JPH08318459A - ワイヤソー装置 - Google Patents

ワイヤソー装置

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JPH08318459A
JPH08318459A JP16109796A JP16109796A JPH08318459A JP H08318459 A JPH08318459 A JP H08318459A JP 16109796 A JP16109796 A JP 16109796A JP 16109796 A JP16109796 A JP 16109796A JP H08318459 A JPH08318459 A JP H08318459A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 シーソー機構などを用いないで、ワイヤを往
復走行させるとともに、ワイヤを送り方向に少しずつ繰
り出せるようにする。 【解決手段】 切断用のワイヤ2を複数の加工ヘッドロ
ーラ10、11、12に巻き掛け、これらの加工ヘッド
ローラ10、11、12の間でワイヤ2を加工物13に
押し当てながら直線方向に往復走行させることにより加
工物13を切断するワイヤソー装置1において、上記加
工ヘッドローラ10、11、12、送り方向上流側のテ
ンションローラ7および下流側のテンションローラ8を
1台の駆動モータ9により回転させ、この駆動モータ9
の回転方向を周期的に反転させるとともに、ワイヤ2の
送り方向の回転数を戻り方向の回転数よりも大きくし、
その回転数の差分だけワイヤ2を送り方向に定速で移動
させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の技術分野】本発明は、ワイヤソー装置に関し、
特にワイヤ駆動用モータの制御技術に関する。
【0002】
【従来の技術】この種のワイヤソー装置は、例えば特公
昭56−198号や特公昭56−199号あるいは特開
昭60−53273号にみられるように、ワイヤを供給
リールより繰り出すとともに、このワイヤに走行方向の
往復直線運動を与えている。この直線往復運動は、主と
して、シーソー機構、遊星歯車機構、あるいはクランク
機構によって与えられる。
【0003】すなわち、これらの機構は、切断動作中
に、往復揺動運動を繰り返すことによって、走行中のワ
イヤに走行方向に対し往復運動を与え、1単位の切断に
対しワイヤの送給量を少なく抑えている。
【0004】ところで、このような機構が用いられる
と、ワイヤの巻き掛け状態が複雑になるほか、揺動機構
が複雑化するため、ワイヤソー装置が大型化することに
なる。このような状況から、前記のような機構に代わる
適切な往復運動手段が望まれている。
【0005】
【発明の目的】したがって、本発明の目的は、従来のよ
うなシーソー機構などを用いないで、ワイヤを往復走行
させるとともに、ワイヤを送り方向に少しずつ繰り出せ
るようにすることである。
【0006】
【発明の解決手段】上記目的の下に、本発明は、切断用
のワイヤを複数の加工ヘッドローラに巻き掛け、これら
の加工ヘッドローラ間でワイヤを加工物に押し当てなが
ら直線方向に往復走行させることにより加工物を切断す
るワイヤソー装置において、上記加工ヘッドローラ、こ
の加工ヘッドローラの上流側のテンションローラおよび
下流側のテンションローラを1台の駆動モータにより回
転させ、この駆動モータの回転方向を周期的に反転させ
るとともに、ワイヤの送り方向の回転数を戻り方向の回
転数よりも大きくし、その回転数の差分だけワイヤを送
り方向に定速で移動させることにより、ワイヤを往復走
行させながら送り方向に順次移動させるようにしてい
る。
【0007】このように、ワイヤの往復走行は、駆動モ
ータの回転方向の制御および回転数の制御によって、電
気的な制御の分野で行えるため、往復走行の駆動手段お
よびその制御は、従来の機構に比較して、簡略化でき
る。しかも、その回転数の変化や回転方向の回転差など
も電気的な分野で簡単に変更できるため、各種の加工材
料に対し最も適切な切断条件の設定が可能となる。
【0008】
【発明の実施の形態】まず、図1は、ワイヤソー装置1
のワイヤ2の巻き掛け状態およびその駆動系を示してい
る。ワイヤ2は、左右一対のリール3、4に整列状態で
巻き付けられており、その間で左右一対の重り付きのダ
ンサーローラ5、6、テンションローラ7、8および正
面から見て三角形の頂点位置で3本の案内溝付の加工ヘ
ッドローラ10、11、12に対し多重に巻き掛けられ
ている。2つの加工ヘッドローラ11、12の中間位置
で、ワイヤ2は、上昇方向への加工送り機構30を有す
る加工台29上の加工物13に対し研磨砥粒を介して所
定の力で接しており、両者の相対運動により、そこに所
定の切り溝を形成していく。
【0009】そして、一方のリール3は、トルクモータ
14によって、ワイヤ2を送り出す方向に若干抵抗しな
がら駆動されており、また他方のリール4は、トルクモ
ータ15によって、ワイヤ2を巻き付ける方向に駆動さ
れる。なお、これらのリール3、4には、図示しないト
ラバース機構が付設されており、その作用によって、ワ
イヤ2は、常に整列巻きの状態で、リール3、4の外周
に巻き付けられ、または巻き戻されていく。
【0010】一方、一対のテンションローラ7、8は、
駆動モータ9によって駆動される関係にある。すなわ
ち、この駆動モータ9の回転は、一方の回転伝達経路と
して、中間軸16、一対のギヤ17、18を介し、第1
の差動歯車機構21の入力軸19に伝達され、さらにそ
の出力軸20を介し一方のテンションローラ7に伝達さ
れ、また他方の回転伝達経路として、途中でタイミング
ベルト・プーリ23により分岐し、中間軸24を介し他
方のテンションローラ8に伝達される。
【0011】さらに上記中間軸16の回転は、タイミン
グベルト・プーリ25を介し、第2の差動歯車機構22
の入力軸26、その出力軸27、タイミングベルト・プ
ーリ28を介し、各加工ヘッドローラ10、11、12
の駆動軸に伝達される。なお前記第1の差動歯車機構2
1および第2の差動歯車機構22は、ともに第3の軸と
して制御軸31、32を備えており、その部分でそれぞ
れ可逆回転可能な張力制御モータ33、位相制御モータ
34に連結されている。
【0012】次に、図2は、第1の差動歯車機構21を
傘歯車列によって構成した例を示している。前記入力軸
19の回転は、制御軸31の停止中に、傘歯車35、中
間の2つの傘歯車36、出力軸20の傘歯車37によっ
て出力軸20に逆方向の回転として伝達される関係にあ
る。上記中間の傘歯車36は、これらの入力軸19およ
び出力軸20に対し直交する関係の軸38によって、大
きな傘歯車39に対し回転自在に支持されている。この
大きな傘歯車39は、出力軸20の周りに回転自在に支
持されており、制御軸31側の傘歯車40と噛み合って
いる。
【0013】また、図3は、上記第2の差動歯車機構2
2の一例を示している。この第2の差動歯車機構22
も、上記第1の差動歯車機構21と全く同様に構成され
ている。そのため、図3は、その内部の具体的な構造を
図2と同一符号で示している。
【0014】さらに、図4は、制御装置41の構成を示
している。この制御装置41は、メインコントローラ4
2の入力側で、操作盤43に接続されており、また出力
側の部分で、制御ユニット44、45、46、張力制御
ユニット47および位相制御ユニット48に接続されて
いる。これらの制御ユニット44、45、46は、それ
ぞれ駆動モータ9、トルクモータ14、15のドライバ
49、50、51に接続されている。また、張力制御ユ
ニット47および位相制御ユニット48は、ともに入力
側で2つのテンションセンサー52、53に接続されて
おり、また出力側で張力制御モータ33、位相制御モー
タ34のドライバ54、55にそれぞれ接続されてい
る。
【0015】例えば半導体など円柱状の加工物13は、
加工台29の上に切断方向とワイヤ2の方向とを一致さ
せた状態で固定され、加工送り機構30の上昇送り作用
によって上昇し、切り始め位置でワイヤ2と接する。こ
れと同時に、接触部分に砥粒が供給される。
【0016】この状態で、駆動モータ9が起動すると、
その回転は、中間軸16、タイミングベルト・プーリ2
5、第2の差動歯車機構22およびタイミングベルト・
プーリ28を介し、3つの加工ヘッドローラ10、1
1、12に伝達される。また中間軸16の回転は、ギヤ
17、18、第1の差動歯車機構21を介し、一方のテ
ンションローラ7に、さらにタイミングベルト・プーリ
23を介し、他方のテンションローラ8にも、加工ヘッ
ドローラ10、11、12と同じ方向の回転として伝達
される。
【0017】そして、この駆動モータ9の回転方向は、
図5に示すように、一定の時間t1で正転方向に回転
し、それに続く時間t2で反転し、逆転方向に回転し、
1サイクルを完了し、これを繰り返していく。これらの
各回転方向での加速時間および減速時間は、同じに設定
されている。しかし、一定の速度の時間は、時間t1の
部分で長く、またそのあとの時間t2の部分で短く設定
されている。この結果、ワイヤ2は、図6に示すよう
に、正転方向の多い回転数と、それに続く逆転方向の少
ない回転数を周期的に繰り返し、1サイクル当たり、そ
の回転差(時間差)に相当する送り量Lで、送り出し方
向に順次供給されていく。
【0018】このようにして、ワイヤ2は、直線方向に
往復走行し、その往復運動の過程で加工物13に複数の
平行な切り込みを形成していく。この切り込みが進行す
る過程で、加工台29は、加工送り機構30によって、
少しずつ上昇し、走行状態のワイヤ2に対し加工物13
を所定の力で押圧している。
【0019】この間に、トルクモータ14は、リール3
を送り出し方向に回転させることにより、ワイヤ2を送
り出し方向に繰り出している。一方、トルクモータ15
は、所定のトルクでリール4を回転させることにより、
切断作用後のワイヤ2を順次巻き取っていく。これらの
トルクモータ14、15は、それぞれ制御ユニット4
4、45からの電圧制御によって、駆動モータ9の運転
と同期して起動し、また停止する。
【0020】しかし、ワイヤ2が往復運動を繰り返しな
がら、間欠的に送られているため、切断位置でのワイヤ
2の移動量と、ワイヤ2の送り出し側あるいは巻き取り
側での移動量との間に、微妙な差が発生するが、それ
は、ダンサーローラ5、6の上下運動によって吸収され
る。また、駆動モータ9とトルクモータ14、15との
応答の差によるワイヤ2の遊びや巻き取り力の変動は、
トルクモータ14、15のスリップによっても吸収でき
る。
【0021】このような切断加工中に、切断面の品質上
から、ワイヤ2の加工物13に対する当接力は、常に一
定でなければならない。そのためには、ワイヤ2の適切
な張力の設定と維持とが必要となり、それは、張力制御
ユニット47によって可能になる。すなわち、この張力
制御ユニット47は、テンションセンサー52またはテ
ンションセンサー53からの信号を入力とし、その信号
と目標値との偏差に応じて、張力制御モータ33を所定
の方向に必要な量だけ回転させ、一対のテンションロー
ラ7、8の間に位相差すなわち回転数の差を与える。具
体的には、駆動モータ9の回転が一方のテンションロー
ラ7に伝達される過程で、第1の差動歯車機構21の入
力軸19と出力軸20との回転数が異なる方向で同一で
あれば、一対のテンションローラ7、8は、常に回転数
の差のない状態で回転している。このような状態は、張
力制御モータ33を停止させることによって設定でき
る。
【0022】今、制御軸31が停止していると仮定すれ
ば、大きな傘歯車39も停止しているため、入力側の傘
歯車35の回転は、中間の傘歯車36によって逆方向に
変換され、出力側の傘歯車37に伝達比1の状態で伝達
される。ところが、張力制御モータ33が所定の方向に
回転し、大きな傘歯車39に出力軸20と例えば逆方向
の回転を与え、その状態で停止すると、出力軸20は、
入力軸19に対し図7に示すように、位相角θだけ遅れ
た状態で回転し続ける。
【0023】このため、送り出し側のテンションローラ
7は、巻き取り側のテンションローラ8に対し位相角θ
だけ遅れた状態で回り続ける。この結果、この一対のテ
ンションローラ7、8の間で、ワイヤ2は、位相角θに
相当する分だけ高い張力で張られることになる。また、
逆の操作すなわち大きな傘歯車39を出力軸20と同じ
方向に回転させれば、張力を低くすることができる。こ
のようにして、ワイヤ2は、切断の進行にともなう加工
物13での切り口の変化にかかわらず、一定の張力で加
工物13を切り込んでいくことになる。
【0024】なお、この張力制御モータ33は、パルス
モータであり、したがって、その張力制御ユニット47
は、張力制御モータ33に対し必要な補正方向の回転を
パルス数として与え、そのパルスに相当する分だけ張力
制御モータ33を回転させ、その状態で自動的に停止さ
せる。このようにして、張力制御ユニット47は、テン
ションセンサー52、53からの信号を入力とし、張力
制御モータ33の回転方向および回転量を制御すること
によって、ワイヤ2の張力を目標値に自動的に補正して
いく。
【0025】このような張力制御過程で、一対のテンシ
ョンローラ7、8と、3つの加工ヘッドローラ10、1
1、12との間に回転量の不整合が発生し、これが累積
すると、左右のテンションセンサー52、53の検出量
の差が次第に大きくなり、それはワイヤ2の一部に異常
な張力を発生させて、ワイヤ切断の危険につながる。こ
のような状態は、張力制御と同様に、テンションセンサ
ー52、53の信号差によって検出できる。
【0026】そこで、このような不整合が発生した時点
で、位相制御ユニット48は、位相制御モータ34をい
ずれかの補正方向に回転させ、第2の差動歯車機構22
の回転伝達比の調整により、一対のテンションローラ
7、8と3本の加工ヘッドローラ10、11、12との
送り量の差を解消し、左右のテンションセンサー52、
53近辺のワイヤ2の張力をほぼ同じ値に保ち、正逆方
向のワイヤ2の走行中に何等かの原因によるワイヤ2の
張力変動があっても、それを充分に吸収できる状態に維
持する。ここでも、位相制御ユニット48は、張力制御
モータ33と同様に、パルス数の制御によって、位相制
御モータ34の回転量を制御する。
【0027】駆動モータ9が正転から逆転に移る際は、
所定の逆転トルクが掛かって、速度が下がり、停止点を
過ぎて逆転に変わり、所定の速度に達したときに、この
トルクが消滅する。その場合に、繰り出し、巻取り側で
は、トルクモータ14、15にも同時に逆転トルクが加
えられ、各リール3、4は、減速、停止、逆転の過程を
経過し、反転動作を行う。この場合の逆転トルクの大き
さは、リール3、4に残ったワイヤ2の量に関係して一
定ではなく、ワイヤ2が加工を開始してから、正逆転を
繰り返した回数に関連がある。
【0028】メインコントローラ42は、この回数と、
ワイヤ送り出し量とを計算して所要の指令を制御ユニッ
ト45、46に伝えている。したがって制御ユニット4
5、46は、この指令と、駆動モータ9が反転動作を開
始したときの信号とをうけてドライバ50、51に所要
のトルク発生を指令している。
【0029】繰り出し、巻取り側は、これを受けて適正
な逆転トルクで制御され、理論的にはワイヤ2のたるみ
や過度の緊張は発生しないはずとは言うものの、それで
も切断機構側で発生するわずかな速度変動および繰り出
し巻取り部自身で何等かの変動があると、ワイヤ2にわ
ずかのたるみや緊張が発生するので、この不都合をダン
サーローラ5、6が吸収しているのである。すなわちダ
ンサーローラ5、6はたるみが発生すれば、下降し、緊
張が起これば上昇する。
【0030】そして、図示はないが、各ダンサーローラ
5、6と対をなすポテンシオメーターが各ダンサーロー
ラ5、6の位置を検出して、それぞれの制御ユニットに
フィードバックしているので、各制御ユニットは、これ
を受けてそれぞれのトルクモータ14、15に掛けるト
ルクを微調整して、ダンサーローラ5、6を原位置に復
帰するように動作している。この微調整は、駆動モータ
9が反転するときのほかに、定常回転中においても作動
している。このようにして、繰り出しおよび巻取り側で
は、ダンサーローラ5、6とフィードバック制御との作
用によって、常時ワイヤ2の繰り出し・巻取りの安定と
ワイヤ2の張力安定の動作を行なっている。
【0031】
【発明の他の実施の形態】上記実施例は、一対のテンシ
ョンローラ7、8の駆動と、3本の加工ヘッドローラ1
0、11、12の駆動とを共通の駆動モータ9によって
行っている。そのため、駆動モータ9から駆動軸30に
至る間で、第2の差動歯車機構22が介在している。し
かし、これらの加工ヘッドローラ10、11、12の駆
動源が駆動モータ9と別のものであれば、このような第
2の差動歯車機構22は、省略できることになる。ま
た、上記実施例は、第1の差動歯車機構21を傘歯車列
によって構成しているが、このような差動歯車機構は、
遊星歯車列などによって構成することもできる。
【0032】
【発明の効果】本発明では、下記の特有の効果がある。
切断用のワイヤの送り方向の往復走行運動が駆動モータ
の回転方向および回転量の制御によって行われるため、
従来のような複雑なシーソー機構が必要とされず、ワイ
ヤの駆動系が簡略化できる。また、ラック・ピニオンあ
るいはクランク機構などの往復駆動機構がないため、機
械の振動が軽減され、その分加工精度が向上する。
【0033】さらにワイヤの加工速度や加工送り、切断
過程を通してのワイヤ張力などのパターン制御が電気的
な分野で簡単に設定または変更できるため、加工物の材
料に最も適した加工条件で切断が可能となり、また切断
加工中のワイヤ断線などの事故も防止され、これによっ
て加工能率の向上が期待できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるワイヤソー装置のワイヤの巻き掛
け状態および駆動系の概略的な斜面図である。
【図2】差動歯車機構のスケルトン図である。
【図3】差動歯車機構のスケルトン図である。
【図4】制御装置のブロック線図である。
【図5】駆動モータの回転制御のパターン図である。
【図6】ワイヤの移動状況の説明図である。
【図7図】一対のテンションローラ間の位相差の説明図
である。
【符号の説明】
1 ワイヤソー装置 2 ワイヤ 3 リール 4 リール 5 ダンサーローラ 6 ダンサーローラ 7 テンションローラ 8 テンションローラ 9 駆動モータ 10 加工ヘッドローラ 11 加工ヘッドローラ 12 加工ヘッドローラ 13 加工物 21 第1の差動歯車機構 22 第2の差動歯車機構 29 加工台 33 張力制御モータ 34 位相制御モータ 41 制御装置 47 張力制御ユニット 48 位相制御ユニット 52 テンションセンサー 53 テンションセンサー

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 切断用のワイヤを複数の加工ヘッドロー
    ラに巻き掛け、これらの加工ヘッドローラ間でワイヤを
    加工物に押し当てながら直線方向に往復走行させること
    により加工物を切断するワイヤソー装置において、 上記加工ヘッドローラ、この加工ヘッドローラの上流側
    のテンションローラおよび下流側のテンションローラを
    1台の駆動モータにより回転させ、この駆動モータの回
    転方向を周期的に反転させるとともに、ワイヤの送り方
    向の回転数を戻り方向の回転数よりも大きくし、その回
    転数の差分だけワイヤを送り方向に定速で移動させるこ
    とを特徴とするワイヤソー装置。
  2. 【請求項2】 前記請求項1のワイヤソー装置におい
    て、送り方向の回転数と戻り方向の回転数の差を制御ユ
    ニットからの信号により任意に設定できるようにしたこ
    とを特徴とするワイヤソー装置。
  3. 【請求項3】 切断用のワイヤを複数の加工ヘッドロー
    ラに巻き掛け、これらの加工ヘッドローラ間でワイヤを
    加工物に押し当てながら直線方向に往復走行させること
    により加工物を切断するワイヤソー装置において、 上記加工ヘッドローラ、この加工ヘッドローラの上流側
    のテンションローラおよび下流側のテンションローラを
    1台の駆動モータにより回転させ、上流側および下流側
    のテンションローラの伝達経路に差動歯車機構を介在さ
    せ、その差動歯車機構により加工ヘッドのワイヤにテン
    ションを発生させることを特徴とするワイヤソー装置。
  4. 【請求項4】 前記請求項3の差動歯車機構を、前記ワ
    イヤの張力を検知するダンサーローラ機構からの信号に
    応じて制御するようにしたことを特徴とするワイヤソー
    装置。
  5. 【請求項5】 切断用のワイヤを複数の加工ヘッドロー
    ラに巻き掛け、これらの加工ヘッドローラ間でワイヤを
    加工物に押し当てながら直線方向に往復走行させること
    により加工物を切断するワイヤソー装置において、 上記加工ヘッドローラ、この加工ヘッドローラの上流側
    のテンションローラおよび下流側のテンションローラを
    1台の駆動モータにより回転させ、この駆動モータと上
    記加工ヘッドローラとの間に差動歯車機構を介在させ、
    上流側のテンションローラと下流側のテンションローラ
    との間の回転量の不整合を解消することを特徴とするワ
    イヤソー装置。
  6. 【請求項6】 前記請求項5の差動歯車機構を前記ワイ
    ヤの張力を検知するダンサーローラ機構からの信号に応
    じて制御するようにしたことを特徴とするワイヤソー装
    置。
  7. 【請求項7】 切断用のワイヤを複数の加工ヘッドロー
    ラに巻き掛け、これらの加工ヘッドローラ間でワイヤを
    加工物に押し当てながら直線方向に往復走行させること
    により加工物を切断するワイヤソー装置において、 ワイヤの巻き取り側のリールおよび繰り出し側のリール
    の駆動に、任意のトルク設定が可能でワイヤの張力の急
    激な変化も吸収できるトルクモータを使用したことを特
    徴とするワイヤソー装置。
  8. 【請求項8】 前記請求項7の巻き取り、繰り出しのリ
    ールにおいて、リールを駆動するトルクモータのトルク
    をリールの巻径の変化に対応して変化させ、ワイヤの巻
    き取り、繰り出しが一定の張力で行われることを特徴と
    するワイヤソー装置。
  9. 【請求項9】 前記請求項7または請求項8の巻き取
    り、繰り出しのリールにおいて、トルクモータのトルク
    値がトルクモータの制御ユニットからの信号により設定
    されることを特徴とするワイヤソー装置。
  10. 【請求項10】 前記請求項7、請求項8、または請求
    項9の巻き取り、繰り出しのリールにおいて、巻径取り
    側、繰り出し側のリール径を計算し、トルクモータにト
    ルク設定値の信号を送ることを特徴とするワイヤソー装
    置。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN105082380A (zh) * 2015-09-09 2015-11-25 江西赛维Ldk太阳能高科技有限公司 硅片切割后的取出方法

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