JP2019124625A - バルブシステム - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明の一実施形態に係るマイクロバルブ1の構成例を示した斜視図であって、マイクロバルブ1を上方側から見た状態を示している。図2は、図1に示すマイクロバルブ1の分解斜視図である。図3は、マイクロバルブ1を下方側から見た状態を示した斜視図である。図4は、図3に示すマイクロバルブ1の分解斜視図である。なお、図1〜図4では、マイクロバルブ1の一部を切り欠いた状態を示している。
以下では、図5及び図6を用いて、マイクロバルブ1の動作について説明する。
図5及び図6は、マイクロバルブ1の構成例を示した断面図である。図5は、マイクロバルブ1内にニューマチック流体が導入されていない状態を示している。図6は、マイクロバルブ1内にニューマチック流体が導入されることによりダイアフラム層3が弾性変形した状態を示している。また、図5及び図6では図示しないが、マイクロバルブ1は、基台層2の下面側に、サンプルガスの流入及び流出を行うための流路が接続され、カバー層4の上面側に、ニューマチック流体を導入するための流路が接続された状態で使用される。
図7A及び図7Bは、図1〜図6のマイクロバルブ1を用いたバルブシステムの構成例を示す概略図である。図7Aは、マイクロバルブ1が開いた状態を示しており、図7Bは、マイクロバルブ1が閉じた状態を示している。
図8A〜図8Cは、図7A及び図7Bのバルブシステムをガスサンプラに適用した場合の流路図の一例である。図8Aはサンプリング時の状態、図8Bはインジェクト時の状態、図8Cは分析時の状態をそれぞれ示している。この例では、サンプルガスの供給源からポンプ61までの流路に、2つのマイクロバルブ1が直列に設けられている。また、2つのマイクロバルブ1の間の流路には、サンプルループ64が設けられている。
図9A及び図9Bは、バルブシステムの変形例を示した概略図である。図9Aは、マイクロバルブ1が開いた状態を示しており、図9Bは、マイクロバルブ1が閉じた状態を示している。
以上の実施形態では、ポンプ61により第2流路52側に負圧を発生させるような構成について説明した。しかし、このような構成に限らず、例えば第2流路52側に設けられた減圧されたタンクなどにより、第2流路52側に負圧を発生させるための負圧発生機構が構成されていてもよい。
2 基台層
3 ダイアフラム層
4 カバー層
23 流入口
24 流出口
41 開口
50 接続流路
51 第1流路
52 第2流路
53 第3流路
54 第4流路
55 第5流路
56 分岐流路
60 制御部
61 ポンプ
64 サンプルループ
67 ポンプ
501 合流部
531 分岐部
Claims (5)
- ガスの流入口及び流出口が形成された基台層と、前記基台層に対向するカバー層と、前記基台層と前記カバー層との間に設けられ、ニューマチック流体の流入に伴って弾性変形することにより前記流入口及び前記流出口を閉塞するダイアフラム層とが積層された積層構造を有するマイクロバルブと、
前記流入口に接続され、前記マイクロバルブ内にガスを流入させる第1流路と、
前記流出口に接続され、前記マイクロバルブ内からガスを流出させる第2流路と、
前記マイクロバルブ内にニューマチック流体を流入させる第3流路と、
前記第2流路側に負圧を発生させることにより、前記第1流路から前記マイクロバルブを介して前記第2流路側にガスを吸引する負圧発生機構と、
前記第2流路内と前記第3流路内との圧力差を減少させることにより、前記第2流路側に発生する負圧によって前記流入口及び前記流出口が前記ダイアフラム層で閉塞されるのを防止する圧力調整機構とを備えることを特徴とするバルブシステム。 - 前記圧力調整機構は、前記第2流路と前記第3流路とを接続する接続流路と、前記接続流路を開閉するバルブとを有することを特徴とする請求項1に記載のバルブシステム。
- 前記バルブにより前記接続流路を閉じた状態で前記マイクロバルブ内にニューマチック流体を供給させ、前記バルブにより前記接続流路を開いた状態で前記マイクロバルブ内へのニューマチック流体の供給を停止させる制御部をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のバルブシステム。
- 前記ダイアフラム層は、厚みが5〜20μmのガラスフィルムにより形成されており、ニューマチック流体から受ける5〜600kPaの圧力で弾性変形することにより前記流入口及び前記流出口を閉塞することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のバルブシステム。
- 前記ダイアフラム層は、厚みが10〜150μmのシリコンフィルムにより形成されており、ニューマチック流体から受ける20〜1000kPaの圧力で弾性変形することにより前記流入口及び前記流出口を閉塞することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のバルブシステム。
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