JPH08255002A - 制御系への外乱抑制回路 - Google Patents
制御系への外乱抑制回路Info
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- JPH08255002A JPH08255002A JP5691495A JP5691495A JPH08255002A JP H08255002 A JPH08255002 A JP H08255002A JP 5691495 A JP5691495 A JP 5691495A JP 5691495 A JP5691495 A JP 5691495A JP H08255002 A JPH08255002 A JP H08255002A
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Abstract
を確実に小さくする。 【構成】PIコントローラ2は、通常の状態では自動モ
ードが選択されており、減算器1で求めた測定信号と設
定値との偏差に応じて制御演算を行ない、その演算に基
づく操作指令信号を制御対象へ出力する。測定信号に異
常が発生すると、PIコントローラ2から出力される操
作指令信号も急激に変化するが、PIコントローラ2か
ら変化率制限器12を介して出力される信号は緩やかな
変化となる。その後、測定信号の異常検出信号が出力さ
れると、フリップフロップ3がリセットされ、インバー
タ5からPIトラック信号Aが出力されてPIコントロ
ーラ2が手動モードに切換えられる。このとき変化率制
限器12で変化率の制限された信号によりPIコントロ
ーラ2がトラッキングされる。これにより操作指令信号
は、測定信号が急変する前の近傍位置に引き戻されて保
持される。
Description
の制御系への外乱を抑制する外乱抑制回路に関する。
おいては、制御対象の測定信号が断線(解線)あるいは
検出の異常等で突変又は振り切れ(レンジオーバー)と
なった場合、制御器から出力される信号を、所望の時間
だけ前に出力した操作指令信号の値と同じ値の操作指令
信号にトラッキングさせることにより、外乱を抑制する
ようにしている。図3は、その制御ロジックを示したも
のである。
定値と測定信号との偏差を求め、その偏差信号を制御器
であるPIコントローラ2に入力している。このPIコ
ントローラ2は、偏差信号に応じた信号を操作指令とし
て出力する。また、このPIコントローラ2は、その出
力信号を自己のトラッキング用入力端子Trに入力して
いる。
るためのフリップフロップ3が設けられる。このフリッ
プフロップ3のセット端子Sには、操作端自動選択信号
が入力され、リセット端子Rには、測定信号のレンジオ
ーバー、突変等、測定信号の異常を検出した信号がオア
回路4を介して入力される。そして、上記フリップフロ
ップ3の出力信号は、インバータ5を介してPIトラッ
ク信号Aとして出力される。このPIトラック信号Aに
より、PIコントローラ2の自動と手動の切換えが行な
われる。
によりフリップフロップ3がセットされると、フリップ
フロップ3の出力がハイレベル、インバータ5から出力
されるPIトラック信号Aがローレベルとなり、PIコ
ントローラ2が自動モードで動作する。この自動モード
では、減算器1により設定値と測定信号との偏差が求め
られ、その偏差に応じてPIコントローラ2から操作指
令信号が出力され、制御対象へ送られる。
いて、制御対象の測定信号が断線(解線)あるいは検出
の異常等で突変又は振り切れ(レンジオーバー)となる
と、その異常検出信号によりフリップフロップ3がリセ
ットされて、その出力がローレベルとなる。従って、イ
ンバータ5から出力されるPIトラック信号Aがハイレ
ベルとなり、PIコントローラ2が手動に切換わる。こ
のときPIコントローラ2は、前回値、即ち、所望の時
間だけ前に出力した操作指令信号の値と同じ値にトラッ
キングされ、このトラッキングされた値が操作指令信号
として出力される。
の異常により、制御系が自動から手動に移行し、操作指
令値が固定されるが、この固定された値は、制御系が測
定信号の異常を検知するまでに異常な信号を正常とみな
して行なわれた制御演算により導かれた値である。従っ
て、固定された操作指令値は、それまでの正常な測定信
号によって演算されていた操作指令値とは大きく異なる
ため、指令値の急変となり、制御対象への外乱となる。
で、測定信号に異常が生じても、制御対象への外乱を確
実に小さくすることができる制御系への外乱抑制回路を
提供することを目的とする。
の測定信号を基に所望の演算を行ない操作指令信号を出
力する制御器と、制御対象からの測定信号に異常がある
場合に、所望の時間だけ前に出力した操作指令信号の値
と同じ値の操作指令信号を制御器から出力させるトラッ
キング手段とを有する制御系への外乱抑制回路におい
て、所望の時間だけ前に出力した操作指令信号からの値
の変化率を一定の範囲に制限する変化率制限器を設けた
ことを特徴とする。
れており、制御対象からの測定信号と設定値との偏差に
応じて制御演算を行ない、その演算に基づく操作指令信
号を制御対象へ出力する。
る状態において、測定信号に異常が発生すると、この測
定信号の変化に伴って制御器から出力される操作指令信
号も急激に変化する。このとき制御器から変化率制限器
を介して出力される信号は、緩やかに変化する。
その異常検出信号により制御器が手動モードに切換えら
れる。このとき制御器から変化率制限器を介して出力さ
れている変化率の制限された信号により制御器がトラッ
キングされる。これにより制御器から出力される操作指
令信号は、測定信号が急変する前の近傍位置に引き戻さ
れて保持される。上記のように測定信号の異常が検出さ
れた時点で、操作指令信号が変化率制限器で制限された
値に引き戻されるので、制御対象への外乱を非常に小さ
くすることができる。
明する。図1は、本発明の一実施例に係る制御系への外
乱抑制回路の制御ロジック図である。図1において、1
は制御系の減算器で、設定値と測定信号との偏差を求
め、その偏差信号を制御器であるPIコントローラ2に
入力している。このPIコントローラ2は、偏差信号に
より所望の制御演算を行なって操作指令信号を出力し、
切換器11の第1の端子aに入力すると共に、変化率制
限器12を介して切換器11の第2の端子bに入力す
る。また、上記変化率制限器12には、出力変化率設定
器13で設定された出力変化率が与えられている。即
ち、変化率制限器12は、出力変化率設定器13で設定
された値により、出力信号の変化率を一定の範囲に制限
する。上記変化率制限器12の出力変化率は、実際に操
作指令を与えた場合の動作速度等に基づいて設定する。
上記切換器11は、詳細を後述する切換え信号Bに基づ
いて第1の端子aあるいは第2の端子bの入力信号を選
択して出力する。この切換器11から出力される信号が
PIコントローラ2のトラッキング用入力端子Trに入
力されると共に、操作指令信号として制御対象へ送られ
る。
るためのフリップフロップ3が設けられる。このフリッ
プフロップ3のセット端子Sには、操作端自動選択信号
が入力され、リセット端子Rには、測定信号のレンジオ
ーバー、突変等、測定信号の異常を検出した信号がオア
回路4を介して入力される。そして、上記フリップフロ
ップ3の出力信号は、インバータ5を介してPIトラッ
ク信号Aとして出力される。このPIトラック信号Aに
より、PIコントローラ2の自動と手動の切換えが行な
われる。また、上記インバータ5の出力信号は、例えば
パルス信号発生器を用いた切換信号発生器14に入力さ
れる。この切換信号発生器14は、上記インバータ5の
出力信号がローレベルからハイレベルに立上がったこと
を検出して切換え信号Bを出力する。この切換え信号B
により切換器11が端子aから端子b側に切換えられ
る。
ングチャートを参照して説明する。この図2は、測定信
号に異常が発生し、その測定信号がバーンダウン(下限
値への振り切れ)した場合における指令信号の変化を示
したものである。
りフリップフロップ3がセットされる。このフリップフ
ロップ3がセットされると、その出力がハイレベルとな
るので、インバータ5から出力されるPIトラック信号
Aがローレベルとなり、PIコントローラ2が自動モー
ドで動作する。また、この自動モードでは、切換信号発
生器14から切換え信号Bは出力されず、切換器11は
端子a側を選択している。
値と測定信号との偏差が求められ、その偏差に応じてP
Iコントローラ2から信号が出力され、切換器11を介
して操作指令信号として制御対象へ送られる。
る状態において、図2(a)に示すようにt1時点で測
定信号に異常が発生し、その信号レベルが急激に低下し
たとすると、この測定信号の低下に伴ってPIコントロ
ーラ2から切換器11を介して出力される操作指令信号
も図2(b)の実線(イ)に示すように急激に低下す
る。このときPIコントローラ2から変化率制限器12
を介して出力される信号は、図2(b)の一点鎖線
(ロ)に示すように緩やかに低下する。
時点で例えば「−10%」の下限値を越えると、その状
態が検出されて異常検出信号(レンジオーバー)が出力
される。この異常検出信号によりフリップフロップ3が
リセットされて、その出力がローレベルとなる。従っ
て、インバータ5から出力されるPIトラック信号Aが
ハイレベルとなり、PIコントローラ2が手動に切換わ
る。また、上記インバータ5の出力信号がハイレベルに
立上がると同時に切換信号発生器14から切換え信号B
が出力され、切換器11が端子b側に切換えられる。従
って、このときPIコントローラ2から変化率制限器1
2を介して出力されている変化率の制限された信号が切
換器11で選択され、この信号にPIコントローラ2が
トラッキングされる。これによりPIコントローラ2よ
り切換器11を介して出力される操作指令信号は、図2
(b)に示すように測定信号が急変する前に近い値に引
き戻されて固定される。このため制御対象への外乱を非
常に小さくすることができる。
定信号に異常が発生した場合に、PIコントローラを出
力変化率制限を行なった値にトラッキングするようにし
たので、操作指令値を急変前の近傍位置へ引き戻すこと
ができ、制御対象への外乱を確実に抑制することができ
る。
路の制御ロジック図。
ト。
Claims (1)
- 【請求項1】 制御対象からの測定信号を基に所望の演
算を行ない操作指令信号を出力する制御器と、制御対象
からの測定信号に異常がある場合に、所望の時間だけ前
に出力した操作指令信号の値と同じ値の操作指令信号を
制御器から出力させるトラッキング手段とを有する制御
系への外乱抑制回路において、所望の時間だけ前に出力
した操作指令信号からの値の変化率を一定の範囲に制限
する変化率制限器を設けたことを特徴とする制御系への
外乱抑制回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05691495A JP3281747B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 制御系への外乱抑制回路 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP05691495A JP3281747B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 制御系への外乱抑制回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH08255002A true JPH08255002A (ja) | 1996-10-01 |
JP3281747B2 JP3281747B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=13040749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP05691495A Expired - Lifetime JP3281747B2 (ja) | 1995-03-16 | 1995-03-16 | 制御系への外乱抑制回路 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3281747B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4522507B2 (ja) * | 1999-02-22 | 2010-08-11 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置及び半導体製造装置における加熱処理方法 |
-
1995
- 1995-03-16 JP JP05691495A patent/JP3281747B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4522507B2 (ja) * | 1999-02-22 | 2010-08-11 | 株式会社日立国際電気 | 半導体製造装置及び半導体製造装置における加熱処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3281747B2 (ja) | 2002-05-13 |
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