JPH0824744A - ウエブシート浸漬塗布装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】浸漬塗布方式によってウエブシート材料に気泡
を除去しながら塗布液ａを塗布し、塗布液の新液と旧液
とを均一に混ざり易くすることにある。 【構成】塗布液ａを貯溜する第１槽１内下方に回転可能
に軸支した水平なメインガイドロール２と、該第１槽１
内の上方に設置した第２槽５と、該第２槽の底部５ａに
形成したスリット孔６と、該スリット孔の対向辺にそれ
ぞれ固定されて該スリット孔を塞ぐ一対の対向するゴム
スキージ板７，７と、該第２槽内のスリット孔の上方に
塗布スリット部８とを備え、前記第１槽の塗布液ａ内に
搬入したウエブシートｗをメインガイドロール２、スキ
ージ板７，７間、塗布スリット部８に導入して第２槽よ
り搬出して塗布液ａを塗布する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、シャドウマスク等の金
属エッチング部品の加工材料として使用される長尺状の
金属薄板や、フレキシブル配線板等の各種合成樹脂製シ
ート状部品の加工材料として使用される長尺状の合成樹
脂製フレキシブルシート等のウエブシート（長尺状シー
ト）に、感光性樹脂液、コーティング液等の樹脂液を塗
布するためのウエブシート浸漬塗布装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】シャドウマスクやリードフレーム等の金
属エッチング部品や、フレキシブル配線板等の各種シー
ト加工部品を、フォトエッチング法で製造するときは、
まず、鋼板やニッケル合金鋼板、銅板等の金属薄板、あ
るいは合成樹脂製のフレキシブルシートの材料の両面に
感光性樹脂を均一に塗布する工程がある。

【０００３】上記材料に感光性樹脂液を均一に塗布する
方法として、従来より、ウエブシート（長尺シート）状
の材料を塗布液に浸漬してから、塗布液面近くに設置し
た所定間隔で対向する１対の固定式の塗布ロールにて挟
み付けて、その対向間より材料を引き上げることによ
り、材料の両面に所定厚さの均一塗膜を得る方法が採用
され、対向する塗布ロールの間隔を適宜に調整すること
によって塗膜の厚さをある程度調整することができる方
法である。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記浸
漬塗布方式は、塗布液内にゴミや異物が混入し易い、塗
布液の補給中に塗布液内に気泡が発生し易い、ウエブシ
ート材料を塗布液に浸漬するとき、材料表面に気泡が発
生し易い、また、粘稠性の塗布液の場合は、塗布液の消
費分を補給した新液と旧液とが均一に混ざり難いなどの
問題がある。

【０００５】本発明は、上記不都合を解消することにあ
る。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、塗布液ａを貯
溜する第１槽１と、該第１槽１内下方に回転可能に軸支
した水平なメインガイドロール２と、該第１槽１内の上
方に設置した第２槽５と、該第２槽５の底部５ａに形成
したスリット孔６と、該スリット孔６の対向辺にそれぞ
れ固定されて該スリット孔６を塞ぐような一対の対向す
るスキージ板７，７と、該第２槽内にスリット孔６の上
方に塗布スリット部８とを備え、前記第１槽１の塗布液
ａ内に搬入したウエブシートｗをメインガイドロール２
にてガイドして第２槽５のスキージ板７，７間に導入し
て気泡等を除去しつつ前記塗布スリット部８に導入し
て、ウエブシートｗに第２槽５内の塗布液ａを塗布する
ことを特徴とするウエブシート浸漬塗布装置である。

【０００７】

【実施例】本発明の一実施例におけるウエブシート浸漬
塗布装置を、図１の装置側面図、及び図２の装置正面図
に従って、以下に詳細に説明する。

【０００８】第１槽１は、ウエブシートｗ（材料）の両
面に塗布するための塗布液ａ（例えば、パターンエッチ
ング用のフォトレジスト等の感光性樹脂液）を貯溜する
貯溜槽であり、第１槽１の上端部の一側部に、塗布液ａ
をオーバーフローさせるためのドレイン管４を備え、他
側部に、補給管１４により補給される塗布液ａを槽内に
投入する際に、塗布液ａ内に混入する気泡や塵等を除去
して清浄化するためのフィルター部１５（メッシュフィ
ルター）を備える。

【０００９】上記第１槽１に貯溜される塗布液ａの液面
ｂは、上記ドレイン管４からオーバーフローする塗布液
ａの液面高さに設定される。

【００１０】メインガイドロール２は、支軸部２ａにて
水平状態に、第１槽１の側壁部に、又は、第１槽１内に
浸漬した支持アーム３（図２参照）に、自由回転可能
に、若しくは電動モーター（図示せず）により駆動回転
可能に軸支されている。上記支持アーム３は、図２に示
すように第１槽１内の両側、又は片側（図示せず）に配
置しており、該支持アーム３の下端部にメインガイドロ
ール２が軸支され、該第１槽１上方の上端部（省略図）
は、該第１槽１に取り付け固定されているか、あるい
は、該第１槽１に対して支点（支軸）を介して取り付け
支持され、揺動動作可能になっていてもよい。

【００１１】第２槽５は、第１槽１よりも小型であっ
て、第１槽１の上方に取付固定されており、該第２槽５
の底部５ａには、ウエブシートｗが挿通するスリット孔
６が設けられ、該第１槽１と第２槽５とは、スリット孔
６を介して連通しており、上記第２槽５内に貯溜される
塗布液ａの液面ｂは、第１槽１の液面ｂと同一液面高さ
である。該スリット孔６の幅及び長さは、所定幅と厚さ
を有するウエブシートｗが挿通するに十分な大きさに設
定されている。

【００１２】上記スリット孔６には、図１に示すように
それぞれゴム製又は合成樹脂製等の柔軟で弾力（復元）
性のある、しかもウエブシートｗ面を擦過損傷しない程
度の硬度を有する一対のスキージ板７，７が、その端部
を互いに突き合わせるようにして、スリット孔６のそれ
ぞれ対向辺６ａ，６ａに取付けられ、上記スキージ板
７，７は、互いにその端部を突き合わせてスリット孔６
の対向辺６ａに取り付けることによって、スリット孔６
をほぼ塞ぐような状態になっている。また、スキージ板
７，７は、互いの前記突き合わせ端部が、対向辺６ａ，
６ａの取付部分よりも上方に逆Ｖ字型に突出する状態に
突き合わせてもよいし、水平な状態に突き合わせてもよ
い。

【００１３】塗布スリット部８は、前記第２槽５内に水
平状態に、前記スリット孔６相当部を通る平面内に入る
ように、該スリット孔６の上方に設置されており、該第
２槽５の両側壁部の上端部に取り付け支持されている。

【００１４】上記塗布スリット部８は、図１に示すよう
に、ウエブシートｗが挿通するための所定間隙を以て、
互いに平行に対向して取り付けられた１対の円柱形状若
しくは楕円形状の塗布ロール８ａ，８ｂであり、あるい
は、図示しないが互いに所定間隙を以て平行に対向して
取り付けられた１対の半円柱形状など非円柱形状の塗布
ライナー等である。

【００１５】上記塗布スリット部８は、第２槽５の対向
する側壁部の上端部に取り付け支持されており、少なく
とも通常使用においては、回転させずに固定状態で使用
される。なお、上記塗布ロール８ａ，８ｂ、又は塗布ラ
イナーの第２槽５への取り付け支持部分において、回転
軸受、若しくはエキセントリック軸受、あるいはその他
の取り付け支持方式によって取り付け支持されることに
より、適宜に対向間隙を変更調整できるようになってお
り、これによって、塗布液ａの塗布膜厚を調整すること
ができる。

【００１６】上記本発明のウエブシート浸漬塗布装置
は、図１に示すように、第１槽１の外部上方より下向き
に塗布液ａ内に搬入したウエブシートｗを、必要に応じ
て、中間対向ロール１０（若しくは中間片側ロール）に
よりガイド（若しくは中間対向ロール１０を搬入方向に
駆動回転してインフィード）して、メインガイドロール
２に半周巻回して折り返し方向にガイドし、第２槽５の
ゴムスキージ板７，７間に導入する。上記スキージ７，
７によってウエブシートｗの両面に付着する気泡等を除
去しつつ、第２槽５内に搬入し、続いて、塗布スリット
部８のウエブシートｗの厚さと塗布膜厚とを考慮して調
整された所定間隙に導入して、ウエブシートｗに第２槽
５内の塗布液ａを塗布するものである。

【００１７】上記ウエブシート浸漬塗布装置の上端部に
設けたフィルター部１５からは、補給管１４より補給さ
れる塗布液ａを清浄化しなから、常時、又は所定サイク
ルで第２槽５内に投入し、第１槽１の上端部に設置した
ドレイン管４からは、オーバーフローした塗布液ａを排
出する。

【００１８】次に、本発明のウエブシート浸漬塗布装置
の他の実施例を、図１の側面図、及び図２の正面図に従
って、以下に詳細に説明する。他の実施例は、前述した
１実施例のウエブシート浸漬塗布装置に、第２槽５内の
塗布液ａを緩やかに攪拌するための攪拌装置１６を備え
るようにしたものである。

【００１９】上記攪拌装置１６は、図１、図２に示すよ
うに、第２槽５内に浸漬する所定形状の攪拌板９を備
え、該攪拌板９の上端部９ａは、リニアに反復移動動作
する揺動手段１７に取り付け支持されている。

【００２０】該揺動手段１７は、エアーシリンダーによ
るリニアな反復移動動作、あるいは電動モーター等の回
転運動をラック・アンド・ピニオン、カム・アンド・カ
ムフォロア、クランク等により直線運動に変換すること
によるリニアな反復移動動作を行なうものである。

【００２１】図１、図２に示す揺動手段１７は、例えば
ロッドレスエアシリンダーであり、リニアガイドシャフ
ト１８ａと、該リニアガイドシャフト１８ａの両端部に
取り付けたシリンダー駆動用の動作エアー供給管１９，
１９と、該リニアガイドシャフト１８ａに沿ってリニア
に反復移動動作可能な可動ブロック１８ｂとを備え、該
可動ブロック１８ｂに前記攪拌板９を取り付け支持した
ものである。

【００２２】図３は、上記本発明装置に関する塗布液ａ
の循環系統の概要を示すブロック図であり、塗布液ａ
は、本発明のウエブシート浸漬塗布装置より上方に設置
された塗布液ａを充填保持した補給槽１１より、フィル
ター１２（メッシュフィルター等）及び流量調整弁１３
（塗布液ａの補給停止・開始、及び補給流量調整を行な
う電磁ソレノイド弁、モータードライブ弁等）を介して
補給管１４より第２槽５内に、自然流下方式若しくは送
液ポンプ（図示せず）による強制送流方式によって補給
される。

【００２３】補給により第２槽５の上端部よりオーバー
フローした塗布液ａは、第１槽１内に一旦流出させ、第
１槽１の上端部よりドレイン管４を通ってオーバーフロ
ーした塗布液ａは、回収槽２０内に回収される。

【００２４】回収槽２０内に回収された回収塗布液ａ₁
は、適宜送液ポンプ２２を用いて、強制送流方式にて送
液して、送流管２１、２３、２５、及びその中間のフィ
ルター２４（メッシュフィルター等）を通って、補給槽
１１内に循環させる。

【００２５】

【作用】本発明のウエブシート浸漬塗布装置は、第１槽
１内の下方にメインガイドロール２を設け、上方に設置
した第２槽５の底部５ａにスリット孔６を設け、該スリ
ット孔６に一対の対向して突き合わされたスキージ板
７，７を設け、該スリット孔６の上方に塗布スリット部
８を設けたので、第１槽１の塗布液ａ内に搬入したウエ
ブシートｗをメインガイドロール２にてガイドして第２
槽５の互いに突き合わされたスキージ板７，７間に導入
した際に、該スキージ板７，７によってウエブシートｗ
の両面に付着する気泡等を除去することができ、ウエブ
シートｗを送行させながら、気泡等の除去と、塗布液ａ
の塗布とを行なうことができる。

【００２６】また、上記ウエブシート浸漬塗布装置は、
攪拌装置１６を備え、ウエブシートｗの幅方向にリニア
に反復移動動作する該攪拌装置１６の攪拌板９によっ
て、適宜な機会に、第２槽５内の塗布液ａを攪拌動作さ
せることができ、比較的に粘稠性のある塗布液ａを用い
て塗布するような場合において、新たな気泡が発生しな
い程度に緩やかに塗布液ａを攪拌することによって、塗
布液ａの消費分を補給した際の新液（例えば、使用によ
り濃度（粘度）若しくは組成の変化した塗布液を所定濃
度（粘度）若しくは組成に再生して補給した塗布液）と
旧液（例えば、使用途中の塗布液、又は使用により濃度
（粘度）若しくは組成の変化した塗布液）との均一な混
ざりを良好にすることができ、また、気泡の発生してい
る塗布液ａの脱泡を促進させることができる。

【００２７】

【発明の効果】本発明のウエブシート浸漬塗布装置は、
ウエブシート材料を塗布液に浸漬して塗布液を塗布する
浸漬塗布方式において、ウエブシート材料面に塗布液の
補給中に発生する気泡が付着しないように塗布操作がで
き、塗布膜に気泡の付着によるピンホール状の塗布ムラ
の発生を防止して、均一な塗布操作を行なうことができ
る。また、攪拌操作によって、濃度（又は粘度）や組成
の相違するような新液と旧液との均一な攪拌が可能にな
るため、粘稠性のある塗布液を含めた塗布液の濃度（又
は粘度）や組成の相違による不均一な塗布膜厚や不均一
な塗布膜性能の発生を回避できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のウエブシート浸漬塗布装置を説明する
側面図である。

【図２】本発明のウエブシート浸漬塗布装置を説明する
正面図である。

【図３】本発明のウエブシート浸漬塗布装置の塗布液循
環系統を説明する概要ブロック図である。

【符号の説明】

ａ…塗布液 ａ₁ …回収塗布液 ｗ…ウエブシート １…第１槽 ２…メインガイドロール ３…支持アーム
４…ドレイン管 ５…第２槽 ５ａ…底部 ６…スリット孔 ７…スキー
ジ板 ８…塗布スリット部 ９…攪拌板 １０…中間対向ロール １１…補給槽 １２…フィルタ
ー部 １３…流量調整弁 １４…補給管 １５…フィルター部 １６…攪拌装置
１７…攪拌手段

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】塗布液ａを貯溜する第１槽１と、該第１槽
   １内下方に回転可能に軸支した水平なメインガイドロー
   ル２と、該第１槽１内の上方に設置した第２槽５と、該
   第２槽５の底部５ａに形成したスリット孔６と、該スリ
   ット孔６の対向辺にそれぞれ固定されて該スリット孔６
   を塞ぐような一対の対向するスキージ板７，７と、該第
   ２槽内にスリット孔６の上方に塗布スリット部８とを備
   え、前記第１槽１の塗布液ａ内に搬入したウエブシート
   ｗをメインガイドロール２にてガイドして第２槽５のス
   キージ板７，７間に導入して気泡等を除去しつつ前記塗
   布スリット部８に導入して、ウエブシートｗに第２槽５
   内の塗布液ａを塗布することを特徴とするウエブシート
   浸漬塗布装置。
2. 【請求項２】前記第２槽５内の塗布液ａを攪拌するため
   の攪拌装置１６を備える請求項１記載のウエブシート浸
   漬塗布装置。