JPH08292233A - Icハンドラ - Google Patents

Icハンドラ

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JPH08292233A
JPH08292233A JP7099242A JP9924295A JPH08292233A JP H08292233 A JPH08292233 A JP H08292233A JP 7099242 A JP7099242 A JP 7099242A JP 9924295 A JP9924295 A JP 9924295A JP H08292233 A JPH08292233 A JP H08292233A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
socket
shuttle
supply
feed
pocket
Prior art date
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Pending
Application number
JP7099242A
Other languages
English (en)
Inventor
Shigeaki Sugiyama
滋章 杉山
Kyoji Yabe
鏡司 矢部
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd, Hitachi Shimizu Engineering Co Ltd filed Critical Hitachi Ltd
Priority to JP7099242A priority Critical patent/JPH08292233A/ja
Publication of JPH08292233A publication Critical patent/JPH08292233A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Specific Conveyance Elements (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【構成】回収シャトル10に横送り17と同じ方向のス
ライド機構を追加し、横送り17の移動量を切り替える
機能を追加し、さらにソケット8への供給IC13を供
給シャトル3のポケット5で供給して、一個のICを搬
送する場合の横送り17の移動距離の短縮を可能にす
る。 【効果】ソケット部でのICの入れ替え動作時間を短縮
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は横並び2ヘッド方式のI
Cハンドラにおいて、2ヘッドのうち1ヘッドのみで運
転する場合のソケット部でのIC入れ替え動作方法に関
連する。
【0002】
【従来の技術】横並び2ヘッド方式のICハンドラのソ
ケット部における、IC挿入・取り出し搬送機構の関係
を図2に示す。通常は二個のICを1組として搬送する
が、ICやICテスタの種類により、一個のみで搬送運
転する場合がある。この場合、各搬送機構はどちらか一
方のみ動作させ、他方を停止させて運転する。一方側の
1ヘッドのみで運転する場合のIC挿入・取り出し動作
は供給吸着パッド1が下降・吸着・上昇を行い、供給シ
ャトル3のポケット4の供給IC13を取り出し、同時
にソケット押えパッド6も下降・吸着・上昇して、ソケ
ット8の終了IC15を取り出す。次に、横送り17が
移動量Lだけ横移動する。そして、供給吸着パッド1が
下降・離脱・上昇を行い、供給IC13をソケット8に
挿入し、同時にソケット押えパッド6も下降・離脱・上
昇を行い、終了IC15を回収シャトル10の第三のポ
ケット11に挿入する。二つのICを同時に挿入・取り
出しする場合は、上記の昇降する一方側のパッドと同時
に他方側の供給吸着パッド2とソケット押えパッド7も
同様に動作する。
【0003】なお、この種の装置として関連するものに
は、特開昭63−63325 号公報がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術では横送
りの移動距離は一個のみの搬送動作であっても二個同時
の時の動作と同じであり、ICの入れ替え時間も同じと
なり、IC一個当りの入れ替え時間は一個のみの動作の
場合は二個同時動作の場合に比べ長くなる。
【0005】本発明の目的は一個のみの搬送動作の場合
に上記入れ替え時間を短縮する方法を提供することにあ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は回収シャトルに横送りと同じ方向のスライ
ド機構を追加し、横送りの移動量を切り替える機能を追
加し、さらにソケットへの供給ICを供給シャトルのポ
ケットに供給することにより、一個のみの搬送運転する
場合の横送りの移動距離の短縮を可能にする。
【0007】
【作用】一方のソケットへの供給ICをシャトルの他方
のポケットで供給し、他方の供給吸着パッドで下降・吸
着・上昇を行い、横送りは(通常の横送りの移動量L)
−(一方のソケットと他方のソケットの距離)と短縮し
て横移動し、他方の供給吸着パッドを一方のソケット上
に移動させて、他方の供給吸着パッドで供給ICを一方
のソケットに挿入させる。また、回収シャトルは横送り
と同じ方向に(二個のソケット間の距離)だけ一方のソ
ケットに近づく向きにスライドして、横送りが(通常の
横送りの移動量L)−(二個のソケット間の距離)だけ
横移動した時に一方のソケット押えパッドが回収シャト
ルの一方のポケット上に位置するようにするものであ
る。
【0008】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図1,図3,図
4,図5,図6により説明する。図1はその構成を示
し、図3,図4は図1のA矢視図であり2ヘッド同時並
行処理による二個のICの同時入れ替え動作を示し、図
5,図6は図1のA矢視図であり一個のICの入れ替え
動作を示す。
【0009】図2に示す装置は、基準フレーム18にソ
ケット8とソケット9が付き、Y方向にスライドする供
給シャトルシリンダ19と回収シャトルシリンダ20が
付く。この供給シャトルシリンダ19の先端にはIC用
にポケット4およびポケット5を持つ供給シャトル3が
付く。また、回収シャトルシリンダ20の先端にはX方
向にスライドする回収シャトルスライドシリンダ21が
付き、回収シャトルスライドシリンダ21の先端に第三
のポケット11および12を持つ回収シャトル10が付
く。供給シャトルシリンダ19および回収シャトルシリ
ンダ20がY(+)方向にスライドした状態で、ポケッ
ト4,5,ソケット8,9,第三のポケット11,12
はX方向一直線上に位置する。ポケット4と5,ソケッ
ト8と9,第三のポケット11と12は同一間隔であ
り、その距離は全てPである。また、回収シャトルスラ
イドシリンダ21のスライド量もPである。ソケット8
とポケット9,ソケット8と第三のポケット11、およ
びソケット9とポケット5,ソケット9と第三のポケッ
ト12の距離Lは全て同じである。
【0010】横送り17は横送りスライドガイドフレー
ム22の側面をX方向に移動が可能であり、サーボモー
タ27に連結するボールねじ28によりX方向に移動す
るものである。横送りスライドガイドフレーム22はブ
ラケット23と24で基準フレーム18に固定されてい
る。また、横送り17には供給吸着ヘッドシリンダ25
と供給吸着ヘッドシリンダ26とソケット押えヘッドシ
リンダ29とソケット押えヘッドシリンダ30が付く、
さらに、供給吸着ヘッドシリンダ25の先端には供給吸
着パッド1が、供給吸着ヘッドシリンダ26の先端には
供給吸着パッド2が、ソケット押えヘッドシリンダ29
の先端にはソケット押えパッド6が、ソケット押えヘッ
ドシリンダ30の先端にはソケット押えパッド7が付
く。これら四つのパッドはX方向一直線上に位置し、同
一間隔であり、その距離はPである。横送り17がX方
向の原点に位置する状態で、供給シャトルシリンダ19
および回収シャトルシリンダ20がY(+)方向にスラ
イドし、回収シャトルスライドシリンダ21がX(+)
向きにスライドした状態で、供給吸着パッド1は第三の
ポケット11の上に、供給吸着パッド2は第三のポケッ
ト12の上に、ソケット押えパッド6はソケット8の上
に、ソケット押えパッド7はソケット9上に位置する。
【0011】次に、図3,図4により、2ヘッド同時並
行処理による、二個のICの同時入れ替え動作を説明す
る。この場合、図3に示すように、供給シャトル3によ
って供給される供給IC13と14はそれぞれポケット
4とポケット5で供給され、ソケット8には終了IC1
5、ソケット9には終了IC16が入っている。供給ヘ
ッドシリンダ25と26が下降・上昇を行い、供給吸着
パッド1と2がそれぞれポケット4の供給IC13とポ
ケット5の供給IC14を同時吸着する。また同時に、
ソケット押えヘッドシリンダ29と30が下降・上昇を
行い、ソケット押えパッド6と7がそれぞれソケット8
の終了IC15とソケット9の終了IC16を同時に吸
着する。そして、図4に示すように、横送り17が原点
からX(+)向きにLだけ移動して、供給吸着パッド1
と2をそれぞれソケット8と9の上に、ソケット押えパ
ッド6と7をそれぞれ回収シャトル10の第三のポケッ
ト11と12の上にシフトする。そして、供給ヘッドシ
リンダ25と26とソケット押えヘッドシリンダ29と
30が同時に下降・上昇を行い、供給吸着パッド1の供
給IC13をソケット8に、供給吸着パッド2の供給I
C14をソケット9に、ソケット押えパッド6の終了I
C15を第三のポケット11に、ソケット押えパッド7
の終了IC16を第三のポケット12に挿入する。そし
て、横送り17がX(−)向きにLだけ移動して原点の
位置に戻る。この一連動作では横送り17が距離Lだけ
移動して二個のICを横送りしている。
【0012】次に、図5,図6により、一個のICの入
れ替え動作を説明する。この場合、図5に示すように、
供給シャトル3によって供給する供給IC13はポケッ
ト5で供給され、ソケット8には終了IC15が入って
いる。供給ヘッドシリンダ26が下降・上昇して、供給
吸着パッド2が供給シャトル3の供給IC13を吸着す
る。同時に、ソケット押えヘッドシリンダ29が下降・
上昇して、ソケット押えパッド6がソケット8の終了I
C15を吸着する。そして、図6に示すように、横送り
17がX(+)向きにL−Pだけ移動する。同時に回収
シャトル10がX(+)向きにPだけスライドして、供
給吸着パッド2をソケット8の上に、ソケット押えパッ
ド6を回収シャトル10の第三のポケット11の上にシ
フトする。そして、供給ヘッドシリンダ26とソケット
押えヘッドシリンダ29が同時に下降・上昇を行い、供
給吸着パッド2の供給IC13をソケット8に、また、
ソケット押えパッド6の終了IC15を第三のポケット
11に挿入する。そして、横送り17がX(−)向きに
P−L、回収シャトル10がX(+)向きにPだけ同時
に移動して原点の位置に戻る。この一連動作では回収シ
ャトル10がPだけスライドすると同時に横送り17が
Pだけ短縮した距離(L−P)を移動することにより、
ICの横送り時間を短縮している。
【0013】
【発明の効果】本発明は、ソケットへのIC挿入・取り
出しの搬送時間を短縮する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明を採用した実施例のハンドラのソケット
とIC挿入・取り出し搬送機構の説明図。
【図2】横並び2ヘッド方式のICハンドラのソケット
部における、ソケットとIC挿入・取り出し搬送機構の
関連を示す説明図。
【図3】本発明を採用した実施例のハンドラにおける2
ヘッド同時並行処理による二個のICの同時入れ替え動
作の初期状態を示す説明図。
【図4】本発明を採用した実施例のハンドラにおける2
ヘッド同時並行処理による二個のICの同時入れ替え動
作の横送り後の状態を示す説明図。
【図5】本発明を採用した実施例のハンドラにおける一
個のICの入れ替え動作の初期状態を示す説明図。
【図6】本発明を採用した実施例のハンドラにおける一
個のICの入れ替え動作の横送り後の状態を示す説明
図。
【符号の説明】
1,2…供給吸着パッド、3…供給シャトル、4,5…
ポケット、6,7…ソケット押えパッド、8,9…ソケ
ット、10…回収シャトル、11,12…ポケット、1
3,14,15…供給IC、16…終了IC、17…横
送り、18…基準フレーム、19…供給シャトルシリン
ダ、20…回収シャトルシリンダ、21…回収シャトル
スライドシリンダ、22…横送りスライドガイドフレー
ム、23,24…ブラケット、25,26…供給ヘッド
シリンダ、27…サーボモータ、28…ボールねじ、2
9,30…ソケット押えヘッドシリンダ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】ソケット部にオーバーハングして回収シャ
    トルをスライドする機構を有することを特徴とするIC
    ハンドラ。
JP7099242A 1995-04-25 1995-04-25 Icハンドラ Pending JPH08292233A (ja)

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JP7099242A JPH08292233A (ja) 1995-04-25 1995-04-25 Icハンドラ

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JP7099242A JPH08292233A (ja) 1995-04-25 1995-04-25 Icハンドラ

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ID=14242235

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JP7099242A Pending JPH08292233A (ja) 1995-04-25 1995-04-25 Icハンドラ

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