NO309113B1 - Ventil - Google Patents

Ventil Download PDF

Info

Publication number
NO309113B1
NO309113B1 NO953981A NO953981A NO309113B1 NO 309113 B1 NO309113 B1 NO 309113B1 NO 953981 A NO953981 A NO 953981A NO 953981 A NO953981 A NO 953981A NO 309113 B1 NO309113 B1 NO 309113B1
Authority
NO
Norway
Prior art keywords
layer
valve
rigid
concave
flexible layer
Prior art date
Application number
NO953981A
Other languages
English (en)
Other versions
NO953981L (no
NO953981D0 (no
Inventor
Gregory A Farrell
Kevin G Hanmann
Peter Schmitz
Bruce E Behringer
James A Mawhirt
Original Assignee
Bayer Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Bayer Ag filed Critical Bayer Ag
Publication of NO953981D0 publication Critical patent/NO953981D0/no
Publication of NO953981L publication Critical patent/NO953981L/no
Publication of NO309113B1 publication Critical patent/NO309113B1/no

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C3/00—Circuit elements having moving parts
    • F15C3/04—Circuit elements having moving parts using diaphragms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15C—FLUID-CIRCUIT ELEMENTS PREDOMINANTLY USED FOR COMPUTING OR CONTROL PURPOSES
    • F15C5/00—Manufacture of fluid circuit elements; Manufacture of assemblages of such elements integrated circuits
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/17—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being actuated by fluid pressure
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0003—Constructional types of microvalves; Details of the cutting-off member
    • F16K99/0015—Diaphragm or membrane valves
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K99/0001—Microvalves
    • F16K99/0034—Operating means specially adapted for microvalves
    • F16K99/0055—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids
    • F16K99/0059—Operating means specially adapted for microvalves actuated by fluids actuated by a pilot fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0073—Fabrication methods specifically adapted for microvalves
    • F16K2099/008—Multi-layer fabrications
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0084—Chemistry or biology, e.g. "lab-on-a-chip" technology
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K99/00—Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • F16K2099/0082—Microvalves adapted for a particular use
    • F16K2099/0086—Medical applications

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Check Valves (AREA)
  • Safety Valves (AREA)
  • Fluid-Driven Valves (AREA)

Abstract

En ventil (1) omfatter et første stivt lag (10) med en første hovedsakelig plan overflate (12), og et andre stivt lag (20) med en hovedsakelig plan andre overflate (21) og et fleksibelt lag (30) plassert mellom den første (12) og den andre (21) overflaten. Et ventilkammer er avgrenset av en konkav overflate (14) i den første overflaten (12) og en overflate (31) av det fleksible laget (30), og en første fluidpassasje (15) i det første laget (10) åpner seg inn i ventilkammeret. Et fluldkammer er avgrenset av en annen overflate (32) av det fleksible laget (30) og en konkav-konveks overflate (24,25) i den andre overflaten (21) som omfatter et indre sirkulært konvekst avsnitt (24) og et konsentrisk ringformet ytre konkavt avsnitt (25). To andre f luidpassasjer (26,27) i det andre laget (20) åpner seg inn i ventilkammeret. Når et vakuum påføres ventilkammeret, bøyes det fleksible laget (30) for å bringe den andre overflaten (32) i avstand fra den konkav-konvekse overflaten (24,25) for å tillate kommunikasjon mellom de to andre fluidpassasjene (26,27) og når et trykk påføres ventilkammeret bøyes det fleksible laget (30) for å bringe den andre overflaten (32) mot den konkav-konvekse overflaten (24,25) for å forhindre kommunikasjon mellom de andre fluidpassasjene (26,27).

Description

Den foreliggende oppfinnelse vedrører en ventil som angitt i krav ls innledning.
Ventiler av denne typen er kjent på området, slik det for eksempel kan ses fra US-4.852.851 og EP 0469913.
I kjente ventiler av denne typen har, på grunn av fluid- og ventilkamrenes geometri det fleksible plateelementet krøllet og rynket seg som et resultat av de ulike deformasjonene mellom åpen og lukket posisjon av ventilen, med som resultat upålitelig ventilfunksjon på grunn av utilstrekkelig tetning.
Den foreliggende oppfinnelses hovedformål er å tilveiebringe en ventil som eliminerer ulempene ved tidligere kjente ventiler. En vesentlig hensikt med oppfinnelsen er å unngå de upålitelige ventilfunksjoner som skyldes at det fleksible lag eller membranen krøller og/eller rynker seg under deformasjonene, dvs. under de bevegelser som membranen utfører ved undertrykk henholdsvis overtrykk i ventilkammeret. Den foreliggende oppfinnelse tilveiebringer høyere tettetrykk, lavt dødvolum, lav overføring, lang levetid, kjemisk kompatibilitet og tett pakking.
Et annet formål ved den foreliggende oppfinnelse er å tilveiebringe en ventil som alternerende stopper eller tillater strømning av en væske eller luft gjennom en akrylisk eller annen manifoldkanal som er smeltet sammen eller på annen måte tettet. Fluidet som styres er isolert med en elastisk membran fra trykk-/vakuumsolenoidventilen eller -mekanismen.
Et videre formål ved den foreliggende oppfinnelse er å tilveiebringe en miniatyrventil med høy tetthet med et lite dødvolum for å tilveiebringe en membrankonfigurasjon som tillater lik deformasjon i både åpen og lukket tilstand.
Ifølge oppfinnelsen foreslås det derfor en ventil som angitt i krav 1. Ytterligere trekk ved oppfinnelsen er angitt i de uselvstendige krav.
Med oppfinnelsen oppnår man en meget gunstig membran-deformasjon eller membranbevegelse. I tillegg til de jevne deformasjoner oppnår man også en bedret avstengning av kommunikasjonen mellom kanalene, fordi membranen legger seg godt an og "omslutter" den konvekse flate hvor kanalene munner i fluidumkammeret.
Når et vakuum påføres ventilkammeret bøyes det fleksible laget for å bringe den andre overflaten av dette i avstand fra den konkav-konvekse overflaten for å tillate kommunikasjon mellom de to andre fluidpassasjene. Når et trykk påføres ventilkammeret bøyer det fleksible laget seg for å bringe den andre overflaten av det fleksible laget mot den konkav-konvekse overflaten for å forhindre kommunikasjon mellom de to fluidpassasjene.
Ventilen omfatter også et tredje stivt lag med en hovedsakelig plan fjerde overflate vendende mot den tredje overflaten. De to andre fluidpassasjene omfatter en kanal i den tredje og fjerde overflaten som flukter når det andre og tredje stive laget er forbundet.
På denne måten er fluidveien plassert i et plan som er forskjøvet fra det fleksible lagets plan. Den konkav-konvekse overflaten er en kombinasjon av fasonger som tilveiebringer lik elastomerisk strekkdeformasjon i både åpen og lukket posisjon, med sikker lukking i lukket posisjon ved å tilveiebringe en "sikker omhylling" rundt lukkepassasjene.
Ventilen inneholder også et ringrom som fullstendig inneholder det ekstruderte membranmateriale på grunn av omkrets-kompresjonen som kreves for å tette ventilen, og eliminerer kompromittering av den elastiske membranens egenskaper og omkretsdeformerbarhet.
De stive lagene er fortrinnsvis akrylisk plastmateriale som fortrinnsvis er klart. Lagene er fortrinnsvis forbundet ved diffusjon, klebemiddel eller løsemiddelbinding som angitt i US-4.875.956, som det vises til for nærmere informasjon. Lagene kan også forbindes mekanisk ved festemidler slik som bolter eller skruer.
Ventilen i samsvar med den foreliggende oppfinnelse benyttes fortrinnsvis i fluidkretser for klinisk diagnostisk hematologi-, kjemisk- og immunologianalyse.
Disse og andre trekk og fordeler ved den foreliggende oppfinnelse vil beskrives mer detaljert under henvisning til de medfølgende tegninger, der: Figur 1 er et snitt gjennom en ventil i samsvar med den foreliggende oppfinnelse, og
figur 2 er et sprengriss av ventilen i figur 1.
Det vises nå til figurene 1 og 2, idet ventilen 1 omfatter et første stivt lag 10 med hovedsakelig plane overflater 11 og 12, et andre stivt lag 20 med hovedsakelig plane overflater 21 og 22 og et tredje stivt lag 40 med hovedsakelig plane overflater 41 og 42. Anordnet mellom overflatene 12 og 21 er et fleksibelt lag 30 av elastomerisk materiale slik som gummi.
Ventilen omfatter videre et ventilkammer avgrenset av en konkav overflate 14 i den plane overflaten 12 og av en overflate 31 av det fleksible laget 30. I det minste en fluidpassasje 15 i det første stive laget 10 åpner inn i ventilkammeret ved den konkave overflaten 4 og fluidpassasjen 15 er forbundet med en ventil 4 som alternerende påfører vakuum 5 eller trykk 6 på ventilkammeret.
Ventilen omfatter også et fluidkammer avgrenset av det fleksible lagets 30 overflate 32 og en konkav-konveks overflate i overflaten 21 omfattende et indre sirkulært konvekst avsnitt 24 og et konsentrisk ringformet ytre konkavt avsnitt 25.
Det konvekse avsnittet 24 har fortrinnsvis et domepunkt i senter og dettes tangent er i samme plan som det stive lagets 20 overflate 21. Dette domepunktet flukter med den konkave overflatens 14 senter.
Overflaten 21 omfatter også et kompresjonsekspansjonsav-lastningsringrom 13 som omslutter den konkave overflaten 14. Overflaten 21 omfatter en kompresjonsekspansjonsavlastnings-kanal 23 som omslutter ringrommet 13 og den konkav-konvekse overflaten og definerer en kompresjonssone 33 mellom ringrommet 13 og kanalen 23. Kompresjonssonen komprimerer det fleksible laget 30 og kanalen 23 gir rom for det ekstruderte membranmaterialet. Når de stive lagene 10 og 20 er koplet sammen som vist i figur 1 tjener kompresjonssonen 33 til å tette ventilens periferi og fluidkamrene.
Det stive laget 20 omfatter to fluidpassasjer 26 og 27 som åpner inn i fluidkammeret ved det konvekse avsnittet 24 og strekker seg til dettes overflate 22.
Det stive laget 20 har en kanal 44 utformet i overflaten 22 og det stive laget 40 har en kanal 43 i overflaten som flukter med kanalen 44 for å danne en fluidkanal 28. En fluidkanal 29 er utformet i lagets 40 overflate 41. Overflatene 41 og 22 er bundet sammen ved diffusjonsbinding for å tette passasjene 28 og 29.
Kanalen 29 står i kommunikasjon med passasjen 27 og hydraulisk inngang 2 og kanalen 28 står i kommunikasjon med passasjen 26 og hydraulisk utgang 3.
Under drift, når vakuum 5 påføres ventilkammeret gjennom passasjen 15, bøyes det fleksible laget inn til posisjonen Pl slik at overflaten 32 kommer i avstand fra det konvekse avsnittet 24 og fluidkammeret er åpent for å tillate kommunikasjon mellom den hydrauliske inngangen 2 og den hydrauliske utgangen 3 via passasjene 29, 27, 26 og 28.
Når trykk 6 påføres ventilkammeret bøyes det fleksible laget 30 inn til lukket posisjon P2 slik at overflaten 32 ligger tett mot de konvekse og konkave overflatene 24 og 25 og forhindrer kommunikasjon mellom den hydrauliske inngangen 2 og den hydrauliske utgangen 3.
Som et resultat av den konkav-konvekse overflaten vil det være lik elastomerisk strekkdeformasjon i både åpen og lukket posisjon Pl og P2.
I en utførelsesform av den foreliggende oppfinnelse består de stive lagene av fullstendig normalisert klar støpt akryl og det fleksible laget består av silikonplate. Hvert av de stive lagene er omtrent 0,25 cm til 0,6 cm tykke og det fleksible laget er omtrent 0,025 cm tykt og har en diameter på omtrent 0,95 cm. Kanalen 23 har en indre diameter på 0,82 cm og en ytre diameter på 1,0 cm og en høyde på 0,03 cm. Ringrommet 13 har en diameter på 0,57 cm og trapper ned 0,013 cm fra overflaten 12. Kompres j onssonen 33 har en indre diameter på 0,57 cm og en ytre diameter på 0,82 cm og overflaten 21 er trappet ned med 0,023 cm i kompresjonssonen.
Passasjen 15 har en diameter på 0,079 cm og passasjene 26 og 27 har en diameter på 0,05 cm og en senter til senter avstand på 0,13 cm. Den konkave overflaten 31 har en diameter på 0,396 cm, en sfærisk radius på 0,25 cm og en dybde på 0,06 cm. Det konvekse avsnittet 24 har en ytre diameter på 0,396 cm, en indre diameter på 0,15 cm og en krumningsradius på 0,05 cm. Det konkave avsnittet 24 har en diameter på 0,15 cm og en sfærisk radius på 0,2 cm.

Claims (11)

1. Ventil, innbefattende: et første stivt lag (10) med en hovedsakelig plan første overflate (12), et andre stivt lag (20) med en i hovedsaken plan andre overflate (21) som vender mot den første overflaten (12), et fleksibelt lag (30) plassert mellom den nevnte første (12) og den nevnte andre (21) overflaten, et ventilkammer avgrenset mellom det første stive lag (10) og en første overflate på det fleksible lag (30), minst en fluidumpassasje (15) i det første stive laget (10), som munner i ventilkammeret for alternativt å kunne påføre et undertrykk eller et overtrykk i dette, et fluidumkammer avgrenset av en andre overflate (32) på det fleksible laget (30) og det andre stive laget (20), og minst to fluidumpassasjer (26, 27) i det andre stive laget (20) som munner i fluidumkammeret, hvorved, når et undertrykk påføres ventilkammeret, det fleksible laget (30) bøyes for å bevege den nevnte andre overflaten (32) på det fleksible laget (30) for å tillate kommunikasjon mellom de nevnte minst to fluidumpassasjer (26, 27) i det andre stive lag (20) og når et trykk påføres ventilkammeret det fleksible laget (30) bøyes for å bevege den nevnte andre overflaten (32) på det fleksible laget (30) for å stenge kommunikasjonen mellom de nevnte to fluidumpassasjer (26, 27), karakterisert ved at ventilkammeret avgrenses av et konkavt krummet overflateparti (14) i det første stive lag (10), og at fluidumkammeret avgrenses av et indre sirkulært konvekst overflateavsnitt (24) og et dermed konsentrisk ringformet ytre konkavt overflateavsnitt (25) i det andre stive lag (20).
2. Ventil ifølge krav 1, karakterisert ved at det konkave overflatpartiet i den første overflaten (12) og det konvekse avsnittet (25) i det konkav-konvekse overflatepartiet (24,25) har felles senter.
3. Ventil ifølge krav 1, karakterisert ved at den videre omfatter et kompresjons/ekspansjons-avlast-ningsringrom (13) i den første hovedsakelig plane overflaten (12) omkringliggende det konkave overflatepartiet (14) og en kompresjons/ekspansjons-avlastningskanal (23) i den andre hovedsakelig plane overflaten (21) omkringliggende det konkav-konvekse overflatepartiet (24,25) og rundt avlast-ningsringrommet (13) for å danne en kompresjonssone (33) mellom disse.
4. Ventil ifølge krav 3, karakterisert ved at den videre omfatter midler for å forbinde det første og andre stive laget (10,20) med det fleksible laget (30) derimellom, hvorved et avsnitt av det fleksible laget (30) i kompresjonssonen (33) gir en tetning av fluid- og ventilkam-rene.
5. Ventil ifølge krav 1, karakterisert ved at den videre omfatter et tredje stivt lag (40) med en hovedsakelig plan overflate (41) vendende mot en motliggende relativt fluidumkammeret motvendt overflate (22) på det andre stive lag (20).
6. Ventil ifølge krav 5,karakterisert ved at den videre omfatter midler for å forbinde det andre og tredje laget (20,40) med deres overflater (22,41) nær hverandre.
7. Ventil ifølge krav 6,karakterisert ved at de minst to andre fluidpassasjene (26,27) hver omfatter en kanal (43,44) utformet i de motliggende overflater (22,41) som flukter når det andre og tredje stive lag (20,40) er forbundet.
8. Ventil ifølge krav 7,karakterisert ved at midlene for å forbinde det andre og tredje laget (20,40) omfatter midler for å danne en tetning rundt kanalene (43,44) i overflatene (22,41).
9. Ventil ifølge krav 8,karakterisert ved at det første, andre og tredje stive laget (10,20,40) er av akrylplast.
10. Ventil ifølge krav 9,karakterisert ved at midlene for å danne en tetning omfatter midler for dannelse av en diffusjonsbinding.
11. Ventil ifølge krav 1,karakterisert ved at den konkav-konvekse overflatens (24,25) konvekse avsnitt (24) har et senterpunkt som ligger i samme plan som den første overflaten (12) på det første stive lag 10.
NO953981A 1994-10-07 1995-10-06 Ventil NO309113B1 (no)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US08/319,918 US5496009A (en) 1994-10-07 1994-10-07 Valve

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NO953981D0 NO953981D0 (no) 1995-10-06
NO953981L NO953981L (no) 1996-04-09
NO309113B1 true NO309113B1 (no) 2000-12-11

Family

ID=23244146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NO953981A NO309113B1 (no) 1994-10-07 1995-10-06 Ventil

Country Status (9)

Country Link
US (1) US5496009A (no)
EP (1) EP0706003B1 (no)
JP (1) JPH08210528A (no)
AU (1) AU684997B2 (no)
CA (1) CA2157647A1 (no)
DE (1) DE69517380T2 (no)
ES (1) ES2146692T3 (no)
IL (1) IL115325A (no)
NO (1) NO309113B1 (no)

Families Citing this family (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE501713C2 (sv) * 1993-09-06 1995-05-02 Pharmacia Biosensor Ab Ventil av membrantyp, speciellt för vätskehanteringsblock med mikroflödeskanaler
IT1294948B1 (it) * 1997-09-24 1999-04-23 Giacomo Orioli Valvola pilotata per l'intercettazione di fluidi
US6007046A (en) * 1997-12-15 1999-12-28 Coulter International Corp. Fluid transport circuit and valve structure therefor
US6196521B1 (en) 1998-08-18 2001-03-06 Precision Valve & Automation, Inc. Fluid dispensing valve and method
DE19913689A1 (de) 1999-03-25 2000-09-28 Focke & Co Vorrichtung zur Steuerung strömender Medien
US7144616B1 (en) * 1999-06-28 2006-12-05 California Institute Of Technology Microfabricated elastomeric valve and pump systems
AU2001273057A1 (en) * 2000-06-27 2002-01-08 Fluidigm Corporation A microfluidic design automation method and system
EP1336097A4 (en) * 2000-10-13 2006-02-01 Fluidigm Corp SAMPLE INJECTION SYSTEM USING A MICROFLUIDIC DEVICE, FOR ANALYSIS DEVICES
WO2002036485A1 (en) * 2000-11-02 2002-05-10 Biacore Ab Valve integrally associated with microfluidic liquid transport assembly
DE10164256A1 (de) 2001-02-20 2002-08-22 Heidelberger Druckmasch Ag Vorrichtung zur Steuerung von Blasluft
US6960437B2 (en) 2001-04-06 2005-11-01 California Institute Of Technology Nucleic acid amplification utilizing microfluidic devices
US8440093B1 (en) 2001-10-26 2013-05-14 Fuidigm Corporation Methods and devices for electronic and magnetic sensing of the contents of microfluidic flow channels
US7118910B2 (en) * 2001-11-30 2006-10-10 Fluidigm Corporation Microfluidic device and methods of using same
US7691333B2 (en) 2001-11-30 2010-04-06 Fluidigm Corporation Microfluidic device and methods of using same
US6637476B2 (en) 2002-04-01 2003-10-28 Protedyne Corporation Robotically manipulable sample handling tool
US7312085B2 (en) * 2002-04-01 2007-12-25 Fluidigm Corporation Microfluidic particle-analysis systems
EP2666849A3 (en) * 2002-04-01 2014-05-28 Fluidigm Corporation Microfluidic particle-analysis systems
US8168139B2 (en) * 2002-06-24 2012-05-01 Fluidigm Corporation Recirculating fluidic network and methods for using the same
EP2298448A3 (en) 2002-09-25 2012-05-30 California Institute of Technology Microfluidic large scale integration
JP5695287B2 (ja) 2002-10-02 2015-04-01 カリフォルニア インスティテュート オブ テクノロジー 微小流体の核酸解析
US7249529B2 (en) * 2003-03-28 2007-07-31 Protedyne Corporation Robotically manipulable sample handling tool
EP1615721B1 (en) * 2003-04-03 2014-06-18 Fluidigm Corporation Microfluidic devices and methods of using same
US7476363B2 (en) * 2003-04-03 2009-01-13 Fluidigm Corporation Microfluidic devices and methods of using same
US20050145496A1 (en) 2003-04-03 2005-07-07 Federico Goodsaid Thermal reaction device and method for using the same
US8828663B2 (en) * 2005-03-18 2014-09-09 Fluidigm Corporation Thermal reaction device and method for using the same
US7604965B2 (en) * 2003-04-03 2009-10-20 Fluidigm Corporation Thermal reaction device and method for using the same
US7413712B2 (en) 2003-08-11 2008-08-19 California Institute Of Technology Microfluidic rotary flow reactor matrix
DE10360709A1 (de) * 2003-12-19 2005-10-06 Bartels Mikrotechnik Gmbh Mikropumpe und klebstoffreies Verfahren zur Verbindung zweier Substrate
US20090185955A1 (en) * 2006-02-13 2009-07-23 Koninklijke Philips Electronics N.V. Microfluidic device for molecular diagnostic applications
WO2008066485A1 (en) * 2006-11-28 2008-06-05 Åstc Aerospace Ab Micromechanical slow acting valve system
US8961902B2 (en) * 2008-04-23 2015-02-24 Bioscale, Inc. Method and apparatus for analyte processing
WO2010004265A1 (en) 2008-07-07 2010-01-14 Oxford Nanopore Technologies Limited Enzyme-pore constructs
US8992856B2 (en) 2008-07-14 2015-03-31 Koninklijke Philips N.V. Device for use in molecular diagnostics testing
DE102008035372A1 (de) * 2008-07-30 2010-02-11 Knorr-Bremse Systeme für Schienenfahrzeuge GmbH Membranenventil, insbesondere für ein ABS- oder Gleitschutzventil
JP5828410B2 (ja) * 2010-03-19 2015-12-02 カムボウリス，アムブロシオス バルブアセンブリ
EP2622343B1 (en) 2010-10-01 2016-01-20 Oxford Nanopore Technologies Limited Biochemical analysis apparatus using nanopores
US9618129B2 (en) * 2010-10-07 2017-04-11 Vanderbilt University Normally closed microvalve and applications of the same
US20120181460A1 (en) * 2011-01-14 2012-07-19 Integenx Inc. Valves with Hydraulic Actuation System
GB2492955A (en) * 2011-07-13 2013-01-23 Oxford Nanopore Tech Ltd One way valve
JP5596639B2 (ja) * 2011-08-23 2014-09-24 Ｃｋｄ株式会社 液垂れ防止バルブ
US10675412B2 (en) 2011-09-15 2020-06-09 Oxford Nanopore Technologies Limited Piston seal
WO2014011115A1 (en) * 2012-07-12 2014-01-16 Agency For Science, Technology And Research A connector for microfluidic device, a method for injecting fluid into microfluidic device using the connector and a method of providing and operating a valve
WO2015089202A1 (en) 2013-12-10 2015-06-18 Semba Biosciences, Inc. High-flow fluid valve block
CN106461096A (zh) * 2014-01-07 2017-02-22 桑杜科技有限公司 流量控制阀
DE102014219712B4 (de) * 2014-09-29 2016-04-07 Siemens Aktiengesellschaft Mehrwegeventil
DE102015016265A1 (de) 2015-12-15 2017-06-22 Wabco Europe Bvba Ventileinheit zur Druckmodulation in einer Druckluft-Bremsanlage
WO2018167829A1 (ja) * 2017-03-13 2018-09-20 株式会社島津製作所 マイクロバルブ
FR3067652B1 (fr) * 2017-06-15 2020-09-25 SOCIéTé BIC Instrument d'ecriture a encre libre comprenant une valve microfluidique
US10604204B2 (en) * 2017-09-29 2020-03-31 Howe Shien Chee Bicycle saddle bag
EP3707414A4 (en) 2017-11-07 2021-09-15 Equilibar, LLC VALVE FOR DISPOSABLE APPLICATIONS
JP6904267B2 (ja) * 2018-01-18 2021-07-14 株式会社島津製作所 バルブシステム

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3176714A (en) * 1961-04-11 1965-04-06 Burroughs Corp Valve assembly
US3312238A (en) * 1964-12-24 1967-04-04 Ibm Monostable fluid logic element and actuator
DE1947533A1 (de) * 1969-09-19 1971-03-25 Messerschmitt Boelkow Blohm Abschaltventil fuer Druckmessgeraete
DE2235990A1 (de) * 1971-07-26 1973-02-08 Leesona Corp Druckfluid-logik-element
US3782682A (en) * 1971-11-01 1974-01-01 W Lale Fluid flow controller
DE2648751C2 (de) * 1976-10-27 1986-04-30 Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V., 3400 Göttingen Vorrichtung für die Zuführung flüssiger oder gasförmiger Substanzen zu einem Verarbeitungsgefäß
US4119120A (en) * 1976-11-29 1978-10-10 Beckman Instruments, Inc. Fluid switch
US4304257A (en) * 1980-07-01 1981-12-08 Instrumentation Laboratory Inc. Valve with flexible sheet member
DE3209643A1 (de) * 1982-03-17 1983-09-29 Frhr. von Hardo Dr.med. 7400 Tübingen Gise Pneumatisch oder hydrodynamisch gesteuertes membranventil fuer fluessige und gasfoermige medien
US4703913A (en) * 1982-09-22 1987-11-03 California Institute Of Technology Diaphragm valve
US4744388A (en) * 1986-05-19 1988-05-17 Fujikura Rubber Ltd. Diaphragm type of pilot operated directional control valve
US4723131A (en) * 1986-09-12 1988-02-02 Diagraph Corporation Printhead for ink jet printing apparatus
US4875956A (en) * 1987-10-06 1989-10-24 Integrated Fluidics, Inc. Method of bonding plastics
US4852851A (en) * 1987-12-11 1989-08-01 Integrated Fluidics, Inc. Valve with flexible sheet member
US4848722A (en) * 1987-12-11 1989-07-18 Integrated Fluidics, Inc. Valve with flexible sheet member
US4858883A (en) * 1987-12-11 1989-08-22 Integrated Fluidics, Inc. Valve with flexible sheet member
FR2664671B1 (fr) * 1990-07-12 1992-10-09 Centre Nat Rech Scient Vanne et dispositif de distribution multivoies, notamment pour fluides corrosifs.

Also Published As

Publication number Publication date
ES2146692T3 (es) 2000-08-16
NO953981L (no) 1996-04-09
EP0706003B1 (en) 2000-06-07
IL115325A0 (en) 1995-12-31
CA2157647A1 (en) 1996-04-08
DE69517380T2 (de) 2000-10-12
EP0706003A2 (en) 1996-04-10
JPH08210528A (ja) 1996-08-20
NO953981D0 (no) 1995-10-06
DE69517380D1 (de) 2000-07-13
IL115325A (en) 1998-12-27
AU684997B2 (en) 1998-01-08
EP0706003A3 (en) 1997-03-05
AU3292695A (en) 1996-04-18
US5496009A (en) 1996-03-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NO309113B1 (no) Ventil
JP5967552B2 (ja) マイクロポンプまたはノーマルオフ型（ｎｏｒｍａｌｌｙ−ｏｆｆ）マイクロバルブ
JP3278437B2 (ja) 流体制御バルブ構造
EP0706004A2 (en) Relief valve
CN102812276B (zh) 微阀
JP4805658B2 (ja) ユニモルフ振動板を用いたポンプ
US20050047967A1 (en) Microfluidic component providing multi-directional fluid movement
JPS6053227B2 (ja) 逆止め弁
AU2012208527A1 (en) Micro-pump or normally-off micro-valve
JPH08210256A (ja) 弁一体形ダイヤフラム・ポンプと精密な量の流体をポンプ式に動かす方法
EP1030989B1 (en) Diaphragm valve for a fluid circuit
US7261525B2 (en) Outlet check valve for fluid bladders
EP3996844B1 (en) Microfluidic chip and valve, production process and uses
JP2018028265A (ja) マイクロダイヤフラムポンプ
SU889997A1 (ru) Быстродействующий клапан
US20240082837A1 (en) Handling device and fluid handling system
RU1800176C (ru) Диафрагма соленоидного вентил
JP2004036728A (ja) マイクロバルブ

Legal Events

Date Code Title Description
MM1K Lapsed by not paying the annual fees