JPS61100361A - ワイヤ式切断装置 - Google Patents
ワイヤ式切断装置Info
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- JPS61100361A JPS61100361A JP22187284A JP22187284A JPS61100361A JP S61100361 A JPS61100361 A JP S61100361A JP 22187284 A JP22187284 A JP 22187284A JP 22187284 A JP22187284 A JP 22187284A JP S61100361 A JPS61100361 A JP S61100361A
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- tension
- cutting
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
- B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、高硬度脆性材料例えば半導体材料磁性材料、
セラミックス等をワイヤにて切ｔ′ｆｔ（切込みを含む
）するワイヤ式切断装置に関する。
セラミックス等をワイヤにて切ｔ′ｆｔ（切込みを含む
）するワイヤ式切断装置に関する。
従来の技術及び解決しようとする問題点従来１例えば半
導体電子材料のインボッ）１−ウニバー状に切断する手
段の一つとしてワイヤ全利用するワイヤ式切断機がある
。このＩ７Ｉ断機は３個もしくはそれゑ上のローラＣζ
ワイヤを多数回所定間隔に存して巻きつけ、これに被切
断品材を押しつけ、砥粒全台む切削液を注ぎつ＼往復移
行せしめ、いわゆるラッピング作用にて切断する方法が
採られている（例えば特公昭５２−１２９！ｉ４号）。
導体電子材料のインボッ）１−ウニバー状に切断する手
段の一つとしてワイヤ全利用するワイヤ式切断機がある
。このＩ７Ｉ断機は３個もしくはそれゑ上のローラＣζ
ワイヤを多数回所定間隔に存して巻きつけ、これに被切
断品材を押しつけ、砥粒全台む切削液を注ぎつ＼往復移
行せしめ、いわゆるラッピング作用にて切断する方法が
採られている（例えば特公昭５２−１２９！ｉ４号）。
しかしこの方式によるときは切削速度が途えず変化し、
往復行両端においてはｅＵ削速度がＯとなる。またワイ
ヤの引張り力は往復の都度引張り方向が変るため変動し
、切断面にはいわゆるソーマーり全生じ易く、か割 つ切断面両佃には「だれ」を生ずる等の問題がある。
往復行両端においてはｅＵ削速度がＯとなる。またワイ
ヤの引張り力は往復の都度引張り方向が変るため変動し
、切断面にはいわゆるソーマーり全生じ易く、か割 つ切断面両佃には「だれ」を生ずる等の問題がある。
本発明はかかる点に濫み、切断能率の向上と共に切断条
件全霊に一定ならしめることにより平滑な切断面？得る
ワイヤ式切断装置全提供することを目的とする。
件全霊に一定ならしめることにより平滑な切断面？得る
ワイヤ式切断装置全提供することを目的とする。
問題点を解決するための手段
９１１１１図はこの発明の基本概念を示す。ワイヤ式切
断装置ｌは、切断用ワイヤ８に巻回する供給リール８と
巻取り−ル４並びに被切断部材Ｗｌζワイヤ２を対向し
て張設する張設機構６とを備える。張設機構器は＠１図
に示す如く複数個例えば４個の溝ローラｇａ、ａｂ、６
ｃ０ｇｄ を上下左右にそれぞれ平行に配備し、ワイ
ヤｚを各溝ローラ６ａ、ｇｂ、ｇｃ、ａｄ（７）溝ｙａ
、ｙｂ、ｗｅ。
断装置ｌは、切断用ワイヤ８に巻回する供給リール８と
巻取り−ル４並びに被切断部材Ｗｌζワイヤ２を対向し
て張設する張設機構６とを備える。張設機構器は＠１図
に示す如く複数個例えば４個の溝ローラｇａ、ａｂ、６
ｃ０ｇｄ を上下左右にそれぞれ平行に配備し、ワイ
ヤｚを各溝ローラ６ａ、ｇｂ、ｇｃ、ａｄ（７）溝ｙａ
、ｙｂ、ｗｅ。
７ｄに巻きつけ、ワイヤ！全被切断部材Ｗに対し所定間
隔全存して多数手行に張設し、溝ローラｇａには駆動モ
ータ８が連結されている。
隔全存して多数手行に張設し、溝ローラｇａには駆動モ
ータ８が連結されている。
そして上記供給リール８及び巻取り−ル４にはそれぞれ
駆動モータ１０．ｌｌｉ備え、ワイヤ！を矢符Ａ方向ま
たは反対方向に高速にて走行せしめ、常に所要の０］断
速度ヲ存せしめる。更に本発明は張設機構６の少（とも
入口側好ましくは両側にキャプスタン１２．１ ｇ全配
し、張設機ｅｌｌｓと、供給リール３よりの繰出し部１
４と１巻取り−ル４に対する巻取部１５のそれぞれには
、ワ什１ｔ−所要張力に保持せしめる張力保持手段１１
Ｓ、１７．ＩＩｌ、１９Ｗ？設けてなるものである。
駆動モータ１０．ｌｌｉ備え、ワイヤ！を矢符Ａ方向ま
たは反対方向に高速にて走行せしめ、常に所要の０］断
速度ヲ存せしめる。更に本発明は張設機構６の少（とも
入口側好ましくは両側にキャプスタン１２．１ ｇ全配
し、張設機ｅｌｌｓと、供給リール３よりの繰出し部１
４と１巻取り−ル４に対する巻取部１５のそれぞれには
、ワ什１ｔ−所要張力に保持せしめる張力保持手段１１
Ｓ、１７．ＩＩｌ、１９Ｗ？設けてなるものである。
但しワイヤ！を矢符入方向に走行するときは、張設機構
６の出口側に設けられる張力保持手段１丁は省略しても
よし１゜ 上記張力保持手段１６〜１９としては、例えばダンサロ
ール全利用し、このダンサクールの荷重によりワイヤ２
に所要張力を付与すると共に、キャプスタン１２．ＩＩ
Ｉにより張力付与８分２区分するもので、張力保持手段
１６は張設機構６の入口側とキャプスタン１〜２との間
５ζ配備されるダンサロール！Ｏと、このダンサロール
２Ｇの昇降を検出するポテンショメータ等の昇降位置検
出器２１及びこの検出器２１の出力信号により回転速度
が制御されるキャプスタン駆動モータＺＸとよりなる。
６の出口側に設けられる張力保持手段１丁は省略しても
よし１゜ 上記張力保持手段１６〜１９としては、例えばダンサロ
ール全利用し、このダンサクールの荷重によりワイヤ２
に所要張力を付与すると共に、キャプスタン１２．ＩＩ
Ｉにより張力付与８分２区分するもので、張力保持手段
１６は張設機構６の入口側とキャプスタン１〜２との間
５ζ配備されるダンサロール！Ｏと、このダンサロール
２Ｇの昇降を検出するポテンショメータ等の昇降位置検
出器２１及びこの検出器２１の出力信号により回転速度
が制御されるキャプスタン駆動モータＺＸとよりなる。
同様に張力保持手段ｔｙは張設機構６の出口側に設ゆら
れるダンサロール！富と、その昇降位置検出器２４及び
キャプスタン駆動モータ２５とよりなる。また張力保持
手段１８は繰出部１４に設けられるダンサロール２６と
、その昇降位置検出器２丁及び供給リール駆動モータ１
Ｇとよりなる。更に張力保持手段１９は巻取部ＩＭに設
けられるダンサロール２８と、その昇降位置検出器２９
及び巻取リール駆動モータ１１とよりなる。
れるダンサロール！富と、その昇降位置検出器２４及び
キャプスタン駆動モータ２５とよりなる。また張力保持
手段１８は繰出部１４に設けられるダンサロール２６と
、その昇降位置検出器２丁及び供給リール駆動モータ１
Ｇとよりなる。更に張力保持手段１９は巻取部ＩＭに設
けられるダンサロール２８と、その昇降位置検出器２９
及び巻取リール駆動モータ１１とよりなる。
作用
張設機構５におけるワイヤ２の張力は張力保持手段１６
におけるダンサロール２０に加エラれる荷重により決定
され、ダンサロール２０はろ 張設機構６によ旬ワイヤ牽引速度とキャプスタン１２上
りの繰出し速度との差により昇降され。
におけるダンサロール２０に加エラれる荷重により決定
され、ダンサロール２０はろ 張設機構６によ旬ワイヤ牽引速度とキャプスタン１２上
りの繰出し速度との差により昇降され。
その位置は昇降位置検出器＝１により検知され、ダンサ
ロール２０’ｉ−所定位買に保持すべくキャプスタン駆
動モータ２Ｓの回動速度を選択せしめる。他の操出部１
４＋（おける張力保持手段１８、巻取部ｌ！Ｉにおける
張力保持手段１９も同様である。
ロール２０’ｉ−所定位買に保持すべくキャプスタン駆
動モータ２Ｓの回動速度を選択せしめる。他の操出部１
４＋（おける張力保持手段１８、巻取部ｌ！Ｉにおける
張力保持手段１９も同様である。
これにより繰出部１４は、ワイヤ２を弛まない程度の弱
張力全保持せしめ、張設機構５番ζおいては上記張力と
異なる切断に適する高張力を維持せしめ、巻取Ｋｘｓは
巻取リール４に対しワイヤｘ２弛むことなく確実Ｃζ巻
きつけるための弱張力全保持せしめ、しかもワイヤ２全
高速にて走行させる。
張力全保持せしめ、張設機構５番ζおいては上記張力と
異なる切断に適する高張力を維持せしめ、巻取Ｋｘｓは
巻取リール４に対しワイヤｘ２弛むことなく確実Ｃζ巻
きつけるための弱張力全保持せしめ、しかもワイヤ２全
高速にて走行させる。
尚、ワイヤ２ば巻取リール４に巻取られ、供給リール８
のワイヤが空となったときは、新規の供給１１−ルと取
替えてもよいが、ワイヤ２を反転して逆方向に走行させ
ることが好ましい。
のワイヤが空となったときは、新規の供給１１−ルと取
替えてもよいが、ワイヤ２を反転して逆方向に走行させ
ることが好ましい。
即ち張設置構匹及び供給リール８並びに巻取り−ル４の
それぞれの駆動モータ８．ｔｏ、１１全逆回転し、ワイ
ヤ！全巻取リール４から繰出し張設Ｑ構Ｓを介して供給
リール８に巻取ると共に、ワイヤ２に所要の速度を存せ
しめて切断作業全行う。これによりワイヤ２の取替えの
手数を省き、切断能率の向上を計ることができる。
それぞれの駆動モータ８．ｔｏ、１１全逆回転し、ワイ
ヤ！全巻取リール４から繰出し張設Ｑ構Ｓを介して供給
リール８に巻取ると共に、ワイヤ２に所要の速度を存せ
しめて切断作業全行う。これによりワイヤ２の取替えの
手数を省き、切断能率の向上を計ることができる。
尚この場合Ｉどは張力保持手段１７１ζより張設機構５
のワイヤ２に対し所要の張力を付与せしめる。
のワイヤ２に対し所要の張力を付与せしめる。
実施例
第３図乃至第６図は本発明の実施例を示す。
ワイヤ式切断装Ｗｌｌはフレームｉｏの一側に供給リー
ル３ｔ−１他側には巻取リール４をそれぞれ収付け、中
央上部には被切断部材Ｗｔ支持する取＃部材８５並びに
張設機構ｌ５Ｔｔ備える。取付部け３６は被切断部材Ｗ
？支持し張設機構５に張設されたワイヤ２に対し所要切
断圧ｔ−維持しつ一彼の断部材Ｗｔ−押し上げるように
したもので、被ｇＪ断部材Ｗ全支持する受台８６と、こ
の受台ｓｇｔ−支承し内邦フレーム３１に役けられるが
イド部８−に沿って昇降する取付台ｓ丁及びこの取付台
８７を昇降せしめる昇降手段４０とを備える。ａ８は取
付台ｓ７の両側に取付けられがイド部３２のスライド溝
に嵌合する嵌合詔を備える角柱である。
ル３ｔ−１他側には巻取リール４をそれぞれ収付け、中
央上部には被切断部材Ｗｔ支持する取＃部材８５並びに
張設機構ｌ５Ｔｔ備える。取付部け３６は被切断部材Ｗ
？支持し張設機構５に張設されたワイヤ２に対し所要切
断圧ｔ−維持しつ一彼の断部材Ｗｔ−押し上げるように
したもので、被ｇＪ断部材Ｗ全支持する受台８６と、こ
の受台ｓｇｔ−支承し内邦フレーム３１に役けられるが
イド部８−に沿って昇降する取付台ｓ丁及びこの取付台
８７を昇降せしめる昇降手段４０とを備える。ａ８は取
付台ｓ７の両側に取付けられがイド部３２のスライド溝
に嵌合する嵌合詔を備える角柱である。
昇降手段４０は昇降桿４１と駆動モータ４４及び歯車機
構４５並び６どロードセル等の荷重検知器４６とｔ−備
え、昇降４４１は、上記取付台５ｙｔｃ螺合するねじ部
４ｚと歯車機構４５の一方の歯車に＠挿されるスプライ
ン部４ｓとよりなり、下端は荷重検知器４６に取付けら
れる。
構４５並び６どロードセル等の荷重検知器４６とｔ−備
え、昇降４４１は、上記取付台５ｙｔｃ螺合するねじ部
４ｚと歯車機構４５の一方の歯車に＠挿されるスプライ
ン部４ｓとよりなり、下端は荷重検知器４６に取付けら
れる。
歯直機ｑ１４１！は対をなす傘歯車により構成され、一
方の傘歯車は駆動モータ４４に接続される減速機４丁の
出力軸に取付、け、られ、他方の傘歯車は上記スプライ
ン部４ｍに嵌合し、かつ支持ベアリング４８により回動
自在に支持されている。従って駆動モータ４４の回動に
より歯車機構４ｓｔ−介して昇降桿４１は回動され、取
付台８丁全上昇せしめると共にその反力は荷重検知器４
６に加えられ、荷重検知器４６は被切断部材Ｗがワイヤ
２に当接することに〜より発生する反力を荷重として検
知し、その荷電が所定値となるように駆動モータ４４の
回動、即ち昇降桿４１の回・幼を規制する。
方の傘歯車は駆動モータ４４に接続される減速機４丁の
出力軸に取付、け、られ、他方の傘歯車は上記スプライ
ン部４ｍに嵌合し、かつ支持ベアリング４８により回動
自在に支持されている。従って駆動モータ４４の回動に
より歯車機構４ｓｔ−介して昇降桿４１は回動され、取
付台８丁全上昇せしめると共にその反力は荷重検知器４
６に加えられ、荷重検知器４６は被切断部材Ｗがワイヤ
２に当接することに〜より発生する反力を荷重として検
知し、その荷電が所定値となるように駆動モータ４４の
回動、即ち昇降桿４１の回・幼を規制する。
５０は取付台３丁の上昇位置検出器であり、例えば商品
名リニアスケール等その位置に応じた電気信号を発する
検出器が用いられ、被切断部材Ｗの上昇位置に応じ上記
荷重検出器４６と協同して被切断部材Ｗに加えられるの
削荷重？規制するようにしたものである。即ち切削長は
波切【ＦＴ邦材Ｗの上昇位置に応じ変化するものであり
、切削長に応じ荷重を適宜選択することにより、ワイヤ
２に対する過負荷防止と切削効率の向上？計るものであ
る。
名リニアスケール等その位置に応じた電気信号を発する
検出器が用いられ、被切断部材Ｗの上昇位置に応じ上記
荷重検出器４６と協同して被切断部材Ｗに加えられるの
削荷重？規制するようにしたものである。即ち切削長は
波切【ＦＴ邦材Ｗの上昇位置に応じ変化するものであり
、切削長に応じ荷重を適宜選択することにより、ワイヤ
２に対する過負荷防止と切削効率の向上？計るものであ
る。
本実施例は、取付部材富６に更に被切断記材揺動機構ｓ
ｌｆ：設けた例全示す。この遥動機構５１は、被切断部
材Ｗと同心に位置し、上記受台３６′ｆ−先端に取付け
る駆動軸Ｉｓ２と、この駆ＩＣｌ１＠６２に減速機５４
全介して接続されるモータ５ｇとよりなり、これらは取
付台８７上に取付けられ、切断作業中必要により被切断
部材Ｗに対し、該ａＷｒ詔材Ｗの軸心を中心として若干
角度の往復回動即ち侶動運１ｉＩＩを与える。
ｌｆ：設けた例全示す。この遥動機構５１は、被切断部
材Ｗと同心に位置し、上記受台３６′ｆ−先端に取付け
る駆動軸Ｉｓ２と、この駆ＩＣｌ１＠６２に減速機５４
全介して接続されるモータ５ｇとよりなり、これらは取
付台８７上に取付けられ、切断作業中必要により被切断
部材Ｗに対し、該ａＷｒ詔材Ｗの軸心を中心として若干
角度の往復回動即ち侶動運１ｉＩＩを与える。
６匹は取付台１丁に対しワイヤ６６を介して取付けられ
るバランスウェイトである。
るバランスウェイトである。
ワイヤ張設機構６は前述と同様に複数個例えば４１１！
の溝ローラｇａ、ｇｂ、ｓｃ０ｇａ ′ｔ−上下左右
にそれぞれ平行にフレーム８０の外枠ｓ Ｏ（７） 苅
画に回動自在に支承せしめ、そのうちの１個の溝ローラ
６１には溝ローラ駆動モータ８にベル）ｇｌ”）介・し
て連繋せしめる。これらの溝ローラｇａ、６ｂ、ｇｃ、
６ｄ にはそれぞれ多数の溝フ１゜７ｂ、？ｃ、７ｄ
（第２図参照）が所定間隔毎に刻設されてセリ、１本の
ワイヤｚｔ−これら多溝７２Ｌ。
の溝ローラｇａ、ｇｂ、ｓｃ０ｇａ ′ｔ−上下左右
にそれぞれ平行にフレーム８０の外枠ｓ Ｏ（７） 苅
画に回動自在に支承せしめ、そのうちの１個の溝ローラ
６１には溝ローラ駆動モータ８にベル）ｇｌ”）介・し
て連繋せしめる。これらの溝ローラｇａ、６ｂ、ｇｃ、
６ｄ にはそれぞれ多数の溝フ１゜７ｂ、？ｃ、７ｄ
（第２図参照）が所定間隔毎に刻設されてセリ、１本の
ワイヤｚｔ−これら多溝７２Ｌ。
ｙｂ、６．に巻回することにより被切断部材Ｗに対し所
定間隔の多数平行したワイヤ列が形成される。
定間隔の多数平行したワイヤ列が形成される。
またワイヤ張設置！ｉ！構６には対？なすがイドローラ
Ｔ０．７１が被切断部材Ｗに対向して設けられる、これ
らのがイドローラ７Ｏ０丁１は並列されたワイヤ列を被
切断部材Ｗに押圧するもので、それぞれのガイドローラ
Ｔｏ、’１１はフレーム８Ｇに水平に収骨けられる案内
部材７２゜７３に摺動可能に嵌合される支持アーム７４
゜７５に支持されており、支持アーム７４．７５は共通
の駆動モータ７６により回動される螺子軸７７．７８に
螺合されている。
Ｔ０．７１が被切断部材Ｗに対向して設けられる、これ
らのがイドローラ７Ｏ０丁１は並列されたワイヤ列を被
切断部材Ｗに押圧するもので、それぞれのガイドローラ
Ｔｏ、’１１はフレーム８Ｇに水平に収骨けられる案内
部材７２゜７３に摺動可能に嵌合される支持アーム７４
゜７５に支持されており、支持アーム７４．７５は共通
の駆動モータ７６により回動される螺子軸７７．７８に
螺合されている。
これ多ごより駆動モータフロは被切断部材Ｗの上昇ｌζ
伴う前記上昇位置検出器５ｏからの信号により回動し、
ガイドローラ７０．７１Ｔｈ被切断記材Ｗの外周に沿っ
て左右方向に移動し、ｔに被切断部材Ｗと近接した所定
間隔？育せしめてワイヤ列を押し下げる。
伴う前記上昇位置検出器５ｏからの信号により回動し、
ガイドローラ７０．７１Ｔｈ被切断記材Ｗの外周に沿っ
て左右方向に移動し、ｔに被切断部材Ｗと近接した所定
間隔？育せしめてワイヤ列を押し下げる。
８０はカーボランダム等の砥粒？混合したの剤液供給用
パイプ、８１．８２は蛇腹？示し、この’！ｊＬＰｊＬ
’ａ１．ａ２は取付台８７の上下とフレーム外枠６０に
形成される窓孔８３の上下端ｌｉｄにそれぞれ収骨けら
れ、の剤液等がフレーム内部ｌご侵入するのを防止せし
める。
パイプ、８１．８２は蛇腹？示し、この’！ｊＬＰｊＬ
’ａ１．ａ２は取付台８７の上下とフレーム外枠６０に
形成される窓孔８３の上下端ｌｉｄにそれぞれ収骨けら
れ、の剤液等がフレーム内部ｌご侵入するのを防止せし
める。
ン１２．１ｍを備え、キャプスタン１２．１１１にはそ
れぞれ駆動モータ２２．２５が連結され。
れぞれ駆動モータ２２．２５が連結され。
かつ主ロールｓ４，８ｇと副ロール８６．８７との間に
それぞれワイヤ２ｔ−数回巻きつけてなる。また上記張
設機構６とそれぞれのキャプスタン１２．１８間には張
力保持手段１６．１７？、また供給リールｌＯとキャブ
スタフ１２間即チ１１ 出Ｋ １４並び番ごキャプスタ
ン１８と巻取リール１１間の巻取部１６にも同様Ｃζ張
力保持手段１Ｂ、ｔｉｌｌ設ける。これら各張力保持手
段ｔｇ、ｔｙ、ｔｓ、ｔｓは何れもダンサロール及びワ
イヤ送り出しロールの駆動モータ？主体とする。以下そ
れぞれについて説明する。
それぞれワイヤ２ｔ−数回巻きつけてなる。また上記張
設機構６とそれぞれのキャプスタン１２．１８間には張
力保持手段１６．１７？、また供給リールｌＯとキャブ
スタフ１２間即チ１１ 出Ｋ １４並び番ごキャプスタ
ン１８と巻取リール１１間の巻取部１６にも同様Ｃζ張
力保持手段１Ｂ、ｔｉｌｌ設ける。これら各張力保持手
段ｔｇ、ｔｙ、ｔｓ、ｔｓは何れもダンサロール及びワ
イヤ送り出しロールの駆動モータ？主体とする。以下そ
れぞれについて説明する。
張力保持手段１６はダンサロール２０と、ワイヤ送り出
しロールとしてのキャプスタン１２の駆動モータ２２並
びにダンサロール昇降位！検出器ｚｌ全備える。ダンサ
ロール２０はレバーＳＯの適所嘉ζ取付けられ、レバー
ＳＯは支点９１？中心１ζ回動され、適所にＲ重９ｚが
収骨げられ、かつ上記昇降位置検出器２１に連繋される
。これによりワイヤ２１ζ対し切断作業番ご必要な高張
力？＃与すると共にキャプスタン駆動モータｚ２の回転
数？規制し、常ｌζダンサロール！Ｏが一定位Ｈｔどあ
るようｌごワイヤ２の繰出し２行なわしめる。
しロールとしてのキャプスタン１２の駆動モータ２２並
びにダンサロール昇降位！検出器ｚｌ全備える。ダンサ
ロール２０はレバーＳＯの適所嘉ζ取付けられ、レバー
ＳＯは支点９１？中心１ζ回動され、適所にＲ重９ｚが
収骨げられ、かつ上記昇降位置検出器２１に連繋される
。これによりワイヤ２１ζ対し切断作業番ご必要な高張
力？＃与すると共にキャプスタン駆動モータｚ２の回転
数？規制し、常ｌζダンサロール！Ｏが一定位Ｈｔどあ
るようｌごワイヤ２の繰出し２行なわしめる。
張力保持手段ｉｆも同様構造であり、ダンサローへ２８
とキャプスタン１８の駆動モータ２Ｓ及び昇降位置検出
器＝４を備える。９ｓはダンサロール２８ｔ＃支持する
レバー、９４は荷重である。その作動要領は張力保持手
段１６と同様であり説明全省略する。
とキャプスタン１８の駆動モータ２Ｓ及び昇降位置検出
器＝４を備える。９ｓはダンサロール２８ｔ＃支持する
レバー、９４は荷重である。その作動要領は張力保持手
段１６と同様であり説明全省略する。
張力保持手段１８はダンサロール２６と供給リール３の
駆動モータ１０及び昇降位置検出器２丁全備える。ｇ５
はダンサロール２８ｔ＃支持するレバー、ｓｇは荷重で
ある。また張力保持手段１９はダンサロール２８と巻取
リール４の駆動モータ１１及び昇降位置検出４ｚ９を備
える。９７はダンサロール５ｉｔ−支持するレバー。
駆動モータ１０及び昇降位置検出器２丁全備える。ｇ５
はダンサロール２８ｔ＃支持するレバー、ｓｇは荷重で
ある。また張力保持手段１９はダンサロール２８と巻取
リール４の駆動モータ１１及び昇降位置検出４ｚ９を備
える。９７はダンサロール５ｉｔ−支持するレバー。
９８は荷重である。これら各張力保持手段１８゜１９は
上述の張力保持手段１６と同−要領番ごて作動するもの
であり、説明を省略する。
上述の張力保持手段１６と同−要領番ごて作動するもの
であり、説明を省略する。
ただし張力保持手段１８は、ワイヤ２が弛まない程度の
弱張力′ｔ−保持せしめるものであり、張力保持手段１
９は巻取りを円滑に行なわしめるための弱張力を保持せ
しめる。尚木実節制は後述する如く供給リールＳに巻か
れたワイヤ２の繰出しが終了したときは、ワイヤ２の走
行方向を逆とし巻取リール４に巻き収られたワイヤ２を
、繰出し供給リール３に巻取るようにしたもので、従っ
て張力保持手段１ｇ、１？は略同−の高張力Ｊζ、また
張力保持手段１８．１９は略同−の弱張力に設定されて
いる。
弱張力′ｔ−保持せしめるものであり、張力保持手段１
９は巻取りを円滑に行なわしめるための弱張力を保持せ
しめる。尚木実節制は後述する如く供給リールＳに巻か
れたワイヤ２の繰出しが終了したときは、ワイヤ２の走
行方向を逆とし巻取リール４に巻き収られたワイヤ２を
、繰出し供給リール３に巻取るようにしたもので、従っ
て張力保持手段１ｇ、１？は略同−の高張力Ｊζ、また
張力保持手段１８．１９は略同−の弱張力に設定されて
いる。
尚第８図及び第４図においてＺｏｏ、１０２はトラバー
ス機構であり、巻取リール４（または供給リールＢ）の
回転数ｌど関連してワイヤ２全掛合するガイド１Ｇ１．
１０ＪＩ’ｉ左右１ζ移行し。
ス機構であり、巻取リール４（または供給リールＢ）の
回転数ｌど関連してワイヤ２全掛合するガイド１Ｇ１．
１０ＪＩ’ｉ左右１ζ移行し。
該２１−ルに所定のボビン全形成せしめる。ただしワイ
ヤ供給側のリール（Ｊｓ図にセいては供姶リール８）に
対しては、ワイヤ２はガイド１Ｏ３（または１０１）か
ら外すことが好ましい。
ヤ供給側のリール（Ｊｓ図にセいては供姶リール８）に
対しては、ワイヤ２はガイド１Ｏ３（または１０１）か
ら外すことが好ましい。
また＠８図において１０４，１０５は供給リール８１巻
収り−ル４に巻かれるワイヤ２の巻量検知器であり、残
量が所定量以下となったとき、すべての駆動モータ？停
止せしめる。
収り−ル４に巻かれるワイヤ２の巻量検知器であり、残
量が所定量以下となったとき、すべての駆動モータ？停
止せしめる。
尚間中Ｐはワイヤ２を案内するがイドプーリである。
本実施例は上記′構成よりなり、溝ローラ駆動モータ８
の回転全基準とし、その他のキャプスタン駆動モータ８
ヱ、２ｇ及び供給リール＠勧モータＩＱ並びに巻取リー
ル駆動モータ１１は関連昭勧されてワイヤ２は繰出ｉｘ
４及び巻取部１６は弱張力に、また張設機構Ｓは強張力
に保持され高速にて矢符入方向に移行され、巻取り−ル
４にはトラバース機構１００により正確にボビン状に巻
きつけられる。
の回転全基準とし、その他のキャプスタン駆動モータ８
ヱ、２ｇ及び供給リール＠勧モータＩＱ並びに巻取リー
ル駆動モータ１１は関連昭勧されてワイヤ２は繰出ｉｘ
４及び巻取部１６は弱張力に、また張設機構Ｓは強張力
に保持され高速にて矢符入方向に移行され、巻取り−ル
４にはトラバース機構１００により正確にボビン状に巻
きつけられる。
被切断品材Ｗを支持する取＃邪材８≦は昇降手段４０の
作動により取付台８丁は徐々に上昇せしめる。被切断品
材Ｗは張設機構５において多数平行して張設されるワイ
ヤ２に押し当てられ、切削液供給パイプ８０から切、剤
液が供給され、切断作用が行なわれる。この際被切断部
材Ｗに加えられる反力は荷重検知器４６において検出さ
れ、上昇位置検出器ｇｏによる被切断品材Ｗの上昇位置
即ちワイヤ２による切断長さと関連して常に所定の押圧
力が与えられるよう上昇速度が選択される。
作動により取付台８丁は徐々に上昇せしめる。被切断品
材Ｗは張設機構５において多数平行して張設されるワイ
ヤ２に押し当てられ、切削液供給パイプ８０から切、剤
液が供給され、切断作用が行なわれる。この際被切断部
材Ｗに加えられる反力は荷重検知器４６において検出さ
れ、上昇位置検出器ｇｏによる被切断品材Ｗの上昇位置
即ちワイヤ２による切断長さと関連して常に所定の押圧
力が与えられるよう上昇速度が選択される。
この場合、供給リール８に巻かれるワイヤ２は必ずしも
被切断部＃Ｗの切断を完了するまでの長さ全必要とする
ものではない。供給リール８に巻かれるワイヤ２の全量
が繰出された後は、ワイヤ２の走行方向を逆とし供給リ
ール８に巻取らせる。この方法によるときは供給リール
３及び巻取リール４は比較的小型とすることができる。
被切断部＃Ｗの切断を完了するまでの長さ全必要とする
ものではない。供給リール８に巻かれるワイヤ２の全量
が繰出された後は、ワイヤ２の走行方向を逆とし供給リ
ール８に巻取らせる。この方法によるときは供給リール
３及び巻取リール４は比較的小型とすることができる。
効果
本発明によるときは、ワイヤは一方向に高速走行し、か
つ切断を行う張設機構には所要のワイヤ張力を有せしめ
たから切断速度が早く能率の向上を計ることができる。
つ切断を行う張設機構には所要のワイヤ張力を有せしめ
たから切断速度が早く能率の向上を計ることができる。
またワイヤの走行速度等の切断条件は一定であり、従っ
て切断面の仕上りが良好である。更にワイヤ張力は張力
保持手段によりそれぞれの個所を所要張力に保持せしめ
るようにしたから、繰出部及び巻取部は切断を行う張設
機構に比し弱い張力とすることができ、繰出し及び巻取
りを円滑ならしめると共にワイヤを案内するプーリ等に
過剰の圧力を与えることがなく摩耗の減少を計ることが
できる◎ 尚本件の実施例では被切断物を押し上げるようになして
いるが、ワイヤを降下させて切断することも、あるいは
被切断物を押し上げ、ワイヤを同時に降下させるように
することも可能である。
て切断面の仕上りが良好である。更にワイヤ張力は張力
保持手段によりそれぞれの個所を所要張力に保持せしめ
るようにしたから、繰出部及び巻取部は切断を行う張設
機構に比し弱い張力とすることができ、繰出し及び巻取
りを円滑ならしめると共にワイヤを案内するプーリ等に
過剰の圧力を与えることがなく摩耗の減少を計ることが
できる◎ 尚本件の実施例では被切断物を押し上げるようになして
いるが、ワイヤを降下させて切断することも、あるいは
被切断物を押し上げ、ワイヤを同時に降下させるように
することも可能である。
第１図は本発明の詳細な説明図、第２図は張設ｉ病の斜
視図、第３図乃至第５図は本発明の実施例に関し、第３
図は全体正面図、第４図は第３図における右側面図、第
５図は第３図におけるＸ−Ｘ線に沿う断面図である。 １はワイヤ式切断装置、２は切断用ワイヤ、３は供給リ
ール、４は巻取リール、５は張設機構、８は溝プーリ駆
動モータ、１０は供給リール駆動モータ、１１は巻取リ
ール駆動モータ、１２．１３はキャプスタン、１４は繰
出部、１５は巻取部、１６ 、１？、 １８゜１９は張
力保持手段、２０．２３．２６．２８はダンサロール、
■、２４．２７．２９は昇降位置検出器、ｎ、２５はキ
ャプスタン駆動モータ、Ｗは被切断部材である。 特許出願人 住友金属工業株式会社第４図
１ 第５図
視図、第３図乃至第５図は本発明の実施例に関し、第３
図は全体正面図、第４図は第３図における右側面図、第
５図は第３図におけるＸ−Ｘ線に沿う断面図である。 １はワイヤ式切断装置、２は切断用ワイヤ、３は供給リ
ール、４は巻取リール、５は張設機構、８は溝プーリ駆
動モータ、１０は供給リール駆動モータ、１１は巻取リ
ール駆動モータ、１２．１３はキャプスタン、１４は繰
出部、１５は巻取部、１６ 、１？、 １８゜１９は張
力保持手段、２０．２３．２６．２８はダンサロール、
■、２４．２７．２９は昇降位置検出器、ｎ、２５はキ
ャプスタン駆動モータ、Ｗは被切断部材である。 特許出願人 住友金属工業株式会社第４図
１ 第５図
Claims (3)
- （１）切断用ワイヤを巻回する供給リール及び巻取リー
ル並びに被切断部材に対向してワイヤを張設する張設機
構とを備え、ワイヤを供給リールから張設機構を径て巻
取リール側に高速走行させ該巻取リールに巻取ると共に
、張設機構の少くとも入口側にはキャプスタンを配し、
供給リールよりの繰出し部、張設機構及び巻取リールに
対する巻取部のそれぞれにはワイヤを所要張力に保持せ
しめる張力保持手段を設けたことを特徴とするワイヤ式
切断装置。 - （２）張力保持手段はダンサロール及びダンサロールの
昇降位置の検出器並びに該検出器からの電気信号により
回転数を制御されるワイヤ送り出しロール駆動モータよ
り構成された特許請求の範囲第１項に記載のワイヤ式切
断装置。 - （３）ワイヤは供給リールから巻取リール側に高速走行
して該巻取リールに巻取られ、ついで反転して巻取リー
ルから供給リール側に高速走行される特許請求の範囲第
１項に記載のワイヤ式切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187284A JPS61100361A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式切断装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22187284A JPS61100361A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式切断装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61100361A true JPS61100361A (ja) | 1986-05-19 |
| JPH0426978B2 JPH0426978B2 (ja) | 1992-05-08 |
Family
ID=16773499
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22187284A Granted JPS61100361A (ja) | 1984-10-22 | 1984-10-22 | ワイヤ式切断装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61100361A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01177958A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-14 | Nippei Toyama Corp | ワイヤーソー装置 |
| JPH0524034A (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-02 | Kenichi Ishikawa | 硬質脆性材料の加工装置 |
| US5369301A (en) * | 1993-07-08 | 1994-11-29 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Pin-finned forged heat sink |
| US5455382A (en) * | 1991-10-31 | 1995-10-03 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | IC package heat sink fin |
| US5519938A (en) * | 1991-10-31 | 1996-05-28 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Process for producing a heat sink fin |
| US5726495A (en) * | 1992-03-09 | 1998-03-10 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Heat sink having good heat dissipating characteristics |
| CN103978563A (zh) * | 2014-02-27 | 2014-08-13 | 上海大学 | 多线切割机恒张力控制系统 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118167A (ja) * | 1974-03-04 | 1975-09-16 | ||
| JPS5183297A (ja) * | 1975-01-17 | 1976-07-21 | Inoue Japax Res | Kenmasochi |
| JPS5212954A (en) * | 1975-07-17 | 1977-01-31 | Houjiyou Seianshiyo Kk | Method of producing raw rean jam |
-
1984
- 1984-10-22 JP JP22187284A patent/JPS61100361A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS50118167A (ja) * | 1974-03-04 | 1975-09-16 | ||
| JPS5183297A (ja) * | 1975-01-17 | 1976-07-21 | Inoue Japax Res | Kenmasochi |
| JPS5212954A (en) * | 1975-07-17 | 1977-01-31 | Houjiyou Seianshiyo Kk | Method of producing raw rean jam |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01177958A (ja) * | 1988-01-08 | 1989-07-14 | Nippei Toyama Corp | ワイヤーソー装置 |
| JPH0524034A (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-02 | Kenichi Ishikawa | 硬質脆性材料の加工装置 |
| US5455382A (en) * | 1991-10-31 | 1995-10-03 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | IC package heat sink fin |
| US5519938A (en) * | 1991-10-31 | 1996-05-28 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Process for producing a heat sink fin |
| US5726495A (en) * | 1992-03-09 | 1998-03-10 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Heat sink having good heat dissipating characteristics |
| US5794607A (en) * | 1992-03-09 | 1998-08-18 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Process for producing heat sink having good heat dissipating characteristics |
| US5369301A (en) * | 1993-07-08 | 1994-11-29 | Sumitomo Metal Industries, Ltd. | Pin-finned forged heat sink |
| CN103978563A (zh) * | 2014-02-27 | 2014-08-13 | 上海大学 | 多线切割机恒张力控制系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0426978B2 (ja) | 1992-05-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |