JPH0823928B2

JPH0823928B2 - 磁気ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH0823928B2
Application number: JP4995291A
Authority: JP
Inventors: 基一綿貫
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1991-03-14
Filing date: 1991-03-14
Publication date: 1996-03-06
Anticipated expiration: 2011-03-06
Also published as: JPH04285721A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】磁気ディスク装置における磁気記
録円板に情報を記録／再生するための磁気ヘッドは、磁
気記録円板が高速回転する際の風力によって浮上した状
態で記録／再生が行なわれる。本発明は、このような浮
上式磁気ヘッドのコアスライダの製造方法、特に浮上面
レールの周縁のＲ面取り方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】図４は、磁気ヘッドによって情報を記録
／再生している状態を示す側面図である。Ｈは磁気ヘッ
ドであり、コアスライダ１の後端に、コイル２が巻かれ
たコア３が接着されている。そして、コア３とコアスラ
イダ１との間のギャップＧで、磁気記録円板４に情報が
記録／再生される。

【０００３】コアスライダ１は、ジンバルと呼ばれる薄
板バネ５を介してスプリングアーム６に取り付け支持さ
れており、該スプリングアーム６が、駆動アーム７を介
して、駆動軸８に取り付けられている。

【０００４】磁気記録円板４は高速回転するため、その
際発生する矢印ａ₁方向の風力でコアスライダ１が浮上
する。したがって、後端のギャップＧでは、磁気記録円
板４との間に微小な浮上隙間をおいて、記録／再生が行
なわれる。

【０００５】このように、コアスライダ１を風力で浮上
させるために、コアスライダ１の先端の磁気記録円板４
と対向する位置に、空気の流入斜面９を形成すること
で、コアスライダ１が浮上し易くしている。

【０００６】図５（ａ）は薄膜ヘッドのコアスライダの
斜視図である。コアスライダ１の、前記磁気記録円板４
と対向する面（スライダ面）には、２本の浮上面レール
10、11を有している。そして浮上面レール10、11の先端
に、前記の流入斜面９が形成されている。（ｂ）図に示
すように、この流入斜面９の寸法は、浮上方向の深さが
２〜７μｍ、浮上面レール方向の長さが300 〜600 μｍ
であり、その結果、傾斜角度θは20′〜40′となる。

【０００７】図４のように浮上面レール10、11が磁気記
録円板４と対向した状態で磁気記録円板４が高速回転し
ている際に、あるいは回転の開始・停止時に、磁気記録
円板４の突起が浮上面レール10、11の周縁の角部ｅ₁〜
ｅ₄に衝突することがある。このような場合に、ヘッド
クラッシュを来さないように、浮上面レール10、11の周
縁ｅ₁〜ｅ₄を研磨して面取りし、深さ10〜20μｍのＲ
面取りをすることが行なわれる。

【０００８】図６は流入斜面９を形成する前のコアスラ
イダブロック12の斜視図であり、鎖線で示す領域9aを研
磨して流入斜面を形成してから、破線13で示す位置から
分断し、数個〜10個程度のコアスライダにする。そし
て、数個〜10個程度のコアスライダを一斉にＲ面取りす
る。

【０００９】図７はコアスライダブロック12の背面図
（記録／再生素子ｈ側から見た図）であり、鎖線の位置
から個々のコアスライダに分離される。そして図８に示
すように、個々のコアスライダ１…を、面取り用の治具
14に一定間隔で貼りつける。

【００１０】このとき、コアスライダ１内の浮上面レー
ル10、11の間隔Ｄが、隣接するコアスライダの浮上面レ
ール11、10の間隔ｄと一致するように配置される。これ
によって、すべての浮上面レール10、11…の間隔が一定
になる。

【００１１】図９は従来の面取り方法を示す斜視図であ
り、図８のように複数個のコアスライダ１…が貼り付け
られた治具14を、シリコンゴム製定盤15に貼りつけたダ
イヤモンドラッピングテープ16の上に載せる。

【００１２】このように浮上面レール10、11をダイヤモ
ンドラッピングテープ16に当てた状態で、治具14を手で
押しつけると、図８に示すように、浮上面レール10、11
がダイヤモンドラッピングテープ16に食い込む。この状
態で、矢印a₂、a₃で示すように、治具14をジグザグ状に
摺動させると、浮上面レール10、11の周縁の角部( 図５
に示すｅ₁〜ｅ₄) が最も強くダイヤモンドラッピング
テープ16に当たるため、磨耗によって面取りされ、Ｒが
つく。なお、薄膜磁気ヘッドの場合は、Ｒ面取り深さは
0.2〜 0.3μｍ程度である。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
従来のＲ面取り方法では、図５に示す浮上面レール10、
11の両側の角部e₁、e₃を均等にＲ面取りするには、図８
に示すように、コアスライダブロック12を各コアスライ
ダ１…ごとに分離し、コアスライダ内の浮上面レール10
〜11の間隔Ｄと、隣接するコアスライダ間の浮上面レー
ル11〜10の間隔ｄが一致するように、一定間隔に治具14
に貼りつける必要があり、作業が面倒である。

【００１４】また、薄膜型の磁気ヘッドの場合、薄膜素
子部ｈの硬度はコアスライダ部より格段と柔らかい。例
えばコアスライダ１の材料であるAl₂O₃ ・TiＣは非常に
硬いが、薄膜素子部ｈを構成しているAl₂Ｏ₃は柔らか
く、両者の硬度差が大きい。そのため、図８のように浮
上面レール間隔を一定にそろえるだけでは、薄膜素子部
ｈが研磨過剰となる。

【００１５】これを防止するために、図10に示すよう
に、隣接するコアスライダの薄膜素子部ｈ同士が密接す
るように向い合せて配置し、隣接する薄膜素子部ｈ−ｈ
間にダイヤモンドラッピングテープ16が入り込めないよ
うにして、薄膜素子部ｈの研磨過剰を防止している。し
かしながら、この場合も、コアスライダブロックを切り
離して、コアスライダ１ごとに並べ変える必要があり、
作業工数が多く、生産効率が悪い。

【００１６】とくに、図８、図10いずれの方法も、各コ
アスライダ間において摩耗量が異なり、Ｒ面取り量が不
均一になるという問題がある。図11はこの様子を示す側
面図である。ゴム定盤15上のダイヤモンドラッピングテ
ープ16の上で、コアスライダブロック12が貼り付けられ
た治具14を (a)のように右向きに移動する際は、先端(
右側)寄りのコアスライダ１において、各浮上面レール
間にダイヤモンドラッピングテープ16が比較的深く入り
込んで、Ｒ面取りされるが、後端（左側 )寄りのコアス
ライダ１においては、ダイヤモンドラッピングテープ16
とその下側のゴム定盤15が矢印a₂方向に引っ張られるた
めに、この張力がゴム定盤15の凹凸変形を妨げ、各浮上
面レール間にダイヤモンドラッピングテープ16が入り込
めない。

【００１７】(b)に示すように、逆に治具14を左向きに
移動する際は、先端( 左側 )寄りのコアスライダ１にお
いて、各浮上面レール間にダイヤモンドラッピングテー
プ16が比較的深く入り込んで、Ｒ面取りされるが、後端
（右側 )寄りのコアスライダ１においては、ダイヤモン
ドラッピングテープ16とその下側のゴム定盤15が矢印a₃
方向に引っ張られるために、この張力がゴム定盤15の凹
凸変形を妨げ、各浮上面レール間にダイヤモンドラッピ
ングテープ16が入り込めない。

【００１８】したがって、右端寄りと左端寄りのコアス
ライダはＲ面取りされるが、中央のコアスライダはＲ面
取り不足となる。しかも、右端寄りのコアスライダは、
(a)のように右向きに摺動するときは効率的に研磨され
るが、(b)のように左向きに摺動するときは殆ど研磨さ
れない。したがって、両端のコアスライダにおいても、
研磨効率は半減することになる。

【００１９】また、図11のように、各コアスライダを切
り離さないで、コアスライダブロック12の状態でＲ面取
りすると、浮上面レールの間隔の狭い隣接コアスライダ
間の隙間ｄが狭く、切断砥石幅程度(0.3〜0.5mm)なため
に、図５における外側のエッジe₁、e₁のＲ面取り量が不
足する。これを防止するには、図８のように浮上面レー
ルの間隔Ｄ(2mm程度) とｄが同等となるように、コアス
ライダブロックを切り離して並べ変えることが不可欠と
なる。

【００２０】本発明の技術的課題は、このような問題に
着目し、ゴム定盤などのような弾性定盤上の研磨シート
に複数のコアスライダを摺動させて、コアスライダの浮
上面レールの角をＲ面取りする際に、総てのコアスライ
ダが均一に、かつ効率的に研磨され、Ｒ面取り可能とす
ることにある。

【００２１】

【課題を解決するための手段】図１は本発明による磁気
ヘッドの製造方法の基本原理を説明する平面図と側面図
である。15は例えばシリコンゴム等からなる弾性定盤で
あり、その表面にダイヤモンドラッピングテープなどの
研磨シート16が貼り付けられている。

【００２２】弾性定盤15には、研磨シート16側の面に、
切り込み17が間隔をおいて設けられている。矢印Ａは、
コアスライダブロック12の摺動方向であるが、切り込み
17は、この摺動方向Ａと交差する方向に設けられてい
る。図においては、直交するようになっているが、交差
角度は、必ずしも直角である必要はない。

【００２３】このように、弾性定盤15に間隔をおいて設
けた切り込み17上に貼り付けられた研磨シート16の上
に、コアスライダブロック12を載置し、荷重をかけて、
コアスライダブロック12を摺動させる。

【００２４】請求項２は、被研磨部品が一体のコアスラ
イダブロックではなく、コアスライダブロック12を分離
してなる複数個のコアスライダを所定の位置関係で治具
に貼り付けてなるコアスライダ列を、前記のように切り
込み17を有する弾性定盤15上の研磨シート16に対し摺動
させてＲ面取りする方法である。

【００２５】請求項３は、請求項１のように一体になっ
たコアスライダブロックまたは請求項２のように複数の
コアスライダを治具に貼り付けてなるコアスライダ列を
摺動させる際に、コアスライダの流入斜面９が前向きで
薄膜素子部ｈが後端に位置するように、摺動方向を規定
したものである。

【００２６】

【作用】図２は、本発明方法の作用を説明するための拡
大側面図である。図示のように、弾性定盤15の研磨シー
ト16側の面に所定の間隔で切り込み17が入っていると、
切り込み17によって、弾性定盤15が分離し独立した恰好
になる。

【００２７】そのため、コアスライダブロック12が例え
ば左向きに摺動するものとすると、弾性定盤15が矢印a₃
方向に引張られるが、この張力は切り込み17の手前まで
しか作用しない。すなわち、切り込み17によって弾性定
盤15の表面が分離独立しているため、切り込み17を越え
て張力が伝わるようなことはない。

【００２８】このように、切り込み17によって、張力が
分断されることになり、弾性定盤15の表面は、コアスラ
イダブロック12の凹凸に追随して容易に弾性変形でき、
コアスライダブロック12中のすべてのコアスライダが均
一に研磨され、Ｒ面取りできる。

【００２９】また、このように弾性定盤15の表面がコア
スライダブロック12の総ての位置において容易に弾性変
形するため、隣接する浮上面レールの間隔ｄが小さくて
も、弾性定盤15および研磨シート16が容易に入り込むこ
とができる。特に、弾性定盤15は切り込み17の位置が弾
性変形しやすいため、被研磨部が切り込み17の上を通過
する際に、研磨シート16が隣接コアスライダ間の狭い隙
間ｄにも容易に入り込んで、隙間ｄ側の角部も確実にＲ
面取りされる。したがって、浮上面レールの間隔Ｄとｄ
を同等とするために、図８のように各コアスライダを分
離して貼りなおしたりしなくても、浮上面レールの内側
のエッジe₃と外側のエッジe₁をほぼ同等の深さにＲ面取
りできる。

【００３０】しかしながら、図８や図10などのようにコ
アスライダを分離して貼りなおした状態でＲ面取りする
際に、請求項２のように本発明の方法を適用しても、従
来のゴム定盤15よりは有効であることは言うまでもな
い。

【００３１】コアスライダブロック12の状態で、あるい
は図８などのようなコアスライダ列の状態でＲ面取りす
る際に、請求項３のように、コアスライダの流入斜面９
が前向きで薄膜素子部ｈが後端に位置するように摺動さ
せると、薄膜素子部ｈ側と研磨シート16との接触圧が軽
減されるため、材質の軟らかい薄膜素子部ｈが研磨過剰
となるのを抑制できる。

【００３２】なお、本発明の場合、コアスライダの摺動
方向は、直線方向あるいはジグザグ方向などの何れでも
よく、摺動方向が制限されるものではない。

【００３３】

【実施例】次に本発明による磁気ヘッドの製造方法が実
際上どのように具体化されるかを実施例で説明する。図
３は本発明方法の実施例であり、 (a)は平面図、 (b)は
側面図である。

【００３４】シリコンゴムは、ダイヤモンドラッピング
テープ16などの研磨シートを粘着する性質があるため、
弾性定盤15は、従来の場合と同様に、シリコンゴム製が
有効である。

【００３５】切り込み17のピッチや深さは、弾性定盤15
の硬度や研磨シート16の厚さによって異なるが、弾性定
盤15の硬度が40〜70、テープベース厚10〜１ミルの場
合、ピッチ10〜20mm、溝幅 1.0〜2.0mm 、深さ1.0 〜3.
0mm が好ましい。

【００３６】具体的には、コアスライダブロックは、コ
アスライダ10個分が一体となったものの場合、長さ30mm
程度なため、シリコンゴム定盤15としては、幅１イン
チ、長さ10センチメートル、厚さ５mmの寸法とし、ゴム
硬度60〜70のものを用いた。そして、切り込み17は深さ
0.5 〜３mm、溝幅１〜２mmとし、５〜15mm程度のピッチ
で設けた。切り込み17の深さは、ゴム定盤15のゴム硬度
に応じて変えるのが有効である。なお、切り込み17は、
１〜２mm程度の幅を有するものでもよく、切り込み17の
ピッチは小さいほど研磨効果が大きい。

【００３７】このようなシリコンゴム定盤15の切り込み
17の上に、ベース厚さ1milのダイヤモンドラッピングテ
ープ16を粘着させ、この上で 500〜2000ｇの荷重をかけ
てコアスライダブロックを摺動させた。このとき、コア
スライダブロックを、図示のように進行方向に対し角度
βだけ傾けた状態で摺動すると、各エッジが効果的にＲ
面取りされる。

【００３８】摺動方向は、常にコアスライダの流入斜面
９が前向きで薄膜素子部ｈが後端に位置するように摺動
させる。すなわち、図３において、コアスライダブロッ
ク12ａのように左向きに摺動させる際は、左側に流入斜
面９が位置し、薄膜素子部ｈが右側に位置するような向
きにする。また、コアスライダブロック12ｂのように右
向きに摺動させる際は、右側に流入斜面９が位置し、薄
膜素子部ｈが左側に位置するような向きにする。

【００３９】このように往復摺動させる際に、終端にお
いて、コアスライダブロックの向きを反転させ、常に流
入斜面９を前向きにしてＲ面取りする。また、反転する
際に、180 度反転させるのではなく、傾き角βの２倍の
角度反転する。その結果、左向きに摺動する際は、コア
スライダブロック12ａは右下がりに傾くのに対し、右向
きに摺動する際は、コアスライダブロック12ｂは左下が
りに傾くため、１往復することで、角エッジの研磨条件
が同等となり、総てのエッジが均等にＲ面取りされる。

【００４０】この実施例のシリコンゴム定盤15を用い
て、分離する前のコアスライダブロックを、反転角度を
２βとするこでＲ面取りしたところ、浮上面レールの外
側のエッジe₁のＲ面取り深さが 0.3μｍであったのに対
し、内側のエッジe₃のＲ面取り深さが 0.2μｍとなっ
た。浮上面レールの外側と内側とでは、Ｒ面取り深さを
同等にするのは困難であるが、0.1 μｍ程度の差は許容
される。

【００４１】なお、本発明の方法は、薄膜磁気ヘッドを
製造する際に特に有効であるが、モノリシックの磁気ヘ
ッドのコアスライダをＲ面取りする際にも有効である。

【００４２】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、弾性定盤
15の研磨シート16側の面に、コアスライダブロック12や
コアスライダ列などの被研磨品の摺動方向と交差する方
向の切り込み17を設け、この切り込み17上の研磨シート
16に対してコアスライダブロック12やコアスライダ列を
摺動させることによって、小さく独立した弾性定盤が多
数存在する状態となり、張力が切り込み17を越えて伝わ
ることがないため、コアスライダブロック12のすべての
位置において弾性定盤15がコアスライダの凹凸に円滑に
追随して均一に弾性変形する。

【００４３】その結果、コアスライダブロック12やコア
スライダ列中の総てのコアスライダを均一にＲ面取りで
き、特に長いコアスライダブロックのＲ面取りに有効で
あり、量産に適している。

【００４４】また、隣接するコアスライダ間のエッジの
ように浮上面レールの間隔ｄの小さな位置においても、
弾性定盤15および研磨シート16が容易に弾性変形して進
入できるため、コアスライダを分離する前のコアスライ
ダブロックのままＲ面取りでき、作業工数が削減され、
生産効率が向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による磁気ヘッドの製造方法の基本原理
を説明する平面図と側面図である。

【図２】本発明方法の作用を説明する拡大側面図であ
る。

【図３】本発明方法の実施状態を例示する平面図と側面
図である。

【図４】磁気ヘッドによって情報を記録／再生している
状態を示す側面図、

【図５】コアスライダの斜視図と流入斜面部の側面図、

【図６】流入斜面を形成する前のコアスライダブロック
の斜視図、

【図７】流入斜面を形成した後のコアスライダブロック
の背面図、

【図８】従来の浮上面レールのＲ面取り方法を示す側面
図である。

【図９】従来の摺動方法を示す斜視図である。

【図10】従来のコアスライダの並べ変え状態を示す底面
図と右側面図である。

【図11】従来のＲ面取り方法における研磨量のばらつき
原因を説明する側面図である。

【符号の説明】

１コアスライダ４磁気記録円板９流入斜面 10,11 浮上面レールＤコアスライダ内における浮上面レールの間隔ｄ隣接コアスライダ間の浮上面レールの間隔ｈ薄膜素子部 12,12a,12b コアスライダブロック 13 分離位置 14 治具 15 弾性( ゴム )定盤 16 研磨シート( ダイヤモンドラッピングテープ ) 17 切り込み

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個のコアスライダに分離する前のコ
アスライダブロック(12)を、弾性定盤(15)上の研磨シー
ト(16)に載置し、コアスライダブロック(12)を研磨シー
ト(16)上で摺動させることによって、磁気ディスク装置
用の磁気ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの
周縁の角を面取りし、Ｒを付ける方法において、弾性定
盤(15)の研磨シート(16)側の面に、コアスライダブロッ
ク(12)の摺動方向と交差する方向の切り込み(17)を設
け、この切り込み(17)上の研磨シート(16)に対してコア
スライダブロック(12)を摺動させることを特徴とする磁
気ヘッドの製造方法。
【請求項２】コアスライダブロック(12)を分離してな
る複数個のコアスライダを所定の位置関係で治具に貼り
付けてなるコアスライダ列を、弾性定盤(15)上の研磨シ
ート(16)に載置し、コアスライダ列を研磨シート(16)上
で摺動させることによって、磁気ディスク装置用の磁気
ヘッドのコアスライダにおける浮上面レールの周縁の角
を面取りし、Ｒを付ける方法において、弾性定盤(15)の
研磨シート(16)側の面に、コアスライダ列の摺動方向と
交差する方向の切り込み(17)を設け、この切り込み(17)
上の研磨シート(16)に対してコアスライダ列を摺動させ
ることを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
【請求項３】コアスライダブロック(12)またはコアス
ライダ列を研磨シート(16)上で摺動させる際に、コアス
ライダの流入斜面(9) が前向きで薄膜素子部(h) が後端
に位置するような向きとすることを特徴とする請求項１
または２記載の磁気ヘッドの製造方法。