JPH08309996A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
- Publication number
- JPH08309996A JPH08309996A JP11711395A JP11711395A JPH08309996A JP H08309996 A JPH08309996 A JP H08309996A JP 11711395 A JP11711395 A JP 11711395A JP 11711395 A JP11711395 A JP 11711395A JP H08309996 A JPH08309996 A JP H08309996A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recording head
- phase
- ink jet
- jet recording
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 20
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 4
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 3
- 229910000734 martensite Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 238000003672 processing method Methods 0.000 abstract 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 5
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 4
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 238000005555 metalworking Methods 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 1
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000005496 tempering Methods 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/162—Manufacturing of the nozzle plates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクジェット記録ヘッドのオリフィスプレ
ートのフォトリソグラフィやレーザビーム、電子ビーム
加工方法などのように、複雑な工程や高熱による加工歪
を伴わない、少ない工程数による、信頼性の高いインク
ジェット記録ヘッドのオリフィスプレートの製造方法を
提供する。 【構成】 このため、例えば０．５％ｃのフェライト板
１を９００℃に加熱後水冷して第１相としてのマルテン
サイト２とし、その所定位置にＹＡＧレーザビーム４を
照射して４００℃に加熱／空冷することにより、第２相
としてのトルースタイト３を析出させ、これをエッチン
グ液５に浸し、トルースタイト３を優先的に溶解除去す
ることにより、レーザビーム照射部の穴加工を行うよう
にした。
ートのフォトリソグラフィやレーザビーム、電子ビーム
加工方法などのように、複雑な工程や高熱による加工歪
を伴わない、少ない工程数による、信頼性の高いインク
ジェット記録ヘッドのオリフィスプレートの製造方法を
提供する。 【構成】 このため、例えば０．５％ｃのフェライト板
１を９００℃に加熱後水冷して第１相としてのマルテン
サイト２とし、その所定位置にＹＡＧレーザビーム４を
照射して４００℃に加熱／空冷することにより、第２相
としてのトルースタイト３を析出させ、これをエッチン
グ液５に浸し、トルースタイト３を優先的に溶解除去す
ることにより、レーザビーム照射部の穴加工を行うよう
にした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録ヘ
ッドの製造方法に関する。
ッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録ヘッドにおいて、オ
リフィスプレートの製造方法は、一般的にオリフィスプ
レートが非常に薄く形成されているため、技術的、コス
トの点などから、工作機械による方法ではなく、以下の
ような方法が採用されることがほとんどであった。すな
わち、 フォトリソグラフィによって、オリフィス形成の対象
となる材料の両面にレジスト膜画像を形成し、レジスト
膜の形成されていない部分をエッチングする、 オリフィスを形成しながらプレートをメッキ成長させ
る（電鋳法によってオリフィスプレートを形成する）、 レーザビーム、電子ビーム等によって、オリフィス形
成の対象となる材料に孔加工を行なう。
リフィスプレートの製造方法は、一般的にオリフィスプ
レートが非常に薄く形成されているため、技術的、コス
トの点などから、工作機械による方法ではなく、以下の
ような方法が採用されることがほとんどであった。すな
わち、 フォトリソグラフィによって、オリフィス形成の対象
となる材料の両面にレジスト膜画像を形成し、レジスト
膜の形成されていない部分をエッチングする、 オリフィスを形成しながらプレートをメッキ成長させ
る（電鋳法によってオリフィスプレートを形成する）、 レーザビーム、電子ビーム等によって、オリフィス形
成の対象となる材料に孔加工を行なう。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような厚みの極めて薄い金属材料を加工するに際し
て、前記の各方法、とには、下記のような問題点
があった。すなわち、方法については、オリフィス形
成の対象となる材料の両面にパターン形成をしなければ
ならず、工程が複雑であるばかりでなく、それらパター
ンのオリフィス部分が表面と裏面で一致していないと、
オリフィスがいびつな形状になったり、大きくなってし
まう。そのため、小液滴の吐出を得ることを目的とし
て、穴径の小さなオリフィスを形成することは非常に困
難であった。
たような厚みの極めて薄い金属材料を加工するに際し
て、前記の各方法、とには、下記のような問題点
があった。すなわち、方法については、オリフィス形
成の対象となる材料の両面にパターン形成をしなければ
ならず、工程が複雑であるばかりでなく、それらパター
ンのオリフィス部分が表面と裏面で一致していないと、
オリフィスがいびつな形状になったり、大きくなってし
まう。そのため、小液滴の吐出を得ることを目的とし
て、穴径の小さなオリフィスを形成することは非常に困
難であった。
【０００４】さらに、レジスト、レジスト現像液、レジ
スト除去液など、廃液となる補材を多く用いる必要があ
りコスト的、環境的に好ましくないという欠点がある。
スト除去液など、廃液となる補材を多く用いる必要があ
りコスト的、環境的に好ましくないという欠点がある。
【０００５】また、方法については、メッキであるた
めオリフィスとなる部分にレジスト膜を形成しなければ
ならず、の方法同様フォトリソグラフィを用いること
になり、工程が複雑になり、コスト上昇を招いてしま
う。
めオリフィスとなる部分にレジスト膜を形成しなければ
ならず、の方法同様フォトリソグラフィを用いること
になり、工程が複雑になり、コスト上昇を招いてしま
う。
【０００６】また、方法については、レーザ光、電子
ビーム等による孔加工の原理は、照射されたエネルギー
が熱エネルギーに変わり、材料が極く短時間のうちに溶
融・蒸発し、気化し易い成分の圧力により、溶融物が噴
出除去されることを原理としている。しかしながら、溶
融してしまうほどの高温になると、孔の周辺部も可成り
の高温になってしまうために、孔加工完了後、被加工物
に歪みが生じてしまい、インクジェットヘッドのヒー
タ、流路等に貼り付けた際に、隙間が生じてしまい、イ
ンク漏れ等が起こってしまうという欠点がある。
ビーム等による孔加工の原理は、照射されたエネルギー
が熱エネルギーに変わり、材料が極く短時間のうちに溶
融・蒸発し、気化し易い成分の圧力により、溶融物が噴
出除去されることを原理としている。しかしながら、溶
融してしまうほどの高温になると、孔の周辺部も可成り
の高温になってしまうために、孔加工完了後、被加工物
に歪みが生じてしまい、インクジェットヘッドのヒー
タ、流路等に貼り付けた際に、隙間が生じてしまい、イ
ンク漏れ等が起こってしまうという欠点がある。
【０００７】本発明は、以上のような従来のこの種の問
題点にかんがみてなされたもので、少ない工程数によ
る、オリフィスプレートの加工によって、低コストで信
頼性の高いインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供
することを目的としている。
題点にかんがみてなされたもので、少ない工程数によ
る、オリフィスプレートの加工によって、低コストで信
頼性の高いインクジェット記録ヘッドの製造方法を提供
することを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、オリフィスプレートを構成する金属材料の第１相
に対して、例えばレーザビームまたは電子ビーム等を用
いて部分的な熱処理を行うことによって、相変態を生じ
た第２相を形成し、これら第１，第２のいずれかの相を
エッチングする金属加工方法を用いることにより、前記
目的を達成しようとするものである。
ては、オリフィスプレートを構成する金属材料の第１相
に対して、例えばレーザビームまたは電子ビーム等を用
いて部分的な熱処理を行うことによって、相変態を生じ
た第２相を形成し、これら第１，第２のいずれかの相を
エッチングする金属加工方法を用いることにより、前記
目的を達成しようとするものである。
【０００９】
【作用】以上の第１相、第２相に対して、エッチング速
度の異なる液、ガス等を用い、エッチング量に差異を設
けることにより孔加工、溝加工等が可能になる。
度の異なる液、ガス等を用い、エッチング量に差異を設
けることにより孔加工、溝加工等が可能になる。
【００１０】この時、熱処理にはレーザビーム・電子ビ
ーム等を用い、微細な加工を行う。例えばレーザビーム
の場合は、レンズで集光すれば集光点の大きさは理論的
に波長程度にまで絞り込むことができる（例えばＹＡＧ
レーザの波長は１．０６μｍ）。
ーム等を用い、微細な加工を行う。例えばレーザビーム
の場合は、レンズで集光すれば集光点の大きさは理論的
に波長程度にまで絞り込むことができる（例えばＹＡＧ
レーザの波長は１．０６μｍ）。
【００１１】そして、レーザビーム・電子ビーム等の操
作の軌跡を変化させることによって、あるいはレーザビ
ーム・電子ビーム等をシャッタで遮断しながらサンプル
を移動することによって、加工の形状は自由に選択する
ことが可能となる。
作の軌跡を変化させることによって、あるいはレーザビ
ーム・電子ビーム等をシャッタで遮断しながらサンプル
を移動することによって、加工の形状は自由に選択する
ことが可能となる。
【００１２】また、前記フォトリソグラフィ方法に比較
すると、レジスト塗布、ベーク、露光、現像などが不要
で、工程が単純であり、レジスト、レジスト現像液、レ
ジスト除去材等が補材として不要となり、コスト的に有
利であり、また、環境に与える影響も少ない。
すると、レジスト塗布、ベーク、露光、現像などが不要
で、工程が単純であり、レジスト、レジスト現像液、レ
ジスト除去材等が補材として不要となり、コスト的に有
利であり、また、環境に与える影響も少ない。
【００１３】さらにまた、０．５％Ｃ鋼などの場合、相
変態を生じさせるのに必要な温度は、レーザビーム、電
子ビーム等によって穴あけ加工を行なう場合に比べれ
ば、遥かに低温であるため、熱処理後も歪はほとんど残
らず、インクジェットヘッドのヒータ、流路等に貼り付
けた際に、隙間が生じ、インク漏れ等が起こるというこ
ともない。
変態を生じさせるのに必要な温度は、レーザビーム、電
子ビーム等によって穴あけ加工を行なう場合に比べれ
ば、遥かに低温であるため、熱処理後も歪はほとんど残
らず、インクジェットヘッドのヒータ、流路等に貼り付
けた際に、隙間が生じ、インク漏れ等が起こるというこ
ともない。
【００１４】
【実施例】以下に本発明を実施例に基づいて詳細に説明
する。図１に本実施例の工程説明図を示す。図１は、加
工対象として例えばインクジェット記録ヘッドにおける
オリフィスプレートを形成する場合、すなわち孔加工す
る場合の各工程を、（ａ）〜（ｆ）図によって示してい
る。被加工物の材質は０．５％Ｃ鋼である。
する。図１に本実施例の工程説明図を示す。図１は、加
工対象として例えばインクジェット記録ヘッドにおける
オリフィスプレートを形成する場合、すなわち孔加工す
る場合の各工程を、（ａ）〜（ｆ）図によって示してい
る。被加工物の材質は０．５％Ｃ鋼である。
【００１５】（ａ）図は初期状態で、圧延により薄く加
工された金属板（厚さ＝１００μｍ）を放電加工などに
よって切り出した状態を示す。金属組織的にはフェライ
ト単相であり、これをフェライト１として図中には表記
してある。
工された金属板（厚さ＝１００μｍ）を放電加工などに
よって切り出した状態を示す。金属組織的にはフェライ
ト単相であり、これをフェライト１として図中には表記
してある。
【００１６】（ｂ）図は、フェライト１を９００℃に加
熱後水冷（焼入れ）することによって得ることのできる
マルテンサイト組織であり、マルテンサイト２として図
中には表記してある。このマルテンサイト２を第１相と
する。
熱後水冷（焼入れ）することによって得ることのできる
マルテンサイト組織であり、マルテンサイト２として図
中には表記してある。このマルテンサイト２を第１相と
する。
【００１７】（ｃ）図には、このマルテンサイト２中の
所定の位置に、ＹＡＧレーザ４のビームを照射し、４０
０℃に加熱し空冷（焼戻し）することによって、トルー
スタイト組織（トルースタイト３）を析出させた様子を
示す。このトルースタイト３を第２相とする。
所定の位置に、ＹＡＧレーザ４のビームを照射し、４０
０℃に加熱し空冷（焼戻し）することによって、トルー
スタイト組織（トルースタイト３）を析出させた様子を
示す。このトルースタイト３を第２相とする。
【００１８】（ｄ）図には、（ｃ）図においてＹＡＧレ
ーザ４を走査して、必要とするオリフィス部分にトルー
スタイト３を析出させた様子を示している。
ーザ４を走査して、必要とするオリフィス部分にトルー
スタイト３を析出させた様子を示している。
【００１９】（ｅ）図には、第１相のマルテンサイト２
中に第２相のトルースタイト３を析出させた、２相から
成る（ｄ）図に示した金属板を、エッチング液５に浸
し、第２相のトルースタイト３を優先的に溶解除去させ
る様子を示している。エッチング液５としては、１％硫
酸水溶液などが好ましい。１％硫酸水溶液中で、トルー
スタイト３の腐食量は、マルテンサイト２の約１０倍で
あり、トルースタイト３析出部分はマルテンサイト２よ
りも速く腐食される。従って、レーザビームを照射した
部分は孔状にエッチングされ、オリフィスが形成される
ことになる。
中に第２相のトルースタイト３を析出させた、２相から
成る（ｄ）図に示した金属板を、エッチング液５に浸
し、第２相のトルースタイト３を優先的に溶解除去させ
る様子を示している。エッチング液５としては、１％硫
酸水溶液などが好ましい。１％硫酸水溶液中で、トルー
スタイト３の腐食量は、マルテンサイト２の約１０倍で
あり、トルースタイト３析出部分はマルテンサイト２よ
りも速く腐食される。従って、レーザビームを照射した
部分は孔状にエッチングされ、オリフィスが形成される
ことになる。
【００２０】（ｆ）図には、（ａ）〜（ｅ）図の各工程
を経てオリフィス加工が完成した様子を示している。図
中では、円形の孔の例を示しているが、孔の大きさはレ
ーザの出力、照射時間、光学系の調整などによって自由
に変えることができる。また、マスクを用いたり、レー
ザをスキャンすることによって、円形以外のオリフィス
を加工することが可能になる。
を経てオリフィス加工が完成した様子を示している。図
中では、円形の孔の例を示しているが、孔の大きさはレ
ーザの出力、照射時間、光学系の調整などによって自由
に変えることができる。また、マスクを用いたり、レー
ザをスキャンすることによって、円形以外のオリフィス
を加工することが可能になる。
【００２１】以上のようにして、薄く加工された金属板
に孔加工し、インクジェット記録ヘッドにおける信頼性
が高く安価なオリフィスプレートを得ることができる。
に孔加工し、インクジェット記録ヘッドにおける信頼性
が高く安価なオリフィスプレートを得ることができる。
【００２２】本実施例において、オリフィスプレートの
材料としては、０．５％Ｃ綱を用いたが、インクによっ
てはこの０．５％Ｃ鋼を腐食させることがある。このよ
うな場合は、オリフィスプレートをＡｕ，Ｐｔ，Ｎｉな
どによってメッキしたり、エポキシ等の樹脂によってオ
ーバーコートすればよい。この場合のメッキやオーバー
コートは、レジスト等が不要であるため、コスト的な負
担は極めて小さく工程的にも容易である。
材料としては、０．５％Ｃ綱を用いたが、インクによっ
てはこの０．５％Ｃ鋼を腐食させることがある。このよ
うな場合は、オリフィスプレートをＡｕ，Ｐｔ，Ｎｉな
どによってメッキしたり、エポキシ等の樹脂によってオ
ーバーコートすればよい。この場合のメッキやオーバー
コートは、レジスト等が不要であるため、コスト的な負
担は極めて小さく工程的にも容易である。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
少ない工程数による低コストで信頼性の高いオリフィス
プレートの加工によるインクジェット記録ヘッドの製造
方法を得ることが可能になる。
少ない工程数による低コストで信頼性の高いオリフィス
プレートの加工によるインクジェット記録ヘッドの製造
方法を得ることが可能になる。
【図１】 本実施例の構成説明図を示す。
１ フェライト ２ マルテンサイト ３ トルースタイト ４ ＹＡＧレーザ ５ エッチング液
Claims (3)
- 【請求項１】 インクを吐出する吐出口を有するインク
ジェット記録ヘッドにおいて、吐出口を有するオリフィ
スプレートを金属材料から構成し、前記金属材料から成
る第１相に対して、部分的な熱処理を行い、相変態生じ
た第２相を形成し、これら第１，第２のいずれかの相を
エッチングすることを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項２】 前記熱処理において、レーザビームを用
いることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 前記熱処理において、電子ビームを用い
ることを特徴とする請求項１に記載のインクジェット記
録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11711395A JPH08309996A (ja) | 1995-05-16 | 1995-05-16 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11711395A JPH08309996A (ja) | 1995-05-16 | 1995-05-16 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08309996A true JPH08309996A (ja) | 1996-11-26 |
Family
ID=14703750
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11711395A Withdrawn JPH08309996A (ja) | 1995-05-16 | 1995-05-16 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08309996A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180001666A (ko) * | 2016-06-24 | 2018-01-05 | 에이피시스템 주식회사 | 전주도금법을 이용한 미세 금속 마스크 제조방법 |
-
1995
- 1995-05-16 JP JP11711395A patent/JPH08309996A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20180001666A (ko) * | 2016-06-24 | 2018-01-05 | 에이피시스템 주식회사 | 전주도금법을 이용한 미세 금속 마스크 제조방법 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR100604765B1 (ko) | 레이저 스코링의 중간 균열 깊이의 제어 방법 | |
| JP2785842B2 (ja) | レーザ・エッチング方法及び装置 | |
| US6130009A (en) | Apparatus and process for nozzle production utilizing computer generated holograms | |
| JP3348744B2 (ja) | ノズルプレート製造方法 | |
| JPH09207343A (ja) | レーザ加工方法 | |
| US5221422A (en) | Lithographic technique using laser scanning for fabrication of electronic components and the like | |
| JP4298414B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの製造方法 | |
| US20100000968A1 (en) | Method for forming continuous channel of the surface of casting roll for the twin roll strip casting process | |
| JP4849890B2 (ja) | 貫通孔を有するガラス部品およびその製造方法 | |
| US6423241B1 (en) | Ink jet print head and a method of producing the same | |
| JPH0679486A (ja) | インクジェットヘッドの加工方法 | |
| CA2313204A1 (en) | Laser processing method, method for manufacturing ink jet recording head using such method of manufacture, and ink jet recording head manufactured by such method of manufacture | |
| JP3142340B2 (ja) | 光学転写装置 | |
| JPS63134679A (ja) | 電子的構成要素を形成するためレ−ザを使用するリソグラフィック方法 | |
| JPH08309996A (ja) | インクジェット記録ヘッドの製造方法 | |
| US6554400B1 (en) | Nozzle plate and a manufacturing process thereof | |
| JP3095795B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよび該ヘッドの製造方法 | |
| JP3395140B2 (ja) | レーザマーキング方法 | |
| JPH0817985A (ja) | 集積回路リードフレームタイバーのレーザ除去装置 | |
| JP2000218802A (ja) | プリンタヘッドの製造方法とその装置及び孔加工装置 | |
| JP4635480B2 (ja) | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 | |
| JP3644197B2 (ja) | ノズルプレートの製造方法 | |
| JP3245410B2 (ja) | パターン画像形成方法、膜パターン形成方法、ケミカルブランキング方法及びエレクトロフォーミング方法 | |
| Maksimovic et al. | Si-Cr Alloys at Nanoscale | |
| Ostendorf et al. | Lithography by maskless laser direct writing |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |