JPH0831863A - ワイヤボンデイング部のボール検出方法及び検出装置 - Google Patents

ワイヤボンデイング部のボール検出方法及び検出装置

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JPH0831863A
JPH0831863A JP6186507A JP18650794A JPH0831863A JP H0831863 A JPH0831863 A JP H0831863A JP 6186507 A JP6186507 A JP 6186507A JP 18650794 A JP18650794 A JP 18650794A JP H0831863 A JPH0831863 A JP H0831863A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】ワイヤボンデイング部のボールを短時間に確実
に検出することを可能とする。 【構成】ワイヤボンデイング時にワイヤボンデイング部
を指示する予め教示された教示点３０とパッドＰ内でボ
ール５外の点を結ぶ少なくとも３方向からボールエッジ
３２ａ、３２ｂ、３２ｃを検出し、この少なくとも３つ
のボールエッジ３２ａ、３２ｂ、３２ｃからボール５の
位置及び又は大きさ及び又は形状を算出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤボンデイング後
のワイヤボンデイング部のボール検出方法及び検出装置
に係り、特にボールボンデイング後のボール検出方法及
び検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図３に示すように、リードフレーム１に
半導体チップ２が付着された試料３は、図４に示すワイ
ヤボンデイング装置１０により半導体チップ２のパッド
Ｐ1 、Ｐ2 ・・・とリードフレーム１のリード部Ｌ1 、
Ｌ2 ・・・にワイヤ４をワイヤボンデイングにより接続
する。
【０００３】かかるワイヤボンデイング方法において
は、一般に、まず撮像装置１１によって半導体チップ２
上の少なくとも２つの定点、及びリードフレーム１上の
少なくとも２つの定点の正規の位置からのずれを検出し
て、この検出値に基づいて予め記憶されたボンデイング
座標を演算部で修正する。この撮像装置１１による検出
の場合は、撮像装置１１の中心軸１１ａが測定点の真上
に位置するようにＸ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３が
駆動される。前記したようにボンデイング座標が修正さ
れた後、キャピラリ１５がＸＹ軸方向及びＺ軸方向に移
動させられ、キャピラリ１５に挿通されたワイヤ４を半
導体チップ２のパッドＰ1 、Ｐ2 ・・・とリードフレー
ム１のリード部Ｌ1 、Ｌ2 ・・・にワイヤボンデイング
する。
【０００４】この場合、撮像装置１１の中心軸１１ａと
キャピラリ１５の中心軸１５ａとは距離Ｗだけオフセッ
トされているので、撮像装置１１によって定点のずれを
検出してボンデイング座標を修正した後、Ｘ軸モータ１
２及びＹ軸モータ１３によってＸＹテーブル１６がオフ
セット量Ｗだけ移動させられ、キャピラリ１５が試料３
の第１ボンド点の上方に位置させられる。その後、Ｘ軸
モータ１２及びＹ軸モータ１３によるＸＹテーブル１６
のＸＹ軸方向の移動と、Ｚ軸モータ１４によるキャピラ
リアーム１７の上下動（又は揺動）によるキャピラリ１
５のＺ軸方向の移動により、前記修正されたボンデイン
グ座標にワイヤ４がワイヤボンデイングされる。図４に
おいて、キャピラリアーム１７はボンデイングヘッド１
８に揺動自在に設けられ、撮像装置１１は撮像装置保持
アーム１９を介してボンデイングヘッド１８に固定され
ている。なお、Ｘｗはオフセット量ＷのＸ軸成分、Ｙｗ
はオフセット量ＷのＹ軸成分を示す。
【０００５】なお、この種のワイヤボンデイング装置と
して、例えば特開平４−３１７３４２号公報、特開平４
−３２０３５０号公報等があげられる。また試料の位置
補正方法として、例えば特開昭５１−７８１７４号公
報、特公昭５７−５００５９号公報等があげられる。
【０００６】前記したように、撮像装置１１の中心軸１
１ａとキャピラリ１５の中心軸１５ａとは、機械的に決
められた一定のオフセット量Ｗを有している。従って、
前記したように撮像装置１１によって試料３のずれ量を
検出してボンデイング座標を修正し、前記オフセット量
Ｗだけ移動させて前記修正されたボンデイング座標に予
め定められたプログラムに従ってキャピラリ１５を順次
移動させることにより、ボンデイング点に正確にボンデ
イングさせることができる。
【０００７】しかし、ワイヤボンデイング装置１０は、
リードフレーム１を加熱するためのヒートブロックを有
し、キャピラリ１５を保持するキャピラリアーム１７
は、ヒートブロックの上方に位置している。またワイヤ
ボンデイング装置１０は、発熱源として前記したヒート
ブロックの他に、ＸＹテーブル１６をＸＹ軸方向に駆動
するＸ軸モータ１２及びＹ軸モータ１３、キャピラリア
ーム１７に内蔵された超音波発振源、キャピラリアーム
１７を揺動又は上下動させるＺ軸モータ１４等を備えて
いる。
【０００８】このような発熱源による周囲温度変化や動
作発熱等によって、キャピラリアーム１７の熱膨張と撮
像装置１１を保持する撮像装置保持アーム１９の熱膨張
とに差が生じ、撮像装置１１の中心軸１１ａとキャピラ
リ１５の中心軸１５ａとのオフセット（量及び方向）が
変動する。この変動による誤差分がボンデイング位置ず
れとして表れる。
【０００９】こボンデイング位置ずれの検出は、一般に
パッドＰにボンデイングされたボール中心位置を撮像装
置１１によって検出することが行われている。従来のボ
ール中心位置検出方法として、例えば特開平５−２０６
１９７号公報に示す方法が提案されている。この方法を
図５乃至図７により説明する。図５はパッドＰにボンデ
イングされたボール５の中心６とパッドＰの中心７がほ
ぼ一致している場合、図６及び図７はボール５の中心６
がパッドＰの中心７より大きくずれている場合を示す。
【００１０】この方法は、ボール５のおよその位置を把
握するために、２値化パターンマッチングによるマクロ
認識を行い、仮のボール中心２０を検出する。次にこの
仮のボール中心２０を基準にして、８方向２１ａ〜２１
ｈへエッジ検索を行い、多値化したボール５のエッジ２
２ａ〜２２ｈを検出する。次にこの検出したボールエッ
ジを２２ａ−２２ｅ、２２ｂ−２２ｆ、２２ｃ−２２
ｇ、２２ｄ−２２ｈの４つに組分けして、それぞれの中
心座標（中間位置）２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄを
算出する。そして、中心座標２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、
２３ｄから垂直線を引き、各々の交点座標からボール５
の重心座標、即ちボール５の中心座標６を求める。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、ボー
ル５を２値化して仮のボール中心２０を設定し、この仮
のボール中心２０を基準にして８方向２１ａ〜２１ｈへ
エッジ検索を行うので、次のような問題があった。一般
にボール５及びワイヤ４は暗部に、パッドＰは明部にな
るように照明光学系を設定するが、ボール５内が一様な
暗部でなくむらがあり、ボールエッジでないところをボ
ールエッジと誤検出するという問題があった。
【００１２】また仮のボール中心２０を通る組合せのボ
ールエッジ２２ａ−２２ｅ、２２ｂ−２２ｆ、２２ｃ−
２２ｇ、２２ｄ−２２ｈの全ての中心座標２３ａ、２３
ｂ、２３ｃ、２３ｄを算出する必要があるので、次のよ
うな問題があった。図５のようにボール５の中心６とパ
ッドＰの中心７とがほぼ一致している場合には、パッド
Ｐのエッジとボール５のエッジとが離れて明瞭に区別で
きるので、中心座標２３ａ、２３ｂ、２３ｃが算出で
き、何ら問題はない。
【００１３】しかし、図６及び図７に示すように、ボー
ル５の中心６がパッドＰの中心７より大きくずれ、パッ
ドＰのエッジにボール５の画像が重なった場合、または
近接している場合には、ボールエッジ２２ａ及び２２ｇ
の周りのパターンを検出して誤検出することがある。従
って、このような場合には、２２ａ−２２ｅの中心座標
２３ａ及び２２ｃ−２２ｇの中心座標２３ｃが誤検出と
なってボール５の中心座標６は不正確となる。
【００１４】またボールエッジ２２ａ〜２２ｈを検出
し、次にボールエッジの組合せの中点を求め、その後に
中点より垂直線を引き、各々の交点座標からボール中心
座標６を求めるので、短時間に検出が行えないという問
題があった。
【００１５】また近年、配線数（ワイヤ数）の増加、即
ち多ピン化によるパッドＰサイズの小寸法化の傾向にあ
り、パッドＰ一杯にボール５が形成される。このような
場合には、ボール５の中心６がパッドＰの中心７より大
きくずれている場合は勿論のこと、ボール５の中心６と
パッドＰの中心７がほぼ一致している場合においても、
ボールエッジ２２ａ、２２ｃ、２２ｅ及び２２ｇが誤検
出となることがあり、前記したと同様にボール５の中心
座標６が算出できない。
【００１６】本発明の目的は、ワイヤボンデイング部の
ボールを短時間に確実に検出することが可能なワイヤボ
ンデイング部ボール検出方法及び検出装置を提供するこ
とにある。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の第１の方法は、ワイヤボンデイング後のワイ
ヤボンデイング部のボールを検出する方法において、ワ
イヤボンデイング時にワイヤボンデイング部を指示する
予め教示された教示点とパッド内でボール外の点を結ぶ
少なくとも３方向からボールエッジを検出し、この少な
くとも３つのボールエッジからボールの位置及び又は大
きさ及び又は形状を算出することを特徴とする。
【００１８】上記目的を達成するための本発明の第２の
方法は、前記第１の方法において、前記３方向が、ワイ
ヤボンデイング部を撮像する撮像装置の検出枠を、検出
するボールがボンデイングされたパッドの画像内で予め
決められたボールより大きく設定し、前記検出枠の辺と
４５°の角度を有し互いに９０°をなす４方向の内の３
方向であることを特徴とする。
【００１９】上記目的を達成するための本発明の第３の
方法は、前記第１及び第２の方法において、前記３方向
が、第１及び第２の方向が一直線で、第３の方向が前記
第１及び第２の方向に９０°の角度をなし、前記３方向
の第１、第２及び第３のボールエッジを検出し、第１の
エッジ座標又は第２のエッジ座標のいずれか一方から
と、第３のエッジ座標からとの第１及び第２のエッジの
２等分線における等しい点を求めてボールを検出するこ
とを特徴とする。
【００２０】上記目的を達成するための本発明の装置
は、ワイヤボンデイング部を撮像装置で撮像してワイヤ
ボンデイング後のワイヤボンデイング部のボールを検出
する装置において、前記撮像装置の検出枠を、検出する
ボールがボンデイングされたパッドの画像内で前記ボー
ルより大きく設定する検出枠設定部と、ワイヤボンデイ
ング時にワイヤボンデイング部を指示する予め教示され
た教示点から前記検出枠内でボールのエッジが明らかに
判別できる３方向を設定する制御メモリと、前記３方向
のボールエッジを検出し、この３つのボールエッジから
ボール位置を算出する演算制御部とを備えたことを特徴
とする。
【００２１】
【作用】ワイヤボンデイング時にワイヤボンデイング部
を指示する予め教示された教示点に撮像装置は移動して
ボンデイングされたボールを撮像する。そして、教示点
とパッド内でボール外の点を結ぶ少なくとも３方向のボ
ールエッジを検出し、この３つのボールエッジからボー
ルの位置を算出する。また４つ以上のボールエッジを検
出すれば、ボールの大きさや形状も算出できる。
【００２２】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図３及び図４を参
照しながら図１により説明する。なお、図１は説明を容
易にするために図６を４５°回転させてある。ここで、
ボール５及びワイヤ４は暗部に、パッドＰは明部になる
ように、画像処理装置の照明光学系を設定してある。そ
こで、試料３へのワイヤボンデイング後、撮像装置１１
の中心軸１１ａがボンデイング部を指示する予め教示し
たボンデイング位置である教示点３０に移動する。通常
はパッドＰの中心位置を教示する。即ち、撮像装置１１
の検出枠３１の中心が教示点３０となる。また検出枠３
１の大きさはパッドＰの画像内でボール５の大きさより
大きく設定する。
【００２３】本実施例においては、検出枠３１の正方形
の対角線をそれぞれ座標軸とするＸＹ座標系を考える。
前記教示点３０は原点となる。画像処理により、Ｘ軸、
Ｙ軸それぞれに沿って検出枠３１内の画像のエッジを検
索し検出する。但し、ワイヤ４が存在する方向は、ボー
ル５のエッジが検出できない恐れがあるので除外する。
これは、ワイヤボンデイング装置１０によるボンデイン
グ手順の教示により予め知ることができ、ワイヤ方向に
最も近い方向を除外することにより達成できる。
【００２４】ワイヤ４の方向を除外してＸ軸、Ｙ軸それ
ぞれに沿ってボール５のエッジ座標３２ａ（Ｘ1 ，
０）、３２ｂ（Ｘ2 ，０）、３２ｃ（０，Ｙ1 ）を検出
する。この場合、エッジ座標３２ａ、３２ｂ、３２ｃの
検出は、教示点３０から外側に向けて検出しても、また
は検出枠３１のエッジから教示点３０に向けて検出して
もよい。いずれの場合も、検出枠３１に近い暗部をエッ
ジ座標３２ａ、３２ｂ、３２ｃとする。ボール５の外周
が円である場合、ボール５の中心座標６（Ｘ，Ｙ）はエ
ッジ３２ａ、３２ｂの２等分線３３上にあり、ボール５
のＸは数１のようになる。
【数１】Ｘ＝（Ｘ1 −Ｘ2 ）／２
【００２５】また線分３２ａ−６、３２ｂ−６、３２ｃ
−６はボール５の半径となり等しい。そこで、線分３２
ａ−６又は３２ｂ−６のいずれか一方と線分３２ｃ−６
とが等しい条件は、数２のようになる。数２を整理して
ボール５の中心座標６のＹを求めると、数３のようにな
る。数３に数１のＸを代入して整理すると、数４のよう
になる。
【数２】（Ｘ1 −Ｘ）2 ＋Ｙ2 ＝Ｘ2 ＋（Ｙ−Ｙ1 ）2
【数３】Ｙ＝（Ｙ1 2−Ｘ1 2＋２Ｘ1 ・Ｘ）／２Ｙ1
【数４】Ｙ＝（Ｙ1 2−Ｘ1 ・Ｘ2 ）／２Ｙ1
【００２６】即ち、ボール５の中心座標６のＸ及びＹ座
標は、数１と数４であるので、これをまとめて表すと、
数５のようになる。
【数５】Ｘ＝（Ｘ1 −Ｘ2 ）／２ Ｙ＝（Ｙ1 2−Ｘ1 ・Ｘ2 ）／２Ｙ1
【００２７】即ち、検出枠３１の辺と４５°の角度を有
し互いに９０°をなす２本の軸線（Ｘ軸、Ｙ軸）を設定
し、ワイヤ４から離れた１方の軸線（Ｘ軸）におけるボ
ール５の第１及び第２のエッジ座標３２ａ、３２ｂと、
他の軸線（Ｙ軸）におけるワイヤ４から離れた１つの第
３のエッジ座標３２ｃとを検出する。そして、第１のエ
ッジ座標３２ａ又は第２のエッジ座標３２ｂのいずれか
一方からと、第３のエッジ座標３２ｃからとの、第１及
び第２のエッジ３２ａ、３２ｂの２等分線３３上におけ
る等しい点を求めると、その点がボール５の中心座標６
となる。
【００２８】このように、検出枠３１の対角線上におけ
るボール５のエッジ３２ａ、３２ｂ、３２ｃを求めるの
で、ボール５のエッジがパッドＰのエッジに重なり又は
近接している場合にも、検出するエッジは明らかに判別
でき、また検出枠３１内で外側の暗部をエッジ３２ａ、
３２ｂ、３２ｃとするので、エッジ３２ａ、３２ｂ、３
２ｃを確実に検出できる。またこのエッジ３２ａ、３２
ｂ、３２ｃでボール５の中心６を算出するので、これら
のエッジは明瞭で中心６を確実に算出できると共に、短
時間に検出できる。
【００２９】なお、上記実施例に示すように、検出枠３
１の対角線を２つの座標軸系とするのが最も好ましい
が、本発明はこれに限定されるものではない。というの
は、パッドＰ内でボール５外の点を結ぶ一直線上の２方
向と、この方向に直角な一方向の３方向であれば、エッ
ジを確実に短時間に検出でき、中心座標６を容易に算出
できる。また４つ以上のボールエッジを検出することに
より、ボール５の大きさや形状も算出できる。
【００３０】このように、前記した方法によってボール
５の中心座標６を検出することができる。しかし、ボー
ル５が変形した円である場合がある。そこで、ボール５
の形状を判別するには、前記のようにして求めたボール
５の中心座標６を中心にして再度３方向におけるエッジ
を検索し、中心座標６から前記３方向におけるエッジま
での長さを比較することにより、ボールの形状が判別で
きる。
【００３１】この場合における３方向は、中心座標６か
ら前記したボールエッジ３２ａ、３２ｂ、３２ｃを結ぶ
方向以外を選択する。例えば、中心座標６を通りＸ軸に
平行な軸線Ｘ’のエッジ座標３４ａ（Ｘ1 ’，Ｙ）、３
４ｂ（Ｘ2 ’，Ｙ）、３４ｃ（Ｘ，Ｙ1 ’）より、線分
６−３４ａ、６−３４ｂ、６−３４ｃの長さＸ1 ’−
Ｘ、Ｘ−Ｘ2 ’、Ｙ−Ｙ1 ’を求める。この線分の長さ
はボール５の半径であるので、この３つの線分の長さの
差により、ボール５の形状が判別できる。ここで、Ｘ，
Ｙはそれぞれ前記した数５に示す値である。なお、中心
座標６からボール５のエッジを検出する方向は少なくと
も３方向であればよい。しかし、検出する方向が多いほ
どボール５の形状をより正確に把握できることは言うま
でもない。
【００３２】図２は前記したワイヤボンデイング部中心
位置検出方法を実行する制御装置の一実施例を示す。制
御装置は、主として撮像装置１１の映像を画像処理する
画像処理部４０と、図４に示すワイヤボンデイング装置
１０を駆動する装置駆動部５０と、座標等のデータを装
置駆動部５０に手動で入力する手動入力手段６５とから
なっている。
【００３３】画像処理部４０は、撮像装置１１より画像
入力手段４１を介して入力された映像の画像形状を記憶
する入力画像メモリ４２と、この入力画像メモリ４２の
画像処理手順が記憶された制御メモリ４３と、検出枠３
１を設定する検出枠設定部４４と、前記制御メモリ４３
の手順に従って入力画像メモリ４２の画像を処理してボ
ール５のエッジ座標３２ａ（Ｘ1 ，０）、３２ｂ
（Ｘ2 ，０）、３２ｃ（０，Ｙ1 ）を検出し、前記した
数５に従ってボール中心座標６を演算する演算制御部４
５とからなっている。また前記入力画像メモリ４２の画
像はテレビモニタ４６に写し出される。
【００３４】装置駆動部５０は、Ｘ軸モータ１２、Ｙ軸
モータ１３、Ｚ軸モータ１４を制御するＸ軸モータ制御
部５１、Ｙ軸モータ制御部５２、Ｚ軸モータ制御部５３
と、ボンデイング動作のために前記モータ１２、１３、
１４を制御する制御手順及びボンデイング座標の算出手
順が記憶されたボンデイング用制御メモリ５４と、図４
に示す撮像装置１１の中心軸１１ａとキャピラリ１５の
中心軸１５ａとのオフセット量Ｗの修正時期及びオフセ
ット修正手順が記憶されたオフセット修正用制御メモリ
５５と、Ｘ軸モータ制御部５１、Ｙ軸モータ制御部５
２、Ｚ軸モータ制御部５３、ボンデイング用制御メモリ
５４及びオフセット修正用制御メモリ５５を制御すると
共に、前記演算制御部４５によって算出されたボール中
心座標６のずれ量と手動入力手段６５により入力された
ボンデイング座標データにより実際のボンデイング座標
を算出及びオフセット修正量を算出する演算制御部５６
と、この演算制御部５６で算出されたボンデイング座標
を記憶するバッテリーバックアップ５７されたボンデイ
ング座標メモリ５８と、前記修正されたオフセットを記
憶するオフセットメモリ５９とからなっている。また演
算制御部５６は、ボンデイング座標メモリ５８よりボン
デイング座標を読み出して画像処理部４０の検出枠設定
部４４に入力するようになっている。
【００３５】前記手動入力手段６５は、テンキー６６及
びチェスマン６７よりなり、ボンデイング座標及びオフ
セットはそのいずれかを使用して装置駆動部５０に入力
する。
【００３６】次に本装置による前記したワイヤボンデイ
ング部中心位置検出方法を説明する。従来の技術の項で
説明したように、図４に示すワイヤボンデイング装置１
０により図３に示すように、試料３にワイヤボンデイン
グが行われる。試料３へのワイヤボンデイングが完了し
た後、オフセット修正用制御メモリ５５によりボンデイ
ング座標メモリ５８に記憶されているパッドＰ（例えば
Ｐ1 ）の座標とオフセットメモリ５９に記憶されている
オフセット量Ｗを演算制御部５６は読み出す。そして、
演算制御部５６はパッドＰの座標にオフセット量Ｗを加
えた座標にＸ軸モータ制御部５１及びＹ軸モータ制御部
５２を制御する。これにより、Ｘ軸モータ１２及びＹ軸
モータ１３が駆動し、撮像装置１１の中心軸１１ａはワ
イヤボンデイングされたパッドＰの教示点３０（中心
７）の上方に移動する。これにより、撮像装置１１によ
ってパッドＰ及びボール５が撮像される。この撮像され
た映像は、画像入力手段４１によってデジタル信号に変
換されて入力画像メモリ４２に記憶される。
【００３７】また装置制御部５０の演算制御部５６は、
ボンデイング座標メモリ５８のパッドＰの座標を読み出
し、制御メモリ４３を通して検出枠設定部４４に入力
し、検出枠設定部４４は該パッドＰの画像内でボール５
の大きさより大きい検出枠３１を設定する。これによ
り、検出枠３１の中心が教示点３０となる。図１はパッ
ドＰにワイヤボンデイングされたボール５がテレビモニ
タ４６に映っている撮像画像例を示す。
【００３８】次に演算制御部４５は、検出枠３１の正方
形の対角線をＸＹ座標系としてボール５のエッジ座標３
２ａ（Ｘ1 ，０）、３２ｂ（Ｘ2 ，０）、３２ｃ（０，
Ｙ1）を検出し、数５に従ってボール５の中心座標６
（Ｘ，Ｙ）を算出する。ここで、図１のＸＹ座標系は、
説明を容易にするために右方向に４５°回転させたもの
であるので、中心座標６（Ｘ，Ｙ）は、左方向に４５°
回転させて変換した座標６（Ｘｓ，Ｙｓ）にする。これ
により、画像処理部４０及び装置駆動部５０の座標系と
一致する。そこで、教示点３０の座標を（ｘｓ，ｙｓ）
とすると、数６により教示点３０からボール５の中心６
のずれ量Δｘ，Δｙが求まる。本来、撮像装置画像とボ
ンデイング中心の位置関係をオフセットとしているの
で、Δｘ，Δｙがその時点のオフセットのずれ量とな
る。
【数６】Δｘ＝ｘｓ−Ｘｓ Δｙ＝ｙｓ−Ｙｓ
【００３９】この算出されるずれ量Δｘ，Δｙはサブピ
クセル（副画素）精度をもって検出できる。サブピクセ
ル演算については、多値化（階調付画像）相関処理に加
え、ＨＩＬＬ−ＣＬＩＭＢ技法及び補間法演算などを用
いることにより、副画素精度で最大の相関値を持つ点を
見つけ出せることが知られている。またこのずれ量Δ
ｘ，Δｙは入力画像メモリ４２のピクセル数として求ま
るが、撮像装置１１の倍率により、１ピクセル当たりの
実寸法（ＸＹテーブル１６の移動量）は装置の固有値で
あるので、ＸＹテーブル１６の移動量に換算することが
でき、この換算の係数をｋｘ，ｋｙとすると、実寸法ず
れ量ｄｘ1 ，ｄｙ1 は数７で算出される。
【数７】ｄｘ＝ｋｘ・Δｘ ｄｙ＝ｋｙ・Δｙ
【００４０】次に演算制御部５６は、オフセットメモリ
５９に記憶されているオフセット量ＷのＸ軸成分Ｘｗ、
Ｙ軸成分Ｙｗに前記オフセットΔｘ，Δｙを数８のよう
に加えて修正し、この新たなオフセットＸｗ1 、Ｙｗ1
をオフセットメモリ５９に記憶させる。以後、次のオフ
セットの修正が行われるまで前記オフセットＸｗ1 、Ｙ
ｗ1 が使用される。
【数８】Ｘｗ1 ＝Ｘｗ＋ｄｘ Ｙｗ1 ＝Ｙｗ＋ｄｙ
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、ワイヤボンデイング時
にワイヤボンデイング部を指示する予め教示された教示
点とパッド内でボール外の点を結ぶ少なくとも３方向か
らボールエッジを検出し、この少なくとも３つのボール
エッジからボールの位置及び又は大きさ及び又は形状を
算出するので、ワイヤボンデイング部のボールを短時間
に確実に検出することができる。またボールの位置ずれ
を検出してオフセットのずれ量を自動的に修正すること
ができ、ボンデイングの位置精度の向上が図れると共
に、経時的なオフセットの変動も修正可能である。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明のワイヤボンデイング部中心位置検出方
法の一実施例を示す説明図である。
【図２】本発明のワイヤボンデイング部中心位置検出装
置の一実施例を示すブロック図である。
【図３】試料の１例を示す平面図である。
【図４】ワイヤボンデイング装置の１例を示す斜視図で
ある。
【図５】ボールの中心がパッド中心にほぼ一致している
場合における従来のワイヤボンデイング部中心位置検出
方法を示す説明図である。
【図６】ボールの中心がパッド中心より大きくずれてい
る場合における撮像されたワイヤボンデイングの画像の
部分拡大図である。
【図７】図６の場合のワイヤボンデイング部中心位置検
出方法を示す説明図である。
【符号の説明】
Ｐ パッド ５ ボール ６ ボール中心 ７ パッド中心 ３０ 教示点 ３１ 検出枠 ３２ａ、３２ｂ、３２ｃ ボールエッジ １０ ワイヤボンデイング装置 １１ 撮像装置 ４０ 画像処理部 ４３ 制御メモリ ４４ 検出枠設定部 ４５ 演算制御部 ５０ 装置駆動部 ５４ ボンデイング用制御メモリ ５５ オフセット修正用制御メモリ ５６ 演算制御部 ５８ ボンデイング座標メモリ ５９ オフセットメモリ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年５月１日
【手続補正１】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図２
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２】

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ワイヤボンデイング後のワイヤボンデイ
    ング部のボールを検出する方法において、ワイヤボンデ
    イング時にワイヤボンデイング部を指示する予め教示さ
    れた教示点とパッド内でボール外の点を結ぶ少なくとも
    ３方向からボールエッジを検出し、この少なくとも３つ
    のボールエッジからボールの位置及び又は大きさ及び又
    は形状を算出することを特徴とするワイヤボンデイング
    部のボール検出方法。
  2. 【請求項２】 前記３方向は、ワイヤボンデイング部を
    撮像する撮像装置の検出枠を、検出するボールがボンデ
    イングされたパッドの画像内で予め決められたボールよ
    り大きく設定し、前記検出枠の辺と４５°の角度を有し
    互いに９０°をなす４方向の内の３方向であることを特
    徴とする請求項１記載のワイヤボンデイング部のボール
    検出方法。
  3. 【請求項３】 前記３方向は、第１及び第２の方向が一
    直線で、第３の方向が前記第１及び第２の方向に９０°
    の角度をなし、前記３方向の第１、第２及び第３のボー
    ルエッジを検出し、第１のエッジ座標又は第２のエッジ
    座標のいずれか一方からと、第３のエッジ座標からとの
    第１及び第２のエッジの２等分線における等しい点を求
    めてボールを検出することを特徴とする請求項１又は２
    記載のワイヤボンデイング部のボール検出方法。
  4. 【請求項４】 ワイヤボンデイング後のワイヤボンデイ
    ング部のボールを検出する方法において、前記ワイヤボ
    ンデイング部のボールを検出した後、そのボールを中心
    として少なくとも３方向にボールのエッジを検出してワ
    イヤボンデイング部の形状を判別することを特徴とする
    請求項１記載のワイヤボンデイング部のボール検出方
    法。
  5. 【請求項５】 ワイヤボンデイング部を撮像装置で撮像
    してワイヤボンデイング後のワイヤボンデイング部のボ
    ールを検出する装置において、前記撮像装置の検出枠
    を、検出するボールがボンデイングされたパッドの画像
    内で前記ボールより大きく設定する検出枠設定部と、ワ
    イヤボンデイング時にワイヤボンデイング部を指示する
    予め教示された教示点から前記検出枠内でボールのエッ
    ジが明らかに判別できる３方向を設定する制御メモリ
    と、前記３方向のボールエッジを検出し、この３つのボ
    ールエッジからボール位置を算出する演算制御部とを備
    えたことを特徴とするワイヤボンデイング部のボール検
    出装置。
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