JPH08268530A - 振動装置 - Google Patents

振動装置

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JPH08268530A
JPH08268530A JP7100466A JP10046695A JPH08268530A JP H08268530 A JPH08268530 A JP H08268530A JP 7100466 A JP7100466 A JP 7100466A JP 10046695 A JP10046695 A JP 10046695A JP H08268530 A JPH08268530 A JP H08268530A
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vibrating
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裕 栗田
Kyoji Murakishi
恭次 村岸
Hitoshi Yasuda
均 安田
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Shinko Electric Co Ltd
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    • GPHYSICS
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Abstract

(57)【要約】 [目的] 自動停止指令が出ると直ちに振動機械を停止
させることのできる振動装置を提供すること。 [構成] 振動機械2の振動速度信号が停止装置に不帰
還され、切換スイッチSが、停止命令とともに停止装置
側に切り換えられることにより、振動機械2の可動部
は、振動方向に対して逆方向に力を加えることができ、
迅速にその振動を停止させることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば振動によって部
品を供給する振動装置に関する。
【0002】
【従来の技術及びその問題点】図10は、従来例の自励
振動型の振動装置を示すが、図において該振動装置は全
体として1で示され、振動機械2は、例えば振動パーツ
フィーダであるが、この板バネに近接して配設された渦
電流型の振動検出器3の出力を自励発振コントローラ4
が受け、この出力を電力増幅器5により増幅し、振動機
械2の電磁石駆動部である振動駆動子6に電力を供給し
て、該振動機器2を振動させている。自励発振コントロ
ーラ4により、振動機械2は自励振動をしているのであ
るが、その駆動を停止するべく、図11で時間t0 で停
止信号を与えると、これは例えば、自励発振コントロー
ラ4と電力増幅器5との間の電線路a、又は電力増幅器
5と振動駆動子6との間の電線路bのいずれかを遮断す
ることにより、振動機械2を停止させることができ、こ
の場合図11に示すように、この振動機械2の可動部、
すなわちボウルの振幅は、時間t0 から時間とともに指
数関数的に減少するのであるが、(時間t0 までは所定
の振幅で振動している)、このボウルの振幅が零になる
までにはかなりの時間を要する。
【0003】この振動機械2は、公知のようにボウルの
内部にスパイラル状のトラックを形成しており、このト
ラックに沿って部品を整列して外部に供給するのである
が、停止信号が発せられた時間t0 後にかなりの時間を
要してボウルの振幅が零になるので、時間t0 と同時に
外部への部品供給が停止されるのではなく、時間t0
のある時間は、外部に部品が供給されてしまう。場合に
よっては、これが大きな不具合となるときがある。
【0004】一般に指令停止命令後、振動機械2が完全
に停止するまでの時間は、この振動機械2が持っている
減衰特性によって定まる。即ち、その可動部の速度に比
例する抵抗力によって定まるのであるが、この減衰係数
を大きくすると共振周波数において大きな力を必要と
し、エネルギ損失となる。
【0005】図12は、いわゆる強制振動型の振動装置
を示すが、全体として1’で示され、商用電源7から電
流が制御器8を介して振動機械である振動パーツフィー
ダ2の電磁石9の電磁コイル10に供給されるのである
が、上述の自励振動型に適用される振動機械2と同様な
構成であり具体的に図12では示される。ここで、商用
電源7は例えば50Hzであり、制御器8を介して供給
される電流により、所定の振幅でボウル11は振動する
のであるが、このような強制型の振動装置においても商
用電源7と制御器8との間の電線路c、又は制御器8と
電磁コイル10との間の電線路dとのいずれかに配設さ
れた図示しないスイッチを遮断することにより、ボウル
11の振幅を停止させることができる。この場合におい
ても、自励振動型の振動装置1と同様に、図11に示す
ような過渡振動を行ない、完全に停止するまでにはかな
りの時間を必要とする。よって上述と同様な不具合を生
じる。
【0006】
【発明が解決しようとする問題点】本発明は上述の問題
に鑑みてなされ、振動機械の減衰係数を大きくすること
なく、共振倍率は大きくしながら、振動機械の可動部の
振動を急速に停止させることができる振動機械を提供す
ることを目的とする。
【0007】
【問題点を解決するための手段】以上の目的は、請求項
1の発明によれば、振動機器の振動速度を検出する振動
速度検出手段、該振動速度検出手段の出力を正帰還信号
として第1のフィードバックゲインで増巾する自励発振
コントローラと、該コントローラの出力を電力増巾する
電力増巾器と、該電力増巾器の出力を受ける振動駆動子
とで閉ループを形成し、前記振動駆動子により前記振動
機器を加振するようにした自励振動型の振動装置におい
て、前記振動機器の停止時には前記閉ループを開とし、
前記振動速度検出手段の出力を負帰還信号として、第2
のフィードバックゲインで増巾して前記振動駆動子に供
給するようにしたことを特徴とする振動装置によって達
成される。
【0008】又、以上の目的は、振動機器の振動変位を
検出する振動変位検出器、該振動変位検出器の出力を負
帰還信号として第1のフィードバックゲインで増巾し、
かつ積分要素又は一次遅れ要素で位相遅れ制御をする自
励発振コントローラと、該コントローラの出力を電力増
巾する電力増巾器と、該電力増巾器の出力を受ける振動
駆動子とで閉ループを形成し前記振動駆動子により前記
振動機器を加振するようにした自励振動型の振動装置に
おいて、前記振動機器の停止時に前記閉ループを開と
し、前記振動変位検出器の出力を微分し、負帰還信号と
して第2のフィードバックゲインで増巾して前記振動駆
動子に供給するようにしたころを特徴とする振動装置に
よって達成される。
【0009】又、以上の目的は、振動機器の振動変位を
検出する振動変位検出器、該振動変位検出器の出力を負
帰還信号として第1のフィードバックゲインで増巾する
自励発振コントローラと、該コントローラの出力を電力
増巾する電力増巾器と、該電力増巾器の出力を受ける電
磁石とで閉ループを形成し、前記電磁石のコイルに流れ
る電流で発生する磁気吸引力により前記振動機器を加振
するようにした自励振動型の振動装置において、前記振
動機器の停止時には、前記閉ループを開とし、前記振動
変位検出器の出力を2回微分するか、1回微分してから
90度位相を進相させて負帰還信号として第2のフィー
ドバックゲインで増巾して前記電磁石のコイルに供給す
るようにしたことを特徴をする振動装置、によって達成
される。
【0010】又、以上の目的は、交流電源から電力を受
ける振動駆動子の加振力を受け強制振動する振動機器の
振動速度を検出する振動速度検出手段を設け、前記振動
機器を停止する時には、前記振動駆動子を前記交流電源
から遮断して前記振動速度検出手段の出力を増巾し、負
帰還信号として前記振動駆動子に供給するようにしたこ
とを特徴とする振動装置、によって達成される。
【0011】又、以上の目的は、交流電源から電力を受
ける振動駆動子の加振力を受け強制振動をする振動機器
の振動変位を検出する振動変位検出手段を設け、前記振
動機器を停止する時には、前記振動変位検出手段の出力
を負帰還信号として増巾し、かつ、積分又は一次遅れ要
素で位相遅れ制御した後、前記振動駆動子に供給するこ
とを特徴とする振動装置、によって達成される。
【0012】又、以上の目的は、振動機器の加振機構に
電力源から電気的エネルギーを加えて該振動機器の可動
部を振動させるようにした振動装置において、振動速度
検出手段を前記可動部に接近して、又はこれに取り付
け、該可動部の停止時には、前記電力源を前記加振機構
から遮断すると共に前記振動速度検出手段の出力を、前
記加振機構にそのままか、増巾して負帰還するようにし
たことを特徴とする振動装置、によって達成される。
【0013】
【作用】請求項1の発明によれば、前記振動機器の停止
時には前記閉ループを開とし、前記振動速度検出手段の
出力を負帰還信号として、第2のフィードバックゲイン
で増巾して前記振動駆動子に供給するようにしたので、
停止指令後の振動機器に振動の速度とは逆向きに働くこ
とにより、従来の自然減衰に比べて強制的に振動速度を
零とすることができる。従来よりはるかに振動機器の速
度が零になるまでの時間を短縮することができる。
【0014】又、請求項2の発明によれば、前記振動機
器の停止時に前記閉ループを開とし、前記振動変位検出
器の出力を微分し、負帰還信号として第2のフィードバ
ックゲインで増巾して前記振動駆動子に供給するように
したことによって、同様に振動変位検出器の出力を微分
することにより振動速度が得られるが、これがやはり負
帰還信号として振動駆動子に供給される。強制的に上述
の場合と同様に制動力として働くので、迅速に振動機器
の振幅は零となる。
【0015】更に、請求項3の発明によれば、前記振動
機器の停止時には、前記閉ループを開とし、前記振動変
位検出器の出力を2回微分するか、1回微分してから9
0度位相を進相させて負帰還信号として第2のフィード
バックゲインで増巾して前記電磁石のコイルに供給する
ようにしたので、閉ループ内に電磁石を有するが、これ
は90度位相を遅らせるので、振動変位検出器の出力を
1回微分することにより振動速度が得られ、これを電磁
石の遅れ分、進相させることにより負帰還信号として供
給すると、上記の各発明と同様な作用で、振動機器の振
幅を急速に零とすることになる。
【0016】又、請求項5の発明によれば、振動機器は
強制振動を行なわせられるのであるが、その振動を停止
する場合には、交流電源からその振動駆動子が遮断さ
れ、その可動部の振動速度を検出する手段の出力を増巾
し振動駆動子に負帰還させるようにしているので振動駆
動子は可動部にブレーキをかける働きをし、迅速にその
振動を停止させる。
【0017】又、請求項6の発明によれば、振動機器は
強制振動を行なわせられるが、この可動部の振動変位が
検出され、振動停止時には交流電源から遮断され、該検
出手段の出力を負帰還信号としてフィードバックゲイン
で増巾して、積分要素又は一次遅れ要素で位相遅れ制御
した後、振動駆動子に供給されるので、その時の可動部
とは逆方向の力を受けて、上記請求項5の発明と同様に
ブレーキを掛けられて迅速に停止する。
【0018】又、請求項8の発明によれば、一般に振動
機器の加振機構(例えば、電磁石)、電力源(商用周波
数電源であってもよい)から電気的エネルギを加えてそ
の可動部を振動させるようにした振動装置において、可
動部の振動速度を検出する手段を設け(この場合、力を
検出してそれを積分するか、変位を検出してそれを微分
するようにしてもよい)停止時に電力源から遮断して検
出手段の出力をそのままか、あるいは増巾して加振機構
に加えると、可動部が動いている方向と逆方向の力を加
えることにより急速にその可動部を停止させることがで
きる。
【0019】
【実施例】以下、本発明の実施例につき、図面を参照し
て説明する。
【0020】図1は本発明の第1実施例による振動装置
を示すが、図において振動装置は全体として1Aで示さ
れており、振動機械2は本実施例では従来例と同様に振
動パーツフィーダであるが、このような振動系に係ら
ず、一般的に図2に示すような特性図で示される。すな
わち、振動方程式はmdx2 /dt2 +cdx/dt+
kx=Kdx/dtで示されるのであるが、同方程式に
おいて1/m(mは可動部の質量)をかけることにより
dx2 /dt2 が得られ、1/s(sはラプラス変換
子)をかけることによりdx/dt、すなわち速度が得
られ、これに減衰係数cをかけることによりこの振動系
には負帰還として働き、また更に1/sをかけることに
より変位xが得られ、これにバネ定数kをかけたものが
負帰還として働いている。
【0021】このような振動系において、速度dx/d
tが振動速度検出器21により検出される。なお、これ
は加速度を検出することにより1回積分してもよいし、
振幅を検出してこれを1回微分してもよい。なお、振動
速度検出器21の出力は、振幅検出回路22においては
これが積分されて、振幅コントローラ23に供給され
る。自励発振コントローラ4は、従来と同様に構成さ
れ、交流増幅器28及び飽和リミッタ29を有してい
る。振動速度検出器21の出力は電線路24を介して、
本発明に係る停止装置26に供給されている。これは本
実施例によれば、ゲインKvでなるパワーアンプ27か
らなっている。停止装置26と自励発振コントローラ4
との出力端子には、切換スイッチSが接続されており、
この可動接点は振動駆動子6、すなわち本実施例によれ
ば、電磁石の電磁コイルに接続されている。
【0022】振幅コントローラ23は比較器などを内蔵
し、この一方の入力端子には所定の振幅が設定されてお
り、振幅検出回路22の出力を他方の入力端子で受け
て、その偏差に応じて自励発振コントローラ4の飽和リ
ミッタ29を制御するようにしている。また、振動速度
検出器21の出力は自励発振コントローラ4においては
正帰還され、また停止装置26においては負帰還されて
いる。
【0023】本発明の第1実施例は以上のように構成さ
れるが、次にこの作用について説明する。
【0024】振動機械2を駆動させる場合には、切換ス
イッチSが自励発振コントローラ4側に閉じられる。こ
れにより振動速度検出器21の出力は、自励発振コント
ローラ4には正帰還されているので、公知のように振動
機械2は自励振動を行なう。なお、電磁石6は90度の
位相遅れを有し、更に振動機械2は共振点で振動するの
で、力と変位との位相差が90度遅れがあるために、自
励発振コントローラ4においては、位相進み又は位相遅
れをせずとも、この閉ループで180度の位相差が得ら
れ、安定に自励振動を行なうことができる。なお、振幅
検出回路22では、常にこの振動機械2の振幅が検出さ
れており、振幅コントローラ23で設定されている振幅
となるように、自励発振コントローラ4内の飽和リミッ
タ29のレベルを制御し、これにより振動機械2は所定
の振幅で振動する。
【0025】この振動機械2を停止させるべく、切換ス
イッチSを停止装置26側に切り換えると、振幅速度検
出器21の出力は停止装置26に供給され、これが負帰
還され、かつゲインKvで増幅されて、振動駆動子6に
供給される。振動機械2の振動方向とは逆方向にこの力
が働くことにより、従来の自然減衰に比べてはるかに早
く振動機械2は停止する。図2及び図3は、この効果を
シミュレーションで示すものであるが、図2は従来の振
動波形を示し、時刻0msecで自励振動を開始させ、
図示するように振幅が増大し所定の振幅となるのである
が、時刻500msecで振動停止指令を与えると、図
示するように振動変位が変化し、可動部が停止するまで
には約1〜2秒要していることがわかる(なお、このと
き減衰比は0、005である。また共振倍率は100で
ある。)。図3は、本発明の実施例の効果を示すもので
あり、自励振動は同様に行なわれるが、時刻500ms
ecで振動停止指令を与えると、0、12秒で停止す
る。すなわち、振動停止指令を与えてから可動部の振幅
が零になるまでの時間は約1/10に短縮することがで
き、よって振動パーツフィーダの部品供給をほとんど瞬
時に停止させることができる。
【0026】図4は本発明の第2実施例による振動装置
を示すが、全体は1Bとして示され、第1実施例に対応
する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明
は省略する。
【0027】すなわち本実施例においては、振動機械2
の振動変位が振動変位検出器31で検出され、振幅検出
回路32により適宣増幅されて、振幅コントローラ23
に供給される。なお、振幅変位検出器31の出力を更に
あるゲインで増幅した後に、電線路35を通り自励発振
回路34に負帰還するようにしてもよい。また、本発明
に係る停止装置37には負帰還信号として供給される
が、本実施例では1次遅れ要素sにゲインKvをかける
機能を有する交流増幅装置38に供給される。また、自
励発振コントローラ34においては、交流増幅器28は
積分要素1/sを含んでいる。また本実施例では、振動
駆動子6’は位相遅れは生じないものとしている。
【0028】本発明の第2実施例は以上のように構成さ
れるが、次にこの作用について説明する。
【0029】自励振動させるときには、切換スイッチS
を自励発振コントローラ34側に切り換える。これによ
り振幅変位検出器31の出力が負帰還信号として供給さ
れているので、及びこれが積分されて位相を90度遅ら
せているので、振動機械2が共振点で振動している場合
には、閉ループに180度の位相差を持たせて、安定に
自励振動を行なわせることができる。振動機械2を停止
させるべく切換スイッチSを停止装置37側に切り換え
ると、振幅変位検出器31の出力は負帰還されているの
で、これが微分されることにより、90度位相が進めら
れゲインKvで増幅されて、振動駆動子6’に供給され
る。よって、振動速度を負帰還した場合と同様に、すな
わち90度進相させることと微分することは等価である
ので、この振動機械2の振動を、第1実施例と同様に速
やかに零とすることができる。
【0030】図5は本発明の第3実施例による振動装置
を示すが、全体として1Cで示され、上記実施例に対応
する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明
は省略する。
【0031】本実施例においても、振幅変位検出器31
の出力は自励発振コントローラ4に負帰還されるが、更
にs2 の進み特性を持ち、かつゲインがKDDの交流増幅
器42からなる停止装置40に負帰還される。すなわち
振幅変位検出器31の出力は、1回微分した後、90度
位相を進ませてもよいし、2回微分したとしてもよい。
また振動駆動子41は、第1実施例と同様にアクチュエ
ータが電磁石の場合であるが、1/(s+α)なる位相
遅れ要素を持っている。
【0032】本発明の第3実施例は以上のように構成さ
れるが、次にこの作用について説明する。
【0033】切換スイッチSを自励発振コントローラ4
側に接続した場合には、振動機械2は上記実施例と同様
に自励振動を行なう。これを停止させるべく切換スイッ
チSを停止装置40側に切り換えたときには、振幅変位
検出器31の出力は負帰還されるが、2回微分により、
または1回微分の後、90度の位相を進ませることによ
り、第1実施例と同様に速度信号が90度進相されて、
振動駆動子41に供給される。これにより、閉ループ間
に180度の位相差を持たせることができるとともに、
振動機械2の可動部が動いている方向とは反対方向に力
を受け、負帰還されているので速やかにその振動を停止
させることができる。
【0034】図6乃至図8は本発明の第4実施例を示す
が、本実施例は第1実施例に図6に示すようなマイナ−
ループを加えたものである。すなわち、振動駆動子は第
1実施例と同様に電磁石51であるが、これは(1/
R)×{1/(1+αs)}なる遅れ要素を有し、この
出力である電流iは、電線路58を介してゲインKiを
有する電流検出器59により検出され、これは電流マイ
ナーフィードバックゲイン60によりゲインK2 で増幅
されて、比較器53に負帰還される。他方、比較器54
には、上述のように振動速度信号が負帰還されるが、こ
の出力が比較器53の指令値として電圧が供給され、更
にこの比較器54の出力は、電流マイナーフィードバッ
クゲインK1 を有する増幅器56及びゲインK0 を有す
るパワーアンプ57に供給され、この出力が電磁石51
に供給されている。このようなマイナーループを加える
ことにより、図8に示すように電磁石51は過励磁とな
り停止指令が出されると、急激に電圧が上昇し時間とと
もに図示するように変化するが、これにより電流iはマ
イナーループを用いない場合よりも早く上昇して、振動
機械2の停止を速やかに行うことができる。図7はこの
電流マイナーフィードバック制御がない場合であるが、
指令値としての電圧eがステップ的に与えられており、
電流iはこのときには徐々に増加していくので、停止が
遅れることになる。
【0035】図9は本発明の第5実施例による振動装置
を示すが、全体として1Dで示され、強制振動型である
が、振動機械2の速度dx/dtが、比較器72に負帰
還されて、ゲインKvを有する増幅器71で増幅されて
振動機械2の電磁石に加えられる。なお上述したように
電磁石は、90度の位相遅れがあるが、今共振点に近い
周波数で駆動されているものとすれば、振動速度に正確
に反対に力が加わるように可動部に制動力が加わり、迅
速に振動が停止する。
【0036】なお、共振点から上か下に大きくずれてい
る場合には、停止装置70において位相進み要素を加え
るようにすればよい。
【0037】以上、本発明の各実施例について説明した
が、勿論、本発明はこれに限定されることなく、本発明
の技術的思想に基づいて種々の変形が可能である。
【0038】例えば以上の実施例では、停止装置には上
述したような位相進み特性を有するようにしたが、一般
的に(1+αTs)/{Kv×(1+Ts)}なる位相
遅れを持たせ、このαをアクチュエータの位相遅れに応
じて、変更させるようにしてもよい。
【0039】また以上の実施例では、アクチュエータと
しては電磁石についてのみ明らかにしたが、他の導電型
や圧電型の振動駆動子を用いることができることも明ら
かである。
【0040】又、第6図の実施例は第1実施例に適用さ
れるものとしたが、勿論、他の実施例にも適用可能であ
る。なお、この場合、図9の実施例においては増巾器7
1は電力増巾器とする。なおまた、この代わりに切換ス
イッチSと振動機械2との間に電力増巾器を設けてもよ
い。
【0041】又、以上の実施例の形態に限ることなく、
一般的に自励振動であれ、強制振動であれ振動機器の加
振機構、これは電磁石であろうと、導電型であろうと、
圧電型であろうと全ての機構に適用可能であるが、これ
に電気的エネルギを加えて加振力を発生させる機器にお
いて、その可動部の振動を停止させる時にはこの可動部
に近接して、あるいはこれに取り付けられた振動速度検
出手段(これは加速度を検出して積分しても良いし、振
動変位を検出して微分してもよい)の出力をそのまま
か、あるいは増巾して加振機構に負帰還することによ
り、今の振動方向とは逆方向とは逆方向の力を受けて迅
速にその可動部を停止させることが出来る。
【0042】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の振動装置に
よれば、停止命令とともに急速に振動を停止させること
ができ、例えば振動パーツフィーダの場合には次工程へ
の部品の供給を直ちに停止させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による振動装置のブロック
図である。
【図2】同作用を説明するためのシミュレーションを示
すチャート図である。
【図3】本発明による同作用を示す振動変位の時間的変
位を示すチャート図である。
【図4】本発明の第2実施例による振動装置のブロック
図である。
【図5】本発明の第3実施例による振動装置のブロック
図である。
【図6】本発明の第4実施例における要部のマイナール
ープを示すブロック図である。
【図7】同作用を説明するためのタイムチャート図であ
る。
【図8】更に同作用を説明するためのタイムチャート図
である。
【図9】本発明の第5実施例による振動装置のブロック
図である。
【図10】従来例の自励振動型の振動装置のブロック図
である。
【図11】同作用を説明するための振幅の時間変化を示
すタイムチャート図である。
【図12】他従来例の振動装置のブロック図である。
【符号の説明】
37 停止装置 40 停止装置 70 停止装置 S 切換スイッチ

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 振動機器の振動速度を検出する振動速度
    検出手段、該振動速度検出手段の出力を正帰還信号とし
    て第1のフィードバックゲインで増巾する自励発振コン
    トローラと、該コントローラの出力を電力増巾する電力
    増巾器と、該電力増巾器の出力を受ける振動駆動子とで
    閉ループを形成し、前記振動駆動子により前記振動機器
    を加振するようにした自励振動型の振動装置において、
    前記振動機器の停止時には前記閉ループを開とし、前記
    振動速度検出手段の出力を負帰還信号として、第2のフ
    ィードバックゲインで増巾して前記振動駆動子に供給す
    るようにしたことを特徴とする振動装置。
  2. 【請求項2】 振動機器の振動変位を検出する振動変位
    検出器、該振動変位検出器の出力を負帰還信号として第
    1のフィードバックゲインで増巾し、かつ積分要素又は
    一次遅れ要素で位相遅れ制御をする自励発振コントロー
    ラと、該コントローラの出力を電力増巾する電力増巾器
    と、該電力増巾器の出力を受ける振動駆動子とで閉ルー
    プを形成し前記振動駆動子により前記振動機器を加振す
    るようにした自励振動型の振動装置において、前記振動
    機器の停止時に前記閉ループを開とし、前記振動変位検
    出器の出力を微分し、負帰還信号として第2のフィード
    バックゲインで増巾して前記振動駆動子に供給するよう
    にしたころを特徴とする振動装置。
  3. 【請求項3】 振動機器の振動変位を検出する振動変位
    検出器、該振動変位検出器の出力を負帰還信号として第
    1のフィードバックゲインで増巾する自励発振コントロ
    ーラと、該コントローラの出力を電力増巾する電力増巾
    器と、該電力増巾器の出力を受ける電磁石とで閉ループ
    を形成し、前記電磁石のコイルに流れる電流で発生する
    磁気吸引力により前記振動機器を加振するようにした自
    励振動型の振動装置において、前記振動機器の停止時に
    は、前記閉ループを開とし、前記振動変位検出器の出力
    を2回微分するか、1回微分してから90度位相を進相
    させて負帰還信号として第2のフィードバックゲインで
    増巾して前記電磁石のコイルに供給するようにしたこと
    を特徴をする振動装置。
  4. 【請求項4】 前記振動駆動子の遅れを補償するための
    位相進みを介して前記負帰還信号を前記振動駆動子に供
    給するようにした請求項1又は請求項2に記載の振動装
    置。
  5. 【請求項5】 交流電源から電力を受ける振動駆動子の
    加振力を受け強制振動する振動機器の振動速度を検出す
    る振動速度検出手段を設け、前記振動機器を停止する時
    には、前記振動駆動子を前記交流電源から遮断して前記
    振動速度検出手段の出力を増巾し、負帰還信号として前
    記振動駆動子に供給するようにしたことを特徴とする振
    動装置。
  6. 【請求項6】 交流電源から電力を受ける振動駆動子の
    加振力を受け強制振動をする振動機器の振動変位を検出
    する振動変位検出手段を設け、前記振動機器を停止する
    時には、前記振動変位検出手段の出力を負帰還信号とし
    て増巾し、かつ、積分又は一次遅れ要素で位相遅れ制御
    した後、前記振動駆動子に供給することを特徴とする振
    動装置。
  7. 【請求項7】 前記振動駆動子の駆動電流又は磁束を検
    出する手段を設け、該手段の出力を増巾して前記電力増
    巾器に負帰還するようにした請求項1〜6の何れかに記
    載の振動装置。
  8. 【請求項8】 振動機器の加振機構に電力源から電気的
    エネルギーを加えて該振動機器の可動部を振動させるよ
    うにした振動装置において、振動速度検出手段を前記可
    動部に接近して、又はこれに取り付け、該可動部の停止
    時には、前記電力源を前記加振機構から遮断すると共に
    前記振動速度検出手段の出力を、前記加振機構にそのま
    まか、増巾して負帰還するようにしたことを特徴とする
    振動装置。
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