JP2546403B2 - 感光性樹脂組成物 - Google Patents
感光性樹脂組成物Info
- Publication number
- JP2546403B2 JP2546403B2 JP2055936A JP5593690A JP2546403B2 JP 2546403 B2 JP2546403 B2 JP 2546403B2 JP 2055936 A JP2055936 A JP 2055936A JP 5593690 A JP5593690 A JP 5593690A JP 2546403 B2 JP2546403 B2 JP 2546403B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- general formula
- photosensitive resin
- polymer
- monomer
- represented
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Compositions Of Macromolecular Compounds (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は着色画像を形成するための感光性樹脂組成物
に関し、特に固体撮像素子や液晶ディスプレーをカラー
化するために用いられるカラーフィルタの製造に適した
感光性樹脂組成物に関する。
に関し、特に固体撮像素子や液晶ディスプレーをカラー
化するために用いられるカラーフィルタの製造に適した
感光性樹脂組成物に関する。
カラーフィルタは、一般にレリーフ染色法と呼ばれ
る。染色可能な樹脂で形成した微細なレリーフパターン
を染色して着色する工程を必要な色数だけ繰り返す方向
によって製造される。
る。染色可能な樹脂で形成した微細なレリーフパターン
を染色して着色する工程を必要な色数だけ繰り返す方向
によって製造される。
この方法は染色可能な樹脂自体に感光性を持たせるこ
とによって容易に微細パターンを形成でき、また着色に
は染料を用いるので着色パターンは透明でシャープな分
光透過率曲線を示し、しかも染料は非常に多くの種類か
ら選択することができるので設計上の自由度も大きいと
いう、きわめて実用的な方法である。
とによって容易に微細パターンを形成でき、また着色に
は染料を用いるので着色パターンは透明でシャープな分
光透過率曲線を示し、しかも染料は非常に多くの種類か
ら選択することができるので設計上の自由度も大きいと
いう、きわめて実用的な方法である。
レリーフ染色法に用いれる染色可能な感光性樹脂とし
ては、従来から、ゼラチン、カゼイン、フィシュグルー
等の天然タンパクの水溶液を重クロム酸塩で感光化した
ものが用いられている。しかし、これらの感光性樹脂は
感度が低いために生産性が上がらず、また、感光性樹脂
としての安定性にも問題がある。
ては、従来から、ゼラチン、カゼイン、フィシュグルー
等の天然タンパクの水溶液を重クロム酸塩で感光化した
ものが用いられている。しかし、これらの感光性樹脂は
感度が低いために生産性が上がらず、また、感光性樹脂
としての安定性にも問題がある。
これらの点を解決すべく、樹脂中にカチオン性の基を
染着座として導入した合成の染色基材が多数提案されて
いる。特に、カチオン基として三級アミンまたは四級ア
ンモニウム塩を導入したものは良好な染色性を示し、安
定性の面でも十分満足の行く性質が得られる。
染着座として導入した合成の染色基材が多数提案されて
いる。特に、カチオン基として三級アミンまたは四級ア
ンモニウム塩を導入したものは良好な染色性を示し、安
定性の面でも十分満足の行く性質が得られる。
ところで、このような三級アミンまたは四級アンモニ
ウム塩を導入したカチオン性ポリマーを感光化するため
に、いくつかの方法が提案されている。
ウム塩を導入したカチオン性ポリマーを感光化するため
に、いくつかの方法が提案されている。
まず第一は、ポリマー中に光架橋を起こすカルコンの
ような感光基を導入すること（例えば特開昭59−48758
号公報）、第二はポリマーにアジド化合物やジアゾ化合
物等の光架橋剤を添加すること（例えば特開昭58−1993
42号公報、特開昭59−155412号公報、特開昭62−127735
号公報など）、第三は重合性のモノマーと光重合開始剤
を添加すること（例えば特開昭60−221755号公報）、第
四は側鎖に光重合性の不飽和結合を導入し、光重合開始
剤によって架橋させる（例えば特開昭63−144346号公
報）などである。
ような感光基を導入すること（例えば特開昭59−48758
号公報）、第二はポリマーにアジド化合物やジアゾ化合
物等の光架橋剤を添加すること（例えば特開昭58−1993
42号公報、特開昭59−155412号公報、特開昭62−127735
号公報など）、第三は重合性のモノマーと光重合開始剤
を添加すること（例えば特開昭60−221755号公報）、第
四は側鎖に光重合性の不飽和結合を導入し、光重合開始
剤によって架橋させる（例えば特開昭63−144346号公
報）などである。
以上述べたような合成の感光性樹脂の特性は一長一短
があるものであるが、感度、解像度および感光性樹脂と
しての安定性の点で最も実用性の高い方法はビスアジド
化合物を光架橋剤として用いるものである。
があるものであるが、感度、解像度および感光性樹脂と
しての安定性の点で最も実用性の高い方法はビスアジド
化合物を光架橋剤として用いるものである。
ところでカラーフィルタのように微細で高濃度の着色
パターンを得るためには感光性樹脂は十分な染色性を有
する必要があり、ポリマー中には多量のカチオン基が導
入されるが、この結果として以下のような問題を生じ
る。
パターンを得るためには感光性樹脂は十分な染色性を有
する必要があり、ポリマー中には多量のカチオン基が導
入されるが、この結果として以下のような問題を生じ
る。
まず第１に三級アミンまたは四級アンモニウム塩基は
カチオン強度が強く、良好な染色性を与える反面、親水
性が強く、水の存在下ではカチオン基同志の反発により
著しく膨潤する。この現象は四級アンモニウム塩基の場
合、特に顕著となる。
カチオン強度が強く、良好な染色性を与える反面、親水
性が強く、水の存在下ではカチオン基同志の反発により
著しく膨潤する。この現象は四級アンモニウム塩基の場
合、特に顕著となる。
第２に染色工程で多量の染料がポリマー中に浸入する
ため、ポリマー膜は著しく膨張する。
ため、ポリマー膜は著しく膨張する。
これらの理由により、感光性樹脂に十分な染色性をも
たせようとすると染色時に膜にシワが入ったり、膜の表
面が荒れてフィルタの特性を損なうというトラブルが発
生するという問題があった。
たせようとすると染色時に膜にシワが入ったり、膜の表
面が荒れてフィルタの特性を損なうというトラブルが発
生するという問題があった。
このようなトラブルを抑えるためには、染色時の膜の
膨潤をおさえるために膜の架橋密度を十分高めておく必
要がある。ところが光架橋剤であるビスアジド化合物
は、光反応によって可視光域に吸収を有する反応物を生
成するため、カラーフィルタのように可視光域の吸収を
利用する用途においては、その添加量はおのずから制限
されてしまう。
膨潤をおさえるために膜の架橋密度を十分高めておく必
要がある。ところが光架橋剤であるビスアジド化合物
は、光反応によって可視光域に吸収を有する反応物を生
成するため、カラーフィルタのように可視光域の吸収を
利用する用途においては、その添加量はおのずから制限
されてしまう。
膜の架橋密度を高めるもうひとつの方法として、現像
後のベーク処理でポリマーを熱架橋させるという考え方
があるが、従来のポリマーでは熱架橋性が十分でなく、
またある程度の効果が得られる場合でも高いベーク温度
を必要とし、そのため染料を退色させてしまうという問
題を生じた。
後のベーク処理でポリマーを熱架橋させるという考え方
があるが、従来のポリマーでは熱架橋性が十分でなく、
またある程度の効果が得られる場合でも高いベーク温度
を必要とし、そのため染料を退色させてしまうという問
題を生じた。
本発明においてはアジド化合物との光反応性に優れた
環状エーテル基を有する単量体と、良好な染色性を与え
る三級アミンまたは四級アンモニウム塩の構造を有する
単量体の少なくとも一方と、加熱によって架橋反応を行
なうＮ−アルコキシメチル基を有する単量体とを主成分
として有する共重合体に、光架橋剤としてビスアジド化
合物を添加することによって上記目的を達成した。
環状エーテル基を有する単量体と、良好な染色性を与え
る三級アミンまたは四級アンモニウム塩の構造を有する
単量体の少なくとも一方と、加熱によって架橋反応を行
なうＮ−アルコキシメチル基を有する単量体とを主成分
として有する共重合体に、光架橋剤としてビスアジド化
合物を添加することによって上記目的を達成した。
本発明者らは、アジド化合物による光硬化反応を種々
のポリマーについて検討した結果、一般式（Ａ）で表さ
れる、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートを
共重合させたポリマーが極めて良好な感度を与えること
を見出した。
のポリマーについて検討した結果、一般式（Ａ）で表さ
れる、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレートを
共重合させたポリマーが極めて良好な感度を与えること
を見出した。
（式中ＲはＨまたはCH3を表す） したがって、本発明の特徴のひとつはカチオン基を有
するポリマーの光架橋に関与する成分として一般式
（Ａ）で表される単量体を10〜60重量％導入したことで
ある。10重量％未満では十分な感度が得られず、また60
重量％を超すと相対的に他の成分が減少して染色性や熱
架橋性が損なわれる。
するポリマーの光架橋に関与する成分として一般式
（Ａ）で表される単量体を10〜60重量％導入したことで
ある。10重量％未満では十分な感度が得られず、また60
重量％を超すと相対的に他の成分が減少して染色性や熱
架橋性が損なわれる。
良好な染色性を与えるカチオン性の単量体としては一
般式（Ｂ）で表されるジメチルアミノプロピル（メタ）
アクリルアミド、または一般式（Ｂ）で表される化合物
を四級化して得られる一般式（Ｃ）で表される単量体を
用いた。
般式（Ｂ）で表されるジメチルアミノプロピル（メタ）
アクリルアミド、または一般式（Ｂ）で表される化合物
を四級化して得られる一般式（Ｃ）で表される単量体を
用いた。
（式中ＲはＨまたはCH3、Ｘは酸基を表す） 四級化剤としてはメチルクロライド、ジメチル硫酸、
ベンゼンスルホン酸メチル、Ｐ−トルエンスルホン酸メ
チル等が挙げられる。
ベンゼンスルホン酸メチル、Ｐ−トルエンスルホン酸メ
チル等が挙げられる。
ただしメチルクロライドのようなアルキルクロライド
は四級化剤としては一般的であるが、ポリマーが塩化物
イオンを有することになるので、本発明の感光性樹脂を
固体撮像素子のような金属配線を有する基材に用いる場
合は避けた方が無難である。
は四級化剤としては一般的であるが、ポリマーが塩化物
イオンを有することになるので、本発明の感光性樹脂を
固体撮像素子のような金属配線を有する基材に用いる場
合は避けた方が無難である。
一般式（Ｂ）で表される化合物と一般式（Ｃ）で表さ
れる化合物は、共に良好な染色性を与えるが、カラーフ
ィルタに良く使用されるフタロシアニン系の染料の染色
性は一般式（Ｃ）で表される化合物を使用した方が良好
だった。これは四級アンモニウム塩基の方が染色液によ
って膨潤しやすく、フタロシアニンのような崇高い分子
が拡散しやすいためと思われる。
れる化合物は、共に良好な染色性を与えるが、カラーフ
ィルタに良く使用されるフタロシアニン系の染料の染色
性は一般式（Ｃ）で表される化合物を使用した方が良好
だった。これは四級アンモニウム塩基の方が染色液によ
って膨潤しやすく、フタロシアニンのような崇高い分子
が拡散しやすいためと思われる。
しかし、おそらく同様な理由で染色時に膜アレを生じ
させないために必要なベーク温度は、一般式（Ｂ）で表
される三級アミンの方がより低くすることが可能だっ
た。
させないために必要なベーク温度は、一般式（Ｂ）で表
される三級アミンの方がより低くすることが可能だっ
た。
一方、感光性樹脂の用途によっては、重合したポリマ
ーを精製することが好ましく、通常、重合後のポリマー
溶液を多量の析出溶媒に投入してポリマーを析出させ、
しかる後に析出したポリマーを再溶解して用いる。
ーを精製することが好ましく、通常、重合後のポリマー
溶液を多量の析出溶媒に投入してポリマーを析出させ、
しかる後に析出したポリマーを再溶解して用いる。
このような場合、一般式（Ｃ）の四級アンモニウム塩
を用いた場合には容易に析出が可能だが、一般式（Ｂ）
の三級アミンを用いた場合は、ポリマーがほとんどの有
機溶剤に溶解もしくは膨潤するために。精製を行うこと
は不可能である。
を用いた場合には容易に析出が可能だが、一般式（Ｂ）
の三級アミンを用いた場合は、ポリマーがほとんどの有
機溶剤に溶解もしくは膨潤するために。精製を行うこと
は不可能である。
三級アミンと四級アンモニウム塩の選択にあたって
は、以上述べたような特徴を考慮すれば良いが、一般式
（Ｂ）で表される三級アンモニウムの構造を有する単量
体と一般式（Ｃ）で表される四級アンモニウム塩の構造
を有する単量体の両方を共重合体に導入することによ
り、それぞれの長所を活かした感光性樹脂を得ることも
可能である。
は、以上述べたような特徴を考慮すれば良いが、一般式
（Ｂ）で表される三級アンモニウムの構造を有する単量
体と一般式（Ｃ）で表される四級アンモニウム塩の構造
を有する単量体の両方を共重合体に導入することによ
り、それぞれの長所を活かした感光性樹脂を得ることも
可能である。
一般式（Ｂ）または一般式（Ｃ）で表される単量体は
共重合体に合わせて10〜50重量％の範囲で導入される。
10重量％未満では十分な染色性が得られず、また50重量
％を超えると染色性は上がるが、染色時の膜アレが抑え
きれなくなる。
共重合体に合わせて10〜50重量％の範囲で導入される。
10重量％未満では十分な染色性が得られず、また50重量
％を超えると染色性は上がるが、染色時の膜アレが抑え
きれなくなる。
本発明におけるもうひとつの特徴は、カチオン基を有
するポリマーの共重合成分として一般式（Ｄ）で表され
るＮ−アルコキシメチル基を有する単量体を導入したこ
とである。
するポリマーの共重合成分として一般式（Ｄ）で表され
るＮ−アルコキシメチル基を有する単量体を導入したこ
とである。
（式中ＲはＨまたはCH3、ｎは１〜４の整数を表す。） Ｎ−アルコキシメチル基は比較的低温で熱架橋するた
め、現像後のベーク処理によってポリマー膜の架橋密度
が上がり、染色時の膜アレを抑えることが可能となる。
またベーク温度が低いために加熱時に染料が退色すると
いう問題も生じない。
め、現像後のベーク処理によってポリマー膜の架橋密度
が上がり、染色時の膜アレを抑えることが可能となる。
またベーク温度が低いために加熱時に染料が退色すると
いう問題も生じない。
式（Ｄ）においてｎは１から４の範囲のものが好まし
く用いられる。例えばｎ＝０のＮ−メチロール（メタ）
アクリルアミドでも同様な効果が期待できるが、Ｎ−メ
チロール基の反応性が高すぎるためにポリマーの重合や
感光性樹脂のパターニングが不安定になって実用的でな
い。またｎが５以上になるとポリマー中における他の単
量体との相溶性が悪くなり、また疎水性が強くなるため
に染色性が阻害される。
く用いられる。例えばｎ＝０のＮ−メチロール（メタ）
アクリルアミドでも同様な効果が期待できるが、Ｎ−メ
チロール基の反応性が高すぎるためにポリマーの重合や
感光性樹脂のパターニングが不安定になって実用的でな
い。またｎが５以上になるとポリマー中における他の単
量体との相溶性が悪くなり、また疎水性が強くなるため
に染色性が阻害される。
一般式（Ｄ）で表される単量体は共重合体に10重量％
から50重量％の範囲で導入される。10重量％未満では熱
架橋の効果が不十分であり、50重量％を超えると相対的
に他の成分の割合が減って感度や染色性が損なわれる。
から50重量％の範囲で導入される。10重量％未満では熱
架橋の効果が不十分であり、50重量％を超えると相対的
に他の成分の割合が減って感度や染色性が損なわれる。
本発明の共重合体には一般式（Ａ）〜（Ｄ）で表され
る単量体の他に、上記導入量を満たす範囲で他の単量体
を導入してもかまわない。
る単量体の他に、上記導入量を満たす範囲で他の単量体
を導入してもかまわない。
本発明の共重合体を感光化させるためにはビスアジド
化合物が用いられるが、特に有用なビスアジド化合物と
して、4,4′ジアジドスチルベンを基体とする化合物が
挙げられる。
化合物が用いられるが、特に有用なビスアジド化合物と
して、4,4′ジアジドスチルベンを基体とする化合物が
挙げられる。
4,4′ジアジドスチルベンを基体とする化合物は遠紫
外域から紫外域に到る広い波長範囲で高い感度を有し、
しかも他のアジド化合物に比べ露光後の膜の可視光域の
着色が少ない。
外域から紫外域に到る広い波長範囲で高い感度を有し、
しかも他のアジド化合物に比べ露光後の膜の可視光域の
着色が少ない。
本発明の共重合体と共に使用するには4,4′ジアジド
スチルベン自体は共重合体との相溶性や共重合体の溶媒
への溶解性の点で問題があり、適当な極性基を導入した
誘導体を用いることが好ましい。
スチルベン自体は共重合体との相溶性や共重合体の溶媒
への溶解性の点で問題があり、適当な極性基を導入した
誘導体を用いることが好ましい。
導入する極性基としてはスルホン酸やその塩が一般的
であり、スルホン酸エステルやスルホン酸アミドも有用
である。
であり、スルホン酸エステルやスルホン酸アミドも有用
である。
〔実施例１〕 テトラヒドロフルフリルメタクリレート20g、ジメチ
ルアミノプロピルメタクリルアミドのメチルクロライド
塩30g、Ｎ−メトキシメチルアクリルアミド30g、メチル
メタクリレート20gをメチルセロソルブ400gを溶媒と
し、アゾビスイソブチロニトリル0.5gを開始剤として窒
素気流下、70℃で３時間撹拌して共重合体溶液を得た。
ルアミノプロピルメタクリルアミドのメチルクロライド
塩30g、Ｎ−メトキシメチルアクリルアミド30g、メチル
メタクリレート20gをメチルセロソルブ400gを溶媒と
し、アゾビスイソブチロニトリル0.5gを開始剤として窒
素気流下、70℃で３時間撹拌して共重合体溶液を得た。
次に、この共重合体溶液を多量の酢酸エチル中に投入
してポリマーを析出させ、析出したポリマーを減圧乾燥
した後、メチルセロソルブに再溶解させて、８重量％の
共重合体溶液とした。
してポリマーを析出させ、析出したポリマーを減圧乾燥
した後、メチルセロソルブに再溶解させて、８重量％の
共重合体溶液とした。
次に、この共重合体溶液に4,4′ジアジドスチルベン
2,2′ジスルホン酸ナトリウムをポリマーの５重量％
を添加して感光液とした。
2,2′ジスルホン酸ナトリウムをポリマーの５重量％
を添加して感光液とした。
厚さ0.5mmのガラス基板に該感光液を3000rpmでスピン
コートし、ホットプレートで100℃５分間プリベークし
たのち、超高圧水銀灯20mJ/cm2のパターン露光を行い、
エタノールで現像すると未露光部が洗い流されて感光性
樹脂のレリーフパターンが得られた。次いでこのガラス
基板をホットプレートで180℃、５分間ポストベークし
た。
コートし、ホットプレートで100℃５分間プリベークし
たのち、超高圧水銀灯20mJ/cm2のパターン露光を行い、
エタノールで現像すると未露光部が洗い流されて感光性
樹脂のレリーフパターンが得られた。次いでこのガラス
基板をホットプレートで180℃、５分間ポストベークし
た。
一方、下記組成でシアン、マゼンタ、イエローの染色
液を用意した。
液を用意した。
前記ポストベーク後のガラス基板をシアン染色液に60
℃で５分間ディップしたのち水洗するとシワや膜アレの
ない鮮やかなシアン着色パターンを得ることができた。
℃で５分間ディップしたのち水洗するとシワや膜アレの
ない鮮やかなシアン着色パターンを得ることができた。
マゼンタ、イエローの染色液を用いた場合も同様にシ
ワや膜アレのない着色パターンが得られた。
ワや膜アレのない着色パターンが得られた。
〔実施例２〕 単量体の仕込み量をテトラヒドロフルフリルメタクリ
レート30g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
のＰ−トルエンスルホン酸メチルの４級塩40g、Ｎ−メ
トキシメチルアクリルアミド30gとした他は実施例１と
同様な条件で重合・析出・再溶解を行い、８重量％の共
重合体溶液を得た。この共重合体溶液に2,2′ビス（Ｎ
−ヒドロキシプロピルスルファモイル）4,4′ジアジド
スチルベンをポリマーの８重量％分を添加して感光液と
した。
レート30g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミド
のＰ−トルエンスルホン酸メチルの４級塩40g、Ｎ−メ
トキシメチルアクリルアミド30gとした他は実施例１と
同様な条件で重合・析出・再溶解を行い、８重量％の共
重合体溶液を得た。この共重合体溶液に2,2′ビス（Ｎ
−ヒドロキシプロピルスルファモイル）4,4′ジアジド
スチルベンをポリマーの８重量％分を添加して感光液と
した。
以下、実施例１と同様な条件で塗布、プリベーク、露
光、現像、ポストベーク、染色を行ない、膜アレやシワ
のないシアン、マゼンタ、イエローの着色パターンを得
ることができた。
光、現像、ポストベーク、染色を行ない、膜アレやシワ
のないシアン、マゼンタ、イエローの着色パターンを得
ることができた。
〔実施例３〕 単量体の仕込み量を、テトラヒドロフルフリルメタク
リレート40g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドのジメチル硫酸塩30g、Ｎ−ブトキシメチルアクリル
アミド30gとした他は実施例２と同様な条件で膜アレや
シワのないシアン、マゼンタ、イエローの着色パターン
を得ることができた。
リレート40g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ドのジメチル硫酸塩30g、Ｎ−ブトキシメチルアクリル
アミド30gとした他は実施例２と同様な条件で膜アレや
シワのないシアン、マゼンタ、イエローの着色パターン
を得ることができた。
〔実施例４〕 単量体の仕込み量を、テトラヒドロフルフリルメタク
リレート20g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ド10g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドのｐ
−トルエンスルホン酸メチルの四級塩25g、Ｎ−メトキ
シメチルアクリルアミド45gとした他は実施例２と同様
な条件で、膜アレやシワのない着色パターンが得られ
た。
リレート20g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ド10g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドのｐ
−トルエンスルホン酸メチルの四級塩25g、Ｎ−メトキ
シメチルアクリルアミド45gとした他は実施例２と同様
な条件で、膜アレやシワのない着色パターンが得られ
た。
〔実施例５〕 単量体の仕込み量を、テトラヒドロフルフリルメタク
リレート40g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ド25g、Ｎ−メトキシメチルアクリルアミド35gとした他
は実施例１と同様な条件で重合を行い、得られた共重合
体溶液液を８重量％となるようにメチルセロソルブで希
釈した。以下実施例２と同様に感光化してポストベーク
条件を170℃、５分とした他は実施例２と同様の処理を
行い、膜アレやシワのないシアン、マゼンタ、イエロー
の着色パターンが得られた。
リレート40g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミ
ド25g、Ｎ−メトキシメチルアクリルアミド35gとした他
は実施例１と同様な条件で重合を行い、得られた共重合
体溶液液を８重量％となるようにメチルセロソルブで希
釈した。以下実施例２と同様に感光化してポストベーク
条件を170℃、５分とした他は実施例２と同様の処理を
行い、膜アレやシワのないシアン、マゼンタ、イエロー
の着色パターンが得られた。
〔比較例１〕 単量体の仕込み組成をビニルピロリドン50g、ジメチ
ルアミノプロピルメタクリルアミドのメチルクロライド
塩30g、メタクリル酸メチル20gとし、露光量を30mJ/cm2
とした他は実施例１と同様な条件で処理したところ、シ
アン、マゼンタ、イエローとも著しい膜アレを生じた。
ルアミノプロピルメタクリルアミドのメチルクロライド
塩30g、メタクリル酸メチル20gとし、露光量を30mJ/cm2
とした他は実施例１と同様な条件で処理したところ、シ
アン、マゼンタ、イエローとも著しい膜アレを生じた。
この膜アレはポストベーク条件を200℃５分に変更し
ても解消しなかった。
ても解消しなかった。
〔比較例２〕 単量体の仕込み量をヒドロキシエチルメタクリレート
30g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドのメチ
ルクロライド塩30g、N,N′ジメチルアクリルアミド20
g、メチルメタクリレート20gとした他は実施例１と同様
な条件で処理したところ、シアンとイエローパターンが
膜アレを生じ、マゼンタパターンはシワを生じた。ポス
トベーク条件を200℃５分まで上げるとシアンとイエロ
ーの膜アレは消えたが、マゼンタのシワは消えなかっ
た。
30g、ジメチルアミノプロピルメタクリルアミドのメチ
ルクロライド塩30g、N,N′ジメチルアクリルアミド20
g、メチルメタクリレート20gとした他は実施例１と同様
な条件で処理したところ、シアンとイエローパターンが
膜アレを生じ、マゼンタパターンはシワを生じた。ポス
トベーク条件を200℃５分まで上げるとシアンとイエロ
ーの膜アレは消えたが、マゼンタのシワは消えなかっ
た。
本発明の感光性樹脂組成物は組成中に光架橋剤である
ビスアジド化合物との反応性に優れた単量体を導入した
ことにより高感度であり、また組成中に熱架橋性の良好
な単量体を導入したことにより膜アレのない着色パター
ンが形成できた。
ビスアジド化合物との反応性に優れた単量体を導入した
ことにより高感度であり、また組成中に熱架橋性の良好
な単量体を導入したことにより膜アレのない着色パター
ンが形成できた。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−200353（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−125934（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−186956（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−137834（ＪＰ，Ａ) 特開 昭53−122420（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−117985（ＪＰ，Ａ)
Claims (3)
- 【請求項１】一般式（Ａ）で表される環状エーテル基を
有する単量体と、一般式（Ｂ）または（Ｃ）で表される
三級アミンまたは四級アンモニウム塩の構造を有する単
量体の少なくとも一方と、一般式（Ｄ）で表されるＮ−
アルコキシメチル基を有する単量体を主成分とする共重
合体にビスアジド化合物を添加してなることを特徴とす
る感光性樹脂組成物。 （式中、ＲはＨまたはCH3、Ｘは酸基、ｎは１〜４の整
数を表す。） - 【請求項２】共重合体における一般式（Ａ）の成分が10
〜60重量％、一般式（Ｂ）または一般式（Ｃ）の成分が
10〜50重量％、一般式（Ｄ）の成分が10〜50重量％であ
る請求項（１）に記載の感光性樹脂組成物。 - 【請求項３】ビスアジド化合物が4,4′ジアジドスチル
ベンを基体とする化合物であることを特徴とする請求項
（１）に記載の感光性樹脂組成物。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2055936A JP2546403B2 (ja) | 1989-09-14 | 1990-03-07 | 感光性樹脂組成物 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23910789 | 1989-09-14 | ||
| JP1-239107 | 1989-09-14 | ||
| JP2055936A JP2546403B2 (ja) | 1989-09-14 | 1990-03-07 | 感光性樹脂組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03200967A JPH03200967A (ja) | 1991-09-02 |
| JP2546403B2 true JP2546403B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=26396828
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2055936A Expired - Fee Related JP2546403B2 (ja) | 1989-09-14 | 1990-03-07 | 感光性樹脂組成物 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2546403B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4126793B2 (ja) * | 1998-10-09 | 2008-07-30 | チッソ株式会社 | カラーフィルター用樹脂組成物 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52117985A (en) * | 1976-03-30 | 1977-10-03 | Hitachi Chem Co Ltd | Photosensitive polymer composition |
| JPS53122420A (en) * | 1977-03-31 | 1978-10-25 | Hitachi Chemical Co Ltd | Sensitive resin conposite |
| JPS58137834A (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-16 | Kuraray Co Ltd | 感光性組成物 |
| JPH0612453B2 (ja) * | 1982-05-17 | 1994-02-16 | 積水フアインケミカル株式会社 | 光硬化性樹脂組成物 |
| DE3504658A1 (de) * | 1985-02-12 | 1986-08-14 | Hoechst Ag, 6230 Frankfurt | Lichtempfindliches gemisch und damit hergestelltes aufzeichnungsmaterial |
| JPH0727207B2 (ja) * | 1986-11-17 | 1995-03-29 | 凸版印刷株式会社 | 感光性樹脂組成物 |
| JPH01200353A (ja) * | 1988-02-05 | 1989-08-11 | Japan Synthetic Rubber Co Ltd | 感放射線性着色樹脂組成物 |
-
1990
- 1990-03-07 JP JP2055936A patent/JP2546403B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH03200967A (ja) | 1991-09-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3835823B2 (ja) | フォトレジスト組成物のための反射防止膜 | |
| KR900002189B1 (ko) | 감광성 수지 조성물 및 칼라 필터의 제조방법 | |
| US4614701A (en) | Photocurable diazo or azide composition with acrylic copolymer having hydroxy and amino groups on separate acrylic monomer units | |
| JP2546403B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JPH0462659B2 (ja) | ||
| US3737319A (en) | Photographic elements comprising photo-sensitive polymers | |
| JP2643307B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JPH04204656A (ja) | ネガ型感光性組成物及びそれを用いたカラーフィルターの作成方法 | |
| KR20010088330A (ko) | 감광성 화합물 및 감광성 수지 | |
| EP0206412B1 (en) | Photo-setting resin composition | |
| JPH0820729B2 (ja) | 染色可能な感光性組成物 | |
| US6433118B1 (en) | Copolymer, a manufacturing process therefor and a solution containing thereof | |
| JPH03100602A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| JP3032056B2 (ja) | 感光性樹脂組成物およびこれを用いたカラ−フィルタ−の製造方法 | |
| JP3940243B2 (ja) | 共重合体、その製造方法、及びこれを含有する溶液 | |
| JPS61290444A (ja) | 光硬化性樹脂組成物 | |
| US4614703A (en) | Negative photoresists of α-chlorovinyl methyl ketone copolymers | |
| JPH0727207B2 (ja) | 感光性樹脂組成物 | |
| JPS6185421A (ja) | 感光性樹脂の製造方法 | |
| JP2800940B2 (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| DE69032325T2 (de) | Auf einem photoempfindlichen Harz basierendes lichtempfindliches bilderzeugendes Element | |
| GB2253208A (en) | Cyclohexenyl compounds and photocurable resin compositions prepared therefrom | |
| JPS62190207A (ja) | 光硬化性樹脂組成物 | |
| JPH03257402A (ja) | カラーフィルタの製造方法 | |
| CN115963691A (zh) | 一种ArF浸没式光刻胶用添加剂及含其的光刻胶 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20070808 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080808 Year of fee payment: 12 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |