JPH0832124A - 熱電変換素子の製造方法 - Google Patents

熱電変換素子の製造方法

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JPH0832124A
JPH0832124A JP6167793A JP16779394A JPH0832124A JP H0832124 A JPH0832124 A JP H0832124A JP 6167793 A JP6167793 A JP 6167793A JP 16779394 A JP16779394 A JP 16779394A JP H0832124 A JPH0832124 A JP H0832124A
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JP
Japan
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thermoelectric conversion
conversion element
raw material
lubricant
organic binder
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JP6167793A
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Takusane Ueda
卓実 上田
Noboru Hashimoto
登 橋本
Hiroyoshi Yoda
浩好 余田
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Panasonic Electric Works Co Ltd
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Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 切断ロスがなく、割れやチッピング等を低減
し、歩留りの良い、熱電変換素子の薄型化、小型化に関
しても対応し易い、放熱効率及び吸熱効率等の熱効率に
優れた熱電変換モジュールが得られる熱電変換素子の製
造方法を提供する。 【構成】 Bi、Te、Se、Sb元素のうち、少なく
とも2種類以上の元素を含有する熱電変換原料に、有機
バインダー、潤滑剤、解こう剤及び溶剤を添加して混合
したスラリーを噴霧乾燥して顆粒にし、この顆粒を乾式
プレス成形して得た成形体を焼結する熱電変換素子の製
造方法であって、上記有機バインダーの含有量が、熱電
変換原料100重量部に対して、2〜6重量部であり、
上記潤滑剤の含有量が、熱電変換原料100重量部に対
して、2〜6重量部である。上記有機バインダーがアク
リル系樹脂である。上記潤滑剤が酸化ポリエチレン系ワ
ックスである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ペルチエ効果を利用し
た熱電変換素子の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】熱電変換モジュールは、熱電変換素子で
あるP型半導体素子とN型半導体素子とを交互に2枚の
絶縁層の間に並べて電気的に直列に接続したペルチエ素
子群に直流電圧を印加することによって、絶縁層の表面
に発熱又は吸熱を生じさせるものであり、熱電発電及び
熱電冷却における種々の分野において幅広く利用されて
いる。
【0003】この熱電変換素子を製造する方法としては
一般に、特開平1−202343号公報に開示されてい
るように、原料粉末を溶解させ単結晶に近い棒状インゴ
ットを成長させる単結晶法及び特開平1−106478
号公報に開示されているように原料粉末をホットプレス
によりインゴットを作製するホットプレス法を用いて、
熱電変換材料インゴットを作製し、これを用途に応じて
切断し、熱電変換素子を作製するという製造方法であっ
た。
【0004】また、熱電変換素子の性能評価として、熱
電性能指数Zが用いられる。これは、次式の3種の基本
的特性により、決定されるものである。
【0005】 Z=α2 /(ρ・κ) Z ;熱電性能指数(1/K) α;熱電能( μV/K) ρ;比抵抗(mΩ・cm) κ;熱伝導率(W/cm・K) 一般に、熱電性能指数が大きいほど、熱電変換効率が良
いとされており、熱電変換材料は、大きな熱電性能指数
を有する方が良いとされている。
【0006】単結晶法及びホットプレス法によるの熱電
変換素子の製造方法においては、用途に応じた熱電変換
素子切断工程において、切りしろによる材料ロスが多
く、1mm平方の熱電変換素子を作製するためには約5
0%以上の材料ロスが発生していた。材料が脆いため切
断時に割れやチッピング等の問題が生じ、熱電変換素子
の歩留りが悪いという問題が生じていた。更に、最近の
熱電変換モジュールの小型化に伴い、熱電変換素子も薄
型化及び小型化されていく傾向にあり、切断工程を伴う
熱電変換素子の製造方法では、割れやチッピング等の問
題に対して十分対応できる段階に至っていなかった。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の事実に
鑑みてなされたもので、その目的とするところは、切断
ロスがなく、割れやチッピング等が低減でき、歩留りの
向上する熱電変換素子の製造方法であって、かつ、放熱
効率及び吸熱効率等の熱効率に優れた熱電変換モジュー
ルが得られる熱電変換素子の製造方法を提供することに
ある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
熱電変換素子の製造方法は、Bi、Te、Se、Sb元
素のうち、少なくとも2種類以上の元素を含有する熱電
変換原料に、有機バインダー、潤滑剤、解こう剤及び溶
剤を添加して混合したスラリーを噴霧乾燥して顆粒に
し、この顆粒を乾式プレス成形して得た成形体を焼結す
る熱電変換素子の製造方法であって、上記有機バインダ
ーの含有量が、熱電変換原料100重量部に対して、2
〜6重量部であり、上記潤滑剤の含有量が、熱電変換原
料100重量部に対して、2〜6重量部であることを特
徴とする。
【0009】本発明の請求項2に係る熱電変換素子の製
造方法は、上記有機バインダーがアクリル系樹脂である
ことを特徴とする。
【0010】本発明の請求項3に係る熱電変換素子の製
造方法は、上記潤滑剤が酸化ポリエチレン系ワックスで
あることを特徴とする。
【0011】以下、本発明を詳述する。本発明に係る熱
電変換素子の製造方法は、P型半導体素子とN型半導体
素子とを交互に2枚の絶縁層の間に並べて銅電極等の電
極により電気的に直列に接続したペルチエ素子群に直流
電圧を印加することによって、いわゆるペルチエ効果で
一方の絶縁層が発熱されるとともに、他方の絶縁層が吸
熱される熱電変換モジュールに用いられるP型半導体素
子又はN型半導体素子である熱電変換素子の製造方法で
ある。
【0012】まず、成形体の作製方法について説明す
る。本発明に係る熱電変換素子の構成元素としては、少
なくとも、Bi、Te、Se、Sb元素のうち、2種類
以上の元素が必要である。これらの構成元素を含んだ熱
電変換原料に、必要に応じてN型半導体、P型半導体の
熱電変換素子になるように微量のドーパントを加え、十
分に混合及び/又は必要に応じて溶融した後、粉砕して
熱電変換原料の粉末を得る。熱電変換原料としては、例
えば、Bi−Te合金、Bi−Sb合金、Bi−Te−
Sb合金、Bi−Te−Se合金又はBi−Te−Sb
−Se合金等を用いることができるが、上記組み合わせ
に限定される物ではない。上記熱電変換原料の粉末に有
機バインダー、潤滑剤、解こう剤及び溶剤を添加、混合
してスラリーを得る。
【0013】本発明の熱電変換素子の製造方法に用いる
有機バインダーとしては、アクリル系樹脂、ポリビニル
ブチラール(PVB)又はエチルセルロース系バインダ
ー等が用いられるが、アクリル系樹脂が好ましい。すな
わち、アクリル系樹脂は、非酸化性雰囲気中、400℃
以下で脱バインダー性が良く、Bi−Te系熱電変換材
料の粉末を、非酸化性雰囲気中、360〜520℃で焼
結する場合の有機バインダーとして適している。脱バイ
ンダー性が悪い有機バインダーを使用すると、残留カー
ボンが残り、半導体としての機能が十分に果たせず、熱
電変換素子としての性能が落ちるという問題点が生じ
る。有機バインダーであるアクリル系樹脂の含有量が、
熱電変換原料100重量部に対して、2〜6重量部であ
ることが好ましい。すなわち、アクリル系樹脂の含有量
が、熱電変換原料100重量部に対して、2重量部未満
の場合には、成形体にするとき、この成形体の強度が弱
く、成形体を取り扱う際に、壊れてしまうというハンド
リング性に問題が生じ易く、6重量部を越える場合に
は、脱バインダー性が悪くなるという問題点が生じ易く
なる。
【0014】潤滑剤は、乾式プレス成形を行うにあたっ
て必要な添加剤である。潤滑剤を添加しない場合、プレ
ス成型時の金型内部での顆粒の再配列過程で、顆粒の滑
りが悪く、顆粒がうまく均一に充填し難くなる。すなわ
ち、顆粒の粒子間の圧力内部伝達が悪くなり、均一な成
形体ができなくなる。そのために、粒子同士の摩擦を小
さくし、できるだけ圧力伝達を均一にするために潤滑剤
を添加するのが効果的である。本発明の熱電変換素子の
製造方法に用いる潤滑剤としては、酸化ポリエチレン系
ワックス、ステアリン酸、オレイン酸又はポリエチレン
グリコール等が用いられるが、酸化ポリエチレン系ワッ
クスが好ましい。すなわち、酸化ポリエチレン系ワック
スを用いることによって、他の潤滑剤を使用した場合よ
り、均一で強度のある成形体が得られる。潤滑剤である
酸化ポリエチレン系ワックスの含有量が、熱電変換原料
100重量部に対して、2〜6重量部であることが好ま
しい。すなわち、酸化ポリエチレン系ワックスの含有量
が、熱電変換原料100重量部に対して、2重量部未満
の場合には、充分な潤滑効果が得られず、均一なプレス
成形体ができず、粗密が生じるという問題が生じ易く、
6重量部を越える場合には、混合時のスラリーが、チク
ソ性が強く粘度が高いものとなり、その結果、噴霧乾燥
(スプレードライ)をする際、ノズルの詰まり並びに顆
粒の粒径及び形状のコントロールがし難くなる等の問題
が生じ易くなる。
【0015】熱電変換原料の粉末の分散が悪い場合に
は、噴霧乾燥により得られる顆粒の成分構成が、不均一
になるので、熱電変換素子の品質が悪くなる。熱電変換
原料の粉末の分散を向上させるために解こう剤を添加す
るのが効果的である。解こう剤は、熱電変換原料の粉末
の凝集を防止し、分散を向上させるために用いる。すな
わち、解こう剤が熱電変換原料の粉末の一次粒子の外面
を被覆することにより、解こう剤で被覆された熱電変換
原料の粉末の一次粒子同士が互いに反発するため、熱電
変換原料の粉末が凝集せず、高分散状態を維持すること
ができるものである。本発明の熱電変換素子の製造方法
に用いる解こう剤としては、例えば、αオレフィン+無
水マレイン酸共重合体、ポリオキシアルキレン+無水マ
レイン酸共重合体、ポリカルボン酸アミン塩系、ポリカ
ルボン酸系、ソルビタン系、ポリアクリル酸塩、ポリス
チレンスルホン酸塩等が用いられる。
【0016】熱電変換原料をスラリー化するための溶剤
としてはトルエン等を用いる。上記の熱電変換原料に、
有機バインダー、潤滑剤、解こう剤及び溶剤を添加して
例えば、振動ミル等の混合機で混合することによりスラ
リーを得る。このスラリーを例えば、スプレードライヤ
ー等で噴霧乾燥して顆粒を得る。この顆粒を例えば、乾
式プレス成形して成形体を得る。
【0017】次に、熱電変換素子の製造方法について説
明する。上記に示した方法で作製した成形体を、必要に
応じて非酸化性雰囲気中でバインダーを例えば、350
〜450℃程度で加熱除去し、非酸化性雰囲気中で例え
ば、360〜520℃程度の所定の温度で焼成する。非
酸化雰囲気中で、焼成を行わないと焼成中に成形体が酸
化してしまい、熱電変換素子の熱電特性が悪くなってし
まうので好ましくない。非酸化性雰囲気としては、N2
及び/又はAr等の不活性ガス、さらにはこれらの不活
性ガスとH2 ガスとの混合ガスであれば、熱電変換素子
の酸化を抑え、さらには還元作用も得られるために、さ
らに好ましい。これらの非酸化性雰囲気中で、熱電変換
原料の粉末同士が加熱によりネッキングが開始される温
度以上で、さらに各熱電変換原料の融点未満の温度で焼
成を行い熱電変換素子を得る。
【0018】
【作用】本発明の請求項1に係る熱電変換素子の製造方
法では、Bi、Te、Se、Sb元素のうち、少なくと
も2種類以上の元素を含有する熱電変換原料に、有機バ
インダー、潤滑剤、解こう剤及び溶剤を添加して混合し
たスラリーを噴霧乾燥して顆粒にし、この顆粒を乾式プ
レス成形して得た成形体を焼結して熱電変換素子を得る
ので、切断によるロスがなく、熱電変換素子の割れやピ
ッチング等が発生しない。
【0019】本発明の請求項2に係る熱電変換素子の製
造方法では、上記有機バインダーがアクリル系樹脂であ
るので、脱バインダー性が良い。
【0020】本発明の請求項3に係る熱電変換素子の製
造方法では、上記潤滑剤が酸化ポリエチレン系ワックス
であるので、均一で強度のある成形体が得られる。
【0021】
【実施例】
(実施例1〜実施例10)以下、本発明を実施例及び比
較例によって具体的に説明する。
【0022】微量のSbI3 等のドーパントを添加し
た、N型−Bi2 Te2.85Se0.15の組成を持つ熱電変
換材料のインゴットを作製した。このN型熱電変換材料
の熱電性能指数(Z)は、(2.6±0.1)×10-3
/Kであった。このインゴットを、ボールミルを用いて
粉砕し、熱電変換原料の粉末とした。この熱電変換原料
の粉末に、表1に示した配合により、有機バインダー、
潤滑剤、解こう剤及び溶剤を加えて、24時間ポットミ
ルにより混合し、スラリーを得た。
【0023】なお、有機バインダーとしては、共栄社油
脂社製のアクリル系樹脂バインダーであるオリコックス
−KC3000C、積水化学社製のポリビニルブチラー
ル(PVB)及び日進化成社製のエチルセルロース系バ
インダーを使用した。潤滑剤としては、共栄社油脂社製
の酸化ポリエチレン系ワックスであるフローノンSA−
300並びにナカライ社製の試薬であるステアリン酸、
オレイン酸及びポリエチレングリコール(PEG)を使
用した。解こう剤としては、熱電変換原料の粉末100
重量部に対して、αオレフィン+無水マレイン酸である
共栄社油脂社製のフローレンG−700(平均分子量1
3000〜20000の高分子ポリマー型)を1.5重
量部添加して使用した。溶剤としては、熱電変換原料の
粉末100重量部に対して、トルエンを70重量部添加
して使用した。使用した材料及び熱電変換原料の粉末1
00重量部に対する配合は表1に示した。上記のように
して得られたスラリーを、スプレードライヤーで噴霧乾
燥して顆粒を得た。この顆粒を乾式プレス成形して、熱
電変換成形体を得た。
【0024】次に、得られた熱電変換成形体をAr雰囲
気中、約350〜400℃で脱バインダーを行った後、
約450℃焼成し、熱電変換素子を得た。この熱電変換
素子のゼーベック係数α、熱伝導度κ、電気抵抗ρをそ
れぞれ測定し、熱電性能指数Z=α2 /(κ・ρ)を計
算により算出し、表1に示した。
【0025】なお、ゼーベック係数αは、室温20℃で
熱電変換素子の一端の温度を15℃に他端を25℃にし
て両端の温度差を10℃にしたときに、両端に発生する
起電力を測定することにより求めた。熱伝導度κはレー
ザーフラッシュ法、電気抵抗ρは四端子法で測定した。
【0026】
【表1】
【0027】上記実施例において、製造工程での材料ロ
スは、1mm平方の熱電変換素子を形成する場合で、5
〜10%であった。なお、従来の製造工程での材料ロス
は、50%以上であった。
【0028】以上、N型半導体の熱電変換素子を中心に
説明したが、N型半導体に限らず、P型半導体の熱電変
換素子も同様に製造することが出来る。
【0029】(比較例1〜比較例6)表2に示した材料
及び配合を使用した以外は、実施例1〜実施例10と同
様にして熱電変換素子を得た。これらの熱電変換素の特
性等を測定して表2に示した。
【0030】
【表2】
【0031】以上により実施例1〜実施例10の熱電変
換素子の製造方法によると、比較例1〜比較例6の製造
方法に比べて、製造が容易であり、熱電性能指数も、原
材料の熱電変換材料インゴットと同等である優れた熱電
変換素子が得られることが確認できた。
【0032】また、必要とする形状を当初より成形でき
るので、熱電変換材料作製後に切断して熱電変換素子と
する必要がなく、材料ロスが少なく歩留りのよい熱電変
換素子が得られることを確認した。
【0033】
【発明の効果】本発明の請求項1に係る熱電変換素子の
製造方法は、上記のように構成されているので、本発明
の請求項1に係る熱電変換素子の製造方法によると、切
断ロスがなく、割れやチッピング等を低減し、歩留りの
良い、熱電変換素子の薄型化、小型化に関しても対応し
易い、放熱効率及び吸熱効率等の熱効率に優れた熱電変
換モジュールが得られる。
【0034】本発明の請求項2及び請求項3に係る熱電
変換素子の製造方法は、上記のように構成されているの
で、本発明の請求項2及び請求項3に係る熱電変換素子
の製造方法によると、さらに、切断ロスがなく、割れや
チッピング等を低減し、歩留りの良い、熱電変換素子の
薄型化、小型化に関しても対応し易い、放熱効率及び吸
熱効率等の熱効率に優れた熱電変換モジュールが得られ
る。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Bi、Te、Se、Sb元素のうち、少
    なくとも2種類以上の元素を含有する熱電変換原料に、
    有機バインダー、潤滑剤、解こう剤及び溶剤を添加して
    混合したスラリーを噴霧乾燥して顆粒にし、この顆粒を
    乾式プレス成形して得た成形体を焼結する熱電変換素子
    の製造方法であって、上記有機バインダーの含有量が、
    熱電変換原料100重量部に対して、2〜6重量部であ
    り、上記潤滑剤の含有量が、熱電変換原料100重量部
    に対して、2〜6重量部であることを特徴とする熱電変
    換素子の製造方法。
  2. 【請求項2】 上記有機バインダーがアクリル系樹脂で
    あることを特徴とする請求項1記載の熱電変換素子の製
    造方法。
  3. 【請求項3】 上記潤滑剤が酸化ポリエチレン系ワック
    スであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の
    熱電変換素子の製造方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6759587B2 (en) 2001-04-27 2004-07-06 Hokushin Corporation Thermoelectric materials, thermoelectric device, and method for producing thermoelectric materials
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