に、前記スリット
の両縁からそれぞれ周方向に切り込みを設けて長手方向
の可撓性を増大し、又、前記給電部を前記電熱部の両端
にそれぞれ接続し、該両給電部にそれぞれコネクタを設
けることで、達成される。
【０００６】
【作用】本発明のヒータでは、電熱部の外側に筒状でス
リットを有するカバーがあり、そのカバーがばね性を有
しているから、そのスリットは僅かの外力で拡幅され、
その外力を除けば元の幅に戻る。従って、ヒータを配管
に着脱するには、カバーのスリット幅を拡げて配管にそ
の側方から嵌脱するだけでよく、着脱作業は極めて簡便
であり、たとえ別の管が近接して配置されていても、そ
の簡便さは損なわれない。
リットを有するカバーがあり、そのカバーがばね性を有
しているから、そのスリットは僅かの外力で拡幅され、
その外力を除けば元の幅に戻る。従って、ヒータを配管
に着脱するには、カバーのスリット幅を拡げて配管にそ
の側方から嵌脱するだけでよく、着脱作業は極めて簡便
であり、たとえ別の管が近接して配置されていても、そ
の簡便さは損なわれない。
【０００７】又、このヒータを配管に装着した状態では
カバーのスリット幅が配管の外径より小となるから、こ
のヒータは配管に対して自己保持することになり、必ず
しも他に固定具を必要としない。
カバーのスリット幅が配管の外径より小となるから、こ
のヒータは配管に対して自己保持することになり、必ず
しも他に固定具を必要としない。
【０００８】このカバーに周方向への切り込みを設ける
ことにより長手方向の可撓性が増すから、湾曲した管に
も倣わせることが出来る。又、電熱部の両端に給電部を
接続しておくことにより、任意の複数のヒータの各両端
の給電部を順次直列に接続し、一端の給電部だけを電源
に接続することにより総てのヒータを発熱させることが
可能となり、バルブやマスフローコントローラ等、メン
テナンスを要する配管部品の前後でヒータを分割して
も、個別に電源に接続する必要がないから給電配線が複
雑になることはない。
ことにより長手方向の可撓性が増すから、湾曲した管に
も倣わせることが出来る。又、電熱部の両端に給電部を
接続しておくことにより、任意の複数のヒータの各両端
の給電部を順次直列に接続し、一端の給電部だけを電源
に接続することにより総てのヒータを発熱させることが
可能となり、バルブやマスフローコントローラ等、メン
テナンスを要する配管部品の前後でヒータを分割して
も、個別に電源に接続する必要がないから給電配線が複
雑になることはない。
【０００９】
【実施例】本発明の実施例を図１を参照しながら説明す
る。図１は本発明の実施例示す図であり、同図（Ａ）斜
視図、（Ｂ）は断面図である。同図において、１は加熱
すべき配管（管）、２は配管部品、１１はカバー、１２
は電熱部、１３，１４は給電部である。
る。図１は本発明の実施例示す図であり、同図（Ａ）斜
視図、（Ｂ）は断面図である。同図において、１は加熱
すべき配管（管）、２は配管部品、１１はカバー、１２
は電熱部、１３，１４は給電部である。
【００１０】カバー１１は円筒の側面長手方向全長にわ
たり連続したスリット１１ａを設けた形状をしており、
従って断面は略Ｃ字型となっている。Ω字型断面であっ
てもよい。カバー１１は例えばプラスチック材料からな
り、スリット１１ａの幅を拡縮する方向にばね性を有し
ている。スリット幅は自由寸法では加熱対象の管１の外
径より充分に小さいが（例えば、半分以下）、比較的小
さい外力で管１の外径以上に拡張出来、外力を除去すれ
ば元の寸法に戻る。スリット１１ａの両縁から周方向へ
一定幅・一定深さの切り込み１１ｂが一定ピッチで設け
られている。
たり連続したスリット１１ａを設けた形状をしており、
従って断面は略Ｃ字型となっている。Ω字型断面であっ
てもよい。カバー１１は例えばプラスチック材料からな
り、スリット１１ａの幅を拡縮する方向にばね性を有し
ている。スリット幅は自由寸法では加熱対象の管１の外
径より充分に小さいが（例えば、半分以下）、比較的小
さい外力で管１の外径以上に拡張出来、外力を除去すれ
ば元の寸法に戻る。スリット１１ａの両縁から周方向へ
一定幅・一定深さの切り込み１１ｂが一定ピッチで設け
られている。
【００１１】電熱部１２は例えば抵抗線を絶縁物に埋め
込んだもの、電熱材料からなる面発熱体を使用するもの
等であり、帯状で可撓性を有しており、全長はカバー１
１のそれと略等しい。その一端には給電部１３が、他端
には給電部１４が接続されており、給電部１３，１４は
それぞれコネクタ１３ａ，１４ａを備えている。この給
電部１３，１４のいずれか一方を電源に接続し、他方は
必要に応じて他の配管用ヒータの給電部とコネクタによ
り接続する。
込んだもの、電熱材料からなる面発熱体を使用するもの
等であり、帯状で可撓性を有しており、全長はカバー１
１のそれと略等しい。その一端には給電部１３が、他端
には給電部１４が接続されており、給電部１３，１４は
それぞれコネクタ１３ａ，１４ａを備えている。この給
電部１３，１４のいずれか一方を電源に接続し、他方は
必要に応じて他の配管用ヒータの給電部とコネクタによ
り接続する。
【００１２】この配管用ヒータはカバー１１のスリット
１１ａを拡幅して配管１に嵌挿することにより装着す
る。この配管用ヒータは必ずしも一式で配管系全体を加
熱するものではなく、少なくとも加熱すべき配管系にバ
ルブやマスフローコントローラ等、メンテナンスを要す
る配管部品２が含まれている場合には、この配管部品２
の前後で分割されるような長さの複数のヒータを、この
配管部品２の部分で順次直列に接続し、その一端を電源
に接続して使用する。
１１ａを拡幅して配管１に嵌挿することにより装着す
る。この配管用ヒータは必ずしも一式で配管系全体を加
熱するものではなく、少なくとも加熱すべき配管系にバ
ルブやマスフローコントローラ等、メンテナンスを要す
る配管部品２が含まれている場合には、この配管部品２
の前後で分割されるような長さの複数のヒータを、この
配管部品２の部分で順次直列に接続し、その一端を電源
に接続して使用する。
【００１３】本発明は以上の実施例に限定されることな
く、更に種々変形して実施することが出来る。例えば、
カバー１１に切り込み１１ｂがないものであっても、
又、電熱部１２の一端のみに給電部１３又は１４が接続
されたものであっても、本発明は有効である。
く、更に種々変形して実施することが出来る。例えば、
カバー１１に切り込み１１ｂがないものであっても、
又、電熱部１２の一端のみに給電部１３又は１４が接続
されたものであっても、本発明は有効である。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
配管への着脱が簡便な配管用ヒータを提供することが出
来、配管系のメンテナンスのコストの低減等に寄与す
る。
配管への着脱が簡便な配管用ヒータを提供することが出
来、配管系のメンテナンスのコストの低減等に寄与す
る。
【図１】 本発明の実施例を示す図である。
【図２】 従来例を示す図である。
１ 配管（管） ２ 配管部品 １１ カバー １１ａ スリット １１ｂ 切り込み １２，２２ 電熱部 １３，１４，２３ 給電部 １３ａ，１４ａ コネクタ
Claims (3)
- 【請求項１】 配管の外面に装着して該配管を加熱する
ヒータであって、 筒状のカバーと該カバーの内側長手方向に延在する電熱
部と該電熱部に接続された給電部からなり、該カバーは
側面全長にわたりスリットを有し、該スリットの幅は装
着する配管の外径より小さく、該カバーは該スリット幅
を拡縮する方向にばね性を有していることを特徴とする
配管用ヒータ。 - 【請求項２】 前記カバーは前記スリットの両縁からそ
れぞれ周方向に切り込みを設けて長手方向の可撓性を増
したものであることを特徴とする請求項１記載の配管用
ヒータ。 - 【請求項３】 前記給電部は前記電熱部の両端にそれぞ
れ接続されており、該両給電部はそれぞれコネクタを備
えていることを特徴とする請求項１記載の配管用ヒー
タ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7130204A JPH08326983A (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 配管用ヒータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7130204A JPH08326983A (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 配管用ヒータ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08326983A true JPH08326983A (ja) | 1996-12-10 |
Family
ID=15028589
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7130204A Withdrawn JPH08326983A (ja) | 1995-05-29 | 1995-05-29 | 配管用ヒータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08326983A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007019564A3 (en) * | 2005-08-09 | 2007-04-05 | Watlow Electric Mfg | Modular heater systems |
| JP2009168119A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Nitta Moore Co | 管継手の加熱・保温カバー |
| JP2009270661A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Satoru Murayama | 電熱ヒーター |
| US7626146B2 (en) | 2005-08-09 | 2009-12-01 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
| US7919733B2 (en) | 2005-08-09 | 2011-04-05 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
| US8809751B2 (en) | 2005-08-09 | 2014-08-19 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater system |
| WO2018071909A1 (en) * | 2016-10-15 | 2018-04-19 | Akurate Dynamics, Llc | Multi-segment heated hose having segment-specific heating means |
| US10557584B2 (en) | 2015-12-16 | 2020-02-11 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
| JP2021032399A (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-01 | 株式会社フジキン | ヒータ、ヒータの装着方法及び流体供給ユニット |
-
1995
- 1995-05-29 JP JP7130204A patent/JPH08326983A/ja not_active Withdrawn
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007019564A3 (en) * | 2005-08-09 | 2007-04-05 | Watlow Electric Mfg | Modular heater systems |
| US7626146B2 (en) | 2005-08-09 | 2009-12-01 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
| US7919733B2 (en) | 2005-08-09 | 2011-04-05 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
| US7964826B2 (en) | 2005-08-09 | 2011-06-21 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
| TWI448639B (zh) * | 2005-08-09 | 2014-08-11 | Watlow Electric Mfg | 模組化加熱器系統 |
| US8809751B2 (en) | 2005-08-09 | 2014-08-19 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater system |
| JP2009168119A (ja) * | 2008-01-15 | 2009-07-30 | Nitta Moore Co | 管継手の加熱・保温カバー |
| JP2009270661A (ja) * | 2008-05-09 | 2009-11-19 | Satoru Murayama | 電熱ヒーター |
| US10557584B2 (en) | 2015-12-16 | 2020-02-11 | Watlow Electric Manufacturing Company | Modular heater systems |
| WO2018071909A1 (en) * | 2016-10-15 | 2018-04-19 | Akurate Dynamics, Llc | Multi-segment heated hose having segment-specific heating means |
| US11014105B2 (en) | 2016-10-15 | 2021-05-25 | Akurate Dynamics, Llc | Multi-segment heated hose having segment-specific heating means |
| JP2021032399A (ja) * | 2019-08-29 | 2021-03-01 | 株式会社フジキン | ヒータ、ヒータの装着方法及び流体供給ユニット |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |