JP3018141B2 - ロッドインテグレータの支持機構 - Google Patents

ロッドインテグレータの支持機構

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JP3018141B2
JP3018141B2 JP7032682A JP3268295A JP3018141B2 JP 3018141 B2 JP3018141 B2 JP 3018141B2 JP 7032682 A JP7032682 A JP 7032682A JP 3268295 A JP3268295 A JP 3268295A JP 3018141 B2 JP3018141 B2 JP 3018141B2
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直樹 川和田
幸治 川口
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セイコーインスツルメンツ株式会社
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、プロジェクター、露光
装置、投影装置、暴露装置などに用いられる光源光学系
における光学部品の支持機構に関するものであり、特に
面内の均一な輝度分布を得るためにロッドインテグレー
タを用いる場合の、該ロッドインテグレータの支持機構
に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来の支持機構を図面を基に説明する。
図2は従来の支持機構の一実施例を示す断面図である。
この図に示すように、ロッドインテグレータ1、中空部
材2、両端のOリング3から構成されており、中空部材
2にはOリング3をはめ込む為の段付き部7がその両端
に穿削されている。そしてはめ込まれたOリング3の内
径がロッドインテグレータ1の対角距離よりも多少小さ
くなるように設定してあり、ロッドインテグレータ1の
4角はOリング3によって弾性的に支持する機構になっ
ている。
【0003】この構成で光源ランプ、集光ミラー(共に
図示せず)によってある大きさに集光された光束5を入
射面6に入射すると、ロッドインテグレータ1内で、複
数回、入射光は全反射を繰り返し、面内の輝度ムラの少
ない長方形断面の大きさxyの光束(図2(b)を参
照)が出射光4として得られる。また、ロッドインテグ
レータをリジッドに保持せず、Oリングで保持させるこ
とによって、ロッドインテグレータが温度によって膨張
や収縮しても内部応力を逃がすことができるようになっ
ており、温度上昇に伴う光学特性の変化を少なくするよ
うになっている。。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記のよ
うな構成の支持機構を採用した場合、次のような課題が
あった。 ロッドインテグレータ1は基本的にはOリングによっ
て支持されているが、一般にOリングはゴムまたはテフ
ロンなどによって成形されているので、特に光軸に垂直
な面内での位置決め精度を確保することが難しく、しか
も経時変化も大きい。
【0005】特に高輝度の光束を得るために高出力の
光源を用いた場合、集束された光束はほぼ円形であるた
め、入射光5のうち長方形断面のロッドインテグレータ
1に入射できない外周の光束がOリング3、中空部材2
などに照射して該Oリング3、中空部材2を加熱し、場
合によってはゴムの変質、ガスの発生などを起こし、ロ
ッドインテグレータ1の入射面や側面にゴムから発生し
た不純物を付着させたり、支持位置の変動を起こしてし
まう。場合によっては、Oリングが劣化してしまいロッ
ドインテグレータ1の保持が不可能になる場合も発生す
る。
【0006】そこで、本発明は以上のような点に着目し
てなされたもので、長期間に亘って高い位置決め精度を
確保でき、高い出力の光源を用いた場合でも、構成部材
の温度上昇を最小限に抑え、更に熱応力を逃がせるよう
な支持機構を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明においては、ロッドインテグレータの断面よ
り若干大きい開口部を設けた耐熱性の高い材質で形成さ
れたマスク部材と、側面に開口部を設けた中空部材とを
含む構成とし、前記マスク部材を前記中空部材の両端に
それぞれ固定し、ロッドインテグレータを該中空部材に
挿入して両サイドのマスク部材によってロッドインテグ
レータを支持し、さらに該中空部材の側面に設けた開口
部から板バネを取り付けて、ロッドインテグレータの側
面を付勢する構成とした。
【0008】また前記マスク部材を2つの部品A,Bに
分割し、一方の部品Aはその開口部の短辺の長さがロッ
ドインテグレータの断面の一辺の長さより多少大きく、
もう一方の部品Bの開口部の短辺が該ロッドインテグレ
ータの断面の別の一辺の長さより多少大きくなるように
作成し、この2つの部品A,Bを重ね合わせて前記マス
ク部材とするようにした。
【0009】さらに少なくとも入射面側に用いられるマ
スク部材の表面状態を鏡面ないしは鏡面に近い状態にし
た。また、前記マスク部材の開口部にロッドインテグレ
ータの位置調整用ネジを内蔵した。
【0010】また、前記中空部材の中空部に外部より空
冷用媒体を送り込むための導入口を設けた。
【0011】
【作用】上記のような構成にすれば、マスク部材に設け
た開口部の加工精度によってロッドインテグレータの取
付位置精度を規定することができ、しかも経時変化も起
こさず再現性も飛躍的に向上する。
【0012】また、ラヂアル方向はマスク部材によって
位置を規定されているが、スラスト方向の自由度は残さ
れているので、ロッドインテグレータが熱によって膨張
または収縮しても熱応力は蓄積されない。さらに、ロッ
ドインテグレータに入射しなかったわずかな光は、マス
ク部材の表面でかなり反射されるため、マスク部材及び
ロッドインテグレータを保持する部材の温度上昇を抑え
ることが可能となる。
【0013】また、ロッドインテグレータの位置調整ネ
ジを回すことで装置にロッドインテグレータを組み込ん
だ後でも調整することができる。さらに空冷用媒体を導
くことで自然空冷時よりも熱伝達率が向上し多くの熱排
出ができ、構成部品の温度上昇を抑えることが可能とな
る。
【0014】
【実施例】以下に本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図1は本発明によるロッドインテグレータの支
持機構を表す一実施例である。この図において、中空部
材2の側面には開口部12と開口部13が穿設されてお
り、2つの開口部の間には板バネ11の固定用ネジ10
を螺合するためのブリッジ部14が設けられている。ま
た、中空部材2の両端には、マスク8、マスク9を重ね
合わせて取り付けてある。さらに、少なくとも左側のマ
スク9の入射面6は鏡面またはそれに近い状態に研磨し
てある。なお、マスク部材8、9はアルミ、ステンレ
ス、セラミックなど耐熱性の高い材料で作られている。
【0015】一方、マスク8、マスク9の構造は例えば
図3(a)〜(c)に示すようになっている。マスク8
にはa×bの開口部13が穿設されており、一方、マス
ク9にはc×dの開口部14が穿設されており、この両
者を重ね合わせると図3(c)に示すようにc×bの開
口部を得ることができる。このように2枚のマスクを重
ね合わせる理由は、開口部の四隅の直角部をきちんと出
しロッドインテグレータの角部との干渉を避ける為であ
る。このマスク部に挿入されるロッドインテグレータ1
は長方形断面をしているためにこのような工夫が必要と
なるのである。
【0016】実際の組立手順は、まずマスク8、マスク
9を適当な方法、例えばネジ締結などによって、中空部
材2の両端に固定し、次にこの中空部材2にロッドイン
テグレータ1を挿入する。さらにその後、中空部材2の
側面に穿設された開口部12、開口部13から板バネ1
1をロッドインテグレータ1の側面に乗せ、止めネジ1
0によって該板バネ11をブリッジ部14に固定する。
これによって板バネ11が弾性変形してロッドインテグ
レータ1の側面に付勢力を与える。ただし、この付勢力
はロッドインテグレータ1の光学特性に影響を及ぼさな
い程度のわずかな値になるように板バネ11の形状が決
められている。
【0017】ところでマスクの形態に付いては、上記で
は2つの部品に分割して重ね合わせて用いるようになっ
ているが、図3(d)は一体マスク15で構成した場合
の実施例である。この一体マスク15の中央部に設けら
れた開口部はb×cの大きさで、角部に逃げを設けた構
造になっている。
【0018】なお、マスク部材に関しては、上記のよう
な構造をとることによって図3(c)、(d)ではどち
らもb×cの開口部が得られるが、ここにはめ合わせる
ロッドインテグレータ17の断面形状は図3(e)に示
すようにb’×c’で、b及びcの値はそれぞれb’、
c’の値よりわずかだけ大きくなるように設定されてい
る。
【0019】また図3(f)、(g)に示すのは一体マ
スク15の側面に六角穴付き止めネジ18、19を4本
用いて、ロッドインテグレータ1の位置をX,Y2方向
に微調整できるようにしたものである。調整機構を内蔵
しているために開口部の寸法にはそれほどの精度が要求
されないのでコストダウンに貢献できる。ただし、六角
穴付き止めネジ18、19を強く締めると、ロッドイン
テグレータ1に歪と応力が生じ光学特性に影響を与える
だけでなく、熱膨張や熱収縮の際の逃げがなくなってし
まうので注意が必要である。
【0020】一方、図4は中空部材2の下部にロッドイ
ンテグレータ1を空冷するための空気導入口としての風
ガイド20を設けたものである。実際にはシロッコファ
ン(図示せず)などからの空気21をダクトやホースな
どによって導き、ロッドインテグレータの下部から上部
へ向けて風を送ることにより熱交換を行い、特にロッド
インテグレータを重点的に冷やし、ロッドインテグレー
タの温度上昇を防ぐことができるようになる。
【0021】また図5は、上記とは違って中空部材の周
囲に小孔を多数開け、例えば軸流ファン25からの空気
流を導き、ロッドインテグレータのユニットを空冷する
ものである。この場合は図4の場合と異なってロッドイ
ンテグレータを重点的に冷やすだけでなく中空部材2も
同時に空冷することとなる。
【0022】上述の各実施例はロッドインテグレ−タの
一側面から付勢力を印可する形式になっているが、本発
明の骨子はこれに限定するわけではなく、図6に示すよ
うに上下2方向に板ばね11を設け、2方向から付勢力
を印可する形式にしても同様の効果を奏することは明白
である。この図6では、中空部材2の両端にはマスク
8、9を取り付けた状態を図示しているが、マスク8、
9は用いなくても機能上は問題ない。
【0023】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ロッドインテグレータの断面より若干大きな開口部を設
けた耐熱性のマスクを中空部材の両端に取付け、ロッド
インテグレータの側面から板バネによる付勢力を印加す
る構成としたので、マスクの材質をアルミやステンレス
などの金属、あるいはセラミックス等にすれば、高出力
の光源を用いた場合でも支持部材からガスなどの発生も
ない。また、マスク部材の入射面側を鏡面あるいは鏡面
に近い状態にしたので入射光の吸収が少なく、熱応力に
よるロッドインテグレータの変形なども逃がすことがで
き、マスク自体の変形も防ぐことができる。したがっ
て、ロッドインテグレータの位置はマスクによって規定
され経時的にも変動を生じず、安定した光学特性を維持
することが可能となる。
【0024】また、中空部材に空冷用の空気を導入でき
るためにロッドインテグレータの熱変形を抑え、光学特
性の熱による変動を小さくすることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による一実施例を示す断面図である。
【図2】従来の支持機構を示す断面図である。
【図3】本発明によるマスクの一実施例を示す説明図で
ある。
【図4】本発明による空冷外気導入機構を示す断面図で
ある。
【図5】本発明による別の空冷外気導入機構を示す断面
図である。
【図6】本発明による別の実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 ロッドインテグレータ 2 中空部材 11 板バネ 12 開口部 13 開口部 20 風ガイド 25 軸流ファン 26 冷却風導入口

Claims (5)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ロッドインテグレータの断面より若干大
    きい開口部を設けた耐熱性のマスク部材と、側面に開口
    部を設けた中空部材とを含む構成とし、前記マスク部材
    を前記中空部材の両端に取着し、ロッドインテグレータ
    を該中空部材に挿入し両端のマスク部材によって支持し
    た後、該中空部材の側面の前記開口部から板バネを取り
    付けて、ロッドインテグレータの側面を付勢することを
    特徴とするロッドインテグレータの支持機構。
  2. 【請求項2】 請求項1において、前記マスク部材を2
    つのA,B部品からなる構成とし、一方のA部品はその
    開口部の短辺の長さがロッドインテグレータの断面の一
    辺の長さより多少大きく、もう一方のB部品の開口部の
    短辺が該ロッドインテグレータの断面の上記とは別の一
    辺の長さより多少大きくなるように作成され、この2つ
    のA,B部品を重ね合わせて前記マスク部材とすること
    を特徴とするロッドインテグレータの支持機構。
  3. 【請求項3】 請求項1において、前記マスク部材の少
    なくとも入射面の表面状態が鏡面ないしは鏡面に近い状
    態であることを特徴とするロッドインテグレータの支持
    機構。
  4. 【請求項4】 請求項1において、前記マスク部材の開
    口部にロッドインテグレータの位置調整用ネジを1つま
    たは2つ以上内蔵したことを特徴とするロッドインテグ
    レータの支持機構。
  5. 【請求項5】 請求項1において、前記中空部材の中空
    部に外部より空冷用媒体を送り込む為の導入口を設けた
    ことを特徴とするロッドインテグレータの支持機構。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3682961B2 (ja) 2002-02-07 2005-08-17 フジノン株式会社 ロッドインテグレータホルダ
JP3931127B2 (ja) 2002-09-03 2007-06-13 オリンパス株式会社 照明装置及びそれを用いた表示装置
JP3767544B2 (ja) * 2002-11-25 2006-04-19 セイコーエプソン株式会社 光学装置、照明装置及びプロジェクタ
JP3743423B2 (ja) 2002-12-11 2006-02-08 セイコーエプソン株式会社 ソリッド型ロッドインテグレータの保持機構
JP2004212816A (ja) 2003-01-07 2004-07-29 Fuji Photo Optical Co Ltd ロッドインテグレータホルダおよび該ロッドインテグレータホルダを備えた投写型画像表示装置
KR100587341B1 (ko) * 2003-12-11 2006-06-08 엘지전자 주식회사 프로젝션 시스템의 광 집속기 고정 장치
US7076145B2 (en) * 2004-07-07 2006-07-11 In Focus Corporation Light tunnel retention and adjustment apparatus
JP4610262B2 (ja) 2004-08-30 2011-01-12 富士フイルム株式会社 投写型画像表示装置
KR100680172B1 (ko) * 2005-04-12 2007-02-08 삼성전자주식회사 프로젝션기기의 광가이드장치
JP5099408B2 (ja) * 2006-12-18 2012-12-19 カシオ計算機株式会社 ロッド保持具及びプロジェクタ
CN106842828B (zh) * 2017-04-05 2019-09-03 无锡影速半导体科技有限公司 一种匀光棒固定装置

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