JPH08299926A

JPH08299926A - 超音波洗浄装置

Info

Publication number: JPH08299926A
Application number: JP12950695A
Authority: JP
Inventors: Masahiko Yano; 正彦矢野
Original assignee: Suzuki Motor Corp
Current assignee: Suzuki Motor Corp
Priority date: 1995-04-28
Filing date: 1995-04-28
Publication date: 1996-11-19

Abstract

(57)【要約】【目的】洗浄液およびすすぎ水を洗浄槽から残留するこ
と無く排出する。【構成】洗浄槽１０と、この洗浄槽１０に超音波振動を
伝達する超音波振動子２５と、洗浄液を貯留する洗浄液
タンク３１と、洗浄液タンク３１と洗浄槽１０との間に
配設した洗浄液連絡用配管３４および洗浄液流動付勢手
段３７と、すすぎ水を貯留するすすぎ水タンク４１と、
すすぎ水タンク４１と洗浄槽１０との間に配設したすす
ぎ水連絡用配管４４およびすすぎ水流動付勢手段４７
と、洗浄槽１０に連絡流路１８を介して併設されると共
に，洗浄液連絡用配管３４とすすぎ水連絡用配管３４と
を開閉弁３６，４６を介して連結されたヘッダ領域１７
とを有し、ヘッダ領域１７の内底面１７Ａと連絡流路１
８の内底面１８Ａと洗浄液連絡用配管３４の内底面３４
Ａとすすぎ水連絡用配管４４の内底面４４Ａとを一様に
同じ高さに且つ水平に設定した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超音波洗浄装置に係
り、特に洗浄液及びすすぎ水の循環系を備える超音波洗
浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図５（Ａ）に従来の構成を示す。この従
来の超音波洗浄装置１００は、底面部の内底面１１０Ａ
が水平な洗浄槽１１０と、この洗浄槽１１０の底面部に
下方から当接し超音波振動を発生する複数の超音波振動
子１２０と、予め洗浄液を所定量貯留する洗浄液タンク
１３１と、この洗浄液タンク１３１と洗浄槽１１０との
間で洗浄液を循環する洗浄液循環系１３０と、予めすす
ぎ水を所定量貯留するすすぎ水タンク１４１と、このす
すぎ水タンク１４１と洗浄槽１１０との間ですすぎ水を
循環するすすぎ水循環系１４０とを有している。

【０００３】これらを詳述すると、まず洗浄槽１１０
は、その内部に洗浄液またはすすぎ水を満たすことが可
能な容器となっており、その形状は有底の筒状となって
いる。この洗浄槽１１０の内側底面である内底面１１０
Ａは、平滑であり、この内底面１１０Ａが水平方向とな
るように洗浄槽１１０この超音波洗浄装置１００に組み
込まれている。

【０００４】洗浄槽１１０の外部下方には、前述の内底
面１１０Ａに対応する位置に当接して複数の超音波振動
子１２０が配設されている。洗浄を行う際には、これら
複数の超音波振動子１２０が超音波振動を発生し、これ
が洗浄槽１１０の内底面１１０Ａに伝達され、さらにこ
の内底面１１０Ａを介して洗浄槽内部の洗浄液に超音波
振動が伝達されて、洗浄が行われる。

【０００５】洗浄液循環系１３０は、洗浄液連絡用配管
１３２と，この洗浄液連絡用配管１３２に沿った洗浄液
の流動を付勢する洗浄液流動付勢手段とからなり、この
洗浄液連絡用配管１３２は、洗浄液を貯留している洗浄
液タンク１３１と洗浄槽１１０との間に配設された洗浄
液給水用配管１３３および洗浄液排水用配管１３４から
構成されている。

【０００６】洗浄液給水用配管１３３には、洗浄液流動
付勢手段として給水ポンプ１３７がこの配管の途中に設
けられている。また、洗浄液排水用配管１３４は、洗浄
液タンク１３１が洗浄槽１１０の下方に配置されてい
る。これにより、重力に従って洗浄槽１１０内部の洗浄
液は洗浄液タンク１３１へ帰還するため、洗浄液排水用
配管１３４の洗浄液流動付勢手段は不要となっている。

【０００７】すすぎ水循環系１４０は、すすぎ水連絡用
配管１４２と，このすすぎ水連絡用配管１４２に沿った
すすぎ水の流動を付勢するすすぎ水流動付勢手段とから
なり、このすすぎ水連絡用配管１４２は、すすぎ水を貯
留しているすすぎ水タンク１４１と洗浄槽１１０との間
に配設されたすすぎ水給水用配管１４３およびすすぎ水
排水用配管１４４から構成されている。

【０００８】すすぎ水給水用配管１４３には、すすぎ水
流動付勢手段として給水ポンプ１４７がこの配管の途中
に設けられている。また、すすぎ水排水用配管１４４
は、すすぎ水タンク１４１が洗浄槽１１０の下方に配置
されている。これにより、重力に従って洗浄槽１１０内
部のすすぎ水はすすぎ水タンク１４１へ帰還するため、
すすぎ水排水用配管１４４のすすぎ水流動付勢手段は不
要となっている。

【０００９】上述した洗浄液給水用配管１３３，洗浄液
排水用配管１３４，すすぎ水給水用配管１４３，および
すすぎ水排水用配管１４４の各配管は皆、洗浄槽１１０
から水平方向に延びる連絡流路１１１を介して洗浄槽１
１０と連結されている。図５（Ｂ）は、これらの各配管
と連絡流路１１１の連結状態を示す拡大説明図である。

【００１０】図５（Ｂ）によれば、この連絡流路１１１
は、その内底面１１０Ａが、洗浄槽１１０の内底面１１
０Ａと同じ高さとなるように配設されており、これによ
り、特に、洗浄槽１１０から洗浄液タンク１３１へ洗浄
液が流動する際に、この洗浄液が洗浄槽１１０の内底面
１１０Ａに残留しない構造となっている。

【００１１】そして、洗浄液給水用配管１３３とすすぎ
水給水用配管１４３とは、上方からこの連絡流路１１１
に連結され、洗浄液排水用配管１３４とすすぎ水排水用
配管１４４とは、下方から連絡流路１１１に連結されて
いる。

【００１２】また、上述した洗浄液給水用配管１３３，
洗浄液排水用配管１３４，すすぎ水給水用配管１４３，
およびすすぎ水排水用配管１４４の各配管には、この連
絡流路１１１との連結部の近くにそれぞれ開閉弁として
の電磁弁１３５，１３６，１４５，１４６が設けられて
いる。これらの電磁弁１３５，１３６，１４５，１４６
は、この超音波洗浄装置１００の一連の動作の際に、図
示しない制御部により、図示しない連絡手段を介して随
時信号が伝達されて開閉を行うようになっている。ま
た、同様にして前述の給水ポンプ１３７，１４７および
複数の振動子１２０の作動も、この制御部に制御され
る。

【００１３】上述した超音波洗浄装置１００は、洗浄の
際には、洗浄槽１１０内に被洗浄物が入れられ、給水ポ
ンプ１３７が作動して洗浄液タンク１３１内の洗浄液が
洗浄槽に給水される。このとき、各電磁弁は、電磁弁１
３５を除き全てが閉鎖されている。

【００１４】洗浄液が所定量洗浄槽１１０に給水した
後、給水ポンプ１３７は停止し、電磁弁は全て閉鎖され
る。そして、超音波振動子１２０により超音波振動を発
生させ、洗浄槽１１０の底面部１１０Ａを介して洗浄液
に伝達され、振動状態となった洗浄液の運動により、被
洗浄物の汚れ等の付着物が除去される。

【００１５】その後、電磁弁１３６が開放され、重力に
従い洗浄液は洗浄槽１１０から洗浄液タンク１３１に流
動する。

【００１６】次に、電磁弁１４５を開放し、他の全ての
電磁弁を閉鎖状態として、給水ポンプ１４７が作動して
すすぎ水タンク１４１内のすすぎ水が洗浄槽１１０に給
水される。このすすぎ水の給水により、被洗浄物，洗浄
槽１１０，連絡流路１１１等の各部に残留した洗浄液が
すすがれ、その後、電磁弁１４５が閉鎖され、電磁弁１
４６が開放される。

【００１７】すすぎ水は、重力に従い洗浄槽１１０から
すすぎ水タンク１４１に流動して、一連の洗浄動作が終
了する。

【００１８】

【発明が解決しようとする課題】上述した超音波洗浄装
置１００は、洗浄液およびすすぎ水を循環させて繰り返
し使用するために、洗浄液およびすすぎ水は、常に、そ
れぞれ高い純度を保持することが望ましい。上述の従来
例では、特に、洗浄槽１１０から洗浄液を排出した後
に、すすぎ水を給水する際に、洗浄槽１１０および連絡
流路１１１等の洗浄液とすすぎ水とが共有して使用する
領域に残留する洗浄液が、すすぎ水に混入されること
が、すすぎ水の純度の保持に大きく影響する。

【００１９】しかしながら、上記従来例にあっては、洗
浄液が洗浄槽１１０から排出された場合、図５（Ｂ）に
示されるように、閉鎖された電磁弁１４６と連絡流路１
１１との間の領域１４４Ａに、洗浄液が残留してしまう
という不都合があった。電磁弁１４６を連絡用通路１１
１に近接させて設けることにより、洗浄液の残留する量
を低減することは可能であるが、電磁弁の構造上，一定
の隔たりが生じることは不可避であり、これに伴い洗浄
液が残留することも不可避であった。

【００２０】

【発明の目的】本発明は、係る従来例の有する不都合を
改善し、洗浄液およびすすぎ水を洗浄槽から排出した際
に、これらの残留量を低減し得る超音波洗浄装置を提供
することを、その目的とする。

【００２１】

【課題を解決するための手段】本発明では、底面部の内
底面が水平な洗浄槽と、この洗浄槽の底面部に下方から
当接し超音波振動を発生する超音波振動子と、予め洗浄
液を所定量貯留する洗浄液タンクと、この洗浄液タンク
と洗浄槽との間で洗浄液を循環する洗浄液循環系と、予
めすすぎ水を所定量貯留するすすぎ水タンクと、このす
すぎ水タンクと洗浄槽との間ですすぎ水を循環するすす
ぎ水循環系とを有している。

【００２２】上述の洗浄液循環系は、洗浄液連絡用配管
と，この洗浄液連絡用配管に沿った洗浄液の流動を付勢
する洗浄液流動付勢手段とから構成され、また上述のす
すぎ水循環系は、すすぎ水連絡用配管と，このすすぎ水
連絡用配管に沿ったすすぎ水の流動を付勢するすすぎ水
流動付勢手段とから構成される。

【００２３】そして、洗浄槽に連絡流路を介して水平な
底面部の内底面を有するヘッダ領域を併設し、このヘッ
ダ領域の内底面と連絡流路の内底面とを一様に洗浄槽の
内底面と同じ高さに設定し、さらに、洗浄液連絡用配管
とすすぎ水連絡用配管とを，それぞれヘッダ領域の水平
方向から，開閉弁を介して連結させると共に、当該ヘッ
ダ領域の内底面と各配管内部の内底面の高さとが一様と
なるように設定するという構成を採っている。これによ
って前述した目的を達成しようとするものである。

【００２４】

【作用】上記の構成により洗浄を行う際には、洗浄槽内
に被洗浄物が入れられ、洗浄液タンク内の洗浄液が、洗
浄液流動付勢手段により洗浄液連絡用配管に沿って流動
を付勢され、開閉弁，ヘッダ領域，連絡流路を介して洗
浄槽に給水される。このとき、洗浄液連絡用配管側の開
閉弁は開けられた状態にあり、またすすぎ水連絡用配管
側の開閉弁は閉じられている。

【００２５】給水終了後、洗浄液連絡用配管側の開閉弁
を閉じ、洗浄槽の底面部に下方から当接する超音波振動
子により超音波振動を発生させる。この超音波振動は洗
浄槽の底面部を介して洗浄液に伝達され、振動状態とな
った洗浄液の運動により、被洗浄物の汚れ等の付着物が
除去される。

【００２６】被洗浄物の付着物の除去が終了すると、洗
浄液連絡用配管側の開閉弁を開け、洗浄液流動付勢手段
により洗浄槽から洗浄液タンク方向に流動を付勢して洗
浄槽内の洗浄液を洗浄液連絡用配管を介して洗浄液タン
クに戻す。この時、洗浄液は、洗浄槽から、連絡流路，
ヘッダ領域，洗浄液連絡用配管を通過して洗浄液タンク
に戻されるが、洗浄槽の底面部−連絡流路間，連絡流路
−ヘッダ領域間，ヘッダ領域−洗浄液連絡用配管間の各
内底面にはそれぞれ段差がなく一様に水平であるため、
洗浄液は、表面張力等の影響により随所に付着した僅か
な量を除いて、洗浄液タンクに戻される。

【００２７】次に、洗浄液連絡用配管側の開閉弁が閉じ
られ、すすぎ水連絡用配管側の開閉弁が開けられて、す
すぎ水タンクから洗浄槽内へ向かってすすぎ水流動付勢
手段により流動を付勢されて、すすぎ水連絡用配管，開
閉弁，ヘッダ領域，連絡流路を介して、すすぎ水が給水
される。

【００２８】給水後、すすぎ水連絡用配管側の開閉弁を
閉じ、このすすぎ水により、洗浄の際に表面張力等の影
響により洗浄槽，被洗浄物等に残留した洗浄液を洗い流
す。そして、再びすすぎ水連絡用配管側の開閉弁を開け
て、すすぎ水流動付勢手段により洗浄槽からすすぎ水タ
ンク方向に流動を付勢して洗浄槽内のすすぎ水をすすぎ
水連絡用配管を介してすすぎ水タンクに戻す。この時、
すすぎ水は、洗浄槽から、連絡流路，ヘッダ領域，すす
ぎ水連絡用配管を通過してすすぎ水タンクに戻される
が、洗浄槽の底面部−連絡流路間，連絡流路−ヘッダ領
域間，ヘッダ領域−すすぎ水連絡用配管間の各内底面に
はそれぞれ段差がなく一様に水平であるため、すすぎ水
は、表面張力等の影響により随所に付着した僅かな量を
除いて、洗浄液タンクに戻される。

【００２９】以上により、本発明の各部の動作が終了す
る。

【００３０】

【実施例】本発明の一実施例を図１乃至図４に基づいて
説明する。図１（Ａ）は、本実施例の全体構成を示す説
明図である。

【００３１】本実施例は、底面部の内底面が水平な洗浄
槽１０と、この洗浄槽１０の底面部に下方から当接し超
音波振動を発生する超音波振動子２５と、予め洗浄液を
所定量貯留する洗浄液タンク３１と、この洗浄液タンク
３１と洗浄槽１０との間で洗浄液を循環する洗浄液循環
系３０と、予めすすぎ水を所定量貯留するすすぎ水タン
ク４１と、このすすぎ水タンク４１と洗浄槽１０との間
ですすぎ水を循環するすすぎ水循環系４０とを有し、洗
浄槽１０に連絡流路を介して所定の内部空間を有するヘ
ッダ領域１７を併設している超音波洗浄装置１である。

【００３２】さらに、この超音波洗浄装置１は、加熱空
気により被洗浄物を乾燥させる熱乾燥機構５０と，洗浄
槽１０内部を真空にして乾燥を図る真空乾燥機構７０
と，洗浄槽１０内部において一定の高さ以上給水された
洗浄液またはすすぎ水をそれぞれのタンクに返還する返
還系６０とを洗浄槽１０に併設すると共に、被洗浄物を
収納し回転させるバレル機構を洗浄槽１０の内部に備え
ている。

【００３３】上述した各部を詳述する。

【００３４】本実施例の洗浄槽１０は、後述する真空乾
燥機構７０により内部を真空にする場合に備えて、その
構造は強固であり，また密閉可能となっている。即ち、
円筒状の洗浄槽本体１１と、洗浄槽本体１１の下方開口
端を塞ぐように固定装備された底面部と、洗浄槽本体１
１の上方開口端で開閉自在に設けられた蓋部１３とから
構成される。

【００３５】洗浄槽本体１１は鋼材からなる円筒形状部
材であり、軸方向の断面が円形であることから、内部真
空時の外部圧力に対する耐久力に優れた構造となってい
る。また、この洗浄槽本体１１の上方開口部に沿ってフ
ランジ１１Ａが装備されており、後述する蓋部１３に装
備されたフランジ１３Ａとこのフランジ１１Ａは、ほぼ
同じ大きさで、蓋部１３の閉鎖時に互いに対応するよう
に配置されている。

【００３６】蓋部１３は、上述の洗浄槽本体１１の軸方
向の円形断面とほぼ同じ大きさの円形に形成されてお
り、この蓋部１３の円形断面の軸方向の断面形状は、よ
り緩やかな半径の略円弧状に形成されている。洗浄槽本
体１１との当接側には、前述したようにフランジ１３Ａ
が設けられており、蓋部１３の閉鎖時には、このフラン
ジ１３Ａが、洗浄槽本体１１のフランジ１１Ａと、パッ
キング１１ａを介挿して対向する。このパッキング１１
ａは、前述した洗浄槽本体１１のフランジ１１Ａに予め
設けられた溝１１ｂに担持されており、このパッキング
１１ａにより、洗浄槽本体１１と蓋部１３との間の密閉
性が保持されている。

【００３７】また、この蓋部１３は、図１（Ａ）におけ
る右端部に回動支点１６および回動アーム１４，１５を
介して、洗浄槽本体１１と連結されており、一方の回動
アーム１４の回動端は洗浄槽本体１１に固定され、他方
の回動アーム１５の回動端はこの蓋部１３と連結されて
いる。これにより、蓋部１３は、洗浄槽本体１１に対し
て回動自在となっている。

【００３８】洗浄槽本体１１の下方は、底面板１２が付
設され、この底面板１２は、溶接，溶着，接着等の手段
により洗浄槽本体１１に固定されており、これにより洗
浄槽本体１１と底面板１２との間の密閉性が保持されて
いる。この底面板１２を洗浄槽本体１１と固着すること
により、有底の容器が形成される。この容器の内側の底
面である内底面１０Ａは、平滑に形成され、且つこの内
底面１０Ａが水平状態となるように洗浄槽１０は、超音
波洗浄装置１に付設されている。

【００３９】上述の構成からなる洗浄槽１０の外部下方
には、底面板１２に当接して複数の超音波振動子２５が
配設されている。本実施例では、四つの超音波振動子２
５が配設されているが、この個数に限定されず、より多
く付設しても良い。この超音波振動子２５は、ボルト締
め振動子であり、発振回路２６により発振周波数の電圧
の印可を受けると超音波振動を発生する。

【００４０】洗浄槽１０内部には、バレル機構２０が配
設されている。このバレル機構２０は、バレル本体２１
と，支えアーム２２と，図示しない回転駆動手段等を有
している。バレル本体２１は、この内部に、被洗浄物を
収納可能とする正六角形の収納容器となっている。

【００４１】このバレル本体２１は、パッチングメタル
で構成されており、このパッチングメタルの表面上に形
成された直径６［ｍｍ］程の無数の穴は、後述する本実
施例の各動作を妨げない。すなわち、洗浄の際には、洗
浄液を介する超音波振動の伝達を妨げること無く、ま
た、すすぎ水の流通も容易になされ、さらに、熱乾燥の
際にも、熱風を容易に内部まで流通させる。

【００４２】また、このバレル本体２１の六角形形状の
中心位置には、回動支点２３が設けられており（図１
（Ａ）中に図示される面の反対側にもこの回動支点が設
けられているがここでは図示略）、この回動支点２３に
は、図示しない回転駆動手段が伝達機構を介して係合し
ている。

【００４３】支えアーム２２は、洗浄槽１０内部におい
て洗浄槽本体１１の内壁に図示のように架設されている
（バレル本体２１の回動支点と同様にしてバレル本体２
１の反対側にもう一つの支えアームが設けられている
が、図示は省略する）。この支えアーム２２は、その中
心部分がＵ字状に曲折されており、このＵ字状の曲折部
分で上述のバレル本体２１の回動支点を回動自在且つ着
脱自在に担持する。

【００４４】上述のように、バレル機構２０は構成され
るが、バレル本体２１の形状については、正六角形では
なく円形，または他の正多角形でも良い。

【００４５】洗浄槽１０は、前述したように、その内部
において、被洗浄物の洗浄，すすぎ，乾燥等の各動作が
行われる。これらの各動作の内、洗浄とすすぎについて
は、この洗浄槽１０内部に、それぞれ洗浄液とすすぎ水
が給水されて行われる。従って、この超音波洗浄装置１
には、洗浄液およびすすぎ水の給・排水を行うための洗
浄液循環系３０およびすすぎ水循環系４０と、洗浄液お
よびすすぎ水の供給源となる洗浄液タンク３１およびす
すぎ水タンク４１とが設けられている。

【００４６】この内、洗浄液循環系３０は、洗浄液連絡
用配管３２と，この洗浄液連絡用配管３２に沿った洗浄
液の流動を付勢する洗浄液流動付勢手段とからなり、こ
の洗浄液連絡用配管３２は、洗浄液を貯留している洗浄
液タンク３１と洗浄槽１０との間に配設された洗浄液給
水用配管３３および洗浄液排水用配管３４から構成され
ている。

【００４７】洗浄液給水用配管３３には、洗浄液流動付
勢手段として給水ポンプ３７がこの配管の途中に設けら
れている。一方、洗浄液排水用配管３４には、液体が高
所から低所へ流れ落ちる性質を利用して、洗浄液タンク
３１を洗浄槽１０の下方に配置することにより（図２参
照）、洗浄液流動付勢手段を不要としている。また、こ
の場合、洗浄液排水用配管３４は、洗浄液が滞りなく洗
浄液タンク３１に導かれるように、洗浄液排水用配管３
４の全領域において、水平方向，または洗浄槽１０から
洗浄液タンク３１へ向かう方向に対して傾斜，下降方向
に配設されている。

【００４８】また、この洗浄液給水用配管３３は，給水
ポンプ３７と洗浄槽１０の間で、二股に分離して、再び
その下流側で合流する形状となっている。この分離箇所
の一方には、フィルター３９およびこのフィルター３９
に前後して二つの手動弁３９Ａ，３９Ｂが設けられ、他
方には、手動弁３９Ｃのみが設けられている。

【００４９】通常は手動弁３９Ｃを閉鎖し、手動弁３９
Ａ，３９Ｂを開放して、フィルター３９側に洗浄液を流
すことにより、洗浄液中の不純物が取り除かれて、常に
清浄な状態で洗浄槽１０に供給される。一方、フィルタ
ー３９の洗浄能力が低下した場合には、手動弁３９Ａ，
３９Ｂを閉鎖し、手動弁３９Ｃを開放することにより、
洗浄液の流動時においてもフィルター３９の交換可能な
構造となっている。

【００５０】上述の洗浄液タンク３１は、洗浄槽１０に
洗浄液を充分に供給するだけの容積を有している。この
洗浄液タンク３１には外部と導通する空気の流通が可能
な弁を設けても良い。これにより、洗浄液タンク３１の
内部圧力の変化により、洗浄液の流動の妨げとなる状態
を回避することが可能である。

【００５１】すすぎ水循環系４０は、すすぎ水連絡用配
管４２と，このすすぎ水連絡用配管４２に沿ったすすぎ
水の流動を付勢するすすぎ水流動付勢手段とからなり、
このすすぎ水連絡用配管４２は、すすぎ水を貯留してい
るすすぎ水タンク４１と洗浄槽１０との間に配設された
すすぎ水給水用配管４３およびすすぎ水排水用配管４４
から構成されている。

【００５２】すすぎ水給水用配管４３には、すすぎ水流
動付勢手段として給水ポンプ４７がこの配管の途中に設
けられている。一方、すすぎ水排水用配管４４には、液
体が高所から低所へ流れ落ちる性質を利用して、すすぎ
水タンク４１を洗浄槽１０の下方に配置することにより
（図２参照）、すすぎ水流動付勢手段を不要としてい
る。また、この場合、すすぎ水排水用配管４４は、すす
ぎ水が滞りなくすすぎ水タンク４１に導かれるように、
すすぎ水排水用配管４４の全領域において、水平方向，
または洗浄槽１０からすすぎ水タンク４１へ向かう方向
に下降，傾斜して配設されている。

【００５３】また、このすすぎ水給水用配管４３は，給
水ポンプ４７と洗浄槽１０の間で、二股に分離して、再
びその下流側で合流する形状となっている。この分離箇
所の一方には、フィルター４９およびこのフィルター４
９に前後して二つの手動弁４９Ａ，４９Ｂが設けられ、
他方には、手動弁４９Ｃのみが設けられている。

【００５４】通常は手動弁４９Ｃを閉鎖し、手動弁４９
Ａ，４９Ｂを開放して、フィルター４９側にすすぎ水を
流すことにより、すすぎ水中の不純物が取り除かれて、
常に清浄な状態で洗浄槽１０に供給される。一方、フィ
ルター４９の洗浄能力が低下した場合には、手動弁４９
Ａ，４９Ｂを閉鎖し、手動弁４９Ｃを開放することによ
り、すすぎ水の流動時においてもフィルター４９の交換
が行える構造となっている。

【００５５】上述のすすぎ水タンク４１は、洗浄槽１０
にすすぎ水を充分に供給するだけの容積を有している。
このすすぎ水タンク４１には外部と導通する空気の流通
が可能な弁を設けても良い。これにより、すすぎ水タン
ク４１の内部圧力の変化により、すすぎ水の流動の妨げ
となる状態を回避することが可能である。

【００５６】上述した洗浄液給水用配管３３，洗浄液排
水用配管３４，すすぎ水給水用配管４３，およびすすぎ
水排水用配管４４の各配管は皆、洗浄槽１０に直接連結
されているのではなく、洗浄槽１０に併設されたヘッダ
領域１７を介して連結されている。このヘッダ領域１７
は、洗浄槽１０から水平方向に延びる連絡流路１８を介
して洗浄槽１０と連結されている。図１（Ｂ）は、ヘッ
ダ領域１７を図１（Ａ）の矢印方向からみた部分側面図
である。

【００５７】このヘッダ領域１７は、直方体形状の内部
空間を有する容器であり、この内部空間には内底面１７
Ａが形成されている。また、このヘッダ領域１７と洗浄
槽１０との連絡流路１８にも内底面１８Ａが形成されて
おり、これらの内底面１７Ａ，１８Ａと洗浄槽１０の内
底面１０Ａとは、一様に同じ高さで且つ水平に設定され
ている。

【００５８】さらに、洗浄液給水用配管３３，洗浄液排
水用配管３４，すすぎ水給水用配管４３，およびすすぎ
水排水用配管４４の各々には、ヘッダ領域１７との連結
部に近接して、電気信号により開閉が行われる開閉弁で
ある電磁弁３５，３６，４５，４６が設けられている。
これらの連結状態を図１（Ｂ）に基づいて説明すると、
上述の各配管の中で、洗浄液給水用配管３３と洗浄液排
水用配管３４とは、両方とも水平方向からヘッダ領域１
７の左側に連結されており、特に、洗浄液排水用配管３
４は、その内部に形成される内底面３４Ａがヘッダ領域
１７の内底面１７Ａと高さが一様となるように連結され
ている。

【００５９】また、すすぎ水給水用配管４３とすすぎ水
排水用配管４４とは、両方とも水平方向からヘッダ領域
１７の右側に連結されており、特に、すすぎ水排水用配
管４４は、その内部に形成される内底面４４Ａがヘッダ
領域１７の内底面１７Ａと高さが一様となるように連結
されている。ここで、洗浄液またはすすぎ水の流動の際
にそれぞれ干渉することがないように、このヘッダ領域
１７の図１（Ｂ）における横方向の幅をある一定の間隔
に設定している。

【００６０】ヘッダ領域１７と各配管３３，３４，４
３，４４とが上記のように連結されることにより、洗浄
槽１０から洗浄液またはすすぎ水が、各排水用配管３
４，４４を通り排水される際に、これらの洗浄液または
すすぎ水が洗浄槽１０の内底面１０Ａ，連絡流路１８の
内底面１８Ａ，ヘッダ領域１７の内底面１７Ａ、および
各排水用配管３４，４４の連結部一帯の水平部分の内底
面３４Ａ，４４Ａに残留しない構造となっている。

【００６１】ここで、本実施例では、上述したように、
洗浄槽１０の内底面１０Ａと，連絡流路１８の内底面１
８Ａと，ヘッダ領域１７の内底面１７Ａと，洗浄液排水
用配管３４およびすすぎ水排水用配管４４の各内底面３
４Ａ，４４Ａとを全て一様に同じ高さで且つ水平に設定
することにより、上記各領域に排水後まで洗浄液または
すすぎ水が残留することを防止しているが、図３（Ａ）
に示すように、連絡流路１８の内底面１８Ａが洗浄槽１
０からヘッダ領域１７に向かって低くなるように、連絡
流路１８を傾斜させて設けても良い。また、図３（Ｂ）
に示すように、ヘッダ領域１７の内底面１７Ａが連絡流
路１８の内底面１８Ａより低くなる位置にヘッダ領域１
７を設けても良い。

【００６２】次に、返還系６０を説明する。本実施例で
は、洗浄または、すすぎを行う際に、これらの動作が終
了するまで、洗浄槽１０への洗浄液またはすすぎ水の給
水が継続される。返還系６０は、この給水の持続によ
り、洗浄槽１０内部の一定の高さを越える洗浄液または
すすぎ水を、洗浄液タンク３１またはすすぎ水タンク４
１に返還する各配管等により主に構成される。

【００６３】即ち、図１（Ａ）に示されるように、洗浄
槽１０内に配設され，上端部が所定の高さに設定されて
いる堰部６１と、この堰部６１を越えた洗浄液またはす
すぎ水を洗浄槽１０外部に導く導通配管６２と、この導
通配管６２に連結され，下流端で二股に分かれているＴ
字状の配管６３と、このＴ字状の配管６３の一方の下流
端から洗浄液タンク３１へと導通している洗浄液返還用
配管６４と、Ｔ字状の配管６３の他方の下流端からすす
ぎ水タンク４１へと導通しているすすぎ水返還用配管６
５とから、返還系６０は構成されている。

【００６４】さらに詳述すると、堰部６１は、洗浄槽本
体１１の内部壁に洗浄槽本体１１の中心方向に迫り出す
ように付設されている。この堰部６１の上端部の高さ設
定により、洗浄工程またはすすぎ工程の際に、洗浄槽１
０内部に確保される洗浄液またはすすぎ水の量が決定さ
れる。

【００６５】そして、導通配管６２は、堰部６１を越え
た洗浄液またはすすぎ水を洗浄槽１０の外部へ案内する
ように水平，或いは外部へ向かって下降する方向に傾斜
して設けられている。この導通配管６２の下流端には、
前述したＴ字状の配管６３の上流端と連結されると共
に、後述する真空乾燥機構７０にも連結されている。つ
まり、本実施例では、真空乾燥を行う際に，洗浄槽１０
内部の空気等を外部へ導く案内用の配管として、この導
通配管６２を共用している。

【００６６】Ｔ字状の配管６３は、いわゆるアルファベ
ットのＴの文字の形状であり、これを逆さまにした状態
で超音波洗浄装置１に配設されている。そして、その状
態で上端部となる上流端が導通配管６２と連結されてい
る。さらに、このＴ字状の配管６３は、二股に分かれる
下流端部が、それぞれ電磁弁６６，６７を介して洗浄液
返還用配管６４およびすすぎ水返還用配管６５と連結さ
れている。

【００６７】洗浄液返還用配管６４およびすすぎ水返還
用配管６５は、共に、洗浄液およびすすぎ水が重力に従
って、洗浄液タンク３１およびすすぎ水タンク４１に返
還されるように、洗浄液返還用配管６４およびすすぎ水
返還用配管６５の全領域において、水平方向，または洗
浄槽１０から洗浄液タンク３１およびすすぎ水タンク４
１へ向かう方向に下降，傾斜して配設されている。

【００６８】上述した返還系６０により、給水および返
還を持続して行うことが可能となり、洗浄の工程におい
ては、洗浄液が洗浄液タンク３１と洗浄槽１０との間を
往復し、洗浄液給水用配管３３の途中に設けられたフィ
ルター３９により、洗浄液内の汚れ等が濾されるため
に、洗浄効率が向上する。また、すすぎの工程において
は、洗浄槽１０内部のすすぎ水の流動が活発化し、すす
ぎ効率が向上する。

【００６９】次に、熱乾燥機構５０について説明する。
この熱乾燥機構５０は、一端部が洗浄槽１０の内部に導
通すると共に、他端部に外気の取り入れ口５４を有する
熱供給管５１と、この熱供給管５１の内部の途中箇所に
設けられた熱源とから構成されている。

【００７０】即ち、熱供給管５１は、その全体が、洗浄
槽本体１１の側壁の外部から内部に導通する配管で構成
されている。そして、洗浄槽１０内においてその一端部
は、クランク状に先端がより高い位置に来るように形成
され、さらにその先端には、吹き出しノズル５３が設け
られている。この吹き出しノズル５３は、洗浄槽１０内
部に配設されたバレル本体２１に向けられており、より
効率良く被洗浄物の乾燥が行えるように、前述した返還
系６０の堰部６１により設定された洗浄液またはすすぎ
水の高さよりも低くならない範囲で，よりバレル本体２
１に近接する位置に設定されている。

【００７１】熱供給管５１の他端部には、熱源としての
ヒータ５２を収納する領域が形成されると共に、ヒータ
５２に近接して外気の取り入れ口５４が設けられてい
る。この外気の取り入れ口５４には電磁弁５５が付設さ
れ、開閉自在となっている。

【００７２】熱源としてのヒータ５２は、図示しない熱
供給管５１の外部に設けられた電源から電力を供給され
て熱を発生するものであり、このヒータ５２の電源と接
続される接続部は熱供給管５１の密閉状態を維持した状
態で外部に露出されている。またこのヒータ５２の周囲
には、熱供給管５１を構成する管壁の内側部分とヒータ
５２との間に間隙が形成されており、外気の取り入れ口
５４から取り込まれた外気が、この間隙を通過する際
に、ヒータ５２により加熱される構造となっている。本
実施例では、外気を取り入れるために、外部の空気圧縮
手段等により射出される圧縮空気をこの外気の取り入れ
口５４から熱供給管５１の内部に送り込んでいるが、外
気の取り入れ口５４に、外気取り入れ手段としてのファ
ン等を装備しても良い。

【００７３】次に、真空乾燥機構７０を説明する。この
真空乾燥機構７０は、洗浄槽１０内部に導通する導通配
管６２と、排気管７２と、真空ポンプ７１と、排気口７
３とから構成される。導通配管６２は、前述の返還系６
０では，洗浄槽１０から溢れた洗浄液またはすすぎ水を
洗浄槽１０外部へ案内する配管として機能したが、この
真空乾燥機構７０では、洗浄槽１０内部の空気および水
蒸気等を洗浄槽１０外部へ案内する配管として機能す
る。この導通配管６２の下流端は、図１（Ａ）の上下方
向に分かれており、下方が循環系のＴ字状の配管６３に
連結され、上方はこの真空乾燥機構７０の排気管７２と
連結されている。さらにこの排気管７２は上部で真空ポ
ンプ７１と連結され、真空ポンプ７１には、この真空ポ
ンプ７１により付勢された洗浄槽１０内の空気および水
蒸気等を排出する排気口７３が設けられている。

【００７４】次に、超音波洗浄装置１の制御系８０につ
いて説明する。この制御系８０は、図２に示すコントロ
ールボックス内に収納されている。図４は、この制御系
８０の構成図である。これによると、この制御系８０で
は、前述した本実施例の各構成の中で、各電磁弁３５，
３６，４５，４６，５５，６６，６７，給水ポンプ３
７，４７，真空ポンプ７１，超音波振動子２５の発振回
路２６，ヒータ５２，バレル機構２０の回転駆動手段等
の作動の順序，タイミング，条件等を全て記憶すると共
に，これらの条件に従って動作指令を出力するシーケン
サ部８１と、この動作指令を受けてリレー部８３に動作
信号を送信すると共に，超音波洗浄装置１の各部に設け
られた各種センサの信号を受け付けてシーケンサ部８１
に伝達するＩ／Ｏ部８２と、動作信号を受けて上述の各
作動手段の始動電源等のスイッチのオンオフを行うリレ
ー部８３とから構成される。

【００７５】後述する超音波洗浄装置１の各部の動作
は、シーケンサ部８１によって予め設定されている動作
の順序，動作の継続時間等に従って行われるものであ
る。また、洗浄槽１０内部に設けられ温度センサによ
り，洗浄槽１０内部の温度が感知され，洗浄，すすぎが
目的合った温度で行われるように図示しない熱源により
洗浄槽１０内部の温度が調節される制御や、洗浄槽１０
内部に付設されたレベルセンサにより，液面高さが検知
されると，バレル機構２０が作動する，給水ポンプ３
７，４７が緊急停止する等の外部の状況変化に対応する
制御もこのシーケンサ部８１で行われる。

【００７６】本実施例の動作を説明する。本実施例の動
作は、大別して洗浄，すすぎ，熱乾燥，真空乾燥の四つ
の工程で行われる。

【００７７】まず、動作前の準備として、被洗浄物を収
納したバレル本体２１を洗浄槽１０内部に装着し、洗浄
槽１０の蓋部１３を閉じる。この時点では、全ての電磁
弁３５，３６，４５，４６，５５，６６，６７は閉鎖さ
れている。

【００７８】次に、洗浄動作が行われる。電磁弁３５，
６６が開放されると共に、給水ポンプ３７が作動し、洗
浄液タンク３１から洗浄液が洗浄槽１０内へ洗浄液給水
用配管３３を介して給水される。洗浄槽１０内部で洗浄
液がある高さまで給水されると、バレル機構２０の回転
駆動手段によりバレル本体２１の回転が開始され、さら
に、発振回路２６から発振周波数の電圧が複数の超音波
振動子２５に印可されて、洗浄槽１０内の洗浄液に底面
板１２を介して超音波振動が伝達される。この時、被洗
浄物は、バレル本体２１内で回転することにより、超音
波が洗浄液を介して一様に伝達され、その表面上の汚れ
等が除去される。

【００７９】この後、洗浄液の給水は、所定時間継続さ
れ、洗浄槽１０内部で、堰部６１を越えた洗浄液は、電
磁弁６６を介して、洗浄液返還用配管６４に沿って重力
に従って洗浄液タンク３１内部に返還される。この時、
被洗浄物から除去された汚れ等も、この洗浄液と共に洗
浄液タンク３１に返還される。そして、再び、給水ポン
プ３７により洗浄液タンク３１から洗浄槽１０へ向う流
動が付勢され、この途中に設けられたフィルター３９に
より汚れが濾し取られて、洗浄液は清浄化されて洗浄槽
１０に到達する。

【００８０】上記の給水と返還を繰り返した後、給水ポ
ンプ３７を停止し、また超音波振動子２５に対する発振
回路２６の電圧の印可も停止する。そして、電磁弁３５
が閉鎖され、電磁弁３６が開放される。これにより洗浄
液は、連絡流路１８，ヘッダ領域１７，電磁弁３６，洗
浄液排水用配管３４を通り、洗浄槽１０内から洗浄液が
排水される。このとき、洗浄槽１０の内底面１０Ａ，連
絡流路１８の内底面１８Ａ，ヘッダ領域１７の内底面１
７Ａ，洗浄液排水用配管３４の内底面３４Ａが一様に同
じ高さで，且つ水平に設定されているために、表面張力
等の原因により各所に付着する僅かな量を除いて、残留
することなく、洗浄液は洗浄液タンク３１まで帰還す
る。

【００８１】洗浄液の排水終了後も、バレル機構２０は
回転を行い、これにより、被洗浄物に残留した洗浄液が
振り落とされる。さらに、電磁弁５５を開放し、熱乾燥
機構５０の外気取り入れ口５４から、外部の空気圧縮手
段により圧縮空気が送り込まれ、この圧縮空気が、吹き
出しノズル５３から射出して、バレル本体２１内の被洗
浄物に付着した洗浄液の除去を促進する。また、圧縮空
気が送り込まれることにより、洗浄槽１０内部で、電磁
弁３６，６６に向かう空気の流動が付勢され、各部に付
着した洗浄液が、これらの電磁弁３６，６６の方向に移
動を付勢される。

【００８２】上記の洗浄液の水切り作業が数秒間から１
０秒間ほど行われると、電磁弁３５，５５，６６が閉鎖
され、すすぎ工程に移行する。

【００８３】まず、電磁弁４５，６７が開放され、給水
ポンプ４７が作動する。これにより、すすぎ水がすすぎ
水タンク４１から洗浄槽１０に流動を付勢されて、給水
が行われる。この給水は、洗浄槽１０内部の堰部６１位
置まで到達した後、さらに所定時間継続される。洗浄槽
１０内部で、堰部６１を越えた洗浄液は、電磁弁６７を
介して、すすぎ水返還用配管６５に沿って重力に従って
すすぎ水タンク４１内部に返還される。この給水，返還
が繰り返されることにより、洗浄槽１０内部ですすぎ水
は一定の流動状態となり、洗浄槽１０の各所に付着残留
していた洗浄液は、有効に洗い流される。

【００８４】この給水の継続時に、バレル機構２０では
回転動作を継続しているために、バレル本体２１内部の
すすぎ水は、この回転による流動状態となり、被洗浄物
に付着していた洗浄液は、すすぎ水に洗い流される。ま
たこの給水時に、発振回路２６により超音波振動子２５
から超音波振動を発生させても良い。伝達される超音波
振動により、洗浄槽１０内部に残留付着していた洗浄液
は、より有効にすすぎ落とされる。

【００８５】すすぎ水タンク４１に返還されたすすぎ水
は、再び、給水ポンプ４７によりすすぎ水タンク４１か
ら洗浄槽１０へ向う流動が付勢され、この途中に設けら
れたフィルター４９によりすすぎ水中の不純物が濾し取
られて、すすぎ水は清浄化されて洗浄槽１０に到達す
る。

【００８６】上記の給水と返還が繰り返された後、給水
ポンプ４７を停止する。そして、電磁弁４５が閉鎖さ
れ、電磁弁４６が開放される。これにより、すすぎ水
は、連絡流路１８，ヘッダ領域１７，電磁弁４６，すす
ぎ水排水用配管４４を通り、洗浄槽１０内からすすぎ水
が排水される。このとき、洗浄槽１０の内底面１０Ａ，
連絡流路１８の内底面１８Ａ，ヘッダ領域１７の内底面
１７Ａ，すすぎ水排水用配管４４の内底面４４Ａが一様
に同じ高さで，且つ水平に設定されているために、表面
張力等の原因により各所に付着する僅かのすすぎ水を除
いて、残留すること無く、洗浄液は洗浄液タンク３１ま
で帰還する。また、すすぎ水の排水中にも、バレル機構
２０は回転を行い、これにより、被洗浄物に付着したす
すぎ水が振り落とされる。

【００８７】排水終了後は、熱乾燥工程に移行する。ま
ず、電磁弁５５を開放し、ヒータ５２に電力を供給して
加熱させ、外気取り入れ口５４から、外部の空気圧縮手
段により圧縮空気を送り込む。圧縮空気は、ヒータ５２
により加熱されることにより加熱空気となって、吹き出
しノズル５３からバレル本体２１に吹き付けられ、バレ
ル本体２１内の被洗浄物に付着したすすぎ水の除去を促
進する。また、圧縮空気が送り込まれることにより、洗
浄槽１０内部で、電磁弁４６，６７に向かう空気の流動
が付勢され、各部に付着したすすぎ水が、これらの電磁
弁４６，６７方向に移動を付勢される。

【００８８】上述の熱乾燥機構５０は、外部の空気圧縮
手段に代わり真空ポンプ７１を使用しても良い。即ち、
電磁弁５５を除く他の全ての電磁弁を閉鎖し、ヒータ５
２に電力を供給し真空ポンプ７１を作動させる。これに
より、洗浄槽１０の内部圧力の低下と共に外気の取り入
れ口５４から外気が吸入され、洗浄槽１０内部に、吹き
出しノズル５３から加熱された外気が供給され、洗浄槽
１０内部の乾燥が促進される。

【００８９】上述の熱乾燥が数秒から２０秒ほど行われ
た後に、真空乾燥工程に移行する。この時、全ての電磁
弁を閉鎖して真空ポンプ７１を作動させる。これによ
り、洗浄槽１０内部の圧力は低下し、これに伴い、洗浄
槽１０内部のすすぎ水は沸騰，気化蒸発し、この気化し
たすすぎ水は、洗浄槽１０内部空気と共に、真空ポンプ
７１により排気口７３から外部に排出される。

【００９０】上記のように、洗浄，すすぎ，熱乾燥，真
空乾燥の四つの工程が行われ、電磁弁５５を開放して洗
浄槽１０内部を大気圧に戻し、蓋部１３を開けて洗浄槽
１０内部からバレル本体２１を取り出し、さらにこのバ
レル本体２１内から被洗浄物を取り出して、本実施例の
動作は終了する。

【００９１】

【発明の効果】本発明は、洗浄槽に連絡流路を介してヘ
ッダ領域を設ける構成としたために、このヘッダ領域に
洗浄液連絡用配管およびすすぎ水連絡用配管をまとめて
連結することが可能となり、これにより、連絡流路を長
く形成する必要がなくなり、従来のように連絡流路の内
底面に洗浄液またはすすぎ水が残留することを有効に排
除することが可能となった。

【００９２】また、洗浄槽，連絡流路，ヘッダ領域，洗
浄液連絡用配管，およびすすぎ水連絡用配管のそれぞれ
の内底面を水平且つ一様に同じ高さに設定しているため
に、洗浄槽から洗浄液およびすすぎ水を排水する際に、
洗浄槽，連絡流路，およびヘッダ領域の各内底面に洗浄
液およびすすぎ水が残留するという不都合を有効に排除
することが可能となった。

【００９３】そして、以上のように構成され機能するの
で、洗浄後にすすぎを行う際に、すすぎ水に混入する洗
浄液の量が低減され、すすぎ水は高い純度を保持するこ
とが可能となり、このすすぎ水の長寿命化を図ることが
可能となる従来にない優れた超音波洗浄装置を提供する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す図であり、図１（Ａ）
は概略的に全体を示す構成図であり、図１（Ｂ）は一実
施例のヘッダ領域を図１（Ａ）の矢印方向からみた一部
を切り欠いた図である。

【図２】図１に開示した超音波洗浄装置の各部の概略的
な配置を示す説明図である。

【図３】図１に開示した超音波洗浄装置の洗浄槽，連絡
流路およびヘッダ領域の位置関係の異なる例を示す図で
あり、図３（Ａ）は連絡流路が傾斜している例を示す部
分断面図であり、図３（Ｂ）はヘッダ領域が低い位置に
ある他の例を示す部分断面図である。

【図４】図１に開示した超音波洗浄装置の制御系を示す
ブロック図である。

【図５】従来の超音波洗浄装置を示す図であり、図５
（Ａ）は一部省略した説明図であり、図５（Ｂ）は図５
（Ａ）の連絡流路部分を拡大した断面図である。

【符号の説明】

１超音波洗浄装置１０洗浄槽１０Ａ内底面１７ヘッダ領域１７Ａ内底面１８連絡流路１８Ａ内底面２５超音波洗浄装置３０洗浄液循環系３１洗浄液タンク３２洗浄液連絡用配管３３洗浄液給水用配管３４洗浄液排水用配管３４Ａ内底面３５，３６，４５，４６開閉弁（電磁弁）３７洗浄液流動付勢手段（給水ポンプ）４０すすぎ水循環系４１すすぎ水タンク４２すすぎ水連絡用配管４３すすぎ水給水用配管４４すすぎ水排水用配管４４Ａ内底面４７すすぎ水流動付勢手段（給水ポンプ）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】底面部の内底面が水平な洗浄槽と、この
洗浄槽の底面部に下方から当接し超音波振動を発生する
超音波振動子と、予め洗浄液を所定量貯留する洗浄液タ
ンクと、この洗浄液タンクと前記洗浄槽との間で前記洗
浄液を循環する洗浄液循環系と、予めすすぎ水を所定量
貯留するすすぎ水タンクと、このすすぎ水タンクと前記
洗浄槽との間で前記すすぎ水を循環するすすぎ水循環系
とを有し、前記洗浄液循環系を、洗浄液連絡用配管と，この洗浄液
連絡用配管に沿った前記洗浄液の流動を付勢する洗浄液
流動付勢手段とから構成すると共に、前記すすぎ水循環系を、すすぎ水連絡用配管と，このす
すぎ水連絡用配管に沿った前記すすぎ水の流動を付勢す
るすすぎ水流動付勢手段とから構成し、前記洗浄槽に連絡流路を介して水平な底面部の内底面を
有するヘッダ領域を併設し、このヘッダ領域の内底面と
前記連絡流路の内底面とを一様に前記洗浄槽の内底面と
同じ高さに設定し、前記洗浄液連絡用配管と前記すすぎ水連絡用配管とを，
それぞれ前記ヘッダ領域の水平方向から，開閉弁を介し
て連結させると共に、当該ヘッダ領域の内底面と前記各配管内部の内底面の高
さとが一様となるように設定したことを特徴とする超音
波洗浄装置。
【請求項２】前記洗浄液連絡用配管を，洗浄液給水用
配管と洗浄液排水用配管とから構成すると同時に、前記
すすぎ水連絡用配管を，すすぎ水給水用配管とすすぎ水
排水用配管とから構成し、前記洗浄液排水用配管と前記すすぎ水排水用配管とを，
それぞれ前記ヘッダ領域の水平方向から，開閉弁を介し
て連結させると共に、当該ヘッダ領域の内底面と前記各配管内部の内底面の高
さとが一様となるように設定したことを特徴とする請求
項１記載の超音波洗浄装置。