JPH08271704A - イメージセンサ用窓ガラス - Google Patents
イメージセンサ用窓ガラスInfo
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- JPH08271704A JPH08271704A JP7096302A JP9630295A JPH08271704A JP H08271704 A JPH08271704 A JP H08271704A JP 7096302 A JP7096302 A JP 7096302A JP 9630295 A JP9630295 A JP 9630295A JP H08271704 A JPH08271704 A JP H08271704A
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- Japan
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- film
- layer
- refractive index
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- glass
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガラスからの放射線放出に起因する固体撮像
素子のノイズ発生がなく、透過率特性に優れたイメージ
センサ用窓ガラスを提供すること。 【構成】 ガラス基板の表面に反射防止膜を被着したイ
メージセンサ用窓ガラスにおいて、ガラス基板と反射防
止膜の双方に含まれる放射性同位元素の合量を１００ｐ
ｐｂ以下とし、３層の反射防止膜のうち中間屈折率膜と
して酸化アルミニウムを使用し、これに酸化タンタルを
含有させて屈折率を調整し高透過率を得られるようにし
た。
素子のノイズ発生がなく、透過率特性に優れたイメージ
センサ用窓ガラスを提供すること。 【構成】 ガラス基板の表面に反射防止膜を被着したイ
メージセンサ用窓ガラスにおいて、ガラス基板と反射防
止膜の双方に含まれる放射性同位元素の合量を１００ｐ
ｐｂ以下とし、３層の反射防止膜のうち中間屈折率膜と
して酸化アルミニウムを使用し、これに酸化タンタルを
含有させて屈折率を調整し高透過率を得られるようにし
た。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ビデオカメラ等に使用
されるイメージセンサのパッケージ窓用として用いられ
るガラスに関し、特にイメージセンサのノイズ発生を低
減させたイメージセンサ用窓ガラスに関する。
されるイメージセンサのパッケージ窓用として用いられ
るガラスに関し、特にイメージセンサのノイズ発生を低
減させたイメージセンサ用窓ガラスに関する。
【０００２】
【従来の技術】固体撮像素子（イメージセンサ）は、受
光素子であるＬＳＩチップをアルミナセラミックパッケ
ージ内に納め、その受光面に色分解モザイクフィルター
を重ねてワイヤボンディングし、さらにその上にカバー
ガラスをエポキシ樹脂または、ガラスフリットを用いて
封着した構造となっている。ここで用いられるカバーガ
ラスは、アルミナセラミックパッケージとの気密封着に
よりＬＳＩチップを保護するだけではなく受光面へ効率
的に光を導入するため、内部欠陥の少ない光学的に均質
な材料特性、高い透過率特性が要求される。このためカ
バーガラス表面に弗化マグネシウム膜等の反射防止膜を
被膜したものが用いられている。
光素子であるＬＳＩチップをアルミナセラミックパッケ
ージ内に納め、その受光面に色分解モザイクフィルター
を重ねてワイヤボンディングし、さらにその上にカバー
ガラスをエポキシ樹脂または、ガラスフリットを用いて
封着した構造となっている。ここで用いられるカバーガ
ラスは、アルミナセラミックパッケージとの気密封着に
よりＬＳＩチップを保護するだけではなく受光面へ効率
的に光を導入するため、内部欠陥の少ない光学的に均質
な材料特性、高い透過率特性が要求される。このためカ
バーガラス表面に弗化マグネシウム膜等の反射防止膜を
被膜したものが用いられている。
【０００３】一方、通常のＩＣはもちろん、大容量メモ
リー素子など各種超ＬＳＩチップ半導体装置において、
アッセンブリに使用される気密封着用低融点ガラスある
いはその充填剤（フィラー）がα線粒子を放出し、ソフ
トエラーを発生することが知られている。これは、主と
して低融点ガラスの線膨脹係数の調整および強度向上を
目的として使用される充填剤（例えば、ジルコン Ｚｒ
ＳｉＯ4 など）が原因であり、放射性元素の分離が困難
である封着物質が使用された結果、α線放射率が著しく
増大し、高集積ＩＣの封止材料として用いることは適当
でないことが判明している。
リー素子など各種超ＬＳＩチップ半導体装置において、
アッセンブリに使用される気密封着用低融点ガラスある
いはその充填剤（フィラー）がα線粒子を放出し、ソフ
トエラーを発生することが知られている。これは、主と
して低融点ガラスの線膨脹係数の調整および強度向上を
目的として使用される充填剤（例えば、ジルコン Ｚｒ
ＳｉＯ4 など）が原因であり、放射性元素の分離が困難
である封着物質が使用された結果、α線放射率が著しく
増大し、高集積ＩＣの封止材料として用いることは適当
でないことが判明している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】テレビカメラなどに応
用されるイメージセンサとしての固体撮像素子は、高解
像度化の要請からしだいに画素数を増加させる方向にあ
る。同時にカメラ一体型ＶＴＲの小型，軽量化の進展と
ともに、光学系は、１／２インチ系から１／３インチ
系、さらには１／４インチ系へと縮小化が進んでいる。
したがって画素面積が全体的に縮小化され更に画素数が
増加するため、一画素当たりの信号レベルは相対的に低
下し、従来問題にならなかった微小ノイズが画質向上の
大きな妨げとなってきている。固体撮像素子の高解像度
化を達成するためには、一画素当りの感度を上げるとと
もにできるだけノイズを減らす必要がある。
用されるイメージセンサとしての固体撮像素子は、高解
像度化の要請からしだいに画素数を増加させる方向にあ
る。同時にカメラ一体型ＶＴＲの小型，軽量化の進展と
ともに、光学系は、１／２インチ系から１／３インチ
系、さらには１／４インチ系へと縮小化が進んでいる。
したがって画素面積が全体的に縮小化され更に画素数が
増加するため、一画素当たりの信号レベルは相対的に低
下し、従来問題にならなかった微小ノイズが画質向上の
大きな妨げとなってきている。固体撮像素子の高解像度
化を達成するためには、一画素当りの感度を上げるとと
もにできるだけノイズを減らす必要がある。
【０００５】それに関連してＣＣＤなどイメージセンサ
の窓ガラスが放射性元素を大量に含有し放射性元素が崩
壊する際に放出される各種放射線が、イメージセンサに
誤動作を引き起こしノイズとなることが見出され、すで
に高純度に精製された原料を使用するなど放射線に対す
る対策を施された基板ガラスの開発が進められている。
の窓ガラスが放射性元素を大量に含有し放射性元素が崩
壊する際に放出される各種放射線が、イメージセンサに
誤動作を引き起こしノイズとなることが見出され、すで
に高純度に精製された原料を使用するなど放射線に対す
る対策を施された基板ガラスの開発が進められている。
【０００６】ところが、上述のようにイメージセンサ用
窓ガラスでは、高い透過率特性が要求されるため、その
表面に反射防止膜が被膜されて使用される。この結果、
ガラスからの放射線が問題のないレベルまで低減されて
も、反射防止膜に含まれる放射性元素から放出される放
射線によって、同様にイメージセンサに誤動作が発生し
ノイズとなることが判明した。このため反射防止膜も含
めて放射線対策を施したイメージセンサ用窓ガラスを開
発し、先に提案した（特願平5-342977号）。これによっ
てイメージセンサ用窓ガラスに起因するノイズは大幅に
低減されたが、上述のように高解像度化を達成するため
には、一画素当りの感度を上げることも必要であり、そ
のためには１％でも高い透過率が求められている。
窓ガラスでは、高い透過率特性が要求されるため、その
表面に反射防止膜が被膜されて使用される。この結果、
ガラスからの放射線が問題のないレベルまで低減されて
も、反射防止膜に含まれる放射性元素から放出される放
射線によって、同様にイメージセンサに誤動作が発生し
ノイズとなることが判明した。このため反射防止膜も含
めて放射線対策を施したイメージセンサ用窓ガラスを開
発し、先に提案した（特願平5-342977号）。これによっ
てイメージセンサ用窓ガラスに起因するノイズは大幅に
低減されたが、上述のように高解像度化を達成するため
には、一画素当りの感度を上げることも必要であり、そ
のためには１％でも高い透過率が求められている。
【０００７】本発明は、これらの事情を考慮してなされ
たもので、反射防止膜を含めたイメージセンサ用窓ガラ
スからの放射性同位元素に起因する固体撮像素子のノイ
ズ発生がなく、透過率特性に優れたイメージセンサ用窓
ガラスを提供することを目的とする。
たもので、反射防止膜を含めたイメージセンサ用窓ガラ
スからの放射性同位元素に起因する固体撮像素子のノイ
ズ発生がなく、透過率特性に優れたイメージセンサ用窓
ガラスを提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、ガラス基板の表面に反射防止膜を被着した
イメージセンサ用窓ガラスにおいて、前記反射防止膜を
構成する材質として、ガラス基板側から第１層が酸化ア
ルミニウムに酸化タンタルを０．１〜１０質量％含有し
た混合膜、第２層が酸化タンタル膜、第３層が弗化マグ
ネシウム膜からなり、ガラス基板と反射防止膜の双方に
含まれる放射性同位元素の合量が１００ｐｐｂ以下とし
たイメージセンサ用窓ガラスである。
するために、ガラス基板の表面に反射防止膜を被着した
イメージセンサ用窓ガラスにおいて、前記反射防止膜を
構成する材質として、ガラス基板側から第１層が酸化ア
ルミニウムに酸化タンタルを０．１〜１０質量％含有し
た混合膜、第２層が酸化タンタル膜、第３層が弗化マグ
ネシウム膜からなり、ガラス基板と反射防止膜の双方に
含まれる放射性同位元素の合量が１００ｐｐｂ以下とし
たイメージセンサ用窓ガラスである。
【０００９】また、ガラス基板の表面に反射防止膜を被
着したイメージセンサ用窓ガラスからのα線放出量を
０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ以下とした。
着したイメージセンサ用窓ガラスからのα線放出量を
０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ以下とした。
【００１０】
【作用】反射防止膜は通常、２層または３層で十分な反
射防止効果が得られる。２層の場合、ガラス基板側から
高屈折率膜、ついで低屈折率膜を被膜する。また３層の
場合、ガラス基板側から中間屈折率の膜、高屈折率の膜
そして低屈折率の膜を順次被膜することで光学的に反射
防止効果が得られる。
射防止効果が得られる。２層の場合、ガラス基板側から
高屈折率膜、ついで低屈折率膜を被膜する。また３層の
場合、ガラス基板側から中間屈折率の膜、高屈折率の膜
そして低屈折率の膜を順次被膜することで光学的に反射
防止効果が得られる。
【００１１】一般に、２層に比べて３層のほうが高い透
過率が得られるが、３層膜において、中間屈折率膜の屈
折率を変えることによりさらに高い透過率を得ることが
できる。本発明では中間屈折率膜として酸化アルミニウ
ムを使用し、これに酸化タンタルを含有させて屈折率を
調整し高透過率を得られるようにした。酸化タンタルの
含有量は、反射防止膜の透過率が向上するように適切に
調整する必要があり、後述する実施例中に示すように、
酸化アルミニウムに対する酸化タンタルの含有量が０．
１質量％未満では中間屈折率膜の屈折率変化がなく、透
過率向上の効果がない。また１０質量％を越えた場合、
中間屈折率膜の屈折率が急激に大きくなり、透過率を低
下させる。より好ましくは、図５に酸化タンタルの含有
量と屈折率変化との関係を示すように、屈折率の変化が
顕著に現れる１〜１０質量％の範囲である。
過率が得られるが、３層膜において、中間屈折率膜の屈
折率を変えることによりさらに高い透過率を得ることが
できる。本発明では中間屈折率膜として酸化アルミニウ
ムを使用し、これに酸化タンタルを含有させて屈折率を
調整し高透過率を得られるようにした。酸化タンタルの
含有量は、反射防止膜の透過率が向上するように適切に
調整する必要があり、後述する実施例中に示すように、
酸化アルミニウムに対する酸化タンタルの含有量が０．
１質量％未満では中間屈折率膜の屈折率変化がなく、透
過率向上の効果がない。また１０質量％を越えた場合、
中間屈折率膜の屈折率が急激に大きくなり、透過率を低
下させる。より好ましくは、図５に酸化タンタルの含有
量と屈折率変化との関係を示すように、屈折率の変化が
顕著に現れる１〜１０質量％の範囲である。
【００１２】また、本発明の反射防止膜を構成する上記
酸化アルミニウム、酸化タンタル、弗化マグネシウム
は、いずれもその材質を精製することができ、含有され
るα線放出性元素を１００ｐｐｂ以下、好ましくは５０
ｐｐｂ以下の極低量に抑えることが可能である。
酸化アルミニウム、酸化タンタル、弗化マグネシウム
は、いずれもその材質を精製することができ、含有され
るα線放出性元素を１００ｐｐｂ以下、好ましくは５０
ｐｐｂ以下の極低量に抑えることが可能である。
【００１３】ガラス基板として、放射線対策が施され
た、たとえば特願平4-322753号に記載のガラスを用い、
上記材質からなる反射防止膜を被着させることによっ
て、ガラス基板と反射防止膜の双方に含まれる放射性同
位元素の合量を１００ｐｐｂ以下とすることができる。
これら双方の放射性同位元素含有量が１００ｐｐｂを越
えると、α線放出量が０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈを越えて
増大し、イメージセンサにおけるノイズ発生が顕著とな
る。したがって、反射防止膜を被着したイメージセンサ
用窓ガラスからのα線放出量は０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ
以下に抑えることが好ましい。
た、たとえば特願平4-322753号に記載のガラスを用い、
上記材質からなる反射防止膜を被着させることによっ
て、ガラス基板と反射防止膜の双方に含まれる放射性同
位元素の合量を１００ｐｐｂ以下とすることができる。
これら双方の放射性同位元素含有量が１００ｐｐｂを越
えると、α線放出量が０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈを越えて
増大し、イメージセンサにおけるノイズ発生が顕著とな
る。したがって、反射防止膜を被着したイメージセンサ
用窓ガラスからのα線放出量は０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ
以下に抑えることが好ましい。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。本
発明の実施例を表１に示す。表中試料No.2ないしNo.14
は本発明の実施例を示し、No.1は第１層に混合膜を用い
ない従来例、No.15 およびNo.16 は酸化アルミニウムに
対する酸化タンタルの含有量を過剰にした比較例であ
る。また表中のα線放出量の単位はｃ／ｃｍ2 ・ｈで示
してある。
発明の実施例を表１に示す。表中試料No.2ないしNo.14
は本発明の実施例を示し、No.1は第１層に混合膜を用い
ない従来例、No.15 およびNo.16 は酸化アルミニウムに
対する酸化タンタルの含有量を過剰にした比較例であ
る。また表中のα線放出量の単位はｃ／ｃｍ2 ・ｈで示
してある。
【００１５】ガラス基板として、各種高純度に精製され
た原料を使用し質量百分率で，ＳｉＯ2 ７２．１％，Ａ
ｌ2 Ｏ3 ４．５％，Ｂ2 Ｏ3 １１．０％，Ｎａ2 Ｏ
６．７％，Ｋ2 Ｏ １．９％，Ｌｉ2 Ｏ ０．５％，Ｍ
ｇＯ ２．３％，Ａｓ2 Ｏ3 ０．６％，Ｓｂ2 Ｏ3 ０．
４％からなる組成を有し、α線放射元素含有量がＵ ２
４ｐｐｂ，Ｔｈ ８ｐｐｂ，Ｒａ １ｐｐｂ未満で、か
つガラス基板からのα線放出量が０．０３ｃ／ｃｍ2 ・
ｈであるガラスを使用した。肉厚０．７５ｍｍに光学研
磨加工したこのガラス基板１の両面に反射防止膜２を真
空蒸着法により被着し、反射防止膜付イメージセンサ用
窓ガラスの試料とした。
た原料を使用し質量百分率で，ＳｉＯ2 ７２．１％，Ａ
ｌ2 Ｏ3 ４．５％，Ｂ2 Ｏ3 １１．０％，Ｎａ2 Ｏ
６．７％，Ｋ2 Ｏ １．９％，Ｌｉ2 Ｏ ０．５％，Ｍ
ｇＯ ２．３％，Ａｓ2 Ｏ3 ０．６％，Ｓｂ2 Ｏ3 ０．
４％からなる組成を有し、α線放射元素含有量がＵ ２
４ｐｐｂ，Ｔｈ ８ｐｐｂ，Ｒａ １ｐｐｂ未満で、か
つガラス基板からのα線放出量が０．０３ｃ／ｃｍ2 ・
ｈであるガラスを使用した。肉厚０．７５ｍｍに光学研
磨加工したこのガラス基板１の両面に反射防止膜２を真
空蒸着法により被着し、反射防止膜付イメージセンサ用
窓ガラスの試料とした。
【００１６】これらの試料は、図１に示すようにガラス
基板１側から第１層として中間屈折率膜２Ｍ、第２層と
して高屈折率膜２Ｈ、第３層として低屈折率膜２Ｌの順
に片側に３層ずつの反射防止膜を設けたものである。中
間屈折率膜２Ｍは酸化アルミニウムに表１に質量％で示
す割合で酸化タンタルを含む混合物、高屈折率膜２Ｈは
酸化タンタル、低屈折率膜２Ｌは弗化マグネシウムから
なる。ただし、No.1の試料は第１層の中間屈折率膜２Ｍ
が酸化アルミニウムのみからなる。
基板１側から第１層として中間屈折率膜２Ｍ、第２層と
して高屈折率膜２Ｈ、第３層として低屈折率膜２Ｌの順
に片側に３層ずつの反射防止膜を設けたものである。中
間屈折率膜２Ｍは酸化アルミニウムに表１に質量％で示
す割合で酸化タンタルを含む混合物、高屈折率膜２Ｈは
酸化タンタル、低屈折率膜２Ｌは弗化マグネシウムから
なる。ただし、No.1の試料は第１層の中間屈折率膜２Ｍ
が酸化アルミニウムのみからなる。
【００１７】上記膜物質をそれぞれ蒸着源とし、以下の
蒸着条件で、光学膜厚が第１層：０．２５λ、第２層：
０．５λ、第３層：０．２５λ（λ＝５３０ｎｍ）とな
るように成膜を行った。 (1) 真空度 ６．６５×１０-3Ｐａ (2) 基板加熱温度 ３００℃ (3) 蒸発源 エレクトロンビーム 以上のようにして作成された試料から放出されるα線放
出量の測定は、２πガスフロー式比例計数管を用いた超
低レベルα線測定装置で行ない表１に示した。またこの
測定値（反射防止膜付イメージセンサ用窓ガラスからの
α線放出量）から反射防止膜を形成する前のガラス基板
のみからのα線放出量を減じた値を反射防止膜からのα
線放出量として表中に（）書きで記した。
蒸着条件で、光学膜厚が第１層：０．２５λ、第２層：
０．５λ、第３層：０．２５λ（λ＝５３０ｎｍ）とな
るように成膜を行った。 (1) 真空度 ６．６５×１０-3Ｐａ (2) 基板加熱温度 ３００℃ (3) 蒸発源 エレクトロンビーム 以上のようにして作成された試料から放出されるα線放
出量の測定は、２πガスフロー式比例計数管を用いた超
低レベルα線測定装置で行ない表１に示した。またこの
測定値（反射防止膜付イメージセンサ用窓ガラスからの
α線放出量）から反射防止膜を形成する前のガラス基板
のみからのα線放出量を減じた値を反射防止膜からのα
線放出量として表中に（）書きで記した。
【００１８】α線放射元素含有量は、ＩＣＰ−ＭＡＳＳ
により測定し、α線放出量と同様に反射防止膜付イメー
ジセンサ用窓ガラス全体における含有量から反射防止膜
を形成する前のガラス基板のみにおける含有量を減じた
値を反射防止膜のα線放射元素含有量として表中に（）
書きで記した。
により測定し、α線放出量と同様に反射防止膜付イメー
ジセンサ用窓ガラス全体における含有量から反射防止膜
を形成する前のガラス基板のみにおける含有量を減じた
値を反射防止膜のα線放射元素含有量として表中に（）
書きで記した。
【００１９】また、各試料について分光透過率を測定
し、図２ないし図４に４００〜７００ｎｍにおける透過
率曲線を示すとともに表１中に従来例であるNo.1の試料
を基準として、これより透過率が高いものを「＋」、低
いものを「−」で示した。
し、図２ないし図４に４００〜７００ｎｍにおける透過
率曲線を示すとともに表１中に従来例であるNo.1の試料
を基準として、これより透過率が高いものを「＋」、低
いものを「−」で示した。
【００２０】そして、これらの試料を実際に有効画素数
５８万画素のＣＣＤチップを内臓したアルミナパッケー
ジに封着して、固体撮像素子に使用した場合のノイズの
有無を調査した。
５８万画素のＣＣＤチップを内臓したアルミナパッケー
ジに封着して、固体撮像素子に使用した場合のノイズの
有無を調査した。
【００２１】
【表１】
【表１】
【００２２】表１の結果より、すべての試料において
Ｕ，Ｔｈ，Ｒａの合計含有量は１００ｐｐｂ以下であ
り、α線放出量も０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ以下であって
固体撮像素子におけるノイズもみられなかった。
Ｕ，Ｔｈ，Ｒａの合計含有量は１００ｐｐｂ以下であ
り、α線放出量も０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ以下であって
固体撮像素子におけるノイズもみられなかった。
【００２３】また、図２ないし図４に示すように、本発
明に係るNo.2〜No.14 の試料と従来例であるNo.1の試料
の分光透過率は、同等以上の特性を示し、特に第１層に
おいて酸化タンタルの含有量を１質量％以上としたNo.5
〜No.14 の試料では可視透過率がほぼ１００％近くに向
上している。これに対し、第１層において酸化タンタル
の含有量を１０質量％以上としたNo.15 ，No.16 の試料
では極端に透過率が低下してしまった。以上のことから
第１層の酸化アルミニウムに含有される酸化タンタルの
量は、０．１〜１０質量％とすることが好ましく、特に
１〜１０質量％の範囲で効果が顕著となることがわか
る。
明に係るNo.2〜No.14 の試料と従来例であるNo.1の試料
の分光透過率は、同等以上の特性を示し、特に第１層に
おいて酸化タンタルの含有量を１質量％以上としたNo.5
〜No.14 の試料では可視透過率がほぼ１００％近くに向
上している。これに対し、第１層において酸化タンタル
の含有量を１０質量％以上としたNo.15 ，No.16 の試料
では極端に透過率が低下してしまった。以上のことから
第１層の酸化アルミニウムに含有される酸化タンタルの
量は、０．１〜１０質量％とすることが好ましく、特に
１〜１０質量％の範囲で効果が顕著となることがわか
る。
【００２４】
【発明の効果】以上のように本発明のイメージセンサ用
窓ガラスは、放射線の放出量が低く、イメージセンサの
窓ガラスとして使用した場合、ガラスおよび反射防止膜
からの放射線に起因するノイズの発生を著しく低減する
ことができる。そのうえ反射防止効果が高く、極めて高
い透過率特性を有するので、イメージセンサへの入射光
量損失がない。
窓ガラスは、放射線の放出量が低く、イメージセンサの
窓ガラスとして使用した場合、ガラスおよび反射防止膜
からの放射線に起因するノイズの発生を著しく低減する
ことができる。そのうえ反射防止効果が高く、極めて高
い透過率特性を有するので、イメージセンサへの入射光
量損失がない。
【００２５】したがって、本発明のイメージセンサ用窓
ガラスは、固体撮像素子のパッケージ用窓ガラスとして
極めて好適し、固体撮像素子の小型化・高解像度化に貢
献することができる。
ガラスは、固体撮像素子のパッケージ用窓ガラスとして
極めて好適し、固体撮像素子の小型化・高解像度化に貢
献することができる。
【図１】本発明に係る片側３層ずつの反射防止膜を設け
たイメージセンサ用窓ガラスの模式的断面図である。
たイメージセンサ用窓ガラスの模式的断面図である。
【図２】本発明に係る試料No.2,3,4と従来例である試料
No.1の分光透過率特性を示す曲線図である。
No.1の分光透過率特性を示す曲線図である。
【図３】本発明に係る試料No.5ないしNo.10 の分光透過
率特性を示す曲線図である。
率特性を示す曲線図である。
【図４】本発明に係る試料No.11 ないしNo.14 と比較例
である試料No.15,16の分光透過率特性を示す曲線図であ
る。
である試料No.15,16の分光透過率特性を示す曲線図であ
る。
【図５】酸化アルミニウムに対する酸化タンタルの含有
量と屈折率との関係を示す曲線図である。
量と屈折率との関係を示す曲線図である。
１ ガラス基板 ２ 反射防止膜 ２Ｍ 中間屈折率膜 ２Ｈ 高屈折率膜 ２Ｌ 低屈折率膜
Claims (2)
- 【請求項１】 ガラス基板の表面に反射防止膜を被着し
たイメージセンサ用窓ガラスにおいて、前記反射防止膜
を構成する材質として、ガラス基板側から第１層が酸化
アルミニウムに酸化タンタルを０．１〜１０質量％含有
した混合膜、第２層が酸化タンタル膜、第３層が弗化マ
グネシウム膜からなり、ガラス基板と反射防止膜の双方
に含まれる放射性同位元素の合量が１００ｐｐｂ以下で
あることを特徴とするイメージセンサ用窓ガラス。 - 【請求項２】 ガラス基板と反射防止膜の双方からのα
線放出量の合量が０．０５ｃ／ｃｍ2 ・ｈ以下であるこ
とを特徴とする請求項１記載のイメージセンサ用窓ガラ
ス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7096302A JP3007554B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | イメージセンサ用窓ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7096302A JP3007554B2 (ja) | 1995-03-29 | 1995-03-29 | イメージセンサ用窓ガラス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08271704A true JPH08271704A (ja) | 1996-10-18 |
| JP3007554B2 JP3007554B2 (ja) | 2000-02-07 |
Family
ID=14161243
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|---|
| WO2004095892A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-04 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び表示装置 |
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-
1995
- 1995-03-29 JP JP7096302A patent/JP3007554B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004095892A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2004-11-04 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び表示装置 |
| JPWO2004095892A1 (ja) * | 2003-04-24 | 2006-07-13 | 出光興産株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及び表示装置 |
| US7358661B2 (en) | 2003-04-24 | 2008-04-15 | Idemitsu Kosan Co., Ltd. | Organic electroluminescent device and display |
| KR101067092B1 (ko) * | 2003-04-24 | 2011-09-22 | 이데미쓰 고산 가부시키가이샤 | 유기 전기발광 소자 및 표시 장치 |
| CN100395613C (zh) * | 2004-08-07 | 2008-06-18 | 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 | 透光板 |
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