JP2002263544A - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
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- JP2002263544A JP2002263544A JP2001066462A JP2001066462A JP2002263544A JP 2002263544 A JP2002263544 A JP 2002263544A JP 2001066462 A JP2001066462 A JP 2001066462A JP 2001066462 A JP2001066462 A JP 2001066462A JP 2002263544 A JP2002263544 A JP 2002263544A
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- coating liquid
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Abstract
る塗布装置を提供する。 【解決手段】 塗布装置10は支持液12が収納された
ディップ槽11と、ディップ槽11内に設けられ塗工液
19を吐出するカーテンヘッド14とを備えている。デ
ィップ槽11の支持液12中へ基材Wが進入し、この基
材Wに対してカーテンヘッド14から塗工液19が吐出
される。カーテンヘッド14からの塗工液19は、気泡
を巻込むことなく支持液12を介して基材W上に塗布さ
れる。
Description
布する塗布装置に係り、とりわけ基材上に精度良く塗工
液を塗布することができる塗布装置に関する。
ラインド等を作製する際、基材上にカーテンヘッドから
塗工液を滴下することにより、塗工液を塗布している。
て、走行する基材上に滴下され、このようにして基材上
に一定の厚みの塗工膜を形成することができる。
基材に対してレジスト等を塗布する場合にも用いられ
る。
テンヘッドから塗工液を滴下して塗工液を塗布する場
合、基材の走行中に基材と塗工液との間に気流が巻込ま
れて塗工膜中に気泡が残ってしまうことがある。この場
合は、気泡により所望の塗工液品質を得ることはむずか
しい。
ものであり、基材上に精度良く塗工液を塗布することが
できる塗布装置を提供することを目的とする。
るとともに支持液が収納されたディップ槽と、ディップ
槽内に設けられ、塗工液を基材に向かって吐出するカー
テンヘッドとを備え、基材上に支持液を介して塗工液を
塗布することを特徴とする塗布装置である。
基材が走行する。この間カーテンヘッドから基材に向か
って塗工液が吐出され、カーテンヘッドからの塗工液は
支持液を介して基材上に塗布される。このため基材と塗
工液との間に気泡が巻込まれることはない。
施の形態について説明する。
の一実施の形態を示す図である。
0はフィルム等の基材Wが進入するとともに支持液12
が収納されたディップ槽11と、ディップ槽11内に設
けられ基材Wを案内する案内ローラ13と、ディップ槽
11内に設けられ基材Wに対して塗工液19を吐出する
カーテンヘッド14とを備えている。
対して塗工液19としては例えばレジスト液が吐出さ
れ、ディップ槽11内には支持液12としてレジスト液
と相溶性のない溶剤が収納されている。
から供給ライン16およびポンプを経てレジスト液が供
給される。
9が塗布された基材Wは、その後乾燥装置18へ送られ
る。
の作用について説明する。
1内へ走行する基材Wが進入し、基材Wは案内ロール1
3を通ってディップ槽11から外方へ送られる。
9が基材Wに対して吐出される。カーテンヘッド14か
らの塗工液19は支持液12中で下方に向かって自由落
下し、基材Wへ達した後基材W上に塗布される。
が、基材Wは支持液12中を走行するため基材Wに気泡
が巻込まれることはない。このため、カーテンヘッド1
4から吐出された塗工液19は、気泡を巻込むことな
く、支持液12を介して基材W上に塗布される。
支持液12から外方へ放出され、乾燥装置18内で乾燥
される。このようにして、基材Wと、支持液12による
支持膜12aと、塗工液19による塗工膜19aとから
なる3層構造の製品20が得られる(図2)。
工膜19aとの間に気泡の巻込みが生じないため、支持
膜12aおよび塗工膜19aを各々略均一の膜厚で形成
することができる。このため製品20の精度向上を図る
ことができる。さらに支持液12と、塗工液19を適宜
選択することにより、所望の層構成の製品20を得るこ
とができる。
9としてレジスト液を用い、支持液12としてレジスト
液と相溶性のない溶剤を用いた例を示したが、支持液1
2はレジスト液と相溶性がなく、かつレジスト液に比較
して乾燥速度が同一もしくは速いものを用いることが好
ましい。
気泡を巻込むことなく支持液を介して塗工液を塗布する
ことができる。このため、支持液からなる支持膜および
塗工液からなる塗布膜の膜厚を各々均一とすることがで
きる。従って基材上に支持膜と塗工膜を精度良く形成す
ることができる。
略図
Claims (2)
- 【請求項1】基材が進入するとともに支持液が収納され
たディップ槽と、 ディップ槽内に設けられ、塗工液を基材に向かって吐出
するカーテンヘッドとを備え、 基材上に支持液を介して塗工液を塗布することを特徴と
する塗布装置。 - 【請求項2】ディップ槽は支持液としてカーテンヘッド
から吐出される塗工液と相溶性のない溶剤を収納するこ
とを特徴とする請求項2記載の塗布装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001066462A JP4628564B2 (ja) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | 塗布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2001066462A JP4628564B2 (ja) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2002263544A true JP2002263544A (ja) | 2002-09-17 |
JP4628564B2 JP4628564B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=18924944
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001066462A Expired - Fee Related JP4628564B2 (ja) | 2001-03-09 | 2001-03-09 | 塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4628564B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0652963U (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-19 | 凸版印刷株式会社 | 感光液塗布装置 |
JPH0824744A (ja) * | 1994-07-12 | 1996-01-30 | Toppan Printing Co Ltd | ウエブシート浸漬塗布装置 |
JP2002018341A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置 |
-
2001
- 2001-03-09 JP JP2001066462A patent/JP4628564B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0652963U (ja) * | 1992-12-18 | 1994-07-19 | 凸版印刷株式会社 | 感光液塗布装置 |
JPH0824744A (ja) * | 1994-07-12 | 1996-01-30 | Toppan Printing Co Ltd | ウエブシート浸漬塗布装置 |
JP2002018341A (ja) * | 2000-07-05 | 2002-01-22 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置 |
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