JPH0820729B2 - 染色可能な感光性組成物 - Google Patents
染色可能な感光性組成物Info
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- JPH0820729B2 JPH0820729B2 JP17515886A JP17515886A JPH0820729B2 JP H0820729 B2 JPH0820729 B2 JP H0820729B2 JP 17515886 A JP17515886 A JP 17515886A JP 17515886 A JP17515886 A JP 17515886A JP H0820729 B2 JPH0820729 B2 JP H0820729B2
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- dyed
- hydrogen atom
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/004—Photosensitive materials
- G03F7/016—Diazonium salts or compounds
- G03F7/021—Macromolecular diazonium compounds; Macromolecular additives, e.g. binders
- G03F7/0212—Macromolecular diazonium compounds; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binder or the macromolecular additives other than the diazo resins or the polymeric diazonium compounds
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は染色可能な感光性組成物に関し、さらに詳し
くは固体撮像素子もしくは撮像管に塔載する、あるいは
カラーデイスプレイー等に使用する有機カラーフイルタ
ーの染色性層として良好に使用し得る感光性組成物に関
する。
くは固体撮像素子もしくは撮像管に塔載する、あるいは
カラーデイスプレイー等に使用する有機カラーフイルタ
ーの染色性層として良好に使用し得る感光性組成物に関
する。
カラーフイルターの製造方法としては、 被染色層上にパターニングしたレジストを設け、露
出している被染色層の部分を染色して染色層を形成後レ
ジストを剥離し、その後に同様にして次の染色層を形成
する。（単一の被染色層を複数の染色部分に染め分ける
方法。） 被染色層を所定のパターンに露光し、現像した後染
色して染色層を形成し、次いで、透明な耐染色性絶縁層
を被覆後、その上に同様にして次の染色層を形成する。
出している被染色層の部分を染色して染色層を形成後レ
ジストを剥離し、その後に同様にして次の染色層を形成
する。（単一の被染色層を複数の染色部分に染め分ける
方法。） 被染色層を所定のパターンに露光し、現像した後染
色して染色層を形成し、次いで、透明な耐染色性絶縁層
を被覆後、その上に同様にして次の染色層を形成する。
上記の方法は、各染色部分の境界における色のにじ
み等の問題があり、一般にはの方法が広く行われてい
る。
み等の問題があり、一般にはの方法が広く行われてい
る。
の方法でカラーフイルターを製造する場合、従来、
被染色層として、重クロム酸塩等で感光性を付与された
天然タンパク質、たとえばゼラチン、グリユー、カゼイ
ン、アルブミン等が使用されている。
被染色層として、重クロム酸塩等で感光性を付与された
天然タンパク質、たとえばゼラチン、グリユー、カゼイ
ン、アルブミン等が使用されている。
また合成ポリマーとしてはアミン系の染色基を持つポ
リマーがいくつか提案されているが実用には至つていな
い。
リマーがいくつか提案されているが実用には至つていな
い。
従来実用に供せられている被染色層として用いられる
感光液は素材が天然タンパクであるためロツト間バラツ
キが大きく品質管理上問題があり、また保存安定性も不
良であつた。また６価のクロムをしているため公害面で
も問題を含んでいた。
感光液は素材が天然タンパクであるためロツト間バラツ
キが大きく品質管理上問題があり、また保存安定性も不
良であつた。また６価のクロムをしているため公害面で
も問題を含んでいた。
本発明者等は上述したような従来の被染色層の欠点を
解消すべく種々検討の結果、スルホン酸基もしくはその
塩を側鎖に持つ繰返し単位を有する重合体を含む感光性
組成物が染色性にすぐれ、かる合成品のため品質安定性
にすぐれ、保存安定性も向上し、かつクロム化合物を使
用しないため公害面の問題も含まないことを見出し本発
明を完成した。
解消すべく種々検討の結果、スルホン酸基もしくはその
塩を側鎖に持つ繰返し単位を有する重合体を含む感光性
組成物が染色性にすぐれ、かる合成品のため品質安定性
にすぐれ、保存安定性も向上し、かつクロム化合物を使
用しないため公害面の問題も含まないことを見出し本発
明を完成した。
すなわち本発明の要旨は、次記の通りのものである。
下記式（Ｉ）及び（II）で示される繰返し単位を有す
る重合体と下記式（III）で示される単位を有するジア
ゾ樹脂を含有することを特徴とする染色可能な感光性組
成物。
る重合体と下記式（III）で示される単位を有するジア
ゾ樹脂を含有することを特徴とする染色可能な感光性組
成物。
（（Ｉ）〜（III）式中、R1、R2は水素原子又はメチル
基を示し、R3は下記式 （式中、R8は置換されていてもよいC1〜C6のアルキレン
基を示す。）で示される基であって、Ａは酸素原子又は
‐NH-基を示し、Ｂは置換されていてもよいC1〜C6のア
ルキレン基を示す。Ｘ はH+、アルカリ金属カチオン又
は第４級アンモニウムカチオンを示し、Ｙ はアニオン
を示す。R4は水素原子、C1〜C5の低級アルキル基又はC1
〜C4の低級アルコキシ基を、R5は水素原子、メチル基ま
たはフエニル基を、R6、R7は水素原子、メチル基、メト
キシ基、エトキシ基を示す。ｎは２〜200の整数であ
る。） 本発明の感光性組成物は前記式（Ｉ）及び式（II）で
示される繰返し単位を有する重合体及び前記式（III）
の重合単位を有するジアゾ樹脂を含有する。
基を示し、R3は下記式 （式中、R8は置換されていてもよいC1〜C6のアルキレン
基を示す。）で示される基であって、Ａは酸素原子又は
‐NH-基を示し、Ｂは置換されていてもよいC1〜C6のア
ルキレン基を示す。Ｘ はH+、アルカリ金属カチオン又
は第４級アンモニウムカチオンを示し、Ｙ はアニオン
を示す。R4は水素原子、C1〜C5の低級アルキル基又はC1
〜C4の低級アルコキシ基を、R5は水素原子、メチル基ま
たはフエニル基を、R6、R7は水素原子、メチル基、メト
キシ基、エトキシ基を示す。ｎは２〜200の整数であ
る。） 本発明の感光性組成物は前記式（Ｉ）及び式（II）で
示される繰返し単位を有する重合体及び前記式（III）
の重合単位を有するジアゾ樹脂を含有する。
繰返し単位（Ｉ）は染色性を与えるのに不可欠の要素
であり、繰返し単位（II）及びジアゾ樹脂（III）は感
光性を与えるのに不可欠の要素である。前記重合体は繰
返し単位（Ｉ）、（II）以外に１つ以上の他の繰返し単
位を含んでいても良い。かかる繰返し単位の例としては
アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ビニルア
セテート、スチレン、ビニルピリジン、エチレン、ビニ
ルクロライド等のモノマーから誘導される単位が好適に
用いられる。繰返し単位（Ｉ）は３モル％以上、好まし
くは５モル％以上、繰返し単位（II）は３モル％以上、
好ましくは５モル％以上含まれているのが望ましい。
であり、繰返し単位（II）及びジアゾ樹脂（III）は感
光性を与えるのに不可欠の要素である。前記重合体は繰
返し単位（Ｉ）、（II）以外に１つ以上の他の繰返し単
位を含んでいても良い。かかる繰返し単位の例としては
アクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、ビニルア
セテート、スチレン、ビニルピリジン、エチレン、ビニ
ルクロライド等のモノマーから誘導される単位が好適に
用いられる。繰返し単位（Ｉ）は３モル％以上、好まし
くは５モル％以上、繰返し単位（II）は３モル％以上、
好ましくは５モル％以上含まれているのが望ましい。
繰返し単位（Ｉ）がそれ以下であると充分な染色性が
得られず、繰返し単位（II）がそれ以下であると充分な
感度が得られない。
得られず、繰返し単位（II）がそれ以下であると充分な
感度が得られない。
本発明に用いる前記重合体は式（Ｉ）を与えるアクリ
ル系モノマー式（II）を与えるモノマーさらに必要であ
れば第３のもしくはそれ以上のモノマーをアゾビスイソ
ブチロニトリル、過酸化ベンゾイル等のラジカル開始剤
を使用し、公知の方法に従いラジカル共重合することに
よつて容易に出ることが出来る。
ル系モノマー式（II）を与えるモノマーさらに必要であ
れば第３のもしくはそれ以上のモノマーをアゾビスイソ
ブチロニトリル、過酸化ベンゾイル等のラジカル開始剤
を使用し、公知の方法に従いラジカル共重合することに
よつて容易に出ることが出来る。
本発明に用いる前記式（Ｉ）、（II）を有する重合体
は30℃での固有粘度が通常0.05〜3dl/g、好ましくは0.1
〜2.0dl/gのものが用いられる。
は30℃での固有粘度が通常0.05〜3dl/g、好ましくは0.1
〜2.0dl/gのものが用いられる。
前記式（III）で示される単位を有するジアゾ樹脂は
ジアゾニウムジフエニルアミン、もしくは下式で示され
る置換ジアゾニウムジフエニルアミンと、ホルムアルデ
ヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒドのアルデヒ
ドを酸性触媒の存在下、重縮合させる公知の方法で容易
に合成される。重合度ｎは２〜200であり、好ましくは
２〜50のものが使用される。
ジアゾニウムジフエニルアミン、もしくは下式で示され
る置換ジアゾニウムジフエニルアミンと、ホルムアルデ
ヒド、アセトアルデヒド、ベンズアルデヒドのアルデヒ
ドを酸性触媒の存在下、重縮合させる公知の方法で容易
に合成される。重合度ｎは２〜200であり、好ましくは
２〜50のものが使用される。
R4は水素原子、C1〜C5の低級アルキル基又はC1〜C4の低
級アルコキシ基を、R6、R7は水素原子、メチル基、メト
キシ基、エトキシ基を示す。
級アルコキシ基を、R6、R7は水素原子、メチル基、メト
キシ基、エトキシ基を示す。
繰り返し単位（Ｉ）、（II）を含む重合体とジアゾ樹
脂（III）の比率は該重合体100部に対し通常３〜50部、
好ましくは５〜30部が用いられる。
脂（III）の比率は該重合体100部に対し通常３〜50部、
好ましくは５〜30部が用いられる。
ジアゾ樹脂のアニオンＹ としてハロゲンアニオン、
BF 4、PF 6、有機スルホン酸アニオン、カルボン酸ア
ニオン、HSO4 -、1/2SO4 2-、1/2ZnCl4 2-、リン酸アニオ
ン、リン酸水素アニオン等が好適に用いられる。
BF 4、PF 6、有機スルホン酸アニオン、カルボン酸ア
ニオン、HSO4 -、1/2SO4 2-、1/2ZnCl4 2-、リン酸アニオ
ン、リン酸水素アニオン等が好適に用いられる。
通常は上記重合体及びジアゾ樹脂（III）双方を溶か
すような溶媒、たとえばエチレングリコール等のアルコ
ール系溶媒、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等の
セロソルブ系溶媒、ジメチルホルムアミド（DMF）、ジ
メチルスルホキシド（DMSO）、Ｎ−メチルピロリドン、
水等の極性溶媒が好適に用いられる。
すような溶媒、たとえばエチレングリコール等のアルコ
ール系溶媒、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ等の
セロソルブ系溶媒、ジメチルホルムアミド（DMF）、ジ
メチルスルホキシド（DMSO）、Ｎ−メチルピロリドン、
水等の極性溶媒が好適に用いられる。
感光液そのものは、通常ジアゾ樹脂のため可視領域に
吸収を持つているが、スピンコーテイング、キヤステイ
ング、デイツプ法などで基板上に薄膜を作り、可視光、
紫外光等で露光で行えばジアゾ樹脂は分解し実用レベル
の透明性が確保出来る。
吸収を持つているが、スピンコーテイング、キヤステイ
ング、デイツプ法などで基板上に薄膜を作り、可視光、
紫外光等で露光で行えばジアゾ樹脂は分解し実用レベル
の透明性が確保出来る。
現像液としては前述した溶媒の１つもしくはその中か
ら選ばれる任意の混合溶媒にて現像される。
ら選ばれる任意の混合溶媒にて現像される。
本発明の感光性組成物は水溶性染料特にカチオン染料
により好適に染色することが出来る。
により好適に染色することが出来る。
以下本発明の感光性組成物を用いたカラーフイルター
の一例につき図面を用いて更に詳細に説明する。
の一例につき図面を用いて更に詳細に説明する。
第１図（ａ）〜（ｊ）は直付型カラーフイルターの製
造工程の一例を示す説明図である。
造工程の一例を示す説明図である。
図中１はシリコンウエハー、２は光検知部、３は保護
膜、４は平坦化層、５は被染色層、６はマスク、７は耐
染色性絶縁層、８はボンデイング・パッド、９は被染色
層、10は表面層、をそれぞれ示す。
膜、４は平坦化層、５は被染色層、６はマスク、７は耐
染色性絶縁層、８はボンデイング・パッド、９は被染色
層、10は表面層、をそれぞれ示す。
直付型カラーフイルターの場合は固体撮像素子面上に
直接カラーフイルターが設けられるものであり、その基
体となる固体撮像素子は例えば第１図（ａ）に示すよう
なシリコンウエハー１に光検知部２が設けられ、その上
面にリンガラス、石英等の保護膜３が設けられた構造と
されている。固体撮像素子にはその他、走査線、遮光膜
等が設けられているが、図面には省略した。
直接カラーフイルターが設けられるものであり、その基
体となる固体撮像素子は例えば第１図（ａ）に示すよう
なシリコンウエハー１に光検知部２が設けられ、その上
面にリンガラス、石英等の保護膜３が設けられた構造と
されている。固体撮像素子にはその他、走査線、遮光膜
等が設けられているが、図面には省略した。
本発明のカラーフイルターは上述のような固体撮像素
子の上面に形成するもののほかに液晶カラーデイスプレ
ー等にも使用出来るが、ここでは固体撮像素子に応用す
る場合について工程順に説明する。
子の上面に形成するもののほかに液晶カラーデイスプレ
ー等にも使用出来るが、ここでは固体撮像素子に応用す
る場合について工程順に説明する。
まず固体撮像素子の保護膜３の上に0.2〜2.0μ程度の
厚さに平坦化層４を被覆する。この平坦化層は耐染色性
があり、透明で染色層と充分な接着性を有し感光性を持
つものなら何でも良いが後述する耐染色性絶縁層７と同
じものを使用すると便利である。この層によつて光検知
部の表面が平坦化され、被染色層５、耐染色性絶縁層７
等の形成が容易となり、また被染色層５の厚みむら等に
基づく色のヒズミ等が軽減される。次いでこの平坦化層
４上に所定のボンデイングパツド８等を加工する｛第１
図（ｂ）｝。
厚さに平坦化層４を被覆する。この平坦化層は耐染色性
があり、透明で染色層と充分な接着性を有し感光性を持
つものなら何でも良いが後述する耐染色性絶縁層７と同
じものを使用すると便利である。この層によつて光検知
部の表面が平坦化され、被染色層５、耐染色性絶縁層７
等の形成が容易となり、また被染色層５の厚みむら等に
基づく色のヒズミ等が軽減される。次いでこの平坦化層
４上に所定のボンデイングパツド８等を加工する｛第１
図（ｂ）｝。
この平坦化層４の材質、ボンデイングパツド８の加工
方法については後に耐染色性絶縁層７の説明と合せて述
べる。
方法については後に耐染色性絶縁層７の説明と合せて述
べる。
次いで平坦化層４上に本発明の染色可能な感光性組成
物を塗布して被染色層５を構成するための感光性物質層
を形成する｛第１図（ｃ）｝。
物を塗布して被染色層５を構成するための感光性物質層
を形成する｛第１図（ｃ）｝。
被染色層５を構成するための感光性物質層は、通常、
0.1〜２μとなるように設ける。
0.1〜２μとなるように設ける。
次いで、被染色層５を構成するための感光性物質層上
に所定のパターンを有するマスク６を通して露光する
｛第１図（ｄ）｝。
に所定のパターンを有するマスク６を通して露光する
｛第１図（ｄ）｝。
通常は高圧水銀燈等を光源として露光する。
次いで、前述したような現像液で現像して所定のパタ
ーンの被染色層５を構成する部分を形成し｛第１図
（ｅ）｝、所定の分光特性を有する第１色目の前述した
ごとき染料で公知の方法に従い染色して被染色層５を形
成する。
ーンの被染色層５を構成する部分を形成し｛第１図
（ｅ）｝、所定の分光特性を有する第１色目の前述した
ごとき染料で公知の方法に従い染色して被染色層５を形
成する。
次いで、耐染色性絶縁層７を形成するための感光性樹
脂組成物を被覆する｛第１図（ｆ）｝。
脂組成物を被覆する｛第１図（ｆ）｝。
この耐染色層としては耐染色性、基板及び染色層、無
色透明性、塗布性が良好な感光性樹脂組成物であれば何
でも良いが、たとえば我々が先に提案した感光性組成物
（特願昭60−21044）等が好適に用いられる｛第１図
（ｈ）｝。平坦化層４に本感光性組成物を使用した場合
も同様の操作でボンデイング・パツド８等の加工がなさ
れた透明な平坦化層４を得ることが出来る。
色透明性、塗布性が良好な感光性樹脂組成物であれば何
でも良いが、たとえば我々が先に提案した感光性組成物
（特願昭60−21044）等が好適に用いられる｛第１図
（ｈ）｝。平坦化層４に本感光性組成物を使用した場合
も同様の操作でボンデイング・パツド８等の加工がなさ
れた透明な平坦化層４を得ることが出来る。
次いで、該耐染色性絶縁層７上に、前述と同様にして
被染色層を構成するため本発明の感光性物質を塗布し、
露光、現像して所定のパターンの被染色層部分を形成す
る。そして、所定の分光特性を有する第２色目の染料で
染色して第２の被染色層９を形成する｛第１図
（ｉ）｝。
被染色層を構成するため本発明の感光性物質を塗布し、
露光、現像して所定のパターンの被染色層部分を形成す
る。そして、所定の分光特性を有する第２色目の染料で
染色して第２の被染色層９を形成する｛第１図
（ｉ）｝。
かかる操作を繰返し、耐染色性絶縁層を介して更に他
の被染色層を形成してもよい。
の被染色層を形成してもよい。
被染色層としては、赤、緑、青の三原色系の３種を用
いることもあれば、シアン、緑、黄の補色系の３種を用
いることもある。その際、例えば、第１のシアンの被染
色層に、第２の黄の被染色層を一部重なるように形成し
て、その重なり部分で第３色目の緑色を得るようにして
もよい。
いることもあれば、シアン、緑、黄の補色系の３種を用
いることもある。その際、例えば、第１のシアンの被染
色層に、第２の黄の被染色層を一部重なるように形成し
て、その重なり部分で第３色目の緑色を得るようにして
もよい。
通常、最上部の被染色層上に、表面に平滑化、或いは
染色層の保護のために表面層10を設ける。
染色層の保護のために表面層10を設ける。
表面層10としては、強度、透明性、中間層及び染色層
との密着性及びボンテイング・パツド部などの加工性が
要求され、その要求を満たしたものならなんでもよい
が、前述の感光性組成物を使用しても良い。
との密着性及びボンテイング・パツド部などの加工性が
要求され、その要求を満たしたものならなんでもよい
が、前述の感光性組成物を使用しても良い。
表面層10は通常0.1〜２μの膜厚となるように設けさ
らに露光現像して所定のボンデイング・パツドなどの加
工を行なう｛第１図（ｊ）｝。
らに露光現像して所定のボンデイング・パツドなどの加
工を行なう｛第１図（ｊ）｝。
以上のようにして、本発明の組成物を用いてカラーフ
イルターを得ることが出来るが、本発明の組成物は被染
色層の品質管理が容易であるため高い品質の固体撮像素
子が安定生産出来るのである。液晶カラーデイスプレイ
ーに応用した際も同様の効果があることはいうまでもな
い。
イルターを得ることが出来るが、本発明の組成物は被染
色層の品質管理が容易であるため高い品質の固体撮像素
子が安定生産出来るのである。液晶カラーデイスプレイ
ーに応用した際も同様の効果があることはいうまでもな
い。
以下実施例により本発明を更に具体的に説明する。
合成例１ メチルメタクリレート10.1g、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート2.1g、２−アクリルアミド２−メチルプロ
パンスルホン酸10.35gをエタノール300mlに溶解し、窒
素ガスで充分脱気を行う。
タクリレート2.1g、２−アクリルアミド２−メチルプロ
パンスルホン酸10.35gをエタノール300mlに溶解し、窒
素ガスで充分脱気を行う。
反応系を窒素雰囲気に保つたまま60℃に加熱し、アゾ
ビスイソブチロニトリル0.27gを加え、60℃で８時間反
応させる。反応後、反応液をｎ−ヘキサン1400ml中に滴
下し、ポリマーを析出させ、析出したポリマーを再びエ
タノール100mlに溶解し、600mlの水に滴下して再沈し、
真空乾燥した。
ビスイソブチロニトリル0.27gを加え、60℃で８時間反
応させる。反応後、反応液をｎ−ヘキサン1400ml中に滴
下し、ポリマーを析出させ、析出したポリマーを再びエ
タノール100mlに溶解し、600mlの水に滴下して再沈し、
真空乾燥した。
収量11.97g、収率53.1％、固有粘度ηsp/c＝0.243（エ
タノール中30℃、ｃ＝0.2g/dl） 合成例２ メチルメタクリレート3.38g、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート2.1g、２−アクリルアミド２−メチルプロ
パンスルホン酸3.46gをエタノール150mlに溶解し、窒素
ガスで充分脱気を行う。
タノール中30℃、ｃ＝0.2g/dl） 合成例２ メチルメタクリレート3.38g、ヒドロキシルエチルメ
タクリレート2.1g、２−アクリルアミド２−メチルプロ
パンスルホン酸3.46gをエタノール150mlに溶解し、窒素
ガスで充分脱気を行う。
反応系を窒素雰囲気に保つたまま60℃に加熱し、アゾ
ビスイソブチロニトリル0.27gを加え、60℃で８時間反
応させる。反応後、反応液をｎ−ヘキサン700ml中に滴
下し、ポリマーを析出させ、析出したポリマーを再びエ
タノール50mlに溶解し、300mlの水に滴下して再沈し、
真空乾燥機で乾燥した。
ビスイソブチロニトリル0.27gを加え、60℃で８時間反
応させる。反応後、反応液をｎ−ヘキサン700ml中に滴
下し、ポリマーを析出させ、析出したポリマーを再びエ
タノール50mlに溶解し、300mlの水に滴下して再沈し、
真空乾燥機で乾燥した。
収量14.5g、収率76.6％、固有粘度ηsp/c＝0.16（エタ
ノール中30℃、ｃ＝0.2g/dl） 合成例３ グリシジルメタクリレート16.0g、シンナモイルオキ
シエチルメタクリレート7.7gをｐ−ジオキサン140mlに
溶解し、30分窒素でバブリングする。ついで窒素雰囲気
を保つたまま60℃加熱し、アゾビスイソブチロニトリル
0.35gを加え60℃で６時間反応させる。反応終了後反応
混合物を450mlのｎ−ヘキサンに滴下しポリマーを析出
させ、析出したポリマーを別後94mlのアセトンに溶解
し300mlのメタノール中に滴下して再沈し、別後減圧
下に乾燥する。
ノール中30℃、ｃ＝0.2g/dl） 合成例３ グリシジルメタクリレート16.0g、シンナモイルオキ
シエチルメタクリレート7.7gをｐ−ジオキサン140mlに
溶解し、30分窒素でバブリングする。ついで窒素雰囲気
を保つたまま60℃加熱し、アゾビスイソブチロニトリル
0.35gを加え60℃で６時間反応させる。反応終了後反応
混合物を450mlのｎ−ヘキサンに滴下しポリマーを析出
させ、析出したポリマーを別後94mlのアセトンに溶解
し300mlのメタノール中に滴下して再沈し、別後減圧
下に乾燥する。
収量18.3g（78％）、固有粘度ηsp/c＝0.35（THF中30
℃、ｃ＝0.2g/dl） 実施例１ 合成例１のポリマー1.5g、ジアゾニウムジフエニルア
ミンとホルムアルデヒドから得た平均重合度６のジアゾ
樹脂0.12gをエチルセロソルブ/N−メチル２−ピロリド
ン＝8/2（重量比）の混合溶媒8.5gに溶解して全体を10g
とし0.2μの“ミリポアフイルター”で過して感光液
を得た。この感光液を２インチ0.5mm厚テンパツクス
製ガラス基板上にスピンコーテイング法（1000rpm）で
1.2μの厚さに塗布した。
℃、ｃ＝0.2g/dl） 実施例１ 合成例１のポリマー1.5g、ジアゾニウムジフエニルア
ミンとホルムアルデヒドから得た平均重合度６のジアゾ
樹脂0.12gをエチルセロソルブ/N−メチル２−ピロリド
ン＝8/2（重量比）の混合溶媒8.5gに溶解して全体を10g
とし0.2μの“ミリポアフイルター”で過して感光液
を得た。この感光液を２インチ0.5mm厚テンパツクス
製ガラス基板上にスピンコーテイング法（1000rpm）で
1.2μの厚さに塗布した。
感度、解像力、染色性、透明性、接着性についてそれ
ぞれ以下に述べるような方法で評価を行つた。
ぞれ以下に述べるような方法で評価を行つた。
（１）感度……縮少投影露光機（キヤノン製ステツパー
FPA−141）を用いて露光後45℃で１分間の水現像を行つ
た。それぞれの露光量において得られた膜厚をテンコー
ル（株）製膜厚計α−ステツプで測定し感度曲線を作製
し残膜率80％を与える照射エネルギー量をもつて感度と
した。
FPA−141）を用いて露光後45℃で１分間の水現像を行つ
た。それぞれの露光量において得られた膜厚をテンコー
ル（株）製膜厚計α−ステツプで測定し感度曲線を作製
し残膜率80％を与える照射エネルギー量をもつて感度と
した。
（２）解像力……解像力テスト用マスクを用い、縮少投
影露光機（キヤノン製ステツパーFPA−141）を用いて、
感度評価の場合と同じように露光現像後得られた像を光
学顕微鏡（×500）観察し解像している最小のラインア
ンドスペースの巾をもつて解像力とした。
影露光機（キヤノン製ステツパーFPA−141）を用いて、
感度評価の場合と同じように露光現像後得られた像を光
学顕微鏡（×500）観察し解像している最小のラインア
ンドスペースの巾をもつて解像力とした。
（３）透明性……ミカサ（株）製マスクアライナーMA−
10を用いて全面露光、現像後、日立（株）製分光光度計
307を用いて380〜780nmの分光透過率を求めた。
10を用いて全面露光、現像後、日立（株）製分光光度計
307を用いて380〜780nmの分光透過率を求めた。
（４）染色性……ミカサ（株）製マスクアライナーMA−
10を用いて全面露光現像した基板を後に述べる染色条件
で黄色又は青色に染色してリンス後、日立（株）製分光
光度計307を用いて380〜780nmの分光透過率を求めた。
10を用いて全面露光現像した基板を後に述べる染色条件
で黄色又は青色に染色してリンス後、日立（株）製分光
光度計307を用いて380〜780nmの分光透過率を求めた。
評価基準は次記の通りである。
○:T minの透過率が10％以下のもの ×:T minの透過率が10％以上のもの （５）密着性……粘着テープ（セロハンテープ）を指圧
によりよく接着し、これを剥離することによりガラスと
の接着性を評価した。
によりよく接着し、これを剥離することによりガラスと
の接着性を評価した。
また、平坦化層の上面に実施例と同様にして染色層を
形成し上記と同様粘着テープで接着強度を評価した。
形成し上記と同様粘着テープで接着強度を評価した。
評価基準は次記の通りである。
○：全く剥離しないもの ×：一部でも剥離の見られるもの 実施例２ 合成例２のポリマー1.5g、実施例１と同じジアゾ樹脂
0.12gをエチルセロソルブ/N−メチル−２−ピロリドン
＝8/2（重量比）の混合溶媒8.5gに溶解して全体を10gと
し、0.2μの“ミリポアフイルター”で過して感光液
を得た。この感光液を２インチ0.5mm厚テンパツクス
製ガラス基板上にスピンコーテイング法（1000rpm）で
1.2μの厚さに塗布した。
0.12gをエチルセロソルブ/N−メチル−２−ピロリドン
＝8/2（重量比）の混合溶媒8.5gに溶解して全体を10gと
し、0.2μの“ミリポアフイルター”で過して感光液
を得た。この感光液を２インチ0.5mm厚テンパツクス
製ガラス基板上にスピンコーテイング法（1000rpm）で
1.2μの厚さに塗布した。
次いで、縮少投影露光機（キヤノン製ステツパーFPA
−141）を用いて露光後、20℃のエチルセロソルブで１
分間現像した。
−141）を用いて露光後、20℃のエチルセロソルブで１
分間現像した。
感度、解像力、染色性、透明性、接着性について実施
例１と同様の方法で評価した。
例１と同様の方法で評価した。
実施例３ 合成例３で合成した重合体1.4gに増感剤として２−ジ
ベンゾイルメチレン−３−メチルナフトチアゾリン42mg
を加え、シクロヘキサノンに溶解して全体を10gとし、
0.2μの“ミリポアフイルター”で過して感光液を得
た。この感光液を、多数の光検知部とこれを駆動する駆
動回路とからなる固体撮像素子の基板上に0.2〜2.0μ程
度の厚さになるようにスピンコーテイング塗布して平坦
化層を形成した。
ベンゾイルメチレン−３−メチルナフトチアゾリン42mg
を加え、シクロヘキサノンに溶解して全体を10gとし、
0.2μの“ミリポアフイルター”で過して感光液を得
た。この感光液を、多数の光検知部とこれを駆動する駆
動回路とからなる固体撮像素子の基板上に0.2〜2.0μ程
度の厚さになるようにスピンコーテイング塗布して平坦
化層を形成した。
塗布した平坦化層は黄色味を帯びていた。この平坦化
層を形成する樹脂層にボンデイングパツト等の所定のパ
ターンを有するマスクを通して高圧水銀燈が装備された
マスクアライナーMA−10（ミカサ（株）製）を用い340
ミリジユル／cm2のエネルギー量で露光した後20℃のメ
チルエチルケトン／イソプロパノール＝7/1（重量比）
で１分間現像した。
層を形成する樹脂層にボンデイングパツト等の所定のパ
ターンを有するマスクを通して高圧水銀燈が装備された
マスクアライナーMA−10（ミカサ（株）製）を用い340
ミリジユル／cm2のエネルギー量で露光した後20℃のメ
チルエチルケトン／イソプロパノール＝7/1（重量比）
で１分間現像した。
得られたボンデイングパツト部などの加工がなされた
平坦化層は黄色味が消え透明な層であつた。
平坦化層は黄色味が消え透明な層であつた。
次いで、この平坦化層上に実施例１と同様に作成した
感光性組成物を膜厚が１μとなるようにスピンコーテイ
ングにより塗布して、被染色層を形成する感光性物質層
を形成した。
感光性組成物を膜厚が１μとなるようにスピンコーテイ
ングにより塗布して、被染色層を形成する感光性物質層
を形成した。
この被染色層を形成する感光性物質層に所定のパター
ンを有するマスクを通して前記と同じ装置を用い340ミ
リジユール／cm2のエネルギー量で露光した後、45℃の
水で１分間現像した。次いで、60℃で15分ポストベーク
を行つた。
ンを有するマスクを通して前記と同じ装置を用い340ミ
リジユール／cm2のエネルギー量で露光した後、45℃の
水で１分間現像した。次いで、60℃で15分ポストベーク
を行つた。
酢酸でpH3.5に調整したダイアクリルイエロー3G−Ｎ
（三菱化成工業（株）製）｛ダイアクリルは三菱化成工
業（株）の商品名｝の0.2％水溶液中に60℃、５分間浸
漬し染色処理して被染色層を形成した。
（三菱化成工業（株）製）｛ダイアクリルは三菱化成工
業（株）の商品名｝の0.2％水溶液中に60℃、５分間浸
漬し染色処理して被染色層を形成した。
次いで平坦化層と同じ組成の感光性組成物を膜厚が0.
5μとなるようにスピンコーテイング塗布し、平坦化層
の場合と同様に露光、現像して透明でかつボンデイング
・パツト部などの加工がなされた耐染色性絶縁層を形成
した。
5μとなるようにスピンコーテイング塗布し、平坦化層
の場合と同様に露光、現像して透明でかつボンデイング
・パツト部などの加工がなされた耐染色性絶縁層を形成
した。
次いで、この耐染色性絶縁層上に前述と同様にして染
色可能な感光性物質層を形成し、前述と同様に露光現像
した後、酢酸でpHを3.5に調整したダイアクリルブリリ
アントブルーH2R−Ｎ（三菱化成工業（株）製）の約0.1
％水溶液で60℃、５分間染色処理して被染色層を形成し
た。
色可能な感光性物質層を形成し、前述と同様に露光現像
した後、酢酸でpHを3.5に調整したダイアクリルブリリ
アントブルーH2R−Ｎ（三菱化成工業（株）製）の約0.1
％水溶液で60℃、５分間染色処理して被染色層を形成し
た。
次いで、表面層として平坦化層と同じ感光性組成物を
膜厚0.5μとなるようにスピンコーテイングにより塗布
して前記と同様の条件にて露光、現像してボンデイング
パッド部等の加工のなされた透明な表面層を形成しカラ
ーフイルターが直付された固体カラー撮像素子を得た。
膜厚0.5μとなるようにスピンコーテイングにより塗布
して前記と同様の条件にて露光、現像してボンデイング
パッド部等の加工のなされた透明な表面層を形成しカラ
ーフイルターが直付された固体カラー撮像素子を得た。
本発明の組成物は感光性を有し、しかも染色性に優れ
ているものであり、例えば固体撮像素子等に塔載する有
機カラーフイルターの染色層等として好適に用いること
ができる。
ているものであり、例えば固体撮像素子等に塔載する有
機カラーフイルターの染色層等として好適に用いること
ができる。
第１図（ａ）〜（ｊ）は直付型カラーフイルターの製造
工程の一例を示す説明図である。 図中１はシリコンウエハー、２は光検知部、３は保護
膜、４は平坦化層、５は被染色層、６はマスク、７は耐
染色性絶縁層、８はボンデイング・パツド、９は被染色
層、10は表面層をそれぞれ示す。
工程の一例を示す説明図である。 図中１はシリコンウエハー、２は光検知部、３は保護
膜、４は平坦化層、５は被染色層、６はマスク、７は耐
染色性絶縁層、８はボンデイング・パツド、９は被染色
層、10は表面層をそれぞれ示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 篠崎 美香 神奈川県横浜市緑区鴨志田町1000番地 三 菱化成工業株式会社総合研究所内 (56)参考文献 特開 昭60−3632（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−5042（ＪＰ，Ａ) 特開 昭54−147031（ＪＰ，Ａ) 特開 昭56−60431（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】下記式（Ｉ）及び（II）で示される繰返し
単位を有する重合体と下記式（III）で示される単位を
有するジアゾ樹脂を含有することを特徴とする染色可能
な感光性組成物。 （（Ｉ）〜（III）式中、R1、R2は水素原子又はメチル
基を示し，R3は下記式 （式中、R8は置換されていてもよいC1〜C6のアルキレン
基を示す。） で示される基であって、Ａは酸素原子又は−NH−基を示
し、Ｂは置換されていてもよいC1〜C6のアルキレン基を
示す。Ｘ はH+、アルカリ金属カチオン又は第４級アン
モニウムカチオンを示し、Ｙ はアニオンを示す。R4は
水素原子、C1〜C5の低級アルキル基又はC1〜C4の低級ア
ルコキシ基を、R5は水素原子、メチル基またはフェニル
基を、R6、R7は水素原子、メチル基、メトキシ基、エト
キシ基を示す。ｎは２〜200の整数である。）
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17515886A JPH0820729B2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 染色可能な感光性組成物 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17515886A JPH0820729B2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 染色可能な感光性組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6332542A JPS6332542A (ja) | 1988-02-12 |
| JPH0820729B2 true JPH0820729B2 (ja) | 1996-03-04 |
Family
ID=15991276
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17515886A Expired - Lifetime JPH0820729B2 (ja) | 1986-07-25 | 1986-07-25 | 染色可能な感光性組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0820729B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0789163B2 (ja) * | 1988-05-10 | 1995-09-27 | 東京応化工業株式会社 | カラーフィルターの作成方法 |
| JP2800940B2 (ja) * | 1988-10-03 | 1998-09-21 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
| NZ552372A (en) | 2004-06-04 | 2009-11-27 | Astellas Pharma Inc | Propane-1,3-dione derivative or its salt |
| SI1864976T1 (sl) | 2005-03-31 | 2012-12-31 | Astellas Pharma Inc. | Propan-1,3-dionski derivat ali njegova sol |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS54147031A (en) * | 1978-05-11 | 1979-11-16 | Toray Industries | Photosensitive material |
| JPS5660431A (en) * | 1979-10-24 | 1981-05-25 | Hitachi Ltd | Photosensitive composition and pattern forming method |
| CA1153611A (en) * | 1980-04-30 | 1983-09-13 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Aqueous developable photosensitive composition and printing plate |
| JPS603632A (ja) * | 1983-06-21 | 1985-01-10 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性平版印刷版 |
-
1986
- 1986-07-25 JP JP17515886A patent/JPH0820729B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6332542A (ja) | 1988-02-12 |
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