JPH08227034A - ロッドインテグレータの支持機構 - Google Patents
ロッドインテグレータの支持機構Info
- Publication number
- JPH08227034A JPH08227034A JP3268295A JP3268295A JPH08227034A JP H08227034 A JPH08227034 A JP H08227034A JP 3268295 A JP3268295 A JP 3268295A JP 3268295 A JP3268295 A JP 3268295A JP H08227034 A JPH08227034 A JP H08227034A
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- JP
- Japan
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- rod integrator
- mask
- leaf spring
- opening
- hollow member
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 熱による特性変動のないロッドインテグレー
タ支持機構を提供する。 【構成】 中空部材２の側面には開口部１２と開口部１
３が穿設し、２つの開口部の間には板バネ１１の固定用
ネジ１０を螺合するためのブリッジ部１４が設ける。中
空部材２の両端には、マスク８、マスク９を重ね合わせ
て取り付けている。少なくとも左側のマスク９の入射面
６は鏡面またはそれに近い状態に研磨してある。なお、
マスク部材８、９は耐熱性の高い材料である。組立は、
マスク８、マスク９を中空部材２の両端に固定し、この
中空部材２にロッドインテグレータ１を挿入する。中空
部材２の側面に穿設された開口部１２、開口部１３から
板バネ１１をロッドインテグレータ１の側面に乗せ、止
めネジ１０によって該板バネ１１をブリッジ部１４に固
定する。板バネ１１が弾性変形してロッドインテグレー
タ１の側面に付勢力を与える。この付勢力はロッドイン
テグレータ１の光学特性に影響を及ぼさない程度に板バ
ネ１１の形状が決められている。
タ支持機構を提供する。 【構成】 中空部材２の側面には開口部１２と開口部１
３が穿設し、２つの開口部の間には板バネ１１の固定用
ネジ１０を螺合するためのブリッジ部１４が設ける。中
空部材２の両端には、マスク８、マスク９を重ね合わせ
て取り付けている。少なくとも左側のマスク９の入射面
６は鏡面またはそれに近い状態に研磨してある。なお、
マスク部材８、９は耐熱性の高い材料である。組立は、
マスク８、マスク９を中空部材２の両端に固定し、この
中空部材２にロッドインテグレータ１を挿入する。中空
部材２の側面に穿設された開口部１２、開口部１３から
板バネ１１をロッドインテグレータ１の側面に乗せ、止
めネジ１０によって該板バネ１１をブリッジ部１４に固
定する。板バネ１１が弾性変形してロッドインテグレー
タ１の側面に付勢力を与える。この付勢力はロッドイン
テグレータ１の光学特性に影響を及ぼさない程度に板バ
ネ１１の形状が決められている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プロジェクター、露光
装置、投影装置、暴露装置などに用いられる光源光学系
における光学部品の支持機構に関するものであり、特に
面内の均一な輝度分布を得るためにロッドインテグレー
タを用いる場合の、該ロッドインテグレータの支持機構
に関するものである。
装置、投影装置、暴露装置などに用いられる光源光学系
における光学部品の支持機構に関するものであり、特に
面内の均一な輝度分布を得るためにロッドインテグレー
タを用いる場合の、該ロッドインテグレータの支持機構
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の支持機構を図面を基に説明する。
図２は従来の支持機構の一実施例を示す断面図である。
この図に示すように、ロッドインテグレータ１、中空部
材２、両端のＯリング３から構成されており、中空部材
２にはＯリング３をはめ込む為の段付き部７がその両端
に穿削されている。そしてはめ込まれたＯリング３の内
径がロッドインテグレータ１の対角距離よりも多少小さ
くなるように設定してあり、ロッドインテグレータ１の
４角はＯリング３によって弾性的に支持する機構になっ
ている。
図２は従来の支持機構の一実施例を示す断面図である。
この図に示すように、ロッドインテグレータ１、中空部
材２、両端のＯリング３から構成されており、中空部材
２にはＯリング３をはめ込む為の段付き部７がその両端
に穿削されている。そしてはめ込まれたＯリング３の内
径がロッドインテグレータ１の対角距離よりも多少小さ
くなるように設定してあり、ロッドインテグレータ１の
４角はＯリング３によって弾性的に支持する機構になっ
ている。
【０００３】この構成で光源ランプ、集光ミラー（共に
図示せず）によってある大きさに集光された光束５を入
射面６に入射すると、ロッドインテグレータ１内で、複
数回、入射光は全反射を繰り返し、面内の輝度ムラの少
ない長方形断面の大きさｘｙの光束（図２（ｂ）を参
照）が出射光４として得られる。また、ロッドインテグ
レータをリジッドに保持せず、Ｏリングで保持させるこ
とによって、ロッドインテグレータが温度によって膨張
や収縮しても内部応力を逃がすことができるようになっ
ており、温度上昇に伴う光学特性の変化を少なくするよ
うになっている。。
図示せず）によってある大きさに集光された光束５を入
射面６に入射すると、ロッドインテグレータ１内で、複
数回、入射光は全反射を繰り返し、面内の輝度ムラの少
ない長方形断面の大きさｘｙの光束（図２（ｂ）を参
照）が出射光４として得られる。また、ロッドインテグ
レータをリジッドに保持せず、Ｏリングで保持させるこ
とによって、ロッドインテグレータが温度によって膨張
や収縮しても内部応力を逃がすことができるようになっ
ており、温度上昇に伴う光学特性の変化を少なくするよ
うになっている。。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成の支持機構を採用した場合、次のような課題が
あった。 ロッドインテグレータ１は基本的にはＯリングによっ
て支持されているが、一般にＯリングはゴムまたはテフ
ロンなどによって成形されているので、特に光軸に垂直
な面内での位置決め精度を確保することが難しく、しか
も経時変化も大きい。
うな構成の支持機構を採用した場合、次のような課題が
あった。 ロッドインテグレータ１は基本的にはＯリングによっ
て支持されているが、一般にＯリングはゴムまたはテフ
ロンなどによって成形されているので、特に光軸に垂直
な面内での位置決め精度を確保することが難しく、しか
も経時変化も大きい。
【０００５】特に高輝度の光束を得るために高出力の
光源を用いた場合、集束された光束はほぼ円形であるた
め、入射光５のうち長方形断面のロッドインテグレータ
１に入射できない外周の光束がＯリング３、中空部材２
などに照射して該Ｏリング３、中空部材２を加熱し、場
合によってはゴムの変質、ガスの発生などを起こし、ロ
ッドインテグレータ１の入射面や側面にゴムから発生し
た不純物を付着させたり、支持位置の変動を起こしてし
まう。場合によっては、Ｏリングが劣化してしまいロッ
ドインテグレータ１の保持が不可能になる場合も発生す
る。
光源を用いた場合、集束された光束はほぼ円形であるた
め、入射光５のうち長方形断面のロッドインテグレータ
１に入射できない外周の光束がＯリング３、中空部材２
などに照射して該Ｏリング３、中空部材２を加熱し、場
合によってはゴムの変質、ガスの発生などを起こし、ロ
ッドインテグレータ１の入射面や側面にゴムから発生し
た不純物を付着させたり、支持位置の変動を起こしてし
まう。場合によっては、Ｏリングが劣化してしまいロッ
ドインテグレータ１の保持が不可能になる場合も発生す
る。
【０００６】そこで、本発明は以上のような点に着目し
てなされたもので、長期間に亘って高い位置決め精度を
確保でき、高い出力の光源を用いた場合でも、構成部材
の温度上昇を最小限に抑え、更に熱応力を逃がせるよう
な支持機構を提供することを目的とする。
てなされたもので、長期間に亘って高い位置決め精度を
確保でき、高い出力の光源を用いた場合でも、構成部材
の温度上昇を最小限に抑え、更に熱応力を逃がせるよう
な支持機構を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、ロッドインテグレータの断面よ
り若干大きい開口部を設けた耐熱性の高い材質で形成さ
れたマスク部材と、側面に開口部を設けた中空部材とを
含む構成とし、前記マスク部材を前記中空部材の両端に
それぞれ固定し、ロッドインテグレータを該中空部材に
挿入して両サイドのマスク部材によってロッドインテグ
レータを支持し、さらに該中空部材の側面に設けた開口
部から板バネを取り付けて、ロッドインテグレータの側
面を付勢する構成とした。
に、本発明においては、ロッドインテグレータの断面よ
り若干大きい開口部を設けた耐熱性の高い材質で形成さ
れたマスク部材と、側面に開口部を設けた中空部材とを
含む構成とし、前記マスク部材を前記中空部材の両端に
それぞれ固定し、ロッドインテグレータを該中空部材に
挿入して両サイドのマスク部材によってロッドインテグ
レータを支持し、さらに該中空部材の側面に設けた開口
部から板バネを取り付けて、ロッドインテグレータの側
面を付勢する構成とした。
【０００８】また前記マスク部材を２つの部品Ａ，Ｂに
分割し、一方の部品Ａはその開口部の短辺の長さがロッ
ドインテグレータの断面の一辺の長さより多少大きく、
もう一方の部品Ｂの開口部の短辺が該ロッドインテグレ
ータの断面の別の一辺の長さより多少大きくなるように
作成し、この２つの部品Ａ，Ｂを重ね合わせて前記マス
ク部材とするようにした。
分割し、一方の部品Ａはその開口部の短辺の長さがロッ
ドインテグレータの断面の一辺の長さより多少大きく、
もう一方の部品Ｂの開口部の短辺が該ロッドインテグレ
ータの断面の別の一辺の長さより多少大きくなるように
作成し、この２つの部品Ａ，Ｂを重ね合わせて前記マス
ク部材とするようにした。
【０００９】さらに少なくとも入射面側に用いられるマ
スク部材の表面状態を鏡面ないしは鏡面に近い状態にし
た。また、前記マスク部材の開口部にロッドインテグレ
ータの位置調整用ネジを内蔵した。
スク部材の表面状態を鏡面ないしは鏡面に近い状態にし
た。また、前記マスク部材の開口部にロッドインテグレ
ータの位置調整用ネジを内蔵した。
【００１０】また、前記中空部材の中空部に外部より空
冷用媒体を送り込むための導入口を設けた。
冷用媒体を送り込むための導入口を設けた。
【００１１】
【作用】上記のような構成にすれば、マスク部材に設け
た開口部の加工精度によってロッドインテグレータの取
付位置精度を規定することができ、しかも経時変化も起
こさず再現性も飛躍的に向上する。
た開口部の加工精度によってロッドインテグレータの取
付位置精度を規定することができ、しかも経時変化も起
こさず再現性も飛躍的に向上する。
【００１２】また、ラヂアル方向はマスク部材によって
位置を規定されているが、スラスト方向の自由度は残さ
れているので、ロッドインテグレータが熱によって膨張
または収縮しても熱応力は蓄積されない。さらに、ロッ
ドインテグレータに入射しなかったわずかな光は、マス
ク部材の表面でかなり反射されるため、マスク部材及び
ロッドインテグレータを保持する部材の温度上昇を抑え
ることが可能となる。
位置を規定されているが、スラスト方向の自由度は残さ
れているので、ロッドインテグレータが熱によって膨張
または収縮しても熱応力は蓄積されない。さらに、ロッ
ドインテグレータに入射しなかったわずかな光は、マス
ク部材の表面でかなり反射されるため、マスク部材及び
ロッドインテグレータを保持する部材の温度上昇を抑え
ることが可能となる。
【００１３】また、ロッドインテグレータの位置調整ネ
ジを回すことで装置にロッドインテグレータを組み込ん
だ後でも調整することができる。さらに空冷用媒体を導
くことで自然空冷時よりも熱伝達率が向上し多くの熱排
出ができ、構成部品の温度上昇を抑えることが可能とな
る。
ジを回すことで装置にロッドインテグレータを組み込ん
だ後でも調整することができる。さらに空冷用媒体を導
くことで自然空冷時よりも熱伝達率が向上し多くの熱排
出ができ、構成部品の温度上昇を抑えることが可能とな
る。
【００１４】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明によるロッドインテグレータの支
持機構を表す一実施例である。この図において、中空部
材２の側面には開口部１２と開口部１３が穿設されてお
り、２つの開口部の間には板バネ１１の固定用ネジ１０
を螺合するためのブリッジ部１４が設けられている。ま
た、中空部材２の両端には、マスク８、マスク９を重ね
合わせて取り付けてある。さらに、少なくとも左側のマ
スク９の入射面６は鏡面またはそれに近い状態に研磨し
てある。なお、マスク部材８、９はアルミ、ステンレ
ス、セラミックなど耐熱性の高い材料で作られている。
明する。図１は本発明によるロッドインテグレータの支
持機構を表す一実施例である。この図において、中空部
材２の側面には開口部１２と開口部１３が穿設されてお
り、２つの開口部の間には板バネ１１の固定用ネジ１０
を螺合するためのブリッジ部１４が設けられている。ま
た、中空部材２の両端には、マスク８、マスク９を重ね
合わせて取り付けてある。さらに、少なくとも左側のマ
スク９の入射面６は鏡面またはそれに近い状態に研磨し
てある。なお、マスク部材８、９はアルミ、ステンレ
ス、セラミックなど耐熱性の高い材料で作られている。
【００１５】一方、マスク８、マスク９の構造は例えば
図３（ａ）〜（ｃ）に示すようになっている。マスク８
にはａ×ｂの開口部１３が穿設されており、一方、マス
ク９にはｃ×ｄの開口部１４が穿設されており、この両
者を重ね合わせると図３（ｃ）に示すようにｃ×ｂの開
口部を得ることができる。このように２枚のマスクを重
ね合わせる理由は、開口部の四隅の直角部をきちんと出
しロッドインテグレータの角部との干渉を避ける為であ
る。このマスク部に挿入されるロッドインテグレータ１
は長方形断面をしているためにこのような工夫が必要と
なるのである。
図３（ａ）〜（ｃ）に示すようになっている。マスク８
にはａ×ｂの開口部１３が穿設されており、一方、マス
ク９にはｃ×ｄの開口部１４が穿設されており、この両
者を重ね合わせると図３（ｃ）に示すようにｃ×ｂの開
口部を得ることができる。このように２枚のマスクを重
ね合わせる理由は、開口部の四隅の直角部をきちんと出
しロッドインテグレータの角部との干渉を避ける為であ
る。このマスク部に挿入されるロッドインテグレータ１
は長方形断面をしているためにこのような工夫が必要と
なるのである。
【００１６】実際の組立手順は、まずマスク８、マスク
９を適当な方法、例えばネジ締結などによって、中空部
材２の両端に固定し、次にこの中空部材２にロッドイン
テグレータ１を挿入する。さらにその後、中空部材２の
側面に穿設された開口部１２、開口部１３から板バネ１
１をロッドインテグレータ１の側面に乗せ、止めネジ１
０によって該板バネ１１をブリッジ部１４に固定する。
これによって板バネ１１が弾性変形してロッドインテグ
レータ１の側面に付勢力を与える。ただし、この付勢力
はロッドインテグレータ１の光学特性に影響を及ぼさな
い程度のわずかな値になるように板バネ１１の形状が決
められている。
９を適当な方法、例えばネジ締結などによって、中空部
材２の両端に固定し、次にこの中空部材２にロッドイン
テグレータ１を挿入する。さらにその後、中空部材２の
側面に穿設された開口部１２、開口部１３から板バネ１
１をロッドインテグレータ１の側面に乗せ、止めネジ１
０によって該板バネ１１をブリッジ部１４に固定する。
これによって板バネ１１が弾性変形してロッドインテグ
レータ１の側面に付勢力を与える。ただし、この付勢力
はロッドインテグレータ１の光学特性に影響を及ぼさな
い程度のわずかな値になるように板バネ１１の形状が決
められている。
【００１７】ところでマスクの形態に付いては、上記で
は２つの部品に分割して重ね合わせて用いるようになっ
ているが、図３（ｄ）は一体マスク１５で構成した場合
の実施例である。この一体マスク１５の中央部に設けら
れた開口部はｂ×ｃの大きさで、角部に逃げを設けた構
造になっている。
は２つの部品に分割して重ね合わせて用いるようになっ
ているが、図３（ｄ）は一体マスク１５で構成した場合
の実施例である。この一体マスク１５の中央部に設けら
れた開口部はｂ×ｃの大きさで、角部に逃げを設けた構
造になっている。
【００１８】なお、マスク部材に関しては、上記のよう
な構造をとることによって図３（ｃ）、（ｄ）ではどち
らもｂ×ｃの開口部が得られるが、ここにはめ合わせる
ロッドインテグレータ１７の断面形状は図３（ｅ）に示
すようにｂ’×ｃ’で、ｂ及びｃの値はそれぞれｂ’、
ｃ’の値よりわずかだけ大きくなるように設定されてい
る。
な構造をとることによって図３（ｃ）、（ｄ）ではどち
らもｂ×ｃの開口部が得られるが、ここにはめ合わせる
ロッドインテグレータ１７の断面形状は図３（ｅ）に示
すようにｂ’×ｃ’で、ｂ及びｃの値はそれぞれｂ’、
ｃ’の値よりわずかだけ大きくなるように設定されてい
る。
【００１９】また図３（ｆ）、（ｇ）に示すのは一体マ
スク１５の側面に六角穴付き止めネジ１８、１９を４本
用いて、ロッドインテグレータ１の位置をＸ，Ｙ２方向
に微調整できるようにしたものである。調整機構を内蔵
しているために開口部の寸法にはそれほどの精度が要求
されないのでコストダウンに貢献できる。ただし、六角
穴付き止めネジ１８、１９を強く締めると、ロッドイン
テグレータ１に歪と応力が生じ光学特性に影響を与える
だけでなく、熱膨張や熱収縮の際の逃げがなくなってし
まうので注意が必要である。
スク１５の側面に六角穴付き止めネジ１８、１９を４本
用いて、ロッドインテグレータ１の位置をＸ，Ｙ２方向
に微調整できるようにしたものである。調整機構を内蔵
しているために開口部の寸法にはそれほどの精度が要求
されないのでコストダウンに貢献できる。ただし、六角
穴付き止めネジ１８、１９を強く締めると、ロッドイン
テグレータ１に歪と応力が生じ光学特性に影響を与える
だけでなく、熱膨張や熱収縮の際の逃げがなくなってし
まうので注意が必要である。
【００２０】一方、図４は中空部材２の下部にロッドイ
ンテグレータ１を空冷するための空気導入口としての風
ガイド２０を設けたものである。実際にはシロッコファ
ン（図示せず）などからの空気２１をダクトやホースな
どによって導き、ロッドインテグレータの下部から上部
へ向けて風を送ることにより熱交換を行い、特にロッド
インテグレータを重点的に冷やし、ロッドインテグレー
タの温度上昇を防ぐことができるようになる。
ンテグレータ１を空冷するための空気導入口としての風
ガイド２０を設けたものである。実際にはシロッコファ
ン（図示せず）などからの空気２１をダクトやホースな
どによって導き、ロッドインテグレータの下部から上部
へ向けて風を送ることにより熱交換を行い、特にロッド
インテグレータを重点的に冷やし、ロッドインテグレー
タの温度上昇を防ぐことができるようになる。
【００２１】また図５は、上記とは違って中空部材の周
囲に小孔を多数開け、例えば軸流ファン２５からの空気
流を導き、ロッドインテグレータのユニットを空冷する
ものである。この場合は図４の場合と異なってロッドイ
ンテグレータを重点的に冷やすだけでなく中空部材２も
同時に空冷することとなる。
囲に小孔を多数開け、例えば軸流ファン２５からの空気
流を導き、ロッドインテグレータのユニットを空冷する
ものである。この場合は図４の場合と異なってロッドイ
ンテグレータを重点的に冷やすだけでなく中空部材２も
同時に空冷することとなる。
【００２２】上述の各実施例はロッドインテグレータの
一側面から付勢力を印加する形式になっているが、本発
明の骨子はこれに限定するわけではなく、図６に示すよ
うに上下２方向に板バネ１０を設け、２方向から付勢力
を印加する形式にしても同様の効果を奏することは明白
である。この図６では、中空部材２の両端にはマスク
８、９を取り付けた状態を図示しているが、マスク８、
９は用いなくても機能上は問題ない。
一側面から付勢力を印加する形式になっているが、本発
明の骨子はこれに限定するわけではなく、図６に示すよ
うに上下２方向に板バネ１０を設け、２方向から付勢力
を印加する形式にしても同様の効果を奏することは明白
である。この図６では、中空部材２の両端にはマスク
８、９を取り付けた状態を図示しているが、マスク８、
９は用いなくても機能上は問題ない。
【００２３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ロッドインテグレータの断面より若干大きな開口部を設
けた耐熱性のマスクを中空部材の両端に取付け、ロッド
インテグレータの側面から板バネによる付勢力を印加す
る構成としたので、マスクの材質をアルミやステンレス
などの金属、あるいはセラミックス等にすれば、高出力
の光源を用いた場合でも支持部材からガスなどの発生も
ない。また、マスク部材の入射面側を鏡面あるいは鏡面
に近い状態にしたので入射光の吸収が少なく、熱応力に
よるロッドインテグレータの変形なども逃がすことがで
き、マスク自体の変形も防ぐことができる。したがっ
て、ロッドインテグレータの位置はマスクによって規定
され経時的にも変動を生じず、安定した光学特性を維持
することが可能となる。
ロッドインテグレータの断面より若干大きな開口部を設
けた耐熱性のマスクを中空部材の両端に取付け、ロッド
インテグレータの側面から板バネによる付勢力を印加す
る構成としたので、マスクの材質をアルミやステンレス
などの金属、あるいはセラミックス等にすれば、高出力
の光源を用いた場合でも支持部材からガスなどの発生も
ない。また、マスク部材の入射面側を鏡面あるいは鏡面
に近い状態にしたので入射光の吸収が少なく、熱応力に
よるロッドインテグレータの変形なども逃がすことがで
き、マスク自体の変形も防ぐことができる。したがっ
て、ロッドインテグレータの位置はマスクによって規定
され経時的にも変動を生じず、安定した光学特性を維持
することが可能となる。
【００２４】また、中空部材に空冷用の空気を導入でき
るためにロッドインテグレータの熱変形を抑え、光学特
性の熱による変動を小さくすることが可能となる。
るためにロッドインテグレータの熱変形を抑え、光学特
性の熱による変動を小さくすることが可能となる。
【図１】本発明による一実施例を示す断面図である。
【図２】従来の支持機構を示す断面図である。
【図３】本発明によるマスクの一実施例を示す説明図で
ある。
ある。
【図４】本発明による空冷外気導入機構を示す断面図で
ある。
ある。
【図５】本発明による別の空冷外気導入機構を示す断面
図である。
図である。
【図６】本発明による別の実施例を示す断面図である。
１ ロッドインテグレータ ２ 中空部材 １１ 板バネ １２ 開口部 １３ 開口部 ２０ 風ガイド ２５ 軸流ファン ２６ 冷却風導入口
Claims (5)
- 【請求項１】 ロッドインテグレータの断面より若干大
きい開口部を設けた耐熱性のマスク部材と、側面に開口
部を設けた中空部材とを含む構成とし、前記マスク部材
を前記中空部材の両端に取着し、ロッドインテグレータ
を該中空部材に挿入し両端のマスク部材によって支持し
た後、該中空部材の側面の前記開口部から板バネを取り
付けて、ロッドインテグレータの側面を付勢することを
特徴とするロッドインテグレータの支持機構。 - 【請求項２】 請求項１において、前記マスク部材を２
つのＡ，Ｂ部品からなる構成とし、一方のＡ部品はその
開口部の短辺の長さがロッドインテグレータの断面の一
辺の長さより多少大きく、もう一方のＢ部品の開口部の
短辺が該ロッドインテグレータの断面の上記とは別の一
辺の長さより多少大きくなるように作成され、この２つ
のＡ，Ｂ部品を重ね合わせて前記マスク部材とすること
を特徴とするロッドインテグレータの支持機構。 - 【請求項３】 請求項１において、前記マスク部材の少
なくとも入射面の表面状態が鏡面ないしは鏡面に近い状
態であることを特徴とするロッドインテグレータの支持
機構。 - 【請求項４】 請求項１において、前記マスク部材の開
口部にロッドインテグレータの位置調整用ネジを１つま
たは２つ以上内蔵したことを特徴とするロッドインテグ
レータの支持機構。 - 【請求項５】 請求項１において、前記中空部材の中空
部に外部より空冷用媒体を送り込む為の導入口を設けた
ことを特徴とするロッドインテグレータの支持機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7032682A JP3018141B2 (ja) | 1995-02-21 | 1995-02-21 | ロッドインテグレータの支持機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7032682A JP3018141B2 (ja) | 1995-02-21 | 1995-02-21 | ロッドインテグレータの支持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08227034A true JPH08227034A (ja) | 1996-09-03 |
| JP3018141B2 JP3018141B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=12365654
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7032682A Expired - Fee Related JP3018141B2 (ja) | 1995-02-21 | 1995-02-21 | ロッドインテグレータの支持機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3018141B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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