JPH08288367A - カセット検知機構 - Google Patents
カセット検知機構Info
- Publication number
- JPH08288367A JPH08288367A JP8822195A JP8822195A JPH08288367A JP H08288367 A JPH08288367 A JP H08288367A JP 8822195 A JP8822195 A JP 8822195A JP 8822195 A JP8822195 A JP 8822195A JP H08288367 A JPH08288367 A JP H08288367A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- leaf spring
- magnet
- mounting
- flexing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 カセットの誤検知を防止する。
【構成】 プレート１に、カセット５の載置によりテフ
ロン製のブロック４を介して撓む鉄，鉄含有物製等の板
バネ２と、該板バネ２が撓んで遮光することでカセット
５を検知するフォトセンサ３と、板バネ２をカセット載
置による撓み方向とは逆の方向に吸引する永久磁石，電
磁石等の磁石６を取付ける。
ロン製のブロック４を介して撓む鉄，鉄含有物製等の板
バネ２と、該板バネ２が撓んで遮光することでカセット
５を検知するフォトセンサ３と、板バネ２をカセット載
置による撓み方向とは逆の方向に吸引する永久磁石，電
磁石等の磁石６を取付ける。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置のカセ
ット検知機構に関する。
ット検知機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】図２（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来機構
の１例を示す側面図及び平面図である。従来機構は、プ
レート１に、カセット５の載置によりテフロン（商品
名）製のブロック４を介して撓むステンレス製の板バネ
２と、該板バネ２が撓むことで遮光してカセット５を検
知するフォトセンサ３を取付けた構成になっている。
の１例を示す側面図及び平面図である。従来機構は、プ
レート１に、カセット５の載置によりテフロン（商品
名）製のブロック４を介して撓むステンレス製の板バネ
２と、該板バネ２が撓むことで遮光してカセット５を検
知するフォトセンサ３を取付けた構成になっている。
【０００３】上記構成の従来例は、プレート１上にカセ
ット５が載置すると、ブロック４が押されて板バネ２が
撓み、遮光されてフォトセンサ３によりカセット５が検
知される。カセット５がプレート１上からなくなると、
板バネ２が元に戻り、フォトセンサ３に投光される。
ット５が載置すると、ブロック４が押されて板バネ２が
撓み、遮光されてフォトセンサ３によりカセット５が検
知される。カセット５がプレート１上からなくなると、
板バネ２が元に戻り、フォトセンサ３に投光される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
例にあっては、カセット５がプレート１から離れた時点
から板バネ２のバネ力により板バネ２が振動して遮光す
るためフォトセンサ３が誤検知することがある。
例にあっては、カセット５がプレート１から離れた時点
から板バネ２のバネ力により板バネ２が振動して遮光す
るためフォトセンサ３が誤検知することがある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、従来技術の課
題である誤検知を解決し、正確に検知することができる
カセット検知機構を提供しようとするものである。即
ち、本発明機構は、図１に示すように載置部１に、カセ
ット５の載置により撓む磁性体製の板バネ２と、該板バ
ネ２が撓むことでカセット５を検知するセンサ３と、前
記板バネ２をカセット載置による撓み方向とは逆の方向
に吸引する磁石６を取付けることを特徴とする。
題である誤検知を解決し、正確に検知することができる
カセット検知機構を提供しようとするものである。即
ち、本発明機構は、図１に示すように載置部１に、カセ
ット５の載置により撓む磁性体製の板バネ２と、該板バ
ネ２が撓むことでカセット５を検知するセンサ３と、前
記板バネ２をカセット載置による撓み方向とは逆の方向
に吸引する磁石６を取付けることを特徴とする。
【０００６】
【作 用】上記のような構成であるから、板バネ２が常
に磁石６により吸引されて拘束されている。載置部１上
にカセット５が載置すると、板バネ２が磁石６の吸引力
に抗して撓むことでカセット５がセンサ３により検知さ
れる。載置部１よりカセット５を離すと、板バネ２が元
に戻り、磁石６により吸引されて拘束されるので、振動
することがなくなり、センサ３が誤検知することはな
い。
に磁石６により吸引されて拘束されている。載置部１上
にカセット５が載置すると、板バネ２が磁石６の吸引力
に抗して撓むことでカセット５がセンサ３により検知さ
れる。載置部１よりカセット５を離すと、板バネ２が元
に戻り、磁石６により吸引されて拘束されるので、振動
することがなくなり、センサ３が誤検知することはな
い。
【０００７】
【実施例】図１（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明機構の
１実施例を示す側面図及び平面図である。本実施例は、
プレート１に、カセット５の載置によりテフロン製のブ
ロック４を介して撓む鉄，鉄含有物製等の板バネ２と、
該板バネ２が撓んで遮光することでカセット５を検知す
るフォトセンサ３と、板バネ２をカセット載置による撓
み方向とは逆の方向に吸引する永久磁石，電磁石等の磁
石６を取付ける。なお、板バネ２に設けられたブロック
４は、プレート１の載置面より突き出ていることは記す
迄もない。
１実施例を示す側面図及び平面図である。本実施例は、
プレート１に、カセット５の載置によりテフロン製のブ
ロック４を介して撓む鉄，鉄含有物製等の板バネ２と、
該板バネ２が撓んで遮光することでカセット５を検知す
るフォトセンサ３と、板バネ２をカセット載置による撓
み方向とは逆の方向に吸引する永久磁石，電磁石等の磁
石６を取付ける。なお、板バネ２に設けられたブロック
４は、プレート１の載置面より突き出ていることは記す
迄もない。
【０００８】上記の構成において板バネ２が常に磁石６
により吸引されて拘束されている。プレート１上にカセ
ット５が載置すると、ブロック４が押されて板バネ２が
磁石６の吸引力に抗して撓み、遮光されてフォトセンサ
３によりカセット５が検知される。プレート１よりカセ
ット５を離すと、板バネ２が元に戻り、フォトセンサ３
に投光されると同時に板バネ２が磁石６により吸引され
て拘束されるので、振動することがなくなり、フォトセ
ンサ３が誤検知することはない。
により吸引されて拘束されている。プレート１上にカセ
ット５が載置すると、ブロック４が押されて板バネ２が
磁石６の吸引力に抗して撓み、遮光されてフォトセンサ
３によりカセット５が検知される。プレート１よりカセ
ット５を離すと、板バネ２が元に戻り、フォトセンサ３
に投光されると同時に板バネ２が磁石６により吸引され
て拘束されるので、振動することがなくなり、フォトセ
ンサ３が誤検知することはない。
【０００９】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、板バネに
よる振動をなくすことができるため、カセットの誤検知
を防止することができ、装置の不必要な停止，再調整を
低減し、装置の信頼性を向上することができる。
よる振動をなくすことができるため、カセットの誤検知
を防止することができ、装置の不必要な停止，再調整を
低減し、装置の信頼性を向上することができる。
【図１】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ本発明機構の１実施
例を示す側面図及び平面図である。
例を示す側面図及び平面図である。
【図２】（Ａ），（Ｂ）はそれぞれ従来機構の１例を示
す側面図及び平面図である。
す側面図及び平面図である。
１ 載置部（プレート） ２ 板バネ ３ フォトセンサ ４ ブロック ５ カセット ６ 磁石
Claims (1)
- 【請求項１】 載置部に、カセットの載置により撓む磁
性体製の板バネと、該板バネが撓むことでカセットを検
知するセンサと、前記板バネをカセット載置による撓み
方向とは逆の方向に吸引する磁石を取付けることを特徴
とするカセット検知機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8822195A JPH08288367A (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | カセット検知機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8822195A JPH08288367A (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | カセット検知機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08288367A true JPH08288367A (ja) | 1996-11-01 |
Family
ID=13936830
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8822195A Pending JPH08288367A (ja) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | カセット検知機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08288367A (ja) |
-
1995
- 1995-04-13 JP JP8822195A patent/JPH08288367A/ja active Pending
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