JP7457678B2 - 露光装置、露光方法および物品製造方法 - Google Patents
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- 投影光学系を介して基板を露光する露光動作を行う露光装置であって、
前記投影光学系の温度分布を制御する第1温度制御部と第2温度制御部とを含む温度調整部を備え、
前記露光動作が実施される第1期間において、前記露光動作が実施されることによる前記投影光学系の収差の変化が低減されるように前記第1温度制御部と前記第2温度制御部の少なくとも一方が動作し、
前記第1期間に続く、前記露光動作が実施されない第2期間において、前記露光動作が実施されないことによる前記収差の変化が低減されるように前記第1温度制御部と前記第2温度制御部の少なくとも一方が動作し、
前記温度調整部は、前記収差としてゼルニケ多項式におけるNθ成分(Nは自然数)の少なくとも1つを低減する、
ことを特徴とする露光装置。 - 前記第1期間において、前記温度調整部は、前記第1期間の開始時からの経過時間に応じた指令値に従って光学素子の温度分布を制御し、
前記第2期間において、前記温度調整部は、前記第2期間の開始時からの経過時間に応じた指令値に従って光学素子の温度分布を制御する、
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記温度調整部は、前記温度調整部によって温度分布が制御される光学素子の有効径の外側に配置されている、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記温度調整部は、前記収差として非点収差を低減する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第1期間は、1枚の基板に対する最初の前記露光動作の開始から前記1枚の基板に対する最後の前記露光動作の終了までの期間である、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第2期間は、前記1枚の基板に対する前記最後の前記露光動作の終了時に開始する期間である、
ことを特徴とする請求項5に記載の露光装置。 - 前記第1期間は、第1ロットにおける1枚目の基板に対する最初の露光動作の開始から、前記第1ロットの最後の基板に対する最後の露光動作の終了までの期間である、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第2期間は、前記第1ロットの最後の基板に対する最後の露光動作の終了から、前記第1ロットに続く第2ロットにおける1枚目の基板に対する最初の露光動作の開始までの期間である、
ことを特徴とする請求項7に記載の露光装置。 - 前記第1期間は、基板における1つのショット領域に対する露光動作の開始から前記1つのショット領域に対する前記露光動作の終了までの期間である、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記第2期間は、前記基板における前記1つのショット領域に対する前記露光動作の終了から、前記1つのショット領域に続くショット領域に対する露光動作の開始までの期間である、
ことを特徴とする請求項9に記載の露光装置。 - 前記第1温度制御部と前記第2温度制御部とは、互いに異なる位置に配置されている、ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の露光装置。
- 前記第1期間において、前記第1温度制御部は、前記収差の変化が低減されるように熱を発生し、
前記第2期間において、前記第2温度制御部は、前記収差の変化が低減されるように熱を発生する、
ことを特徴とする請求項11に記載の露光装置。 - 前記第1期間において、前記収差の変化が低減されるように前記第1温度制御部および前記第2温度制御部が動作し、
前記第2期間において、前記収差の変化が低減されるように前記第1温度制御部および前記第2温度制御部が動作する、
ことを特徴とする請求項11に記載の露光装置。 - 前記第1期間および前記第2期間において、所定範囲内での前記収差の変化を許容しつつ、前記収差が前記所定範囲から外れないように、前記第1温度制御部および前記第2温度制御部が動作する、
ことを特徴とする請求項13に記載の露光装置。 - 投影光学系を介して基板を露光する露光動作を行う露光方法であって、
前記露光動作が実施される第1期間において、前記露光動作が実施されることによる前記投影光学系の収差の変化が低減されるように、温度調整部に含まれる第1温度制御部と第2温度制御部の少なくとも一方が動作することによって前記投影光学系の温度分布を制御する第1工程と、
前記第1期間に続く、前記露光動作が実施されない第2期間において、前記露光動作が実施されないことによる前記収差の変化が低減されるように、前記第1温度制御部と前記第2温度制御部の少なくとも一方が動作することによって前記投影光学系の温度分布を制御する第2工程と、
を含み、
前記第1工程および第2工程では、前記温度調整部が、前記収差としてゼルニケ多項式におけるNθ成分(Nは自然数)の少なくとも1つを低減するように動作する、
ことを特徴とする露光方法。 - 投影光学系を介して基板を露光する露光工程と、
前記露光工程で露光された前記基板を現像する現像工程と、
前記現像工程で現像された前記基板を処理する処理工程と、を含み、
前記露光工程は、
露光動作が実施される第1期間において、前記露光動作が実施されることによる前記投影光学系の収差の変化が低減されるように、温度調整部に含まれる第1温度制御部と第2温度制御部の少なくとも一方が動作することによって前記投影光学系の温度分布を制御する第1工程と、
前記第1期間に続く、前記露光動作が実施されない第2期間において、前記露光動作が実施されないことによる前記収差の変化が低減されるように、前記第1温度制御部と前記第2温度制御部の少なくとも一方が動作することによって前記投影光学系の温度分布を制御する第2工程と、
を含み、
前記第1工程および第2工程では、前記温度調整部が、前記収差としてゼルニケ多項式におけるNθ成分(Nは自然数)の少なくとも1つを低減するように動作し、
前記処理工程で処理された前記基板から物品を得ることを特徴とする物品製造方法。
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