JP2619251B2 - ワイヤーソー装置 - Google Patents

ワイヤーソー装置

Info

Publication number
JP2619251B2
JP2619251B2 JP63001346A JP134688A JP2619251B2 JP 2619251 B2 JP2619251 B2 JP 2619251B2 JP 63001346 A JP63001346 A JP 63001346A JP 134688 A JP134688 A JP 134688A JP 2619251 B2 JP2619251 B2 JP 2619251B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
wire
reel
roller
main
take
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP63001346A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH01177958A (ja
Inventor
則行 竹内
尚義 小見
Original Assignee
株式会社日平トヤマ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=11498931&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=JP2619251(B2) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 株式会社日平トヤマ filed Critical 株式会社日平トヤマ
Priority to JP63001346A priority Critical patent/JP2619251B2/ja
Publication of JPH01177958A publication Critical patent/JPH01177958A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2619251B2 publication Critical patent/JP2619251B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades

Description

【発明の詳細な説明】 発明の技術分野 本発明は、ワイヤーソー装置に関し、特に切断用のワ
イヤーの張力制御手段に係る。
従来技術 従来のこの種のワイヤーソー装置は、例えば実公昭55
−5280号の公報に示されているように、ワイヤーの往復
送り運動の発生手段として、シーソー機構を採用してい
る。シーソー機構が切断動作中に揺動運動を繰り返す
と、ワイヤーに巻掛け張力以外に往復運動のための張力
が周期的に加えられるため、切断位置でのワイヤーの張
力は、大きな範囲で変動する。このため、その張力制御
が困難であり、またワイヤーが断線し易くなる。
発明の目的 したがって、本発明の目的は、メインローラの往復送
り運動の回転のほか、新線リールおよび巻取りリールの
回転をそれぞれ独立に往復回転制御し、それらの往復送
り運動や回転制御を簡略化することである。
さらに、本発明の他の目的は、切断用のワイヤーの走
行過程で、そのワイヤーに適切な張力を外部から簡単に
設定できるようにすることである。
発明の解決手段 上記目的のもとに、本発明は、複数のメインローラの
往復送り運動をメインモータによって与えるとともに、
新線リール、および巻取りリールをそれぞれのモータに
よって独立に駆動するようにしている。
また、本発明は、切断用のワイヤーの新線リール側お
よび巻取りリール側にダンサーローラを変位自在に設
け、この変位をフィードバック量として新線リール用の
モータおよび巻取りリール用のモータの回転を制御する
とともに、その各ダンサーローラにそれぞれテンション
発生機構を付設することにより、メインローラに対し巻
掛け状態のワイヤーに常に一定の張力を作用させるよう
にしている。
発明の構成 第1図は、本発明のワイヤーソー装置1を切断用のワ
イヤー2の経路との関連で示している。ワイヤー2は、
新線リール3から供給され、案内ローラ4を経て、例え
ば3つの溝付のメインローラ6、7、8に所定のピッチ
で多重に巻掛けられた後、案内ローラ9を経て巻取りリ
ール12に巻取られる。そして、このワイヤー2は、メイ
ンローラ6、7の間で、加工物13に所定の荷重のもとに
押し当てられ、往復送り運動を繰り返す過程で、その加
工物13を切断していく。なお、加工物13は、加工送り機
構10上の加工台11に固定されている。
そして、新線リール3および巻取りリール12は、それ
ぞれ新線リール用のモータ14、および巻取りリール用の
モータ16によってそれぞれ往復駆動される。また、複数
のメインローラ6、7、8のうち駆動例のものは、メイ
ンモータ15に連結されており、往復送り運動の回転を受
ける。
さらに、ワイヤー2は、新線リール3と案内ローラ4
との間、および案内ローラ9と巻取りリール12との間
で、ダンサーローラ17、18を上下方向に変位自在に支持
している。これらのダンサーローラ17、18は、それぞれ
接触式または非接触式の変位センサー19、20に連結され
ており、さらにテンション発生機構21、22に連結されて
いる。これらのテンション発生機構21、22は、定トルク
発生器例えばトルクモータによって構成されており、ダ
ンサーローラ17、18の変位にかかわらず、常に一定のト
ルクを発生し、それぞれのダンサーローラ17、18に常時
一定の力を作用させることにより、メインローラ6、
7、8の上流側および下流側の部分で、ワイヤー2に目
標の張力を与えている。
次に、第2図は、モータ制御回路23、24、25の接続状
態を示している。これらのモータ制御回路23、24、25
は、それぞれ新線リール用のモータ14、メインモータ1
5、巻取りリール用のモータ16に接続されており、この
うち2つのモータ制御回路23、25は、フィードバック制
御のために、上記変位センサー19、20に接続されてい
る。
発明の作用 例えば半導体などの加工物13は、切断方向とワイヤー
2の方向とを一致させた状態でメインローラ6、7の間
の加工台11の上に固定される。なお、この加工台11は、
切断の進行とともに、加工送り機構10によって加工物13
を順次上昇させていく。
この状態で、モータ制御回路24は、駆動側のメインロ
ーラ6に正逆転方向の回転を周期的に与えることによ
り、ワイヤーに往復送り運動を与える。すなわち、メイ
ンモータ15の回転方向は、第3図に示すように、一定の
時間の間、正転方向に回転し、それに続く短い一定の時
間で反転し、逆転方向に回転することによって、1サイ
クルを完了し、これを繰り返していく。この結果、ワイ
ヤー2は、往復送り運動を繰り返しながら、新線リール
3側から巻取りリール12の方向に移動していく。そし
て、一対のメインローラ6、7の間で、ワイヤー2は、
加工物13に押し当てられ、それを切断していく。なお、
この切断に際し、切断位置に研粒が供給されている。
この切削時に、新線リール3の外周でのワイヤー速度
に過不足が生じると、この過不足量に対応してダンサー
ローラ17の位置が変化する。変位センサー19は、その位
置を検出し、これをモータ制御回路23にフィードバック
量として与えることにより、ワイヤー速度の過不足に応
じて、モータ14の回転速度を加減する。同様に、巻取り
リール12の外周でのワイヤー速度に過不足が生じてくる
と、ダンサーローラ18の位置が変化する。変位センサー
20は、それを検出して、モータ制御回路25にその量をフ
ィードバック量として与え、巻取りリール用のモータ16
の回転速度を加減する。このように、ワイヤー2の往復
送り運動過程で、新線リール用のモータ14および巻取り
リール用のモータ16は、それぞれメインモータ15の正逆
転方向の回転に追従してワイヤー2を順次移動させてい
る。
一方、ワイヤー2の張力は、供給側および巻取り側で
テンション発生機構21、22によって付与されている。し
たがって、少なくともワイヤー2の張力は、往復送り運
動にもかかわらず、往動および往復時、また方向変換
時、ダンサーローラ17、18が上下方向に移動しても、テ
ンション発生機構21、22は、その変位量にほとんど関係
なく、常に一定の力をダンサーローラ17、18に付与して
いるため、ワイヤー2の張力は、正しく目標の値に維持
される。もちろん、この張力の目標値は、テンション発
生機構21、22を調節することによって、適当な値に設定
できる。なお、このとき、モータ制御回路24は、滑らか
な往復送り運動を実現するために、滑らかな速度制御例
えばサインカーブまたはサイクロイド曲線などの特性を
利用して送り運動の制御を行っていく。
このように、ダンサーローラ17、18は、その位置を変
えることにより、ワイヤー2の速度をメインローラ6、
7、8の部分でのワイヤー速度と新線リール3の部分で
の外周および巻取りリール12の部分での外周のワイヤー
速度とを等しくする方向に機能し、同時に、その力学的
特性により、ワイヤー2に目標のテンションを発生させ
る機能を営む。
発明の効果 本発明では、新線リール、メインローラおよび巻取り
リールがそれぞれ専用のモータによって独立に制御され
るため、ワイヤーの速度、往復サイクル数、さらにワイ
ヤー(新線)供給量などがそれぞれ独立に、かつ任意に
設定できる。
またメインローラ自体の往復回転運動によって、ワイ
ヤーに往復送り運動が与えられるため、従来のようなシ
ーソー機構による往復運動の発生機構に比較して、構造
が簡単であり、またワイヤーに異常な張力が発生せず、
ワイヤーの断線などが未然に防止できる。
さらに、このダンサーローラの部分にテンション発生
機構がそれぞれ設けられているため、ダンサーローラの
変位にかかわらず、ワイヤーに常に目標の張力が与えら
れ、これによって安定な切断が可能となる。
特に、ワークの切断に必要なワイヤの張力は、常時、
定トルク発生器例えばトルクモータによりダンサーロー
ラを介して一定に維持される。さらにワイヤの走行速度
は、メインローラとワイヤリール間に設けられたダンサ
ーローラの変位によりリールの回転を制御し一定値に維
持することが可能となる。
また、ワイヤ送り機構の構成は、シンプルになると共
に、ワイヤ張力と走行速度を共に一定に制御することが
可能となる顕著な効果がある。
さらに、メインローラの回転数とリール(外径)回転
数は、ワイヤの走行速度を等しくすることにより関係づ
けられ、ワイヤの頻繁な正逆運転や自動プログラム運転
等の自動化が可能となる顕著な効果がある。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のワイヤーソー装置の概略的な斜面図、
第2図はモータ制御回路の結線図、第3図はワイヤーの
往復送り運動の説明図である。 1……ワイヤーソー装置、2……ワイヤー、3……新線
リール、6、7、8……メインローラ、12……巻取りリ
ール、13……加工物、14……新線リール用のモータ、15
……メインモータ、16……巻取りリール用のモータ、1
7、18……ダンサーローラ、19、20……変位センサー、2
1、22……テンション発生機構、23、24、25……モータ
制御回路。

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】新線リールから切断用のワイヤーを供給
    し、このワイヤーを複数のメインローラに巻掛け、さら
    にこのワイヤーを巻取りリールにより巻取る過程で、一
    定時間の正方向とそれに続く短い一定時間の逆方向への
    ワイヤーの走行を繰り返しながら、上記メインローラの
    間で加工物をワイヤーに押し当てて切断するワイヤーソ
    ー装置において、 上記新線リールを回転駆動するモータ、上記メインロー
    ラを回転駆動するメインモータ、および上記巻取りリー
    ルを回転駆動するモータと、これらのモータをそれぞれ
    独立して制御する各モータ制御回路を設け、新線リール
    とメインローラ間およびメインローラと巻取りローラ間
    で案内ローラを介して張設されたワイヤーの走行路中
    に、それぞれ1個のダンサーローラを変位自在に設け、
    このダンサーローラを定トルク発生器に連結し、この定
    トルク発生器によりダンサーローラを介してワイヤーに
    対して一定の張力を作用させるとともに、 新線リールとメインローラ間のダンサーローラの変位量
    を新線リールのモータ制御回路へのフィードバック信号
    とし、メインローラと巻取りリール間のダンサーローラ
    の変位量を巻取りリールのモータ制御回路へのフィード
    バック信号として、メインローラ部でのワイヤーの走行
    速度と、新線リール部外周および巻取りリール部外周で
    のワイヤーの走行速度とを等しくするように上記各モー
    タをそれぞれ制御することを特徴とするワイヤーソー装
    置。
  2. 【請求項2】定トルク発生器はトルクモータからなるこ
    とを特徴とする請求項1記載のワイヤーソー装置。
JP63001346A 1988-01-08 1988-01-08 ワイヤーソー装置 Expired - Lifetime JP2619251B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63001346A JP2619251B2 (ja) 1988-01-08 1988-01-08 ワイヤーソー装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP63001346A JP2619251B2 (ja) 1988-01-08 1988-01-08 ワイヤーソー装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH01177958A JPH01177958A (ja) 1989-07-14
JP2619251B2 true JP2619251B2 (ja) 1997-06-11

Family

ID=11498931

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP63001346A Expired - Lifetime JP2619251B2 (ja) 1988-01-08 1988-01-08 ワイヤーソー装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2619251B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101301734B (zh) * 2008-06-25 2010-12-08 周文敏 微机控制多线切割机

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1052816A (ja) * 1996-08-13 1998-02-24 M Ii M C Kk ワイヤ式切断方法
JP4049900B2 (ja) 1998-08-20 2008-02-20 株式会社スーパーシリコン研究所 ワイヤソー切断装置
JP5841742B2 (ja) * 2011-05-12 2016-01-13 トーヨーエイテック株式会社 ワイヤソー装置及び切断加工方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS52106185A (en) * 1976-03-03 1977-09-06 Citizen Watch Co Ltd Wire cutting machine
JPS5446090U (ja) * 1977-09-07 1979-03-30
JPS5560941U (ja) * 1978-10-18 1980-04-25
JPS5592650U (ja) * 1978-12-22 1980-06-26
JPS58106339U (ja) * 1982-01-14 1983-07-20 東洋電機製造株式会社 定張力巻取制御装置
JPS58144061A (ja) * 1982-02-19 1983-08-27 Hitachi Koki Co Ltd テンシヨン付与方法
JPS59102765A (ja) * 1982-11-30 1984-06-13 Toho Kinzoku Kk 線材巻取装置
JPS6082621A (ja) * 1983-10-13 1985-05-10 Nippon Steel Corp 連続処理設備のストリツプ張力制御方法
JPH0683953B2 (ja) * 1984-10-22 1994-10-26 住友金属工業株式会社 ワイヤ式多条切断装置
JPS61100361A (ja) * 1984-10-22 1986-05-19 Sumitomo Metal Ind Ltd ワイヤ式切断装置
JPS61117060A (ja) * 1984-11-08 1986-06-04 Sumitomo Metal Ind Ltd ワイヤ式切断加工方法
JPS6362655A (ja) * 1986-09-03 1988-03-18 Yasunaga Tekkosho:Kk ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−張力制御装置
JPH0426978A (ja) * 1990-05-21 1992-01-30 Seiko Epson Corp コンパクトディスク

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101301734B (zh) * 2008-06-25 2010-12-08 周文敏 微机控制多线切割机

Also Published As

Publication number Publication date
JPH01177958A (ja) 1989-07-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US2869316A (en) Twisted conductors and cables and method and apparatus for making the same
US3413834A (en) Strand working and spooling apparatus and method
US4197154A (en) Apparatus for applying strip material to a backing web
JP2619251B2 (ja) ワイヤーソー装置
US3047247A (en) Apparatus for producing wound bobbins with controlled thread tension
KR970020917A (ko) 연속공급사의 권취기
JP3566753B2 (ja) テンション装置
JPH09300018A (ja) 連続条トラバース巻取システム
JPH0624689B2 (ja) ワイヤ−ソ−におけるワイヤ−駆動並びに制御装置
JP2617714B2 (ja) ワイヤソー装置の駆動モータ制御方法
JPS6288779A (ja) テ−プ又は線状体の巻取方法
US20040021435A1 (en) DC brushless motor control apparatus
JPH11165229A (ja) 工作機械
JPS63260757A (ja) ワイヤソ−装置
JP2745459B2 (ja) ワイヤソー装置
US2956102A (en) Twisted conductors and cables
JP4456714B2 (ja) ワイヤソーを用いた切断方法
JPH05343249A (ja) コイル製造装置
JPS5942923B2 (ja) 導線送り装置
JP2951538B2 (ja) 間欠送り整列巻線機
JP3074006B2 (ja) ワイヤーソー装置
SU1604615A1 (ru) Устройство дл резани древесины проволокой
JP2000108011A (ja) ワイヤソーにおけるワイヤ駆動制御方法及び装置
JPS62157753A (ja) 作業点のxy方向移動制御装置
JPH09300199A (ja) ワイヤーソー装置