JPH11159685A

JPH11159685A - 配管用ヒータ

Info

Publication number: JPH11159685A
Application number: JP9330224A
Authority: JP
Inventors: Masaru Inematsu; 優稲松; Katsuisa Kitakata; 勝勇北形
Original assignee: KAISEI TSUSHO KK; SUZUKI SHOUKAN KK
Current assignee: KAISEI TSUSHO KK; SUZUKI SHOUKAN KK
Priority date: 1997-12-01
Filing date: 1997-12-01
Publication date: 1999-06-15

Abstract

(57)【要約】【課題】配管の異形部に容易に着脱できるとともに優
れた均熱性および充分な耐久性を確保できかつ清浄な環
境下でも使用できる配管用ヒータを提供する。【解決手段】流体を輸送する配管９０の異形部９２を
加熱するための配管用ヒータ１において、異形部９２を
覆う被覆部１０に電熱線２０を埋設し、被覆部１０を柔
軟性および耐熱性を有する樹脂により構成するととも
に、電熱線２０を複数のステンレスファイバを含んで構
成する。これにより、被覆部１０を異形部９２に確実に
密着させることができるので、優れた均熱性を確保でき
るうえ、従来のテープ状のヒータよりも容易に着脱でき
る。また、電熱線２０の強度を従来のニクロム線よりも
高められるから、優れた耐久性を確保できる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、配管用ヒータに関
する。

【０００２】

【背景技術】ガスや水等の流体を搬送する配管は、直線
状の直管部を、エルボ、チーズ、クランプ等の継手部や
バルブ等の弁等を介して連結することにより構成され、
クランプ等の保持部材により保持して所定箇所に固定し
ている。このような配管では、継手部、弁、保持部材等
は、直線状の直管部から径方向に突出する異形部となっ
ている。工場や建物等の配管は、定期的に分解してメン
テナンスを行う必要があるため、直管部の長さを短くし
て分解および組立て時の作業性を高めるようにしてい
る。このため、配管には、比較的短い間隔で異形部が配
置されている。

【０００３】一方、配管は、配管の洗浄、流体の加熱、
流体の状態変化防止等のために、加熱・保温する場合が
ある。例えば、半導体製造においては、配管を流通する
材料ガスの液化、固化、粉末化等を防止するために、配
管を外部から所定温度に加熱している。このような配管
の加熱は、一般に、可撓性を有するテープ状のヒータを
配管に螺旋状に巻装して行うようにしている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この方法では、ヒータ
を配管全体に順次巻装しなければならないので、設置作
業が煩雑なうえ、ヒータが直接接触する部分と接触しな
い部分とで温度むらが生じやすかった。また、ヒータを
直管部と異形部とに跨って連続的に巻き付けるので、メ
ンテナンス時には、配管を分解するためにヒータをその
都度取り外さなければならないうえ、メンテナンスが終
了して配管を組み立てた後に、ヒータを再び巻き付けな
ければならず、ヒータの着脱に手間がかかるという問題
があった。

【０００５】このような問題点を解決する直管部用のヒ
ータとして、切り込みを備えた筒状のシリコンスポンジ
にニクロム線を内蔵させ、切り込みから直管部に着脱で
きるようにしたヒータがある。しかしながら、この筒状
のヒータは直管部にしか装着できないので、当該ヒータ
を用いて配管の加熱を行う場合には、配管の異形部は加
熱しないで露出したままの状態にされていた。このた
め、配管の直管部を加熱しても、異形部から放熱される
ので、配管全体を均一に加熱・保温できなかった。とく
に、異形部の設置間隔が短い配管では、均一加熱が困難
な上、加熱効率が悪かった。

【０００６】これに対して、異形部であるエルボ専用の
ヒータが提案されている。このエルボ用ヒータは、耐熱
ガラス繊維からなる織物をＬ字筒状に形成して、ニクロ
ム線を内蔵させたものであり、ニクロム線は、流体の流
通方向と直交する方向に折り返す波状に内蔵されてい
る。しかしながら、このヒータのＬ字曲部内側部分の面
積は、Ｌ字曲部外側部分の面積よりも小さくなるので、
ニクロム線が、Ｌ字曲部内側部分に密に、Ｌ字曲部外側
部分に粗に配置され、温度むらが生じて均熱性が得られ
ないという問題があった。さらに、ヒータ全体を変形さ
せてエルボに着脱するので、ニクロム線が断線するおそ
れがあり、充分な耐久性が得られなかった。また、耐熱
ガラス繊維同士の摩擦により発塵することから、工場の
クリーンルーム等では使用できなかった。

【０００７】本発明の目的は、配管の異形部に容易に着
脱できるとともに、優れた均熱性および充分な耐久性を
確保でき、かつ、清浄な環境下でも使用できる配管用ヒ
ータを提供することにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、流体を輸送す
る配管の異形部を加熱するための配管用ヒータであっ
て、異形部に密着して当該異形部を覆う被覆部と、この
被覆部に埋設された電熱線とを備え、前記被覆部は、柔
軟性および耐熱性を有する樹脂からなり、前記電熱線
は、複数のステンレスファイバを有して構成されている
ことを特徴とする。

【０００９】ここで、異形部とは、配管における直線状
の直管部から径方向に突出した部分或いは径方向に没し
た部分をいい、例えば、直管部同士を連結する継手部
や、配管を流れる流体の流量や流れを調節する弁、配管
を保持する保持部材等がある。なお、異形部には、直管
部と一体化されたものおよび直管部と別体にされたもの
の両方が含まれる。前記継手部としては、例えば、エル
ボ、チーズ、クロス、ソケット、フランジ、ユニオン等
を挙げることができる。また、前記弁としては、例え
ば、仕切弁、玉形弁、逆止弁等があり、前記保持部材に
は、クランプ等が含まれる。

【００１０】本発明においては、被覆部は、柔軟性を有
する樹脂により構成されているため、異形部に確実に密
着させることができる。従って、電熱線からの熱を被覆
部を介して異形部に均一に伝えることができるので、異
形部を均一に加熱でき、優れた均熱性を確保できるとと
もに、熱効率を高めることができる。さらに、被覆部
は、その柔軟性により、異形部の外形形状が多少異なっ
ても、その形状に追従するから、汎用性を高めることが
できる。

【００１１】そして、被覆部を樹脂製とすることで、発
塵を防止できるから、クリーンルーム等の清浄な環境下
でも使用できる。また、型取り等を行えば、異形部に応
じた形に成形できるので、異形部の外形形状が複雑な場
合でも確実に密着させることができる。そして、被覆部
を構成する樹脂は耐熱性を有するので、電熱線の熱によ
る被覆部の劣化を防止できるうえ、電熱線は発熱体とな
るステンレスファイバを有して構成されているため、従
来のニクロム線よりも高い強度が得られるから、優れた
耐久性を確保できる。また、被覆部は異形部を覆うもの
であるため、従来のテープ状のヒータのように巻装する
必要がないから、容易に着脱できる。

【００１２】前述した電熱線はステンレスファイバ単独
で構成してもよいが、ステンレスファイバは、高強力繊
維により補強されていることが望ましい。ここで、高強
力繊維とは、高強度・高弾性率繊維のことをいい、とく
に、高強力繊維としては、アラミド繊維を採用すること
が好ましい。

【００１３】このように、高強力繊維によりステンレス
ファイバを補強すれば、電熱線の強度を著しく高めるこ
とができるので、曲げや引っ張り等の変形に耐える優れ
た耐久性を確保できる。また、とくに、アラミド繊維
は、強度とともに優れた耐熱性を有するので、電熱線の
熱による被覆部の劣化を防止できるから、耐久性を一層
向上できる。

【００１４】以上において、被覆部を構成する樹脂は、
エラストマであることが望ましく、これによると、脱着
時等の変形に耐える強度を確保できるうえ、異形部への
密着性を高めることができる。

【００１５】エラストマとしては、例えば、耐熱性に優
れたシリコーンゴム、フッ素ゴム等を採用できるが、と
くに、シリコーンゴムを採用することが好ましく、これ
により、被覆部を容易かつ安価に形成できる。

【００１６】以上において、前記電熱線は、被覆部の異
形部に密着する密着面に沿って波状に埋設され、隣接す
る電熱線間の平均距離は、１〜１５ｍｍの範囲とされて
いることが望ましい。すなわち、電熱線間の平均距離を
１〜１５ｍｍの範囲とすることで、電熱線を被覆部内に
密に配置することができるので、一層優れた均熱性を確
保できる。また、電熱線間の平均距離は、より好ましく
は、５〜１０ｍｍである。

【００１７】ここで、異形部が、流体の輸送方向を変え
るための曲部を有して構成される場合、電熱線の折り返
し方向は、配管における流体の流通方向と略平行な方向
とされていることが望ましい。このように、電熱線の折
り返し方向を流体の流通方向と略平行な方向とすれば、
曲部内側部分と曲部外側部分とに電熱線を均一に配置で
きるので、曲部であっても確実に均一加熱できる。

【００１８】以上において、前記電熱線は絶縁被覆され
ていることが好ましい。このようにすれば、電熱線と被
覆部との熱伝達面積を拡大できるため、熱を分散できる
うえ、電熱線が直接被覆部に接触することがなくなる。
従って、被覆部の劣化を防止できるから、耐久性の向上
を図ることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の各形態を図
面に基づいて説明する。〔第一実施形態〕図１および図２には、配管９０のエル
ボ９２に装着される本実施形態の配管用ヒータ１が示さ
れている。この配管９０は、半導体製造ラインにおい
て、流体である材料ガスを輸送するためのものであり、
直線状の管９１およびこの管９１を約９０度の角度で連
結するエルボ９２を有して構成されている。本実施形態
のエルボ９２は、その全体が配管９０を流れる材料ガス
の流通方向を変えるための曲部となっている。このよう
なエルボ９２は、その内部に管９１が嵌入されるため、
管９１よりも径方向に突出した形状とされ、配管９０に
おける異形部となっている。

【００２０】配管用ヒータ１は、このエルボ９２を加熱
するためのものであり、エルボ９２に密着して当該エル
ボ９２を覆う被覆部１０と、この被覆部１０に埋設され
た電熱線２０と、この電熱線２０に接続されて被覆部１
０から引き出された耐熱リード線３０とを含んで構成さ
れている。

【００２１】被覆部１０は、柔軟性および耐熱性を有す
る樹脂であるエラストマ、具体的には、シリコーンゴム
からなり、エルボ９２と同様に、略Ｌ字状（略円弧状）
に湾曲した筒状に成形されている。被覆部１０のＬ字曲
部内側部分１０Ｃには、切り込み１１が形成され、この
切り込み１１を拡げることにより、被覆部１０の内部空
間を拡張できるようになっている。

【００２２】このような被覆部１０の内形形状は、エル
ボ９２の外形形状に対応した形状とされている。被覆部
１０の成形は、例えば、エルボ９２の外形を型取りし、
石膏等を用いてエルボ９２と同じ外形形状を有する模型
を形成し、この模型に合わせて被覆部１０用の型を形成
して、この型に未加硫のシリコーンゴムを注入すること
により行うことができる。

【００２３】電熱線２０は、図３に示すように、ステン
レスファイバ２１および高強力繊維であるアラミド繊維
２２（一部のみ図示）よりなる三本の繊維束２３を撚り
合わせて構成され、これにより、発熱体となるステンレ
スファイバ２１が、アラミド繊維２２により補強されて
いる。各繊維束２３は、細繊維束２３Ａ（一部のみ図
示）を三本撚り合わせたものであり、当該細繊維束２３
Ａは、複数本のステンレスファイバ２１と、複数本のア
ラミド繊維２２、具体的には、Du Pont社製のケブラー
（商品名）等とを合わせることにより形成されている。
この電熱線２０は、耐熱性および可撓性を有するシリコ
ーンゴムからなる絶縁パイプ２５により絶縁被覆され、
その状態で被覆部１０内に配置されている。なお、電熱
線２０の絶縁被覆は、耐熱ガラス繊維等の他の絶縁材料
を用いて行ってもよい。

【００２４】このように構成された電熱線２０は、図２
および図４に示すように、被覆部１０のエルボ９２に密
着する密着面１０Ａに沿って波状に埋設されている。こ
の電熱線２０の折り返し方向は、配管９０（図１参照）
における材料ガスの流通方向と略平行な方向とされ、こ
れにより、被覆部１０のＬ字曲部内側部分１０ＣとＬ字
曲部外側部分１０Ｄとに電熱線２０が均一に配置されて
いる。このように蛇行させたことによって隣接する電熱
線２０間の平均距離Ｐは、１〜１５ｍｍの範囲とされて
いる。

【００２５】また、被覆部１０の厚さ方向における電熱
線２０の位置は、図５に示すように、電熱線２０と密着
面１０Ａとの距離Ｄが被覆部１０の厚さＴの約三分の一
程度となる位置とされている。例えば、被覆部１０の厚
さＴが約９ｍｍの場合、電熱線２０は、密着面１０Ａか
ら３ｍｍ程度の位置に埋設される。これにより、電熱線
２０の熱を効率よくエルボ９２に伝達できるとともに、
被覆部１０の密着面１０Ａと反対側の外表面１０Ｂから
電熱線２０までの肉厚を、被覆部１０の厚さの三分の二
程度確保できるので、電熱線２０を外部の衝撃等から確
実に保護できる。

【００２６】ここで、本実施形態の配管用ヒータ１をベ
ーキングヒータとして用い、管径２５〜５０ｍｍ程度の
配管９０を約８０〜１５０℃に加熱する場合、単位電圧
を１０〜５０Ｖとしたときの電熱線２０の電気抵抗は、
１〜２５０Ω／ｍとする。すなわち、半導体製造に用い
る材料ガスを流通させる配管９０では、前述した管径の
場合、配管９０の肉厚等により、エルボ９２の被覆部１
０と接触する被加熱面（外表面）の面積は、およそ１０
０〜３００ｃｍ²となる。このようなエルボ９２を８０
〜１５０℃程度まで加熱するための単位加熱エネルギ
は、およそ０．１〜０．２Ｗ／ｃｍ²が妥当であること
から、これに前述したエルボ９２の被加熱面面積を乗じ
た１０〜６０Ｗの電力が必要になる。この電力値から、
単位電圧１０〜５０Ｖの場合の電熱線２０の電気抵抗、
つまり、１〜２５０Ω／ｍが得られる。

【００２７】このような本実施形態の配管用ヒータ１
は、被覆部１０の切り込み１１を押し拡げて弾性変形さ
せ、この状態でヒータ１をエルボ９２に被せて装着す
る。すると、被覆部１０の弾性および柔軟性により、密
着面１０Ａは、エルボ９２に圧接されて密着する。ま
た、配管９０の管９１には、図示しないが、直線状の管
９１用の既存のヒータ、例えば、円筒状のヒータや可撓
性を有する面状のヒータ等を適宜選択して装着し、これ
らのヒータ１により配管９０全体を加熱する。配管９０
のメンテナンス等のために配管用ヒータ１を取り外す場
合には、配管用ヒータ１を装着時と同様にして拡げてエ
ルボ９２から取り外す。

【００２８】このような本実施形態によれば、以下のよ
うな効果がある。すなわち、被覆部１０は柔軟性を有す
るため、エルボ９２に確実に密着させることができる。
従って、電熱線２０からの熱を被覆部１０を介してエル
ボ９２に均一に伝えることができるので、エルボ９２を
均一に加熱できるとともに、熱効率を高めることができ
る。さらに、被覆部１０は、その柔軟性により、エルボ
９２の外形形状が多少異なってもその形状に追従するか
ら、汎用性を高めることができる。

【００２９】そして、被覆部１０はシリコーンゴムから
なるため、発塵を防止できるから、クリーンルーム等の
清浄な環境下でも使用できる。その上、エルボ９２の型
取りを行うことで、その外形形状に応じた形に成形でき
るので、エルボ９２が如何なる形状であっても確実に密
着させることができる。また、被覆部１０をシリコーン
ゴムにより構成することで、脱着時等の変形に耐える強
度を確保できるうえ、エルボ９２への密着性を高めるこ
とができ、さらには、被覆部１０を容易かつ安価に形成
できる。

【００３０】さらに、シリコーンゴムは耐熱性を有する
ので、電熱線２０の熱による被覆部１０の劣化を防止で
きるうえ、電熱線２０は発熱体となるステンレスファイ
バ２１を有して構成されているため、従来のニクロム線
よりも高い強度が得られるから、優れた耐久性を確保で
きる。また、被覆部１０をエルボ９２に被せるだけで
装着できるため、従来のテープ状のヒータのように巻装
する手間がないから、容易に着脱できる。

【００３１】そして、電熱線２０のステンレスファイバ
２１は、アラミド繊維２２により補強されているため、
電熱線２０の強度を著しく高めることができるから、曲
げや引っ張り等の変形に耐える優れた耐久性を確保でき
るうえ、とくに、アラミド繊維は、強度とともに優れた
耐熱性を有するので、電熱線２０の熱による劣化を防止
できるから、耐久性を一層高めることができる。

【００３２】さらに、隣接する電熱線２０間の平均距離
が１〜１５ｍｍの範囲とされているため、電熱線２０を
被覆部１０内に密に配置することができるので、一層優
れた均熱性を確保できる。また、電熱線２０の折り返
し方向は、配管９０における材料ガスの流通方向と略平
行な方向とされているため、Ｌ字曲部内側部分１０Ｃと
Ｌ字曲部外側部分１０Ｄとに電熱線２０を均一に配置で
きるので、エルボ９２全体を確実に均一加熱できる。

【００３３】そして、電熱線２０は、絶縁パイプ２５に
より絶縁被覆されているので、電熱線２０と被覆部１０
との熱伝達面積を拡大できるから熱を分散できるうえ、
電熱線２０が直接被覆部１０に接触することがなくな
る。従って、被覆部１０の劣化を防止でき、耐久性の向
上を図ることができる。また、被覆部１０および絶縁パ
イプ２５により、電熱線２０を二重に絶縁被覆できるの
で、仮に、いずれか一方が破損しても、漏電等の発生を
確実に防止できる。

【００３４】〔第二実施形態〕図６〜図８には、配管９
０のクランプ９３に装着される本実施形態の配管用ヒー
タ４が示されている。なお、以下の説明にあたって、前
述した図１〜図５と同じ構成要素については同一符号を
付し、その説明を省略もしくは簡略化する。本実施形態
のクランプ９３は、管９１を挟持するＮＷ式のクランプ
であり、一対の半円弧状の保持部９３１の各一端を回動
自在に連結した構造を有し、各保持部９３１の他端は、
ねじ９３２で相互に結合可能な結合部９３Ａとされてい
る。このようなクランプ９３は、管９１を保持するため
に管９１よりも径方向に突出した形状を有することか
ら、配管９０における異形部となっている。

【００３５】配管用ヒータ４は、このクランプ９３を加
熱するためのものであり、クランプ９３に密着して当該
クランプ９３を覆う被覆部４０と、この被覆部４０に埋
設された電熱線２０と、この電熱線２０に接続されて被
覆部１０から引き出された耐熱リード線３０とを含んで
構成されている。

【００３６】被覆部４０は、前記第一実施形態の被覆部
１０と同様な材質からなり、平坦な上面および下面を有
する中空のブロック状に成形されている。被覆部４０の
上面および下面には、それぞれ管９１を挿通するための
挿通孔４１が形成されるとともに、その側面には、クラ
ンプ９３の結合部９３Ａを突出させるための開口４２が
設けられている。また、被覆部４０には、この開口４２
から材料ガスの流通方向に沿って延びる切り込み４３が
形成され、この切り込み４３を拡げて被覆部１０を弾性
変形させることにより、被覆部４０の内部空間を拡張で
きるようになっている。このような被覆部１０の内形形
状は、管９１に装着したクランプ９３の外形形状に対応
した形状とされている。

【００３７】電熱線２０は、図７に一部示すように、被
覆部４０のクランプ９３に密着する密着面４０Ａに沿っ
て波状に埋設され、電熱線２０の折り返し方向は、配管
９０（図８参照）における材料ガスの流通方向と略直交
する方向とされている。すなわち、本実施形態の密着面
４０Ａの材料ガス流通方向の寸法は、その周方向寸法よ
りも小さいことから、電熱線２０の折り返し方向を流通
方向と平行にした場合よりも、折り返し部分を少なくで
きる。また、本実施形態の電熱線２０間の平均距離およ
び位置は、前記第一実施形態と同様とされている。

【００３８】このような本実施形態の配管用ヒータ４の
取付けは、図８に示すように、被覆部４０の切り込み４
３を押し拡げて弾性変形させ、この状態で結合部９３Ａ
とは反対側からクランプ９３に被せて装着し、開口４２
から結合部９３Ａを露出させて行う。すると、被覆部４
０の弾性および柔軟性により、密着面４０Ａは、クラン
プ９３に圧接されて密着する。或いは、配管用ヒータ４
をクランプ９３に予め装着しておき、これらを一体化し
た状態で管９１への脱着を行ってもよい。

【００３９】このような本実施形態によれば、前記第一
実施形態と同様な作用、効果を奏することができる他、
被覆部４０に開口４２が設けられているので、結合部９
３Ａを露出させることができるから、配管用ヒータ４を
装着したままクランプ９３を管９１に対して脱着でき
る。従って、配管９０の分解および組立ての作業効率を
高めることができる。

【００４０】なお、本発明は前記各実施形態に限定され
るものではなく、本発明の目的を達成できる他の構成等
を含み、以下に示すような変形なども本発明に含まれ
る。すなわち、被覆部１０，４０の材質は、シリコーン
ゴムに限定されず、フッ素ゴム等の耐熱性を有する他の
エラストマや他の樹脂により構成してもよく、具体的な
樹脂の種類は、実施にあたって適宜選択すればよい。

【００４１】また、前記第一実施形態のエルボ９２は、
管９１と別体とされていたが、管９１と一体的に形成さ
れたものであってもよく、同様に、クランプも管と一体
的に形成されたものであってもよい。以上に述べた各実
施形態では、エルボ用およびクランプ用の配管用ヒータ
について説明したが、これらに限定されず、本発明が適
用される配管の異形部は、配管において管から径方向に
突没する部分であれば、その形状、用途、管との結合関
係は任意である。さらに、配管は、半導体製造における
材料ガスを流通させるものに限定されず、例えば、窒素
或いは酸素等の気体を搬送するための配管であってもよ
く、水等の液体を流通させるための配管であってもよ
く、流体の種類やその状態は任意である。

【００４２】

【発明の効果】以上に述べたように、本発明によれば、
被覆部を柔軟性を有する樹脂により構成することで、異
形部に確実に密着させることができる。従って、電熱線
からの熱を被覆部を介して異形部に均一に伝えることが
できるので、異形部を均一に加熱でき、優れた均熱性を
確保できるとともに、熱効率を高めることができる。さ
らに、被覆部は、その柔軟性により、異形部の外形形状
が多少異なっても、その形状に追従するから、汎用性を
高めることができる。

【００４３】そして、被覆部を樹脂製とすることで、発
塵を防止できるから、クリーンルーム等の清浄な環境下
でも使用できる。また、型取り等を行えば、異形部に応
じた形に成形できるので、異形部の外形形状が複雑な場
合でも確実に密着させることができる。そして、被覆部
を構成する樹脂を耐熱性を有する樹脂とすることで、電
熱線の熱による被覆部の劣化を防止できるうえ、電熱線
は発熱体となるステンレスファイバを有して構成されて
いるため、従来のニクロム線よりも高い強度が得られる
から、優れた耐久性を確保できる。また、被覆部は異形
部を覆うものであるため、従来のテープ状のヒータのよ
うに巻装する必要がないから、容易に着脱できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一実施形態を示す斜視図。

【図２】前記第一実施形態の配管用ヒータを示す斜視
図。

【図３】前記第一実施形態の電熱線を一部破断して示す
斜視図。

【図４】前記第一実施形態の配管用ヒータを展開した状
態を示す平面図。

【図５】前記第一実施形態の配管用ヒータをエルボに装
着した状態を示す断面図。

【図６】本発明の第二実施形態を示す斜視図。

【図７】前記第二実施形態の配管用ヒータを示す斜視
図。

【図８】前記第二実施形態の配管用ヒータをクランプに
装着するときの状態を示す斜視図。

【符号の説明】

１，４配管用ヒータ１０，４０被覆部１０Ａ，４０Ａ密着面２０電熱線２１ステンレスファイバ２２アラミド繊維（高強力繊維）９０配管９２エルボ（異形部）９３クランプ（異形部）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】流体を輸送する配管の異形部を加熱する
ための配管用ヒータであって、前記異形部に密着して
当該異形部を覆う被覆部と、この被覆部に埋設された電熱線とを備え、前記被覆部は、柔軟性および耐熱性を有する樹脂からな
り、前記電熱線は、複数のステンレスファイバを有して構成
されていることを特徴とする配管用ヒータ。
【請求項２】請求項１に記載した配管用ヒータにおい
て、前記電熱線のステンレスファイバは、高強力繊維により
補強されていることを特徴とする配管用ヒータ。
【請求項３】請求項２に記載した配管用ヒータにおい
て、前記高強力繊維は、アラミド繊維であることを特徴とす
る配管用ヒータ。
【請求項４】請求項１から請求項３までのいずれかに
記載した配管用ヒータにおいて、前記樹脂は、エラストマであることを特徴とする配管用
ヒータ。
【請求項５】請求項４に記載した配管用ヒータにおい
て、前記エラストマは、シリコーンゴムであることを特徴と
する配管用ヒータ。
【請求項６】請求項１から請求項５までのいずれかに
記載した配管用ヒータにおいて、前記電熱線は、前記被覆部の前記異形部に密着する密着
面に沿って波状に埋設され、隣接する前記電熱線間の平均距離は、１〜１５ｍｍの範
囲とされていることを特徴とする配管用ヒータ。
【請求項７】請求項６に記載した配管用ヒータにおい
て、前記異形部は、前記流体の輸送方向を変えるための曲部
を有して構成され、前記電熱線の折り返し方向は、前記
配管における前記流体の流通方向と略平行な方向とされていることを特徴とする配管用ヒータ。
【請求項８】請求項１から請求項７までのいずれかに
記載した配管用ヒータにおいて、前記電熱線は絶縁被覆されていることを特徴とする配管
用ヒータ。