JPH07276217A - ワイヤソー装置 - Google Patents

ワイヤソー装置

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Publication number
JPH07276217A
JPH07276217A JP6410694A JP6410694A JPH07276217A JP H07276217 A JPH07276217 A JP H07276217A JP 6410694 A JP6410694 A JP 6410694A JP 6410694 A JP6410694 A JP 6410694A JP H07276217 A JPH07276217 A JP H07276217A
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JP
Japan
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wire
wire reel
reel
saw device
transmission
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Application number
JP6410694A
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English (en)
Inventor
Nobuaki Hayashi
信明 林
Mitsuru Nukui
満 温井
Tadahira Okamoto
匡平 岡本
Yukihiro Kanemichi
幸宏 金道
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippei Toyama Corp
Original Assignee
Nippei Toyama Corp
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Publication date
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Publication of JPH07276217A publication Critical patent/JPH07276217A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23DPLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0053Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels

Abstract

(57)【要約】 【目的】 駆動力が効率よくワイヤーリールに伝達さ
れ、また、駆動モータの制御がワイヤーリールの駆動軸
に届くまでの時間を短縮することができ、機械的寿命が
長くなり、ワイヤーの張力及び走行速度の適正な制御が
可能になるワイヤーソー装置を提供する。 【構成】 複数の加工ヘッドローラ5、6、7にワイヤ
ー8を所定のピッチで巻き付けて、このワイヤー8の一
方の端末側を第1のワイヤーリール10に、前記ワイヤ
ー8の他方の端末側を第2のワイヤーリール11にそれ
ぞれ捲回し、第1のワイヤーリール10と第2のワイヤ
ーリール11とを第2の差動装置29の出力側に連結
し、この差動装置29の入力側に一つの駆動モータ28
の出力側を連係し、第1のワイヤーリール10及び第2
のワイヤーリール11の少なくとも一つにブレーキ機構
25L(25R)を設けた。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ワイヤを高速走行さ
せ、このワイヤにワーク(被切断材)を押し当てて、こ
のワークを切断するワイヤソー装置に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】複数の溝ローラ(加工ヘッドローラ)に
ワイヤを所定のピッチで巻き付けてワイヤ切断部を構成
し、前記ワイヤの一方の端末側を一方のワイヤリール
に、前記ワイヤの他方の端末側を他方のワイヤリールに
それぞれ捲回し、前記ワイヤに所定の張力を与えつつ高
速走行させてワークの切断を行うワイヤソー装置は、特
開昭63−260757号、特開平1−177958号
公報に開示してあるように公知である。
【0003】この従来のワイヤソー装置における駆動装
置として、特開平3−13466号公報に開示された技
術がある。この開示技術は、ワイヤ切断部の1個の溝ロ
ーラに対する動力伝達手段と、両ワイヤリールに対する
それぞれの動力伝達手段とを備え、特に、両ワイヤリー
ルに対するそれぞれの動力伝達手段には無段変速機を備
えており、この無段変速機の入力軸はベルトを介して駆
動軸に連結され、無段変速機の入力軸はベルト、中間プ
ーリ群、クラッチ、ベルトを介してワイヤリールの駆動
軸に連結してあった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ように従来のワイヤソー装置における駆動装置にあって
は無段変速機を使用しており、しかも、無段変速機の入
力軸はベルトを介して駆動軸に連結し、無段変速機の入
力軸をベルト、中間プーリ群、クラッチ、ベルトを介し
てワイヤリールの駆動軸に連結しているために、伝達効
率が悪いし、また、慣性が大きくなっていたし、また、
動力伝達系が長くなるために、駆動モータの制御がワイ
ヤリールの駆動軸に届くまで時間がかかるという問題点
があった。さらには、無段変速機は滑り機構部を有する
ために機械的寿命が短くなるという問題点があった。
【0005】本発明は、上記の問題点を解消するもので
あり、その目的とするところは、伝達効率が良好にな
り、また、慣性が小さくなって駆動力が効率よくワイヤ
リールに伝達され、また、駆動モータの制御がワイヤリ
ールの駆動軸に届くまでの時間を短縮することができ、
機械的寿命が長くなるばかりか、ワイヤの張力及び走行
速度の適正な制御が可能になるワイヤソー装置を提供す
ることにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係わるワイヤソー装置は、複数の加工ヘッ
ドローラにワイヤを所定のピッチで巻き付けて、このワ
イヤの一方の端末側を一方のワイヤリールに、前記ワイ
ヤの他方の端末側を他方のワイヤリールにそれぞれ捲回
し、前記ワイヤに所定の張力を与えつつ高速走行させて
ワークの切断を行うワイヤソー装置において、一方のワ
イヤリールと他方のワイヤリールとを差動装置の出力側
に連結し、この差動装置の入力側に一つの駆動モータの
出力側を連係し、一方のワイヤリール及び他方のワイヤ
リールの少なくとも一つにワイヤリールを制動する制動
手段を設けたことを特徴とする。
【0007】また、本発明に係わるワイヤソー装置は、
複数の加工ヘッドローラにワイヤを所定のピッチで巻き
付けてワイヤ切断部を構成し、前記ワイヤの一方の端末
側を一方のワイヤリールに、前記ワイヤの他方の端末側
を他方のワイヤリールにそれぞれ捲回し、前記ワイヤに
所定の張力を与えつつ高速走行させてワークの切断を行
うワイヤソー装置において、一方のワイヤリールと他方
のワイヤリールとを差動装置の出力側に連結し、この差
動装置の入力側と前記ワイヤ切断部とを一つの駆動モー
タの出力側に連係し、一方のワイヤリール及び他方のワ
イヤリールの少なくとも一つにワイヤリールを制動する
制動手段を設けたことを特徴とする。
【0008】
【作用】一方のワイヤリールと他方のワイヤリールとを
差動装置の出力側に連結し、この差動装置の入力側に一
つの駆動モータの出力側を連係したために、動力伝達手
段に無段変速機を備えた従来のワイヤソー装置に比べ
て、伝達効率が良好になり、また、慣性が小さくなって
駆動力は効率よくワイヤリールに伝達される。また、動
力伝達系が短くなるために、駆動モータの制御がワイヤ
リールの駆動側に届くまでの時間を短縮することができ
る。さらには、無段変速機を使用しないために機械的寿
命が長くなる。
【0009】また、一方のワイヤリール及び他方のワイ
ヤリールの少なくとも一つにワイヤリールを制動する制
動手段を設けたから、この制動手段により直接にワイヤ
リールを制御することが可能になり、この制御に応じた
ワイヤリールの反応が速く、かつワイヤの張力及び走行
速度の適正な制御が可能になる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳述
する。
【0011】(実施例1)本発明に係わるワイヤソー装
置の一実施例の概略的な構成を図1に示す。本発明に係
るワイヤソー装置は、ワイヤ切断部1と、ワイヤ走行部
2と、ワイヤ走行駆動部3と、制御部4L、4Rとを備
えている。前記ワイヤ切断部1は、機台(図示せず)に
3個の溝ローラである加工ヘッドローラ5、6、7を逆
三角形の各頂点に位置するように配置し、これら加工ヘ
ッドローラ5、6、7に所定のピッチで以てワイヤ8を
巻き付け、上方の加工ヘッドローラ5、6間のワイヤ部
分を切断刃部9とした構成である。
【0012】前記ワイヤ走行部2は、第1、第2のワイ
ヤリール10、11を備えており、これらの第1のワイ
ヤリール10の回転軸10aは、前記ワイヤ走行駆動部
3の第2の差動機構12の一方の出力軸13Lに、第2
のワイヤリール11の回転軸11aは第2の差動機構1
2の他方の出力軸13Rにそれぞれ連結している。そし
て、第1のワイヤリール10には前記ワイヤ8の一方端
側が捲回してあり、第2のワイヤリール11には前記ワ
イヤ8の他方端側が捲回している。
【0013】第1、第2のワイヤリール10、11のワ
イヤ巻取り側、送り出し側には、それぞれにトラバース
機構14L、14Rと、ダンサローラ機構15L、15
Rが配設してある。また、第1のワイヤリール10の回
転軸10aには制動手段である第1のブレーキ機構25
Lが、第2のワイヤリール11の回転軸11aには制動
手段である第2のブレーキ機構25Rがそれぞれ連結し
てある。そして、前記ワイヤ8はその途中において複数
のガイドローラに案内されている。
【0014】前記トラバース機構14L、14Rはトラ
バースモータ18の駆動により第1、第2のワイヤリー
ル10、11の軸線方向に往復運動してワイヤ8を整列
巻きするトラバーサ19を有している。
【0015】前記ダンサローラ機構15L、15Rは、
一対のガイドローラ20、21とダンサローラ22とを
有しており、ガイドローラ20、21間に張られた前記
ワイヤ8に前記ダンサローラ22が上下動可能に掛けて
ある。また、このダンサローラ22の側方には、このダ
ンサローラ22の移動量を検出する検出部23が配置し
てある。
【0016】前記ワイヤ走行駆動部3は、ワイヤリール
駆動機構26とワイヤ切断部駆動機構27からなり、ワ
イヤリール駆動機構26は、駆動モータ28と、第1の
差動機構29と、連結軸30と、第2の差動機構12と
から構成してある。すなわち、前記駆動モータ28の出
力軸31は第1の差動機構29の入力軸32に連結して
あり、この差動機構29の一方の出力軸33は前記連結
軸30の一端部に連結してあり、この連結軸30の他端
部は第2の差動機構12の入力軸34に連結してある。
【0017】第1の差動機構29は、前記出力軸31に
固着された傘歯車であるドライブギヤ35と、このドラ
イブギヤ35が噛み合って他方の出力軸36に回転可能
に保持された傘歯車であるリングギヤ37と、このリン
グギヤ37に固着されたハウジング38と、このハウジ
ング38に回転可能に軸支された傘歯車であるピニオン
ギヤ39、40と、一方の出力軸33に固着されてピニ
オンギヤ39、40に噛み合う傘歯車である一方のサイ
ドギヤ41と、他方の出力軸36に固着されてピニオン
ギヤ39、40に噛み合う傘歯車である他方のサイドギ
ヤ42とから構成されており、他方の出力軸36には制
動手段であるブレーキ機構24が連結してある。そし
て、第1の差動装置26とブレーキ機構24とで伝達率
制御手段を構成している。
【0018】第2の差動機構12は、前記連結軸30に
固着された第一の傘歯車であるドライブギヤ43と、こ
のドライブギヤ43に噛み合って、他方の出力軸13R
に回転可能に保持された第二の傘歯車であるリングギヤ
44と、このリングギヤ44に固着されたハウジング4
5と、このハウジング45に回転可能に軸支された第三
の傘歯車であるピニオンギヤ46、47と、一方の出力
軸13Lに固着されてピニオンギヤ46、47に噛み合
う第四の傘歯車である一方のサイドギヤ48と、他方の
出力軸13Rに固着されてピニオンギヤ46、47に噛
み合う第五の傘歯車である他方のサイドギヤ49とから
構成されている。なお、上記したように一方の出力軸1
3Lは第1のワイヤリール10の回転軸10aに、第2
の出力軸13Rは他方のワイヤリール11の回転軸11
aにそれぞれ連結してある。
【0019】前記ワイヤ切断部駆動機構27は、前記駆
動モータ28の出力軸31に固着されたプーリ50と、
前記ワイヤ切断部1の駆動側の加工ヘッドローラ5の回
転軸51の固着されたプーリ52と、両プーリ50、5
2に掛けられたベルト53とより構成してある。
【0020】一方の制御部4Lの入力側に前記ダンサロ
ーラ機構15Lの検出部23が接続してあり、その出力
側が第1のワイヤリール10のブレーキ機構25Lに接
続してある。
【0021】他方の制御部4Rの入力側に前記ダンサロ
ーラ機構15Rの検出部23が接続してあり、その一方
の出力側が第2のワイヤリール11のブレーキ機構25
Rに、他方の出力側が第1の差動装置26のブレーキ機
構24にそれぞれ接続してある。
【0022】そして、前記切断刃部9の上方にはワーク
送りモータ54により昇降するワークフィードユニット
55が配置してあり、このワークフィードユニット55
はワークWを保持している。このワークWは、高硬度脆
性材料、例えば半導体材料の被切断部材であり、その形
状は円筒体である。
【0023】次に、上記のように構成されたワイヤソー
装置の作動を説明する。
【0024】前記ワイヤ切断部1においては、ワイヤ8
からなる切断刃部9に、前記ワークフィードユニット5
5に保持されたワークWが下降して接触する。
【0025】前記駆動モータ28の回転駆動により、こ
れの回転は第1の差動装置26を介して連結軸30に変
速伝達され、この連結軸30から第2の差動装置12に
入力される。第2の差動装置12においては、第1、第
2のワイヤリール10、11に加わる負荷が同じの場合
には、第1、第2のワイヤリール10、11側に同じ回
転力が出力されて、第1、第2のワイヤリール10、1
1が回転駆動される。この場合、第1のワイヤリール1
0がワイヤ8を送りだし、第2のワイヤリール11がワ
イヤ8を巻き取る。したがって、前記ワイヤ8は実線矢
印の方向に走行する。
【0026】また、前記駆動モータ28の回転は、前記
出力軸31に固着されたプーリ50、ベルト53、プー
リ52を介して前記ワイヤ切断部1の駆動側の加工ヘッ
ドローラ5の駆動軸51に伝えられる。
【0027】前記駆動モータ28の回転方向は、図2に
示すように一定の時間T1で正回転し、それに続く時間
T2で反転して逆転方向に回転し前記ワイヤ8は点線矢
印の方向に走行して1サイクルを完了し、これを繰り返
していく。
【0028】これらの各回転方向での加速時間及び減速
時間は同じに設定されている。しかし、一定速度の時間
は、時間T1の部分が長く、またその後の時間T2の部
分で短く設定されている。この結果、前記ワイヤ8は、
図3に示すように正転方向の多い回転数と、それに続く
逆転方向の少ない回転数を周期的に繰り返し、1サイク
ル当り、その回転差(時間差)に相当する送り量Lで、
送りだし方向に順次供給されていく。
【0029】このようにして、前記ワイヤ8は直線方向
に往復走行し、その往復運動の過程でワークWに複数の
平行な切り込みを形成しいく。この切り込みが進行する
過程で、前記ワーク送りモータ54の駆動によりワーク
フィードユニット55が少しずつ下降して走行状態のワ
イヤ8に対してワークWを所定の力で押圧する。この切
断時に、第1のワイヤリール10の外周での巻き状態の
リール径の変化に伴うワイヤ速度の過不足が生じると、
この過不足量に対応して前記ダンサローラ機構15Lの
ダンサローラ22の位置が変化する。検出部23はその
位置を検出し、これを制御部4Lにフィードバック量と
して与える。この制御部4Lは第1のワイヤリール10
側の第1のブレーキ機構25Lを制御して、ワイヤ速度
の過不足に応じて第1のワイヤリール10の回転速度を
加減する。
【0030】また、第2のワイヤリール11の外周での
巻き状態のリール径の変化に伴うワイヤ速度の過不足が
生じると、この過不足量に対応して前記ダンサローラ機
構15Rのダンサローラ22の位置が変化する。検出部
23はその位置を検出し、これを制御部4Rにフィード
バック量として与える。この制御部4Rは第2のワイヤ
リール11側の第2のブレーキ機構25Rを制御して、
ワイヤ速度の過不足に応じて第2のワイヤリール11の
回転速度を加減する一方、第1の差動装置26のブレー
キ機構24を制御して、この第1の差動装置24の出力
伝達率を制御する。
【0031】第2の差動装置12の第1のブレーキ機構
25Lが制御されてブレーキがかかり、第1のワイヤリ
ール10の回転が遅くなると、前記連結軸30から伝達
された入力回転によりドライブギヤ43を介してリング
ギヤ44が回転し、ハウジング45が回転することによ
りピニオンギヤ46、47が自転しながら公転するため
に、第2のワイヤリール11側のサイドギヤ49の回転
速度が高くなり、第1のワイヤリール10の回転よりも
第2のワイヤリール11の回転が速くなる。
【0032】また、第2の差動装置12の第2のブレー
キ機構25Rが制御されてブレーキがかかり第2のワイ
ヤリール11の回転が遅くなると、第1のワイヤリール
10側のサイドギヤ48の回転速度が高くなり、第2の
ワイヤリール11の回転よりも第1のワイヤリール10
の回転が速くなる。
【0033】また、第1の差動装置26のブレーキ機構
24が制御されてブレーキがかかると、前記出力軸31
から伝達された入力回転によりドライブギヤ35を介し
てリングギヤ37が回転しハウジング38が回転するこ
とによりピニオンギヤ39,40が自転しながら公転す
るために、連結軸30側のサイドギヤ41の回転速度が
高くなり、出力伝達率が大きくなる。
【0034】上記の実施例によれば、第1のワイヤリー
ル10と第2のワイヤリール11とを差動装置12の出
力側に連結し、この差動装置12の入力側に一つの駆動
モータ28の出力側を連結したために、動力伝達手段に
無段変速機を備えた従来のワイヤソー装置に比べて、伝
達効率が良好になり、また、慣性が小さくなって駆動力
は効率よく第1、第2のワイヤリール10、11に伝達
される。また、動力伝達系が短くなるために、駆動モー
タ28の制御が第1、第2のワイヤリール10、11の
駆動側に届くまでの時間を短縮することができる。さら
には、無段変速機を使用しないために機械的寿命が長く
なる。
【0035】また、第1のワイヤリール10及び第2の
ワイヤリール11に第1、第2のブレーキ機構25L、
25Rを設けたから、切替により一方のブレーキ機構2
5L(25R)を作動して直接に第1、第2のワイヤリ
ール10、11を制御することが可能になって、この制
御に応じた第1、第2のワイヤリール10、11の反応
が速くなり、ワイヤ8の張力及び走行速度の適正な制御
が可能になる。
【0036】(実施例2)本発明に係わるワイヤソー装
置の他の実施例を図4に示す。この実施例は、ワイヤ走
行駆動部3に、遊星歯車機構を用いた第1、第2の変速
機60、61と差動装置62を用いている。すなわち、
第1の変速機60は、第1の調整モータ64の出力軸6
5に固着された太陽ギヤ63と、外周に出力ギヤ65a
を形成した内歯ギヤ65と、アーム66に回転可能に軸
支されて前記太陽ギヤ63及び内歯ギヤ65に噛み合う
遊星ギヤ67とより構成してある。そして、第1の変速
機60と第1の調整モータ64とで伝達率制御手段を構
成している。
【0037】また、第2の変速機61は、第2の調整モ
ータ68の出力軸69に固着された太陽ギヤ70と、外
周に出力ギヤ71を形成した内歯ギヤ72と、アーム7
3に回転可能に軸支されて前記太陽ギヤ70及び内歯ギ
ヤ72に噛み合う遊星ギヤ74とより構成してある。
【0038】また、前記差動装置62は、入力軸75に
固着されたハウジング76の両端部に回転可能に支承さ
れたピニオンギヤ77、78と、一方の出力軸79に固
着されてピニオンギヤ77、78に噛み合う一方のサイ
ドギヤ80と、他方の出力軸81に固着されてピニオン
ギヤ77、78に噛み合う他方のサイドギヤ82とから
構成してある。
【0039】そして、第1の変速機60のアーム66
は、駆動モータ28の出力軸31に固着されており、第
1の変速機60の出力ギヤ65aは中間ギヤ83に噛み
合っている。この中間ギヤ83は第2の変速機61の入
力側部材であるアーム73に連結軸84を介して連結し
てある。また、この中間ギヤ83は、前記差動装置62
の入力軸75に固着された入力ギヤ85に噛み合ってい
る。
【0040】また、前記差動装置62の一方の出力軸7
9には第1のワイヤリール10が固着してあり、他方の
出力軸79には第2のワイヤリール11が固着してあ
る。また、他方の出力軸81にはギヤ86が固着してあ
り、このギヤ86は前記第2の変速機61の出力側ギヤ
71に噛み合っている。したがって、前記第2の変速機
61と第2の調整モータ68とで制動手段を構成してい
る。
【0041】また、この実施例は、図4(2)に示すよ
うに上記した実施例1と同様のワイヤ切断部1と、ワイ
ヤ切断部駆動機構27と、ダンサローラ機構15L,1
5Rとを備えている。この場合は、ワイヤ切断部1の3
個の加工ヘッドローラ5、6、7の内、下部の加工ヘッ
ドローラ7にはエンコーダー89が設けてある。また、
前記ダンサローラ機構15L、15Rは、ダンサローラ
22の側方に、このダンサローラ22の移動量を検出す
る検出部23を備えている。そして、制御部(図示せ
ず)により、第1の調整モータ64には前記検出部23
から信号イが入力されるようにしてあり、また、第2の
調整モータ68には制御部(図示せず)により前記エン
コーダー89から信号ロが入力されるようにしてある。
【0042】次に、上記のように構成されたワイヤソー
装置の作動を説明する。前記ワイヤ切断部1において
は、ワイヤ8からなる切断刃部9に、前記ワークフィー
ドユニット55に保持されたワークWが下降して接触す
る。
【0043】前記駆動モータ28の回転駆動により、こ
れの回転は第1の変速機60を介して中間ギヤ83に変
速伝達され、この中間ギヤ83から差動装置62に入力
される。この差動装置62においては、第1、第2のワ
イヤリール10、11に加わる負荷が同じ場合には、第
1、第2のワイヤリール10、11側に同じ回転力が出
力されて、第1、第2のワイヤリール10、11が回転
駆動される。この場合、第1のワイヤリール10がワイ
ヤ8を送りだし、第2のワイヤリール11がワイヤ8を
巻き取る。
【0044】また、前記駆動モータ28の回転は、前記
出力軸31に固着されたプーリ50、ベルト53、プー
リ52を介して前記ワイヤ切断部1の駆動側の加工ヘッ
ドローラ5の駆動軸51に伝えられる。
【0045】前記駆動モータ28の回転方向は、上記し
た実施例1と同様であり、前記ワイヤ8は直線方向に往
復走行し、その往復運動の過程でワークWに複数の平行
な切り込みを形成しいく。この切り込みが進行する過程
で、前記ワーク送りモータ54の駆動によりワークフィ
ードユニット55が少しずつ下降して走行状態のワイヤ
8に対してワークWを所定の力で押圧する。
【0046】切断時においては、ワイヤーリール10
(11)の回転数は時間の経過あるいはリール径の変化
に応じて、相反させて変化させなければならない。そこ
で、時間の経過あるいはリール径を前記エンコーダ89
で推測し、この推測値を制御部にフィードバック量とし
て与える。この制御部は第2の変速機61の第2の調整
モータ68を制御して、この変速機61の出力回転数を
制御し、この制御した回転を前記ギヤ86に与えて、ワ
イヤ速度の過不足に応じて第1(第2)のワイヤリール
10(11)の回転速度を加減する。
【0047】第2の変速機61が制御されて第1のワイ
ヤリール10の回転が遅くなると、前記差動装置62に
おいて、ハウジング76が回転することによりピニオン
ギヤ77、78が自転しながら公転するために、第2の
ワイヤリール11側のサイドギヤ82の回転速度が高く
なり、第1のワイヤリール10の回転よりも第2のワイ
ヤリール11の回転が速くなる。また、第2のワイヤリ
ール11の回転が遅くなると、第1のワイヤリール10
の回転が速くなる。
【0048】また、第1(第2)のワイヤリール10
(11)の外周でのワイヤ速度による過不足が生じる
と、この過不足量に対応して前記ダンサローラ22の位
置が変化する。検出部23はその位置を検出し、これを
制御部にフィードバック量として与える。この制御部は
第1の変速機60の第1の調整モータ64を制御して、
中間ギヤ83への出力伝達率を変化させて、前記差動装
置62を正常に作動させる。
【0049】前記第1、第2の変速機60、61として
は、図5に示す遊星歯車機構や、図6に示す遊星歯車機
構を用いてもよい。図5に示す遊星歯車機構は固定軸心
Xの回りを回転するアーム100は遊星ギヤ101の回
りの回り対偶によって連結されている。遊星ギヤ101
は、太陽ギヤ102には外噛み合い、内歯ギヤ103に
は内噛み合いをする。
【0050】そして、第1の変速機60として使用する
場合には、前記アーム100を駆動モータ28の出力軸
31に連結し、内歯ギヤ103に前記出力側ギヤ65a
を設け、太陽ギヤ102を第1の調整モータ64で駆動
するようにする。また、第2の変速機61として使用す
る場合には、前記アーム100を連結軸84に連結し、
内歯ギヤ103に前記出力側ギヤ71を設け、太陽ギヤ
102を第2の調整モータ68で駆動するようにする。
【0051】また、図6に示す遊星歯車機構は、固定軸
心Yの回りを回転するアーム114は回り対偶によっ
て、互いに固定された遊星ギヤ112、113に連結さ
れている。遊星ギヤ112は、固定軸心Yの回りを回転
する太陽ギヤ111に外噛み合いをし、遊星ギヤ113
は内歯ギヤ115に内噛み合いをしている。アーム11
4が回転すると、遊星ギヤ113は内歯ギヤ115の回
りを転動し、ギヤ太陽111を固定軸心Y回りを回転さ
せる。
【0052】そして、第1の変速機60として使用する
場合には、前記アーム114を駆動モータ28の出力軸
31に連結し、内歯ギヤ115に前記出力側ギヤ65a
を設け、太陽ギヤ111を第1の調整モータ64で駆動
するようにする。また、第2の変速機61として使用す
る場合には、前記アーム1114を連結軸84に連結
し、内歯ギヤ115に前記出力側ギヤ71を設け、太陽
ギヤ111を第2の調整モータ68で駆動するようにす
る。
【0053】上記の実施例にあっては、第1のワイヤリ
ール10と第2のワイヤリール11とを差動装置62の
出力側に連結し、この差動装置62の入力側に一つの駆
動モータ28の出力側を連係したために、動力伝達手段
に無段変速機を備えた従来のワイヤソー装置に比べて、
伝達効率が良好になり、また、慣性が小さくなって駆動
力は効率よく第1、第2のワイヤリール10、11に伝
達される。また、動力伝達系が短くなるために、駆動モ
ータ28の制御が第1、第2のワイヤリール10、11
の駆動側に届くまでの時間を短縮することができる。さ
らには、無段変速機を使用しないために機械的寿命が長
くなる。
【0054】また、第1のワイヤリール10に制動手段
となる第2の変速機61とこの第2の変速機61の出力
を変速回転する第2の調整モータ68を設けたから、こ
の制動手段により直接に第1、第2のワイヤリール10
を制御することが可能になって、この制御に応じた第
1、第2のワイヤリール10の反応が速くなり、ワイヤ
8の張力及び走行速度の適正な制御が可能になる。
【0055】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明に係わるワ
イヤソー装置にあっては、一方のワイヤリールと他方の
ワイヤリールとを差動装置の出力側に連結し、この差動
装置の入力側に一つの駆動モータの出力側を連係したた
めに、動力伝達手段に無段変速機を備えた従来のワイヤ
ソー装置に比べて、伝達効率が良好になり、また、慣性
が小さくなって駆動力は効率よくワイヤリールに伝達さ
れる。また、動力伝達系が短くなるために、駆動モータ
の制御がワイヤリールの駆動軸に届くまでの時間を短縮
することができる。さらには、無段変速機を使用しない
ために機械的寿命が長くなる。
【0056】また、一方のワイヤリール及び他方のワイ
ヤリールの少なくとも一つにワイヤリールを制動する制
動手段を設けたから、この制動手段により直接にワイヤ
リールを制御することが可能になって、この制御に応じ
たワイヤリールの反応が速くなり、ワイヤの張力及び走
行速度の適正な制御が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係わるワイヤソー装置の一実施例の概
略的な構成説明図である。
【図2】駆動モータの回転制御のパターン図である。
【図3】ワイヤの移動状態の説明図である。
【図4】(1)は本発明に係わるワイヤソー装置の他実
施例における駆動装置の概略的な構成説明図である。
(2)は本発明に係わるワイヤソー装置の他実施例にお
けるワイヤ走行系の概略的な構成説明図である。
【図5】遊星歯車変速機の構成説明図である。
【図6】遊星歯車変速機の他の構成説明図である。
【符号の説明】
5、6、7 加工ヘッドローラ 8 ワイヤ 10 第1のワイヤリール(一方のワイヤリール) 11 第2のワイヤリール(他方のワイヤリール) 25L 第1のブレーキ機構(制動手段) 25R 第2のブレーキ機構(制動手段) 26 第1の差動装置(他方の差動装置) 28 駆動モータ 29 第2の差動装置(一方の差動装置)

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の加工ヘッドローラにワイヤを所定
    のピッチで巻き付けて、このワイヤの一方の端末側を一
    方のワイヤリールに、前記ワイヤの他方の端末側を他方
    のワイヤリールにそれぞれ捲回し、前記ワイヤに所定の
    張力を与えつつ高速走行させてワークの切断を行うワイ
    ヤソー装置において、一方のワイヤリールと他方のワイ
    ヤリールとを差動装置の出力側に連結し、この差動装置
    の入力側に一つの駆動モータの出力側を連係し、一方の
    ワイヤリール及び他方のワイヤリールの少なくとも一つ
    にワイヤリールを制動する制動手段を設けたことを特徴
    とするワイヤソー装置。
  2. 【請求項2】 複数の加工ヘッドローラにワイヤを所定
    のピッチで巻き付けてワイヤ切断部を構成し、前記ワイ
    ヤの一方の端末側を一方のワイヤリールに、前記ワイヤ
    の他方の端末側を他方のワイヤリールにそれぞれ捲回
    し、前記ワイヤに所定の張力を与えつつ高速走行させて
    ワークの切断を行うワイヤソー装置において、一方のワ
    イヤリールと他方のワイヤリールとを差動装置の出力側
    に連結し、この差動装置の入力側と前記ワイヤ切断部と
    を一つの駆動モータの出力側に連係し、一方のワイヤリ
    ール及び他方のワイヤリールの少なくとも一つにワイヤ
    リールを制動する制動手段を設けたことを特徴とするワ
    イヤソー装置。
  3. 【請求項3】 前記作動装置が連結軸に固着された第一
    の傘歯車と、この第一の傘歯車に噛み合って、他方の出
    力軸に回転可能に保持された第二の傘歯車と、この第二
    の傘歯車に固着されたハウジングと、このハウジングに
    回転可能に軸支された第三の傘歯車と、一方の出力軸に
    固着されて第三の傘歯車に噛み合う第四の傘歯車と、他
    方の出力軸に固着されて第三の傘歯車に噛み合う第五の
    傘歯車とからなる請求項1または請求項2に記載したワ
    イヤソー装置。
  4. 【請求項4】 一方のワイヤリール及び他方のワイヤリ
    ールの双方に、これらのワイヤリールを制動する制動手
    段を設けて、少なくとも一方の制動手段を作動するよう
    にした請求項1〜請求項3の何れか一に記載したワイヤ
    ソー装置。
  5. 【請求項5】 一方のワイヤリール及び他方のワイヤリ
    ールの内、巻取側のワイヤリールに、このワイヤリール
    を制動する制動手段を設けた請求項1〜請求項3の何れ
    か一に記載したワイヤソー装置。
  6. 【請求項6】 前記制動手段を、前記ワイヤリールの巻
    き外径の変化に応じて制御するようにした請求項1〜請
    求項3の何れか一に記載したワイヤソー装置ワイヤソー
    装置。
  7. 【請求項7】 前記制動手段を、前記ワイヤの張力を検
    出するダンサローラ機構からの信号に応じて制御するよ
    うにした請求項1〜請求項3の何れか一に記載したワイ
    ヤソー装置。
  8. 【請求項8】 ワイヤリールを制動する制動手段を、変
    速機と、この変速機の変速調整を行う調整モータとで構
    成した請求項1〜請求項3の何れか一に記載したワイヤ
    ソー装置。
  9. 【請求項9】 前記差動装置の入力側への回転の伝達率
    を制御する伝達率制御手段を備えた請求項1〜請求項3
    の何れか一に記載したワイヤソー装置。
  10. 【請求項10】 前記伝達率制御手段を、前記ワイヤリ
    ールの巻き外径の変化に応じて制御するようにした請求
    項9記載のワイヤソー装置。
  11. 【請求項11】 前記伝達率制御手段を、前記ワイヤの
    張力を検出するダンサローラ機構からの信号に応じて制
    御するようにした請求項9記載のワイヤソー装置。
  12. 【請求項12】 前記伝達率制御手段を、他の差動装置
    と、この差動装置の出力を制動する他の制動手段で構成
    した請求項9記載のワイヤソー装置。
  13. 【請求項13】 前記伝達率制御手段を、変速機と、こ
    の変速機の変速調整を行う調整モータとで構成した請求
    項9のワイヤソー装置。
  14. 【請求項14】 ワイヤリールを制動する制動手段を、
    変速機と、この変速機の変速調整を行う調整モータとで
    構成し、前記差動装置の入力側への回転の伝達率を制御
    するで伝達率制御手段を、変速機と、この変速機の変速
    調整を行う調整モータとで構成した請求項9記載のワイ
    ヤソー装置。
  15. 【請求項15】 他の制動手段を、前記ワイヤリールの
    巻き外径の変化に応じて制御するようにした請求項12
    記載のワイヤソー装置。
  16. 【請求項16】 他の制動手段を、前記ワイヤの張力を
    検出するダンサローラ機構からの信号に応じて制御する
    ようにした請求項12記載のワイヤソー装置。
JP6410694A 1994-03-31 1994-03-31 ワイヤソー装置 Pending JPH07276217A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104816352A (zh) * 2014-10-22 2015-08-05 东莞市益松数控科技有限公司 圆模刀模板数控加工设备及数控加工方法

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