JPH08210528A - 弁 - Google Patents

Info

Publication number
JPH08210528A
JPH08210528A JP7279923A JP27992395A JPH08210528A JP H08210528 A JPH08210528 A JP H08210528A JP 7279923 A JP7279923 A JP 7279923A JP 27992395 A JP27992395 A JP 27992395A JP H08210528 A JPH08210528 A JP H08210528A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
valve
concave
rigid
layer
flexible layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7279923A
Other languages
English (en)
Inventor
Gregory A Farrell
グレガリ、エイ、ファレル
Kevin J Hanmann
ケヴィン、ジェイ、ハンマン
Peter Schmitz
ペータ、シュミッツ
Bruce E Behringer
ブルース、イー、ベーリンガ
James A Mawhirt
ジェイムズ、エイ、マワート
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Bayer AG
Bayer Corp
Original Assignee
Bayer AG
Bayer Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bayer AG, Bayer Corp filed Critical Bayer AG
Publication of JPH08210528A publication Critical patent/JPH08210528A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15CFLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C3/00Circuit elements having moving parts
    • F15C3/04Circuit elements having moving parts using diaphragms
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15CFLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C5/00Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/17Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0003Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015Diaphragm or membrane valves
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001Microvalves
    • F16K99/0034Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0059Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by a pilot fluid
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0073Fabrication methods specifically adapted for microvalves
    • F16K2099/008Multi-layer fabrications
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0084Chemistry or biology, e.g. "lab-on-a-chip" technology
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16KVALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0086Medical applications

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Check Valves (AREA)
  • Safety Valves (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 開いた状態でも閉じた状態でも等しい変形を
許容するダイヤフラム構造を備えた、小さい死容積を持
つ、高密度の小型の弁を提供する。 【解決手段】 第1の表面12を持つ第1の剛性層10
と、第1の表面に向き合う第2の表面21とこの第2の
表面21に対向する第3の表面22とを持つ第2の剛性
層20と、前記第1の表面及び第2の表面の間に位置さ
せたたわみ性層30とを弁1が備えている。弁室は、第
1の表面内の凹面14と、たわみ性層の一方の表面31
とにより境界を定められる、第1剛性層の流体通路1
5、弁室内に凹面14において開口し、この弁室に交互
に真空5及び圧力6を加え。流体室は、たわみ性層の他
方の表面32と、第2の表面内に設けられた凸部分24
及び凹部分25から成る凹−凸面とにより境界を定めら
れる。第2の剛性層の流体通路26、27は、流体室内
に凸面24において開口する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、弁アセンブリ、ことに
エラストマー質ダイヤフラムを持つ流体弁に関する。
【0002】
【従来技術】この種の流体弁は当業界では、たとえば米
国特許第4,852,851号明細書に記載してあるよ
うによく知られている。
【0003】従来の弁は、開いた位置及び閉じた位置の
間で互いに等しい変形を必要とする非弾性ダイヤフラム
を備えていた。
【0004】なおその後のこの種の弁では、内部に形成
した流体室及び弁室の幾何学的形状によって、たわみ性
シート部材は弁の開いた位置及び閉じた位置の間の互い
に等しくない変形によりしわが寄りひだを生じて不適正
な密封作用により弁機能の信頼性が失われた。
【0005】
【発明の開示】本発明の主な目的は、従来の弁の欠点を
除いた弁を提供することにある。本発明は一層高い密封
圧力、低い死容積(dead volume),低いキ
ヤリ−オ−バ(carryover)、長い寿命、化学
的な適合性(compatibility)及び密なユ
ニット完成品(packaging)が得られる。
【0006】本発明の他の目的は、融着され又はその他
の方法で密封されたアクリル系の又はその他のマニホル
ド導管を通る液体又は空気の流れを交互に止め又は流通
させる弁を提供することにある。制御される流体は、圧
力/真空ソレノイド弁又は機構から弾性ダイヤフラムに
より隔離される。
【0007】さらに本発明の目的は、開いた状態でも閉
じた状態でも等しい変形を許容するダイヤフラム構造を
備え小さい死容積を持つ高密度の小型弁を提供すること
にある。
【0008】本発明のこれ等の又その他の目的は、本発
明によれば、実質的に平らな第1の表面を持つ第1の剛
性層と、前記第1の表面に向き合う実質的に平らな第2
の表面と、この第2の表面に対向する実質的に平らな第
3の表面とを持つ第2の剛性層と、前記第1の表面と前
記第2の表面との間に位置させたたわみ性層と、前記実
質的に平らな第1の表面の凹面と、前記たわみ性層の一
方の表面とにより境界を定められた弁室と、前記第1の
剛性層に設けられ、前記弁室に交互に真空及び圧力を加
えるように、前記凹面において前記弁室に開口する第1
の流体通路と、前記たわみ性層の他方の表面と実質的に
平らな前記第2の表面内の凹ー凸面とにより境界を定め
られた流体室とを備えた弁により達成できる。前記凹ー
凸面は、内側の円形の凸部分と、同心の環状の外側凹部
分とを備えている。第2の剛性層内の2つの流体通路は
弁室内に凸面で開口する。
【0009】真空を弁室に加えるときは、たわみ性層が
たわみ、その他方の表面を凹ー凸面から間隔を置いて2
つの第2の流体通路間の連通を許容する。弁室に圧力を
加えるときは、たわみ性層がたわみ、このたわみ性層の
他方の表面を凹ー凸面上に配置し、2つの流体通路間の
連通を防止するようにする。
【0010】本発明弁は又、第3の表面に向き合う実質
的な平らな第4の表面を持つ第3の剛性層を備えてい
る。2つの第2流体通路は、第2及び第3の剛性層を連
結するときに整合する第3及び第4の表面のみぞから成
っている。
【0011】このようにして流路は、たわみ性層の平面
から変位した平面内に位置する。凹ー凸面は、開いた位
置及び閉じた位置で等しい弾性伸長変形を生ずる形状組
合わせであり、閉じた通路のまわりを「確実に包囲」す
ることにより閉じた位置において確実な閉鎖が得られ
る。
【0012】本発明弁は又、弁密封に必要な周辺部圧縮
に基づいて押出成形のダイヤフラム材料を十分に含み弾
性ダイヤフラム性能及び周辺変形性の妥協を必要としな
い環状体(annulus)を備える。
【0013】各剛性層は、なるべくは透明なアクリルプ
ラスチックが好適である。これ等の層は、本説明に参照
した米国特許第4,875.956号明細書に記載して
あるように拡散接着(diffusion bondi
ng)、接着剤接着(adhesive bondin
g)又は溶媒接着(solvent bonding)
により接合するのがよい。各層は又、ボルト又はねじの
ようなファスナにより機械的に接合してもよい。
【0014】本発明による弁は、血液学、化学、化学免
疫学用の臨床診断分析装置用一体流体循環路に使うのが
よい。
【0015】本発明はこれ等の又その他の特徴及び利点
を添付図面について以下に詳しく述べる。
【0016】
【実施例】図1及び2に示すように本発明による弁1
は、実質的に平らな表面11、12を持つ第1の剛性層
10と、実質的な平らな表面21、22を持つ第2の剛
性層20と、実質的に平らな表面41、42を持つ第3
の剛性層40とを備えている。表面12、21の間に
は、ゴムのようなエラストマー質材料かな成るたわみ性
層30を配置してある。
【0017】弁1はさらに、平らな表面12内の凹面1
4とたわみ性層30の一方の表面31とにより境界を定
められる弁室を備えている。第1の剛性層10内の少な
くとも1つの流体通路15は、弁室に交互に真空5又は
圧力6を加える弁4に連結してある。
【0018】弁1は又、たわみ性層30の表面32と、
内側の円形凸部分24及び同心の外側の環状の凹部分2
5を持つ表面21内の凹ー凸面とにより境界を定められ
る流体室を備えている。
【0019】凸部分24は、その中心にドーム部を持つ
のがよく、このドーム部に対する接線は剛性層20の表
面21と同じ平面内にある。このドーム部は凹面14の
中心に整合している。
【0020】表面12は又、凹面14を囲む圧縮ー膨脹
リリーフ環状部(compressionーexpan
sion relief annulus)13を備え
ている。表面21は、圧縮ー膨脹リリーフ環状部13及
び凹ー凸面を囲む圧縮ー膨脹リリーフみぞ23を備え、
圧縮ー膨脹リリーフ環状部13及と圧縮ー膨脹リリース
みぞ23との間に圧縮区域33を形成する。圧縮区域3
3は、たわみ性層30を圧縮し、又圧縮ー膨脹リリーフ
みぞ23は、押出成形のダイヤフラム材料のために設け
られる。剛性層10、20を図1に示すように互いに接
合するときは、圧縮区域33は弁室及び流体室の周辺を
密封するように作用する。
【0021】剛性層20は、凸部分24で流体室に開口
し、剛性層20の表面22に延びる2つの流体通路2
6、27を備えている。
【0022】剛性層20の表面22にみぞ44が形成さ
れ、又剛性層40の表面に、みぞ44に整合して流体導
管28を形成するみぞ43が形成される。剛性層40の
表面41には流体導管29を形成してある。表面41、
22は、通路28、29を密封するように拡散接合によ
り互いに接着してある。
【0023】みぞ29は通路27及び作動流体入口2に
連通し、又みぞ28は通路26及び作動流体出口3に連
通している。
【0024】作動時に通路15を経て弁室に真空5を加
えるときは、たわみ性層30は位置P1にたわみ、表面
32は凸部分24から間隔を置き、そして流体室は開い
て作動流体入口2及び作動流体出口3の間が通路29、
27、26、28を介して連通する。
【0025】弁室に圧力6を加えるときは、たわみ性層
層30は閉じた位置P2にたわみ、表面32が凸面24
及び凹面25に密接に押しつけられ作動流体入口2及び
作動流体出口3の間の連通を妨止する。
【0026】凹ー凸面により開いた位置P1でも閉じた
位置P2でも互いに等しい弾性伸長変形が生ずる。
【0027】本発明の1実施例では各剛性層は十分に規
格化され透明な成形アクリルから成り、又たわみ性層は
シリコーンシート(silicone sheetin
g)から成っている。各剛性層は、厚さが約0.10イ
ンチないし0.25インチであり、又たわみ性層は厚さ
が約0.01インチで約0.375インチの直径を持
つ。みぞ23は内径0.322インチ、外径0.4イン
チであり又高さ0.012インチである。圧縮ー膨脹リ
リーフ環状部13は直径が0.225インチあり表面1
2から0.005インチの段差を持つ。圧縮区域33は
0.225インチの内径と0.322インチの外径とを
持ち、又表面21は圧縮区域33で0.009インチの
段差を持つ。
【0028】通路15は直径が0.031であり、又各
通路26、27は直径が0.02インチであり心間間隔
が0.05インチである。凹入面31は、直径0.15
6インチ、球面半径0.1インチ、又深さ0.025イ
ンチである。凸部分24は、外径0.0156インチ、
内径0.06インチ、又曲率半径0.02インチであ
る。凹部分24は直径0.06インチ又球面半径0.0
8インチである。
【0029】前記した実施例は単に例示したものであり
本発明の範囲を制限するものではない。当業者には明ら
かなように本発明はその精神を逸脱しないで種種の変化
変型を行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明弁の1実施例の横断面図である。
【図2】図1の弁の展開斜視図である。
【符号の説明】
1 弁 5 真空 6 圧力 10 第1の剛性層 12 第1の表面 14 凹面 15 第1の流体通路 20 第2の剛性層 21 第2の表面 22 第3の表面 24 凸部分 25 凹部分 26、27 第2の流体通路 30 たわみ性層 31 1方の表面 32 他の表面
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ペータ、シュミッツ アメリカ合衆国ニューヨーク州10512、カ ーメル、オウルド・ペクスリップ・ロウ ド、アーエフディー 10番 (72)発明者 ブルース、イー、ベーリンガ アメリカ合衆国ニュージャーズィ州07656、 パーク・リッジ、フェアヴュー・アヴィニ ュー 25番 (72)発明者 ジェイムズ、エイ、マワート アメリカ合衆国ニューヨーク州11223、ブ ルックリン、イースト・ナインス・ストリ ート 2146番

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 実質的な平らな第1の表面を持つ第1の
    剛性層と、 前記第1の表面に向き合う実質的に平らな第2の表面
    と、この第2の表面に対向する実質的に平らな第3の表
    面とを持つ第2の剛性層と、 前記第1の表面と前記第2の表面との間に位置させたた
    わみ性層と、 前記実質的に平らな第1の表面の凹面と、前記たわみ性
    層の一方の表面とにより境界を定められた弁室と、 前記第1の剛性層に設けられ、前記弁室に交互に真空及
    び圧力を加えるように、前記凹面において前記弁室に開
    口する少なくとも1つの第1の流体通路と、 内側の円形の凸部分と、外側の同心の環状の凹部分とを
    備え、前記たわみ性層の他方の表面と、実質的に平らな
    前記の第2表面内の凹ー凸面とにより境界を定められた
    流体室と、 前記第2の剛性層に設けられ、前記凸面において前記弁
    室に開口する少なくとも2つの第2の流体通路と、を備
    えることにより、 前記弁室に真空が加えられるときは、前記たわみ性層が
    たわみ、このたわみ性層の他方の表面を前記凹ー凸面か
    ら間隔を置いて少なくとも2つの前記第2の流体通路間
    の連通許容し、前記弁室に圧力が加られるときは、前記
    たわみ性層がたわみ、このたわみ性層の他方の表面を前
    記凹ー凸面上に配置し、少なくとも2つの前記第2の流
    体通路間の連通を防止するようにして成る弁。
  2. 【請求項2】 前記第1の表面に凹面と、前記凹ー凸面
    の凸部分とが共通の中心点を持つようにした請求項1の
    弁。
  3. 【請求項3】 前記の第1の実質的に平らな表面に設け
    られ、前記凹面を囲む圧縮ー膨張リリーフ環状部と、前
    記第2の実質的に平らな表面に設けられ、前記圧縮ー膨
    張リリーフ環状部との間に圧縮区域を形成するように、
    前記凹ー凸面を前記圧縮ー膨張リリーフ環状部のまわり
    で囲む圧縮ー膨張リリーフみぞとを備えた請求項1の
    弁。
  4. 【請求項4】 前記第1及び第2の剛性層を、これ等の
    剛性層間にたわみ性層にを設けて互いに連結する手段を
    備えることにより、前記圧縮区域内の前記たわみ性層の
    ー部分により前記流体室及び弁室の密封を行うようにし
    た請求項3の弁。
  5. 【請求項5】 前記第3の表面に向き合う実質的に平ら
    な第4の表面を持つ第3の剛性層そ備えた請求項1の
    弁。
  6. 【請求項6】 前記第2及び第3の剛性層を、前記第3
    及び第4の表面を相互に隣接させて連結する手段を備え
    た請求項5の弁。
  7. 【請求項7】 少なくとも2つの前記第2の流体通路
    に、前記第2及び第3の剛性層が連結されるときに、整
    合する、前記第3及び第4の表面に設けたみぞにより構
    成した請求項6の弁。
  8. 【請求項8】 前記第2及び第3の剛性層を連結する手
    段に、前記第3及び第4の表面の各みぞのまわりにシー
    ルを形成する手段を設けた請求項7の弁。
  9. 【請求項9】 前記第1、第2及び第3の剛性層をアク
    リルプラスチックにより構成した請求項8の弁。
  10. 【請求項10】 シールを形成する前記手段を拡散接着
    を形成する手段により構成した請求項9の弁。
  11. 【請求項11】 前記凹ー凸面の凸出部分に、前記第1
    の表面と同じ平面内にある中心点を設けた請求項1の
    弁。
JP7279923A 1994-10-07 1995-10-04 Pending JPH08210528A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/319,918 US5496009A (en) 1994-10-07 1994-10-07 Valve
US08/319918 1994-10-07

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH08210528A true JPH08210528A (ja) 1996-08-20

Family

ID=23244146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7279923A Pending JPH08210528A (ja) 1994-10-07 1995-10-04

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5496009A (ja)
EP (1) EP0706003B1 (ja)
JP (1) JPH08210528A (ja)
AU (1) AU684997B2 (ja)
CA (1) CA2157647A1 (ja)
DE (1) DE69517380T2 (ja)
ES (1) ES2146692T3 (ja)
IL (1) IL115325A (ja)
NO (1) NO309113B1 (ja)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007514891A (ja) * 2003-12-19 2007-06-07 バーテルズ・ミクロテクニク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクター・ハフツンク 2枚の基板を接合するためのマイクロポンプ、及び接着剤を使用しない接合方法
WO2013027695A1 (ja) * 2011-08-23 2013-02-28 Ckd株式会社 液垂れ防止バルブ
WO2018167829A1 (ja) * 2017-03-13 2018-09-20 株式会社島津製作所 マイクロバルブ
JP2019124625A (ja) * 2018-01-18 2019-07-25 株式会社島津製作所 バルブシステム
JP2020118300A (ja) * 2013-12-10 2020-08-06 センバ バイオサイエンシーズ インコーポレイテッド 高流量流体バルブブロック

Families Citing this family (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE501713C2 (sv) * 1993-09-06 1995-05-02 Pharmacia Biosensor Ab Ventil av membrantyp, speciellt för vätskehanteringsblock med mikroflödeskanaler
IT1294948B1 (it) * 1997-09-24 1999-04-23 Giacomo Orioli Valvola pilotata per l'intercettazione di fluidi
US6007046A (en) * 1997-12-15 1999-12-28 Coulter International Corp. Fluid transport circuit and valve structure therefor
US6196521B1 (en) 1998-08-18 2001-03-06 Precision Valve & Automation, Inc. Fluid dispensing valve and method
DE19913689A1 (de) * 1999-03-25 2000-09-28 Focke & Co Vorrichtung zur Steuerung strömender Medien
US7144616B1 (en) * 1999-06-28 2006-12-05 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
US7062418B2 (en) * 2000-06-27 2006-06-13 Fluidigm Corporation Computer aided design method and system for developing a microfluidic system
WO2002030486A2 (en) * 2000-10-13 2002-04-18 Fluidigm Corporation Microfluidic device based sample injection system for analytical devices
AU2002212904B2 (en) 2000-11-02 2006-01-12 Ge Healthcare Bio-Sciences Ab Valve integrally associated with microfluidic liquid transport assembly
DE10164256A1 (de) 2001-02-20 2002-08-22 Heidelberger Druckmasch Ag Vorrichtung zur Steuerung von Blasluft
US6960437B2 (en) * 2001-04-06 2005-11-01 California Institute Of Technology Nucleic acid amplification utilizing microfluidic devices
US8440093B1 (en) 2001-10-26 2013-05-14 Fuidigm Corporation Methods and devices for electronic and magnetic sensing of the contents of microfluidic flow channels
US7691333B2 (en) * 2001-11-30 2010-04-06 Fluidigm Corporation Microfluidic device and methods of using same
EP1463796B1 (en) * 2001-11-30 2013-01-09 Fluidigm Corporation Microfluidic device and methods of using same
WO2003085379A2 (en) * 2002-04-01 2003-10-16 Fluidigm Corporation Microfluidic particle-analysis systems
US6637476B2 (en) 2002-04-01 2003-10-28 Protedyne Corporation Robotically manipulable sample handling tool
US7312085B2 (en) * 2002-04-01 2007-12-25 Fluidigm Corporation Microfluidic particle-analysis systems
JP2005531001A (ja) * 2002-06-24 2005-10-13 フルイディグム コーポレイション 再循環流体ネットワークおよびその使用法
US7143785B2 (en) * 2002-09-25 2006-12-05 California Institute Of Technology Microfluidic large scale integration
WO2004040001A2 (en) 2002-10-02 2004-05-13 California Institute Of Technology Microfluidic nucleic acid analysis
US7249529B2 (en) * 2003-03-28 2007-07-31 Protedyne Corporation Robotically manipulable sample handling tool
US7604965B2 (en) * 2003-04-03 2009-10-20 Fluidigm Corporation Thermal reaction device and method for using the same
US7476363B2 (en) 2003-04-03 2009-01-13 Fluidigm Corporation Microfluidic devices and methods of using same
US8828663B2 (en) * 2005-03-18 2014-09-09 Fluidigm Corporation Thermal reaction device and method for using the same
US20050145496A1 (en) 2003-04-03 2005-07-07 Federico Goodsaid Thermal reaction device and method for using the same
US7666361B2 (en) * 2003-04-03 2010-02-23 Fluidigm Corporation Microfluidic devices and methods of using same
US7413712B2 (en) 2003-08-11 2008-08-19 California Institute Of Technology Microfluidic rotary flow reactor matrix
EP1987275A1 (en) * 2006-02-13 2008-11-05 Koninklijke Philips Electronics N.V. Microfluidic device for molecular diagnostic applications
US20100171054A1 (en) * 2006-11-28 2010-07-08 Astc Aerospace Ab Micromechanical slow acting valve system
US8961902B2 (en) * 2008-04-23 2015-02-24 Bioscale, Inc. Method and apparatus for analyte processing
CN102245760A (zh) 2008-07-07 2011-11-16 牛津纳米孔技术有限公司 酶-孔构建体
CN102099690B (zh) 2008-07-14 2013-09-18 皇家飞利浦电子股份有限公司 用于分子诊断测试的装置
DE102008035372A1 (de) * 2008-07-30 2010-02-11 Knorr-Bremse Systeme für Schienenfahrzeuge GmbH Membranenventil, insbesondere für ein ABS- oder Gleitschutzventil
AU2011100301B4 (en) * 2010-03-19 2011-08-11 Kambouris Shares Pty Ltd Valve Assembly
EP2622343B1 (en) 2010-10-01 2016-01-20 Oxford Nanopore Technologies Limited Biochemical analysis apparatus using nanopores
US9618129B2 (en) * 2010-10-07 2017-04-11 Vanderbilt University Normally closed microvalve and applications of the same
WO2012097233A1 (en) * 2011-01-14 2012-07-19 Integenx Inc. Valves with hydraulic actuation system
GB2492955A (en) * 2011-07-13 2013-01-23 Oxford Nanopore Tech Ltd One way valve
EP2755703B1 (en) 2011-09-15 2019-12-18 Oxford Nanopore Technologies Limited Piston seal
US20150137015A1 (en) * 2012-07-12 2015-05-21 Agency For Science, Technology And Research Connector for microfluidic device, a method for injecting fluid into microfluidic device using the connector and a method of providing and operating a valve
WO2015105700A1 (en) * 2014-01-07 2015-07-16 Sundew Technologies, Llc Fluid-actuated flow control valves
DE102014219712B4 (de) * 2014-09-29 2016-04-07 Siemens Aktiengesellschaft Mehrwegeventil
DE102015016265A1 (de) 2015-12-15 2017-06-22 Wabco Europe Bvba Ventileinheit zur Druckmodulation in einer Druckluft-Bremsanlage
FR3067652B1 (fr) * 2017-06-15 2020-09-25 SOCIéTé BIC Instrument d'ecriture a encre libre comprenant une valve microfluidique
US10604204B2 (en) * 2017-09-29 2020-03-31 Howe Shien Chee Bicycle saddle bag
US20200355277A1 (en) 2017-11-07 2020-11-12 Equlibar, LLC Valve for single-use applications

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3176714A (en) * 1961-04-11 1965-04-06 Burroughs Corp Valve assembly
US3312238A (en) * 1964-12-24 1967-04-04 Ibm Monostable fluid logic element and actuator
DE1947533A1 (de) * 1969-09-19 1971-03-25 Messerschmitt Boelkow Blohm Abschaltventil fuer Druckmessgeraete
DE2235990A1 (de) * 1971-07-26 1973-02-08 Leesona Corp Druckfluid-logik-element
US3782682A (en) * 1971-11-01 1974-01-01 W Lale Fluid flow controller
DE2648751C2 (de) * 1976-10-27 1986-04-30 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen Vorrichtung für die Zuführung flüssiger oder gasförmiger Substanzen zu einem Verarbeitungsgefäß
US4119120A (en) * 1976-11-29 1978-10-10 Beckman Instruments, Inc. Fluid switch
US4304257A (en) * 1980-07-01 1981-12-08 Instrumentation Laboratory Inc. Valve with flexible sheet member
DE3209643A1 (de) * 1982-03-17 1983-09-29 Frhr. von Hardo Dr.med. 7400 Tübingen Gise Pneumatisch oder hydrodynamisch gesteuertes membranventil fuer fluessige und gasfoermige medien
US4703913A (en) * 1982-09-22 1987-11-03 California Institute Of Technology Diaphragm valve
US4744388A (en) * 1986-05-19 1988-05-17 Fujikura Rubber Ltd. Diaphragm type of pilot operated directional control valve
US4723131A (en) * 1986-09-12 1988-02-02 Diagraph Corporation Printhead for ink jet printing apparatus
US4875956A (en) * 1987-10-06 1989-10-24 Integrated Fluidics, Inc. Method of bonding plastics
US4852851A (en) * 1987-12-11 1989-08-01 Integrated Fluidics, Inc. Valve with flexible sheet member
US4858883A (en) * 1987-12-11 1989-08-22 Integrated Fluidics, Inc. Valve with flexible sheet member
US4848722A (en) * 1987-12-11 1989-07-18 Integrated Fluidics, Inc. Valve with flexible sheet member
FR2664671B1 (fr) * 1990-07-12 1992-10-09 Centre Nat Rech Scient Vanne et dispositif de distribution multivoies, notamment pour fluides corrosifs.

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007514891A (ja) * 2003-12-19 2007-06-07 バーテルズ・ミクロテクニク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクター・ハフツンク 2枚の基板を接合するためのマイクロポンプ、及び接着剤を使用しない接合方法
JP4664309B2 (ja) * 2003-12-19 2011-04-06 バーテルズ・ミクロテクニク・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクター・ハフツンク 2枚の基板を接合するためのマイクロポンプ
WO2013027695A1 (ja) * 2011-08-23 2013-02-28 Ckd株式会社 液垂れ防止バルブ
JP2013044372A (ja) * 2011-08-23 2013-03-04 Ckd Corp 液垂れ防止バルブ
JP2020118300A (ja) * 2013-12-10 2020-08-06 センバ バイオサイエンシーズ インコーポレイテッド 高流量流体バルブブロック
WO2018167829A1 (ja) * 2017-03-13 2018-09-20 株式会社島津製作所 マイクロバルブ
JP2019124625A (ja) * 2018-01-18 2019-07-25 株式会社島津製作所 バルブシステム

Also Published As

Publication number Publication date
EP0706003B1 (en) 2000-06-07
CA2157647A1 (en) 1996-04-08
EP0706003A2 (en) 1996-04-10
NO309113B1 (no) 2000-12-11
US5496009A (en) 1996-03-05
IL115325A (en) 1998-12-27
AU684997B2 (en) 1998-01-08
EP0706003A3 (en) 1997-03-05
NO953981L (no) 1996-04-09
DE69517380T2 (de) 2000-10-12
DE69517380D1 (de) 2000-07-13
AU3292695A (en) 1996-04-18
ES2146692T3 (es) 2000-08-16
IL115325A0 (en) 1995-12-31
NO953981D0 (no) 1995-10-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH08210528A (ja)
AU697402B2 (en) Integral valve diaphragm pump and method
KR100235276B1 (ko) 외장 밸브
US5213485A (en) Air driven double diaphragm pump
US5169296A (en) Air driven double diaphragm pump
US4304260A (en) Flexible diaphragm valve device
EP0706004A2 (en) Relief valve
JP4805658B2 (ja) ユニモルフ振動板を用いたポンプ
JP5774024B2 (ja) マイクロバルブ
US20060131530A1 (en) Piezoelectric actuator and pump using same
US4990251A (en) Resilient sealing ring
JP4216470B2 (ja) 流体回路用のダイアフラム弁
JP2013516582A5 (ja)
JP5002016B2 (ja) 弁シール部材及び弁
US12013044B2 (en) Valve and application apparatus
JPH02308988A (ja) 圧電マイクロポンプ
JPH034077A (ja) 逆止弁
CN113769798A (zh) 微流控芯片
JPH07229579A (ja) マイクロバルブ装置
JPS6078175A (ja) 四方切換弁
CN113028106A (zh) 一种用于汽车真空制动的三通单向阀
CN118728715A (zh) 一种阀结构及流体设备
JP3478516B2 (ja) 2ウェイバルブ
JPH02245482A (ja) 圧電マイクロポンプ
JPH0249427Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20041207

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20050517