CN110056672B - 阀系统 - Google Patents

Abstract

提供一种阀系统，能够防止在利用负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。第1流路(51)，与流入口(23)连接，使气体流入微型阀(1)内。第2流路(52)，与流出口(24)连接，使气体从微型阀(1)内流出。第3流路(53)，使气动流体流入至微型阀(1)内。负压产生机构(泵(61))，通过在第2流路(52)一侧产生负压，经由微型阀(1)将气体从第1流路(51)抽吸至第2流路(52)一侧。压力调整机构(连接流路(50)以及阀(63))，通过减小第2流路(52)内与第3流路(53)内的压力差，防止流入口(23)以及流出口(24)因在所述第2流路(52)一侧产生的负压被所述隔膜层(3)堵塞。

Description

阀系统

技术领域

本发明涉及一种阀系统，使用微型阀进行气体流路的开闭，该微型阀具有层叠有多个层的层叠结构。

背景技术

以往，在各种装置中，利用了用于开闭装置内的流路的阀装置。例如，在色谱仪的微型注射器中，利用了小型的微型阀。

微型阀具有层叠有多个层的层叠结构，通过向内部导入气体等的流体(气动流体)而进行流路的开闭(例如参照下述专利文献1)。

专利文献1所记载的微型阀具备第1层、第2层与位移层而作为层叠结构。在该微型阀中，位移层形成为薄膜状，且构成为由第1层与第2层夹着位移层。此外，在第1层中，形成贯通厚度方向的流入口以及流出口。在第1层与位移层之间设置有间隙，在使微型阀为打开状态期间，从流入口供给至微型阀内的气体通过第1层与位移层之间，从流出口向外部流出。在使微型阀为关闭状态时，从该状态，从第2层侧朝向位移层导入气动流体。由此，位移层被向第1层侧按压而变形，从而密合第1层。然后，利用位移层堵塞流入口以及流出口，从而关闭微型阀内的流路。像这样地，位移层作为因气动流体的导入而弹性变形的隔膜层发挥功能。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：美国专利申请公开第2012/0021529号说明书

发明内容

发明要解决的技术问题

在专利文献1所记载的微型阀中，隔膜层由PEEK(聚醚醚酮)构成，通过较高的压力向微型阀内导入气动流体，由此隔膜层发生弹性变形从而堵塞流入口以及流出口。然而，也能够考虑使隔膜层由更薄且容易发生弹性变形的材料形成。

另一方面，作为从流入口向微型阀内供给气体的方法，存在如下方法：对气体加压使其从流入口一侧流入微型阀内的方法，以及通过在流出口侧产生负压从而将气体从流入口抽吸至微型阀内的方法。在采用了后者的方法即通过负压抽吸气体的方法的阀系统中，在隔膜层为容易发生弹性变形的构成的情况下，在从流入口抽吸气体时隔膜层可能会弹性变形从而堵塞流入口以及流出口。

本发明是鉴于上述情况而完成的，目的是提供一种阀系统，能够防止在通过负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。

用于解决上述技术问题的方案

(1)本发明的阀系统具备微型阀、第1流路、第2流路、第3流路、负压产生机构以及压力调整机构。所述微型阀具有层叠有基台层、覆盖层以及隔膜层的层叠结构，基台层形成有气体的流入口以及流出口，覆盖层与所述基台层相对置，隔膜层设置于所述基台层与所述覆盖层之间，随着气动流体的流入而弹性变形，由此堵塞所述流入口以及所述流出口。所述第1流路与所述流入口连接，使气体流入所述微型阀内。所述第2流路与所述流出口连接，使气体从所述微型阀内流出。所述第3流路使气动流体流入至所述微型阀内。所述负压产生机构通过在所述第2流路一侧产生负压，经由所述微型阀将气体从所述第1流路抽吸至所述第2流路一侧。所述压力调整机构通过减小所述第2流路内与所述第3流路内的压力差，防止所述流入口以及所述流出口因在所述第2流路一侧产生的负压被所述隔膜层堵塞。

根据这样的构成，通过压力调整机构的作用而减少第2流路内与第3流路内的压力差，所述第2流路使气体从微型阀内流出，所述第3流路使气动流体流入至微型阀内。其结果，由于能够抑制隔膜层因第2流路一侧产生的负压而发生弹性变形，所以能够防止在通过负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。

(2)也可以是，所述压力调整机构具有将所述第2流路与所述第3流路连接的连接流路以及开闭所述连接流路的阀。

根据这样的构成，通过仅使用阀开闭连接流路的简单的构成，能够减少第2流路内与第3流路内的压力差。

(3)也可以是，所述阀系统还具备控制部，在利用所述阀关闭了所述连接流路的状态下将气动流体供给至所述微型阀内，在利用所述阀打开了所述连接流路的状态下停止向所述微型阀内供给气动流体。

根据这样的构成，在停止了向微型阀内供给气动流体的状态下，通过阀打开连接流路，从而减小第2流路内与第3流路内的压力差。因此，在使第2流路内与第3流路内的压力差减小时，能够防止气动流体经由连接流路从第2流路流入第3流路。

(4)也可以是，所述隔膜层由厚度为5～20μm的玻璃膜形成。在该情况下，也可以是，所述隔膜层基于从气动流体受到的5～600kPa的压力而弹性变形，由此堵塞所述流入口以及所述流出口。

根据这样的构成，能够由较薄的玻璃膜形成隔膜层，并用较低的压力使该隔膜层发生弹性变形而堵塞流入口以及流出口。在该情况下，虽然有可能在从流入口抽吸气体时隔膜层发生弹性变形而堵塞流入口以及流出口，但是根据本发明，由于能够通过压力调整机构的作用抑制隔膜层发生弹性变形，所以能够可靠地防止利用负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。

(5)也可以是，所述隔膜层由厚度为10～150μm的硅膜形成。在该情况下，也可以是，所述隔膜层基于从气动流体受到的20～1000kPa的压力而弹性变形，由此堵塞所述流入口以及所述流出口。

根据这样的构成，能够由较薄的硅膜形成隔膜层，并用较低的压力使该隔膜层发生弹性变形并堵塞流入口以及流出口。该情况下，虽然有可能在从流入口抽吸气体时隔膜层发生弹性变形而堵塞流入口以及流出口，但是根据本发明，由于能够通过压力调整机构的作用抑制隔膜层发生弹性变形，所以能够可靠地防止在利用负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。

发明效果

根据本发明，由于能够抑制隔膜层因在第2流路一侧产生的负压而发生弹性变形，所以能够防止在利用负压抽吸气体时流入口以及流出口被隔膜层堵塞。

附图说明

图1是示出本发明的一实施方式的微型阀的构成例的立体图，示出从上方侧观察到的微型阀的状态。

图2是图1所示的微型阀的分解立体图。

图3是示出从下方侧观察到的微型阀的状态的立体图。

图4是图3所示的微型阀的分解立体图。

图5是示出微型阀的构成例的剖视图，示出气动流体未被导入至微型阀内的状态。

图6是示出微型阀的构成例的剖视图，示出气动流体被导入至微型阀内而使隔膜层发生了弹性变形的状态。

图7A是示出使用了图1～图6的微型阀的阀系统的构成例的概略图，示出了微型阀打开的状态。

图7B是示出使用了图1～图6的微型阀的阀系统的构成例的概略图，示出了微型阀关闭的状态。

图8A是将图7A以及图7B的阀系统应用于气体采样器的情况下的流路图的一例，示出了采样时的状态。

图8B是将图7A以及图7B的阀系统应用于气体采样器的情况下的流路图的一例，示出了注射时的状态。

图8C是将图7A以及图7B的阀系统应用于气体采样器的情况下的流路图的一例，示出了分析时的状态。

图9A是示出阀系统的变形例的概略图，示出了微型阀打开的状态。

图9B是示出阀系统的变形例的概略图，示出了微型阀关闭的状态。

具体实施方式

1.微型阀的构成

图1是示出本发明的一实施方式的微型阀1的构成例的立体图，且示出了从上方侧观察到的微型阀1的状态。图2是图1所示的微型阀1的分解立体图。图3是示出从下方侧观察到的微型阀1的状态的立体图。图4是图3所示的微型阀1的分解立体图。另外，在图1～图4中，示出了切除微型阀1的一部分的状态。

在以下的说明中，当提到微型阀1的方向时，将图1～图4所示的状态作为上下的基准。即，纸面上方为上方，纸面下方为下方。此外，上下方向与微型阀1的轴方向一致。即，上方为轴方向的一方，下方为轴方向的另一方。

微型阀1在俯视状态下为正方形的具有规定厚度的板状的部件，且具有多个(2层)平板状的部件层叠后的层叠结构。具体而言，微型阀1具备作为层结构的基台层2与覆盖层4。此外，微型阀1具备配置在基台层2与覆盖层4之间的隔膜层3。微型阀1的宽度方向(左右方向)的尺寸以及与宽度方向正交的正交方向(前后方向)的尺寸分别大约为1cm。在基台层2以及覆盖层4中，利用MEMS(微机电系统)技术实施微细加工。

如图2所示，基台层2是在微型阀1中位于最下方的层。基台层2形成为在俯视状态下为正方形的平板状，且由玻璃或者硅构成。在基台层2形成有凹部21、流入口23以及流出口24。

凹部21位于基台层2的中央部。凹部21在俯视状态下为圆形，从基台层2的上表面向下凹陷。在基台层2中，位于凹部21的下方的部分为接触部26，位于凹部21以及接触部26的外侧的部分为密合部27。

流入口23作为位于基台层2的中央部(接触部26)的贯通孔而形成。流入口23在俯视状态下为圆形，且在厚度方向上贯通接触部26。流入口23与凹部21连通。气体经由该流入口23，流入至微型阀1内。

流出口24作为位于基台层2的中央部(接触部26)的贯通孔而形成。具体而言，流出口24位于与流入口23的附近隔开间隔的位置。流出口24在俯视状态下为圆形，且在厚度方向上贯通接触部26。流出口24与凹部21连通。经由流出口23流入至微型阀1内的气体，经由流出口24流出至微型阀1的外部。

如图2以及图4所示，覆盖层4位于基台层2的上方，与基台层2对置。覆盖层4形成为在俯视状态下为正方形的平板状，由玻璃或者硅构成。覆盖层4的外形形成为与基台层2的外形几乎相同。在覆盖层4中形成开口41。开口41位于覆盖层4的中心部。开口41在俯视状态下为圆形，且在厚度方向上贯通覆盖层4。另外，如后所述，覆盖层4的下表面42作为安装隔膜层3的安装面发挥功能。

隔膜层3安装在覆盖层4的下表面42。隔膜层3形成为在俯视状态下为圆形的薄膜状，且由玻璃或者硅构成。隔膜层3的直径小于基台层2的凹部21的直径。在由玻璃膜形成隔膜层3的情况下，优选是其厚度为5～20μm。此外，在由硅膜形成隔膜层3的情况下，优选是其厚度为10～150μm。像这样地，由于隔膜层3非常薄，所以具有挠性，从而成为容易弹性变形的构成。

通过蚀刻或者喷砂处理，预先在各层中形成基台层2以及覆盖层4中的开口以及凹部。此外，对基台层2、隔膜层3以及覆盖层4预先实施钝化处理。然后，将实施了这些处理后的基台层2、隔膜层3以及覆盖层4层叠，从而构成微型阀1。另外，对各层(基台层2、隔膜层3以及覆盖层4)的钝化处理也可以在将基台层2、隔膜层3以及覆盖层4层叠后进行。即，对各层的钝化处理能够任意地在层叠各层之前或者之后进行。

具体而言，如图1以及图3所示地，在覆盖层4的下表面42，通过焊接(激光焊接)安装有隔膜层3的外缘部32。此时，隔膜层3的轴线与覆盖层4的轴线一致。另外，也可以是，在覆盖层4的下表面42设置略微朝向下方突出的环状的安装部，通过焊接将隔膜层3的外缘部32安装在该安装部的下表面。在该情况下，安装部的下表面构成安装面。

此外，基台层2的密合部27与覆盖层4的外缘部43相接合。在基台层2与覆盖层4为不同种材料时，基台层2与覆盖层4的接合能够采用阳极接合，在基台层2与覆盖层4为同种材料时，基台层2与覆盖层4的接合能够采用扩散接合。另外，也能够通过熔接固定基台层2与覆盖层4。

在构成微型阀1的状态下，基台层2与覆盖层4相对置，在基台层2与覆盖层4之间配置有隔膜层3。此外，隔膜层3与基台层2的接触部26隔开间隔地对置。具体而言，隔膜层3的中央部31，与基台层2的流入口23以及流出口24隔开间隔地对置。隔膜层3与基台层2的接触部26之间的尺寸(间距)例如是5～20μm，优选为大约10μm。

像这样地，在隔膜层3与基台层2的接触部26之间形成空间，气体能够经由该空间从流入口23向流出口24流通。只要在该状态下使气动流体从开口41流入，则隔膜层3由于该气动流体的压力而弹性变形，隔膜层3密合(紧贴)于接触部26，由此能够堵塞流入口23以及流出口24。作为气动流体，例如能够使用空气、氮气或者氦气等的气体。作为从流入口23流入至微型阀1内的气体，虽然能够例示作为分析对象的样品气体，但并不限于此。

2.微型阀的动作

以下，使用图5以及图6对微型阀1的动作进行说明。

图5以及图6是示出了微型阀1的构成例的剖视图。图5示出了气动流体未被导入至微型阀1内的状态。图6示出了隔膜层3因气动流体被导入至微型阀1内而发生了弹性变形的状态。此外，虽然在图5以及图6中未图示，但是微型阀1是在以下状态下进行使用的：在基台层2的下表面侧，连接了用于进行样品气体的流入以及流出的流路，在覆盖层4的上表面侧，连接了用于导入气动流体的流路。

在图5所示的状态下，气动流体未被导入至微型阀1内。在该状态下，隔膜层3密合于覆盖层4的下表面42。并且，在隔膜层3与基台层2(接触部26)之间，形成空间(间隙)，隔膜层3的中央部31，与基台层2的流入口23以及流出口24隔开间隔地对置。此时，微型阀1为打开状态。

在该状态下，向微型阀1内供给样品气体。样品气体从基台层2的流入口23被供给至微型阀1内，然后，通过隔膜层3与基台层2的接触部26之间的空间，并通过基台层2的流出口24流出至微型阀1的外部。

另一方面，在微型阀1中，在关闭样品气体的流路的情况下，即在使微型阀1为关闭状态的情况下，如图6所示地，朝向微型阀1供给气动流体。

于是，通过气动流体的压力，隔膜层3的中央部31被向下方侧(基台层2一侧)按压。由此，隔膜层3的中央部31，以朝向下方侧(基台层2一侧)的方式发生弹性变形并密合于基台层2的接触部26。由于隔膜层3形成为薄膜状且柔软，所以在气密性较高的状态下，隔膜层与基台层2的接触部26密合。

并且，基台层2的流入口23以及流出口24被隔膜层3的中央部31堵塞，样品气体的流路被关闭，从而微型阀1成为关闭状态。

此外，当停止向微型阀1内供给气动流体时，则如图5所示，因隔膜层3的弹力，隔膜层3回到初始的状态，从而微型阀1成为打开状态。

像这样地，通过向微型阀1导入气动流体，隔膜层3发生弹性变形，从而中央部31密合于基台层2的接触部26，进而微型阀1成为关闭状态。此外，通过停止向微型阀1供给气动流体，隔膜层3回到初始的状态，从而微型阀1成为打开状态。

上述的微型阀1能够作为设置于各种装置的阀而使用。此外，通过准备多个微型阀1，并将各微型阀1作为端口使用，能够进行与多端口阀同样的动作。

3.阀系统的构成以及动作

图7A以及图7B是示出使用了图1～图6的微型阀1的阀系统的构成例的概略图。图7A示出了微型阀1为打开的状态，图7B示出了微型阀1为关闭的状态。

在微型阀1的流入口23连接有使样品气体流入到微型阀1内的第1流路51。在微型阀1的流出口24连接有使样品气体从微型阀1内流出的第2流路52。在微型阀1的开口41连接有使气动流体流入到微型阀1内的第3流路53。

在第2流路52中的与微型阀1侧相反的一侧连接有泵61。通过驱动该泵61，将第2流路52内的气体从微型阀1侧抽吸至泵61侧。因此，如图7A所示，若在微型阀1为打开状态时驱动泵61，则相比于第1流路51，第2流路52变为负压状态，样品气体经由微型阀1从第1流路51被抽吸至第2流路52侧。像这样地，泵61构成使第2流路52侧产生负压的负压产生机构。

在第3流路53设置有阀62。通过打开该阀62，能够使气动流体经由第3流路53流入至微型阀1内，从而使隔膜层3发生弹性变形。如图7A所示，在驱动泵61时，关闭阀62且停止向微型阀1内导入气动流体。另一方面，如图7B所示，在停止驱动泵61时，通过打开阀62并向微型阀1内导入气动流体，隔膜层3发生弹性变形从而微型阀1成为关闭状态。

第2流路52的中途部与第3流路53的中途部通过连接流路50连接。在连接流路50设置有阀63，通过该阀63能够开闭连接流路50。连接流路50以及阀63构成为用于减少第2流路52内与第3流路53内的压力差的压力调整机构。

泵61以及阀62、63连接控制部60。控制部60例如是包括CPU(中央处理单元)的构成，通过CPU执行程序来控制泵61以及阀62、63的动作。如图7A所示，在驱动泵61时，阀62为关闭状态，阀63为打开状态。另一方面，如图7B所示，在停止驱动泵61时，阀62为打开状态，阀63为关闭状态。

即，控制部60在通过阀63关闭了连接流路50的状态下，打开阀62而向微型阀1内供给气动流体(参照图7B)，在通过阀63打开了连接流路50的状态下，关闭阀62而停止向微型阀1内供给气动流体(参照图7A)。

如图7A所示，在驱动泵61时，通过打开阀63，第2流路52与第3流路53成为连通状态。在该状态下，由于第2流路52与第3流路53的压力差减小，因此能够抑制隔膜层3因在第2流路52侧产生的负压而发生弹性变形。因此，在利用负压抽吸样品气体时，能够防止流入口23以及流出口24被隔膜层3堵塞。特别是，在本实施方式中，仅通过阀63开闭连接流路50的简单的构成，就能够减少第2流路52内与第3流路53内的压力差。

此外，在由阀63打开连接流路50时，通过关闭阀62停止向微型阀1内供给气动流体。因此，在减少第2流路52内与第3流路53内的压力差时，能够防止气动流体经由连接流路50从第2流路52向第3流路53流入。

在隔膜层3由厚度5～20μm的玻璃膜形成的情况下，隔膜层3例如通过从气动流体接受5～600kPa的压力而发生弹性变形，从而堵塞流入口23以及流出口24。另一方面，在隔膜层3由厚度10～150μm的硅膜形成的情况下，隔膜层3例如通过从气动流体接受20～1000kPa的压力而发生弹性变形，从而堵塞流入口23以及流出口24。

像这样地，在本实施方式中，由比较薄的玻璃膜或硅膜形成隔膜层3，能够以比较低的压力使该隔膜层3发生弹性变形，从而堵塞流入口23以及流出口24。在该情况下，虽然在从流入口23抽吸样品气体时(参照图7A)隔膜层3有可能发生弹性变形从而堵塞流入口23以及流出口24，但是在本实施方式中，由于通过压力调整机构(阀63)的作用，能够抑制隔膜层3发生弹性变形，所以利用负压抽吸样品气体时，能够可靠地防止流入口23以及流出口24被隔膜层3堵塞。

4.阀系统的应用例

图8A～图8C是将图7A以及图7B的阀系统应用于气体采样器的情况下的流路图的一例。图8A为采样时的状态，图8B为注射时的状态，图8C为分析时的状态。在该例中，在从样品气体的供给源直到阀61为止的流路上串联地设置有2个微型阀1。此外，在2个微型阀1之间的流路设置有样品环64。

作为气动流体的流路即第3流路53，在阀62的下游侧的分路部531分路，并分别与两个微型阀1的开口41连接。此外，在分路部531分路的各第3流路53分别经由连接流路50而与第2流路52连接。各连接流路50在合流部501合流为1个连接流路50后，与第2流路52连接。用于开闭连接流路50的阀63设置于比合流部501更靠近下游侧的连接流路50。

在样品环64与上游侧的微型阀1之间的流路中，连接有用于将载气供给至样品环64的第4流路54。此外，在样品环64与下游侧的微型阀1之间的流路中，连接有用于将载气从样品环64供给至色谱柱(未图示)的第5流路55。在第4流路54设置有阀65，在第5流路55设置有阀66。另外，阀65、66可以由微型阀1构成，在该情况下，能够利用气动流体开闭阀65、66。

在向样品环64内填充样品时，如图8A所示，在使阀65、66为关闭状态的基础上，使各微型阀1为打开状态。通过在该状态下驱动泵61，样品气体经由第1流路51被供给至样品环64，样品气体所包含的分析对象成分(样品)被填充至样品环64内。

此时，阀62为关闭状态，气动流体不会流入至各微型阀1内。此外，阀63为打开状态，第2流路52与第3流路53经由连接流路50而连通。因此，抑制因产生在第2流路52一侧的负压而导致各微型阀1的隔膜层3发生弹性变形，并且能够防止在利用负压抽吸样品气体时各微型阀1的流入口23以及流出口24被隔膜层3堵塞。

此后，如图8所示，通过使阀62为打开状态，气动流体流入至各微型阀1内，从而各微型阀1成为关闭状态。此时，使泵61的驱动停止，并且使阀63为关闭状态，而阀65、66为打开状态。由此，载气经由第4流路54被供给至样品环64内，通过样品环64的载气经由第5流路55向色谱柱供给。由此，填充在样品环64内的样品脱离，并与载气一起被导入(注射)至色谱柱。

样品像这样地被导入至色谱柱之后，通过将载气供给至色谱柱从而进行分析。在分析中如图8C所示，在使泵61的驱动停止的状态下，且使阀65、66为关闭状态后，使各微型阀1为打开状态。此时，阀62为关闭状态，气动流体不会流入至各微型阀1内。

5.阀系统的变形例

图9A以及图9B是示出了阀系统的变形例的概略图。图9A示出了微型阀1打开的状态，图9B示出了微型阀1关闭的状态。

虽然在上述实施方式中，对使用了阀63作为压力调整机构的构成进行了说明，但是在该变形例中，代替阀63而使用泵67作为压力调整机构，且第2流路52与第3流路53未通过连接流路50相连接。由于除此之外与上述实施方式相同，因此对于相同的构成，在图中赋予相同的附图标记而省略详细的说明。

泵67设置于从第3流路53分路的分路流路56。通过由控制部60控制该泵67的驱动，能够减小第2流路52与第3流路53的压力差。

具体而言，如图9A所示，在驱动泵61时，也驱动泵67。各泵61、67的抽吸压力被设定为相等。由此，由于第2流路52与第3流路53的压力差减小，所以能够抑制隔膜层3因在第2流路52侧产生的负压而发生弹性变形。因此，能够防止在利用负压吸引样品气体时流入口23和流出口24被隔膜层3堵塞。

在使泵61的驱动停止时，如图9B所示，使泵67的驱动也停止。通过在该状态下打开阀62，将气动流体导入至微型阀1内，隔膜层3发生弹性变形而使微型阀1成为关闭状态。

6.其他变形例

在以上的实施方式中，对利用泵61使第2流路52侧产生负压的构成进行了说明。但是，并不限于这样的构成，例如也可以由设置于第2流路52侧的减压容器等构成用于在第2流路52侧产生负压的负压产生机构。

附图标记说明

1 微型阀

2 基台层

3 隔膜层

4 覆盖层

23 流入口

24 流出口

41 开口

50 连接流路

51 第1流路

52 第2流路

53 第3流路

54 第4流路

55 第5流路

56 分路流路

60 控制部

61 泵

64 样品环

67 泵

501 合流部

531 分路部

Claims (4)

1.一种阀系统，其特征在于，具备：微型阀，具有层叠有基台层、覆盖层以及隔膜层的层叠结构，所述基台层形成有气体的流入口以及流出口，所述覆盖层与所述基台层相对置，所述隔膜层设置于所述基台层与所述覆盖层之间，随着气动流体的流入而弹性变形，由此堵塞所述流入口以及所述流出口；

第1流路，与所述流入口连接，使气体流入至所述微型阀内；

第2流路，与所述流出口连接，使气体从所述微型阀内流出；

第3流路，使气动流体流入至所述微型阀内；

负压产生机构，通过在所述第2流路一侧产生负压，经由所述微型阀将气体从所述第1流路抽吸至所述第2流路一侧；

压力调整机构，具有将所述第2流路与所述第3流路连接的连接流路以及开闭所述连接流路的第2阀，通过减小所述第2流路内与所述第3流路内的压力差，防止所述流入口以及所述流出口因在所述第2流路一侧产生的负压而被所述隔膜层堵塞；

第1阀，开闭所述第3流路；控制部，构成为在将气体经由所述第1流路导入所述微型阀内时，关闭所述第1阀并且打开所述第2阀。

2.如权利要求1所述的阀系统，其特征在于，所述控制部在利用所述第2阀关闭了所述连接流路的状态下将气动流体供给至所述微型阀内，在利用所述第2阀打开了所述连接流路的状态下停止向所述微型阀内供给气动流体。

3.如权利要求1所述的阀系统，其特征在于，所述隔膜层由厚度为5～20μm的玻璃膜形成，基于从气动流体受到的5～600kPa的压力而弹性变形，由此堵塞所述流入口以及所述流出口。

4.如权利要求1所述的阀系统，其特征在于，所述隔膜层由厚度为10～150μm的硅膜形成，基于从气动流体受到的20～1000kPa的压力而弹性变形，由此堵塞所述流入口以及所述流出口。

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