JPH08203053A - 記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置 - Google Patents
記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置Info
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- JPH08203053A JPH08203053A JP7009254A JP925495A JPH08203053A JP H08203053 A JPH08203053 A JP H08203053A JP 7009254 A JP7009254 A JP 7009254A JP 925495 A JP925495 A JP 925495A JP H08203053 A JPH08203053 A JP H08203053A
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- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/58—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with provision for moving the head for the purpose of maintaining alignment of the head relative to the record carrier during transducing operation, e.g. to compensate for surface irregularities of the latter or for track following
- G11B5/60—Fluid-dynamic spacing of heads from record-carriers
- G11B5/6005—Specially adapted for spacing from a rotating disc using a fluid cushion
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- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B21/00—Head arrangements not specific to the method of recording or reproducing
- G11B21/16—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads
- G11B21/20—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier
- G11B21/21—Supporting the heads; Supporting the sockets for plug-in heads while the head is in operative position but stationary or permitting minor movements to follow irregularities in surface of record carrier with provision for maintaining desired spacing of head from record carrier, e.g. fluid-dynamic spacing, slider
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- G11B5/55—Track change, selection or acquisition by displacement of the head
- G11B5/5521—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks
- G11B5/5582—Track change, selection or acquisition by displacement of the head across disk tracks system adaptation for working during or after external perturbation, e.g. in the presence of a mechanical oscillation caused by a shock
Landscapes
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
- Supporting Of Heads In Record-Carrier Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触力を制御可
能とし、両者の接触状態を安定に保つことが可能な記録
再生ヘッドスライダを提供する。 【構成】磁気ディスクと対向し磁気ディスクの回転によ
る流体軸受作用を受けて浮上する磁気ヘッドスライダ1
は、Ｕ字状の主スライダ2 と、主スライダ2 の空間部分
中央に接続され磁気ディスクの面方向に曲げ変形が可能
な連結ビーム6 と、連結ビーム6 の空気流出端に配置さ
れ記録再生ヘッド4 および接触端5 が設けられた副スラ
イダ3 とを備えている。主スライダ2 の上部には補強プ
レート7 が取り付けられ、副スライダ3 との間にエアギ
ャップ8 が形成されている。このエアギャップ8 内に設
けられた電極9 の静電容量を測定することによりエアギ
ャップ8 の寸法を知ることができる。また、エアギャッ
プ8 の寸法に応じて電極に与える電圧を制御すれば、磁
気ヘッドスライダ1 と磁気ディスクとの接触力やギャッ
プの寸法を変化させることができる。
能とし、両者の接触状態を安定に保つことが可能な記録
再生ヘッドスライダを提供する。 【構成】磁気ディスクと対向し磁気ディスクの回転によ
る流体軸受作用を受けて浮上する磁気ヘッドスライダ1
は、Ｕ字状の主スライダ2 と、主スライダ2 の空間部分
中央に接続され磁気ディスクの面方向に曲げ変形が可能
な連結ビーム6 と、連結ビーム6 の空気流出端に配置さ
れ記録再生ヘッド4 および接触端5 が設けられた副スラ
イダ3 とを備えている。主スライダ2 の上部には補強プ
レート7 が取り付けられ、副スライダ3 との間にエアギ
ャップ8 が形成されている。このエアギャップ8 内に設
けられた電極9 の静電容量を測定することによりエアギ
ャップ8 の寸法を知ることができる。また、エアギャッ
プ8 の寸法に応じて電極に与える電圧を制御すれば、磁
気ヘッドスライダ1 と磁気ディスクとの接触力やギャッ
プの寸法を変化させることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクなどの情
報記録媒体上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド、
およびこれら情報記録媒体や記録再生ヘッドを搭載した
記録再生装置に関する。
報記録媒体上で情報の記録再生を行う記録再生ヘッド、
およびこれら情報記録媒体や記録再生ヘッドを搭載した
記録再生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、記録再生装置の分野においては、
記録密度の向上に関する技術開発が盛んに行われてい
る。例えば記録再生装置の一種である磁気ディスク装置
にあっては、記録密度の向上に伴い、情報記録媒体であ
る磁気ディスクと記録再生ヘッドである磁気ヘッドとの
スペーシング（浮上隙間）がより一層狭くなる傾向にあ
る。そして将来は、磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触
した状態で記録再生を行う可能性が高くなるものと考え
られる。磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触した状態で
の記録再生を考えた場合、その最大の技術課題は両者の
摩耗を低減することである。そのためには、磁気ディス
クと磁気ヘッドとの接触状態を低荷重かつ安定に保つこ
とが必要となる。
記録密度の向上に関する技術開発が盛んに行われてい
る。例えば記録再生装置の一種である磁気ディスク装置
にあっては、記録密度の向上に伴い、情報記録媒体であ
る磁気ディスクと記録再生ヘッドである磁気ヘッドとの
スペーシング（浮上隙間）がより一層狭くなる傾向にあ
る。そして将来は、磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触
した状態で記録再生を行う可能性が高くなるものと考え
られる。磁気ディスクと磁気ヘッドとが接触した状態で
の記録再生を考えた場合、その最大の技術課題は両者の
摩耗を低減することである。そのためには、磁気ディス
クと磁気ヘッドとの接触状態を低荷重かつ安定に保つこ
とが必要となる。
【０００３】磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触状態を
安定に保つ方法の一例として、例えば特開昭62-20125号
公報や特開平5-74090 号公報に開示されている方法が知
られている。以下、図21乃至図23を参照しながらこの方
法について説明する。
安定に保つ方法の一例として、例えば特開昭62-20125号
公報や特開平5-74090 号公報に開示されている方法が知
られている。以下、図21乃至図23を参照しながらこの方
法について説明する。
【０００４】図21において符号24は磁気ディスクであ
り、矢印Ｘの方向に回転駆動される。この磁気ディスク
24の回転により流体軸受作用により、磁気ディスク24上
に微小隙間を介して磁気ヘッドスライダ100 が浮上して
いる。磁気ヘッドスライダ100には図22の背面図に示す
ように、磁気ディスク24との対向面に２本の同一形状の
スライダ22a,22b を有している。なお図22では、流体軸
受作用により発生する流体軸受力はｆh で示されてい
る。
り、矢印Ｘの方向に回転駆動される。この磁気ディスク
24の回転により流体軸受作用により、磁気ディスク24上
に微小隙間を介して磁気ヘッドスライダ100 が浮上して
いる。磁気ヘッドスライダ100には図22の背面図に示す
ように、磁気ディスク24との対向面に２本の同一形状の
スライダ22a,22b を有している。なお図22では、流体軸
受作用により発生する流体軸受力はｆh で示されてい
る。
【０００５】スライダ22a の後端部すなわち空気流出端
には、磁気ディスク24に対する情報の記録再生のための
電気信号を磁気信号に変換する記録再生ヘッド20が配置
され、その下方には磁気ディスク24に磁束を供給する接
触端21が延出されている。記録再生時には接触端21と磁
気ディスク24とは接触可能であり、スライダ22a は接触
力ｆc を受ける。なお、スライダ22b の後端部にも同様
に接触力ｆc が作用しているため、２本のスライダ22a,
22b には全く同じ流体軸受力および接触力が作用し、磁
気ヘッドスライダ100 の左右のバランスが保たれてい
る。
には、磁気ディスク24に対する情報の記録再生のための
電気信号を磁気信号に変換する記録再生ヘッド20が配置
され、その下方には磁気ディスク24に磁束を供給する接
触端21が延出されている。記録再生時には接触端21と磁
気ディスク24とは接触可能であり、スライダ22a は接触
力ｆc を受ける。なお、スライダ22b の後端部にも同様
に接触力ｆc が作用しているため、２本のスライダ22a,
22b には全く同じ流体軸受力および接触力が作用し、磁
気ヘッドスライダ100 の左右のバランスが保たれてい
る。
【０００６】一方、スライダ22a,22b が受ける流体軸受
力ｆh および接触力ｆc と反対方向の力を発生させて磁
気ヘッドスライダ100 の前後のバランスを取るために、
磁気ヘッドスライダ100 の上部中心位置には、図示しな
いサスペンションから押付け力Ｆが加えられる。押付け
力Ｆはピボット23を介して与えられるが、このピボット
23は図21の方向から見て接触端21からｌp だけ離れた位
置に形成されている。
力ｆh および接触力ｆc と反対方向の力を発生させて磁
気ヘッドスライダ100 の前後のバランスを取るために、
磁気ヘッドスライダ100 の上部中心位置には、図示しな
いサスペンションから押付け力Ｆが加えられる。押付け
力Ｆはピボット23を介して与えられるが、このピボット
23は図21の方向から見て接触端21からｌp だけ離れた位
置に形成されている。
【０００７】ここで、流体軸受作用によって磁気ディス
ク24とスライダ22（22a,22b ）との間で発生する圧力は
符号25で示す分布圧力のようになっている。同図からも
わかるように、スライダ22の先端部側に大きな圧力のピ
ークが、また後端部側に小さなピークが、それぞれ発生
する。そして、この分布圧力25の圧力中心26（すなわち
単一の流体軸受力ｆh の位置）は接触端21からｌh だけ
離れた位置となる。
ク24とスライダ22（22a,22b ）との間で発生する圧力は
符号25で示す分布圧力のようになっている。同図からも
わかるように、スライダ22の先端部側に大きな圧力のピ
ークが、また後端部側に小さなピークが、それぞれ発生
する。そして、この分布圧力25の圧力中心26（すなわち
単一の流体軸受力ｆh の位置）は接触端21からｌh だけ
離れた位置となる。
【０００８】なお、図22からも明らかなとおり、磁気ヘ
ッドスライダ100 は左右対称の形状となっているため、
この分布圧力25は図21のように２次元的に表現すること
ができ、紙面方向に向かって一様となっている。
ッドスライダ100 は左右対称の形状となっているため、
この分布圧力25は図21のように２次元的に表現すること
ができ、紙面方向に向かって一様となっている。
【０００９】このように、磁気ヘッドスライダ100 の浮
上状態においては、流体軸受力ｆh，接触力ｆc ，押付
け力Ｆがバランスを保つことになる。そして、これら３
つの力およびモーメントの釣合条件は以下のとおりとな
る。
上状態においては、流体軸受力ｆh，接触力ｆc ，押付
け力Ｆがバランスを保つことになる。そして、これら３
つの力およびモーメントの釣合条件は以下のとおりとな
る。
【００１０】
【数１】 以上のような構成によれば、流体力Ｆの圧力中心26の位
置が変化しない限りにおいては、磁気ディスク24の振動
やうねりなどの外乱要因に対しても磁気ヘッドスライダ
100 が十分に追従することができる。そのため接触端21
と磁気ディスク24との位置関係が安定に保たれ、接触端
21から磁気ディスク24に対して供給される磁束の変動も
最小限に抑えられる。
置が変化しない限りにおいては、磁気ディスク24の振動
やうねりなどの外乱要因に対しても磁気ヘッドスライダ
100 が十分に追従することができる。そのため接触端21
と磁気ディスク24との位置関係が安定に保たれ、接触端
21から磁気ディスク24に対して供給される磁束の変動も
最小限に抑えられる。
【００１１】しかしながら、記録再生のために磁気ヘッ
ドスライダ100 が磁気ディスク24上をその半径方向に移
動すると、両者の相対速度の変化により圧力中心26の位
置ｌh も移動してしまう。そのため、磁気ヘッドスライ
ダ100 が磁気ディスク24半径方向のどの位置にあるかに
よって接触力ｆc が変動してしまい、結果として装置と
しての安定性に欠けるという欠点がある。
ドスライダ100 が磁気ディスク24上をその半径方向に移
動すると、両者の相対速度の変化により圧力中心26の位
置ｌh も移動してしまう。そのため、磁気ヘッドスライ
ダ100 が磁気ディスク24半径方向のどの位置にあるかに
よって接触力ｆc が変動してしまい、結果として装置と
しての安定性に欠けるという欠点がある。
【００１２】さらに、ピボット23の位置におけるサスペ
ンションの等価質量と磁気ヘッドスライダ100 の質量分
布とで決定される重心は、図23に示すように、ピボット
23の位置と磁気ヘッドスライダ100 単体の重心Ｇとの間
にくる。ここでは磁気ヘッドスライダ100 の重心Ｇと接
触端21との距離をｌg とする。磁気ディスク24の振動
や、装置に加わる衝撃などによる慣性力に起因する接触
力の変動を考慮した場合、外部からの振動に伴う慣性力
ｆg は重心位置Ｇに作用する。作用する慣性力ｆg は、
接触力の変動分Δｆc 及び流体力の変動分Δｆh の２つ
の力と釣合うことになるので、その作用位置の関係より
以下の式が成立する。
ンションの等価質量と磁気ヘッドスライダ100 の質量分
布とで決定される重心は、図23に示すように、ピボット
23の位置と磁気ヘッドスライダ100 単体の重心Ｇとの間
にくる。ここでは磁気ヘッドスライダ100 の重心Ｇと接
触端21との距離をｌg とする。磁気ディスク24の振動
や、装置に加わる衝撃などによる慣性力に起因する接触
力の変動を考慮した場合、外部からの振動に伴う慣性力
ｆg は重心位置Ｇに作用する。作用する慣性力ｆg は、
接触力の変動分Δｆc 及び流体力の変動分Δｆh の２つ
の力と釣合うことになるので、その作用位置の関係より
以下の式が成立する。
【００１３】
【数２】 前述の特開昭62-20125号公報および特開平5-74090 号公
報に開示されている技術においては、いずれの場合も
（ｌh −ｌg ）/ ｌh が0.2 以上となっており、これは
外部からの振動に伴う慣性力ｆg の20％以上が接触力の
変動分Δｆc として作用してしまうことを意味する。こ
のような変動Δｆc は、磁気ディスク24と磁気ヘッドス
ライダ100 との摩耗を防ぐために接触力を低く設定する
際に大きな妨げとなってしまう。
報に開示されている技術においては、いずれの場合も
（ｌh −ｌg ）/ ｌh が0.2 以上となっており、これは
外部からの振動に伴う慣性力ｆg の20％以上が接触力の
変動分Δｆc として作用してしまうことを意味する。こ
のような変動Δｆc は、磁気ディスク24と磁気ヘッドス
ライダ100 との摩耗を防ぐために接触力を低く設定する
際に大きな妨げとなってしまう。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】以上のように従来技術
にあっては、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上をそ
の半径方向に移動したり、あるいは磁気ディスクの振動
や装置に加わる衝撃などによる慣性力の変化があった場
合に、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触力が変動して
しまう。そしてそのために装置としての安定性に欠ける
という欠点があった。
にあっては、磁気ヘッドスライダが磁気ディスク上をそ
の半径方向に移動したり、あるいは磁気ディスクの振動
や装置に加わる衝撃などによる慣性力の変化があった場
合に、磁気ディスクと磁気ヘッドとの接触力が変動して
しまう。そしてそのために装置としての安定性に欠ける
という欠点があった。
【００１５】そこで、本発明ではこれらの問題点を解決
し、情報記録媒体（磁気ディスク）と記録再生ヘッド
（磁気ヘッド）との接触力を制御可能とし、両者の接触
状態を安定に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ
及びこれを用いた記録再生装置を提供することを目的と
する。
し、情報記録媒体（磁気ディスク）と記録再生ヘッド
（磁気ヘッド）との接触力を制御可能とし、両者の接触
状態を安定に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ
及びこれを用いた記録再生装置を提供することを目的と
する。
【００１６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明においては、回転する情報記録媒体から流体
軸受力を受けて浮上力を得る主スライダと、前記情報記
録媒体の面方向に変位可能となるように前記主スライダ
に弾性支持される副スライダと、前記副スライダに設け
られ前記情報記録媒体に対する情報の記録再生を行う記
録再生ヘッドと、前記主スライダに固定され、前記副ス
ライダの変位に応じて寸法が変化するギャップを形成し
てなるプレートと、前記ギャップ内に配置される電極と
を有する記録再生ヘッドスライダとした。
めに本発明においては、回転する情報記録媒体から流体
軸受力を受けて浮上力を得る主スライダと、前記情報記
録媒体の面方向に変位可能となるように前記主スライダ
に弾性支持される副スライダと、前記副スライダに設け
られ前記情報記録媒体に対する情報の記録再生を行う記
録再生ヘッドと、前記主スライダに固定され、前記副ス
ライダの変位に応じて寸法が変化するギャップを形成し
てなるプレートと、前記ギャップ内に配置される電極と
を有する記録再生ヘッドスライダとした。
【００１７】また、情報記録媒体と、前記情報記録媒体
の回転時に前記情報記録媒体から流体軸受力を受けて浮
上力を得る主スライダと、前記情報記録媒体の面方向に
変位可能となるように前記主スライダに弾性支持される
副スライダと、前記副スライダに設けられ前記情報記録
媒体に対する情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、
前記主スライダに固定され、前記副スライダの変位に応
じて寸法が変化するギャップを形成してなるプレート
と、前記ギャップ内に配置される電極とを有する記録再
生装置とした。
の回転時に前記情報記録媒体から流体軸受力を受けて浮
上力を得る主スライダと、前記情報記録媒体の面方向に
変位可能となるように前記主スライダに弾性支持される
副スライダと、前記副スライダに設けられ前記情報記録
媒体に対する情報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、
前記主スライダに固定され、前記副スライダの変位に応
じて寸法が変化するギャップを形成してなるプレート
と、前記ギャップ内に配置される電極とを有する記録再
生装置とした。
【００１８】なお、電極の静電容量は測定可能に構成さ
れている。また、電極に与える電圧を制御可能に構成さ
れており、これによって情報記録媒体に対する副スライ
ダの接触力や、ギャップの寸法を変化させることができ
るように構成されている。
れている。また、電極に与える電圧を制御可能に構成さ
れており、これによって情報記録媒体に対する副スライ
ダの接触力や、ギャップの寸法を変化させることができ
るように構成されている。
【００１９】
【作用】上記の如く構成した本発明によれば、副スライ
ダとプレートとの間に形成されたギャップの寸法を、そ
のギャップ内に配置された電極の静電容量を測定するこ
とにより知ることができる。また、検出されたギャップ
の寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録再生ヘ
ッドと情報記録媒体( 例えば磁気ディスク) との接触力
やギャップの寸法を変化させることができる。
ダとプレートとの間に形成されたギャップの寸法を、そ
のギャップ内に配置された電極の静電容量を測定するこ
とにより知ることができる。また、検出されたギャップ
の寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録再生ヘ
ッドと情報記録媒体( 例えば磁気ディスク) との接触力
やギャップの寸法を変化させることができる。
【００２０】したがって、ギャップの寸法に応じて電極
の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生
ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。
の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生
ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。
【００２１】
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を説明
する。なお、以下の実施例では記録再生ヘッドスライダ
として磁気ヘッドスライダを、また記録再生装置として
磁気ディスク装置を、それぞれ例にとって説明する。
する。なお、以下の実施例では記録再生ヘッドスライダ
として磁気ヘッドスライダを、また記録再生装置として
磁気ディスク装置を、それぞれ例にとって説明する。
【００２２】図１乃至図３は本発明の第１実施例を示す
記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜視図であ
る。まず、本発明が適用される磁気ディスク装置の概略
について図20を参照して説明する。
記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜視図であ
る。まず、本発明が適用される磁気ディスク装置の概略
について図20を参照して説明する。
【００２３】情報を記録再生するための磁気ディスク
（記録媒体）101 は硬質の円板からなり、スピンドルモ
ータ102 に装着されて一定速度で回転駆動される。磁気
ディスク101 に対して微小な隙間を介して浮上する磁気
ヘッドスライダ1 は、記録再生を行う磁気ヘッド（図示
せず）を搭載している。なお、磁気ヘッドスライダ1 は
金属薄板からなるサスペンション104 の先端に取り付け
られている。
（記録媒体）101 は硬質の円板からなり、スピンドルモ
ータ102 に装着されて一定速度で回転駆動される。磁気
ディスク101 に対して微小な隙間を介して浮上する磁気
ヘッドスライダ1 は、記録再生を行う磁気ヘッド（図示
せず）を搭載している。なお、磁気ヘッドスライダ1 は
金属薄板からなるサスペンション104 の先端に取り付け
られている。
【００２４】サスペンション104 は、金属もしくは樹脂
などで成形されたアーム105 の一端に接続されている。
アーム105 の他端にはコイルボビン（図示せず）が形成
されており、このコイルボビンには平面状に巻装された
駆動コイルが固定されている。そしてこの駆動コイルを
上下方向から挟み込むよう、永久磁石およびヨークから
なる磁気回路106 が配置され、駆動コイルとともにボイ
スコイルモータを構成している。磁気回路106 からの磁
束と駆動コイルへの通電によってローレンツ力が発生
し、回転軸107 を中心にアーム105 を回動駆動する。
などで成形されたアーム105 の一端に接続されている。
アーム105 の他端にはコイルボビン（図示せず）が形成
されており、このコイルボビンには平面状に巻装された
駆動コイルが固定されている。そしてこの駆動コイルを
上下方向から挟み込むよう、永久磁石およびヨークから
なる磁気回路106 が配置され、駆動コイルとともにボイ
スコイルモータを構成している。磁気回路106 からの磁
束と駆動コイルへの通電によってローレンツ力が発生
し、回転軸107 を中心にアーム105 を回動駆動する。
【００２５】そして、磁気ディスク101 上での磁気ヘッ
ドの位置決めは、磁気ディスク101に書き込まれたサー
ボ情報を磁気ヘッドにより読み出し、この情報をボイス
コイルモータにフィードバックする位置決めサーボ系に
より行われる。位置決めサーボ系によって駆動コイルへ
の供給電流を調節し、磁気ヘッドの位置を制御すること
により情報の記録再生を行う。
ドの位置決めは、磁気ディスク101に書き込まれたサー
ボ情報を磁気ヘッドにより読み出し、この情報をボイス
コイルモータにフィードバックする位置決めサーボ系に
より行われる。位置決めサーボ系によって駆動コイルへ
の供給電流を調節し、磁気ヘッドの位置を制御すること
により情報の記録再生を行う。
【００２６】これらの各構成部品は、位置決めサーボ制
御に必要な半導体素子などの電気部品とともに筺体108
内に収納されている。また上部からは金属薄板からなる
カバー109 により覆われて、装置全体は気密に密閉され
た構造となっている。
御に必要な半導体素子などの電気部品とともに筺体108
内に収納されている。また上部からは金属薄板からなる
カバー109 により覆われて、装置全体は気密に密閉され
た構造となっている。
【００２７】このように構成された磁気ディスク装置
は、筺体108 の外部に突出した端子群110 を介してコン
ピュータ本体と電気的に接続することが可能となってい
る。そして本実施例においては、上記磁気ヘッドスライ
ダ1 は図１乃至図３に示すように構成されている。
は、筺体108 の外部に突出した端子群110 を介してコン
ピュータ本体と電気的に接続することが可能となってい
る。そして本実施例においては、上記磁気ヘッドスライ
ダ1 は図１乃至図３に示すように構成されている。
【００２８】ここで磁気ヘッドスライダ1 は、テーパフ
ラット型の２本のそり状の棒により略Ｕ字型をなした主
スライダ2 と、この主スライダ2 の空間部分中央に配置
され空気流出端に延びる、主スライダ2 と比較し十分に
薄く可撓性を有する連結ビーム6 と、この連結ビーム6
の端部に位置する副スライダ3 とで構成されている。
ラット型の２本のそり状の棒により略Ｕ字型をなした主
スライダ2 と、この主スライダ2 の空間部分中央に配置
され空気流出端に延びる、主スライダ2 と比較し十分に
薄く可撓性を有する連結ビーム6 と、この連結ビーム6
の端部に位置する副スライダ3 とで構成されている。
【００２９】主スライダ2 は左右に合計２本のスライダ
2a,2b を備えており、それぞれのスライダ2a,2b の面積
は等しく形成されている。連結ビーム6 は縦方向（磁気
ディスク101 の厚み方向，面方向）に対してはねじりモ
ーメントによる曲げ変形を発生しやすく、その一方で横
方向（磁気ディスク101 の径方向）に対しては曲げ変形
を発生しにくくするため、横方向の長さを上下方向の長
さに対して十分に大きく設定してある。
2a,2b を備えており、それぞれのスライダ2a,2b の面積
は等しく形成されている。連結ビーム6 は縦方向（磁気
ディスク101 の厚み方向，面方向）に対してはねじりモ
ーメントによる曲げ変形を発生しやすく、その一方で横
方向（磁気ディスク101 の径方向）に対しては曲げ変形
を発生しにくくするため、横方向の長さを上下方向の長
さに対して十分に大きく設定してある。
【００３０】副スライダ3 は図１乃至図３に示されるよ
うに、断面略Ｔ字型をなしており、その重心は連結ビー
ム6 の延長線上にくるように構成されている。副スライ
ダ3のスライダ面後端部付近には記録再生ヘッド4 およ
び接触端5 が配置されている。また副スライダ3 は主ス
ライダ2 と比較して長さおよび幅がそれぞれ半分以下に
設定されており、したがって副スライダ3 の面積は主ス
ライダ2 の面積と比較して1/4 以下の面積に形成されて
いる。また、連結ビーム6 の延長線上に副スライダ3 の
重心がくるように構成されている。
うに、断面略Ｔ字型をなしており、その重心は連結ビー
ム6 の延長線上にくるように構成されている。副スライ
ダ3のスライダ面後端部付近には記録再生ヘッド4 およ
び接触端5 が配置されている。また副スライダ3 は主ス
ライダ2 と比較して長さおよび幅がそれぞれ半分以下に
設定されており、したがって副スライダ3 の面積は主ス
ライダ2 の面積と比較して1/4 以下の面積に形成されて
いる。また、連結ビーム6 の延長線上に副スライダ3 の
重心がくるように構成されている。
【００３１】なお、主スライダ2 ，副スライダ3 ，連結
ビーム6 はシリコンウエハーを異方性エッチングする方
法などにより一体的に製作されている。また、記録再生
ヘッド4 は副スライダ3 に対して蒸着やエッチングなど
の方法により形成されている。
ビーム6 はシリコンウエハーを異方性エッチングする方
法などにより一体的に製作されている。また、記録再生
ヘッド4 は副スライダ3 に対して蒸着やエッチングなど
の方法により形成されている。
【００３２】さらに、このような磁気ヘッドスライダ1
の上部に対しては、図２および図３に示されるように、
拡散接合などの手段により補強プレート7 が取り付けら
れている。補強プレート7 は例えばガラスなどの材料で
構成され、主スライダ2 を構成する第１の主スライダ2a
と第２の主スライダ2bとが常に同一平面を形成するよう
に（互いにねじれることのないように）用いられてお
り、その形状は磁気ヘッドスライダ1 の上面をちょうど
覆うような矩形状の平板である。
の上部に対しては、図２および図３に示されるように、
拡散接合などの手段により補強プレート7 が取り付けら
れている。補強プレート7 は例えばガラスなどの材料で
構成され、主スライダ2 を構成する第１の主スライダ2a
と第２の主スライダ2bとが常に同一平面を形成するよう
に（互いにねじれることのないように）用いられてお
り、その形状は磁気ヘッドスライダ1 の上面をちょうど
覆うような矩形状の平板である。
【００３３】また、図２に示すように、補強プレート7
と副スライダ3 の間には、磁気ディスク101 と平行なエ
アギャップ8 が形成される。このエアギャップ8 内に位
置するように、補強プレート7 のエアギャップ8 側に電
極9 が設けられている。
と副スライダ3 の間には、磁気ディスク101 と平行なエ
アギャップ8 が形成される。このエアギャップ8 内に位
置するように、補強プレート7 のエアギャップ8 側に電
極9 が設けられている。
【００３４】また、磁気ヘッドスライダ1 の上面部に
は、主スライダ2 の空気流入端から連結ビーム6 ，副ス
ライダ3 を経て記録再生ヘッド4 に至るまで、アルミ蒸
着またはエッチングなどの方法によって配線パターン
（図示せず）が形成されている。
は、主スライダ2 の空気流入端から連結ビーム6 ，副ス
ライダ3 を経て記録再生ヘッド4 に至るまで、アルミ蒸
着またはエッチングなどの方法によって配線パターン
（図示せず）が形成されている。
【００３５】一方、これに対向するサスペンション104
側には図示しない配線パターンが対応して形成されてお
り、両者はちょうど主スライダ2 の空気流入端の部分に
接点を有し、この接点の部分で半田や金によって接合が
図られている。なお、配線パターンはサスペンション10
4 の根元を通じて装置本体へ導かれている。図４には、
磁気ヘッドスライダ1 とサスペンション104 との取り付
け方法を示す。磁気ヘッドスライダ1 はサスペンション
104 の先端部に接着などの手段により固定されている。
なお、両者の間には上述の補強プレート7 が介在してい
る。
側には図示しない配線パターンが対応して形成されてお
り、両者はちょうど主スライダ2 の空気流入端の部分に
接点を有し、この接点の部分で半田や金によって接合が
図られている。なお、配線パターンはサスペンション10
4 の根元を通じて装置本体へ導かれている。図４には、
磁気ヘッドスライダ1 とサスペンション104 との取り付
け方法を示す。磁気ヘッドスライダ1 はサスペンション
104 の先端部に接着などの手段により固定されている。
なお、両者の間には上述の補強プレート7 が介在してい
る。
【００３６】また、サスペンション104 には同図に示す
ような細いスリット10が設けられている。このスリット
10は、磁気ヘッドスライダ1 の取付け面11を包囲するよ
うに形成されており、取付け面11に固定された磁気ヘッ
ドスライダ1 をＸ軸回りおよびＹ軸回りに回転させるこ
とができるようになっている。
ような細いスリット10が設けられている。このスリット
10は、磁気ヘッドスライダ1 の取付け面11を包囲するよ
うに形成されており、取付け面11に固定された磁気ヘッ
ドスライダ1 をＸ軸回りおよびＹ軸回りに回転させるこ
とができるようになっている。
【００３７】また、エアギャップ8 内に対向配置された
電極9 により、補強プレート7 と副スライダ3 との間
隔、すなわちエアギャップ8 の厚みを測定することがで
きる。具体的には、電極9 に電圧を印加して電極9 に電
荷を帯電させると、補強プレート7 と副スライダ3 との
間に反発力が生じる。これにより副スライダ3 が取り付
けられている連結ビーム6 が弾性変形し、副スライダ3
が磁気ディスク101 に押し付けられ近接する。そしてエ
アギャップ8 の厚みが大きくなると、電極9 と副スライ
ダ3 とで形成される静電容量Ｃが減少する。
電極9 により、補強プレート7 と副スライダ3 との間
隔、すなわちエアギャップ8 の厚みを測定することがで
きる。具体的には、電極9 に電圧を印加して電極9 に電
荷を帯電させると、補強プレート7 と副スライダ3 との
間に反発力が生じる。これにより副スライダ3 が取り付
けられている連結ビーム6 が弾性変形し、副スライダ3
が磁気ディスク101 に押し付けられ近接する。そしてエ
アギャップ8 の厚みが大きくなると、電極9 と副スライ
ダ3 とで形成される静電容量Ｃが減少する。
【００３８】この静電容量Ｃの変化は図５に示される。
電極9 に対する印加電圧を大きくして発生電荷を多くす
れば、副スライダ3 を磁気ディスク101 に押し付ける力
が大きくなり、エアギャップ8 が広がることにより静電
容量が小さくなる。しかし、副スライダ3 が磁気ディス
ク101 に接触すると、それ以上電荷を増やして押し付け
力を大きくしてもエアギャップ8 は広がらないため、静
電容量は変化しなくなる。この、静電容量の変化しなく
なる点を検出すれば、副スライダ3 と磁気ディスク101
との接触状態、すなわち接触端5 と磁気ディスク101 と
の接触状態をモニターすることができる。
電極9 に対する印加電圧を大きくして発生電荷を多くす
れば、副スライダ3 を磁気ディスク101 に押し付ける力
が大きくなり、エアギャップ8 が広がることにより静電
容量が小さくなる。しかし、副スライダ3 が磁気ディス
ク101 に接触すると、それ以上電荷を増やして押し付け
力を大きくしてもエアギャップ8 は広がらないため、静
電容量は変化しなくなる。この、静電容量の変化しなく
なる点を検出すれば、副スライダ3 と磁気ディスク101
との接触状態、すなわち接触端5 と磁気ディスク101 と
の接触状態をモニターすることができる。
【００３９】さらに、その接触状態を基準状態として一
定の量だけ電荷を増やせば、接触端5 と磁気ディスク10
1 との間に所定の接触力を与えることができる。そして
接触力を極めて精度良く制御することができる。
定の量だけ電荷を増やせば、接触端5 と磁気ディスク10
1 との間に所定の接触力を与えることができる。そして
接触力を極めて精度良く制御することができる。
【００４０】また、基準状態から一定の量だけ電荷を減
らせば、接触端5 と磁気ディスク101 との間に所定の間
隔、すなわち所定のギャップを発生させることができ
る。このような接触力やギャップも極めて精度良く制御
することが可能である。
らせば、接触端5 と磁気ディスク101 との間に所定の間
隔、すなわち所定のギャップを発生させることができ
る。このような接触力やギャップも極めて精度良く制御
することが可能である。
【００４１】さらに、発生電荷を制御することにより基
準状態を保持し、接触端5 と磁気ディスク101 との接触
力を限りなく０に近づけることもできる。このように、
本発明によれば、装置に対して外部からの振動などが加
わったような場合に、副スライダ3 が磁気ディスク101
に対して衝突してしまうような危険性を回避することが
可能であるばかりか、接触端5 と磁気ディスク101 との
接触状態や浮上状態を自由かつ高精度に制御することが
できるといった実用上多大な効果が得られる。
準状態を保持し、接触端5 と磁気ディスク101 との接触
力を限りなく０に近づけることもできる。このように、
本発明によれば、装置に対して外部からの振動などが加
わったような場合に、副スライダ3 が磁気ディスク101
に対して衝突してしまうような危険性を回避することが
可能であるばかりか、接触端5 と磁気ディスク101 との
接触状態や浮上状態を自由かつ高精度に制御することが
できるといった実用上多大な効果が得られる。
【００４２】なお、以上の説明は、副スライダ3 下面が
主スライダ2 下面と同じかまたは高い位置に配置された
場合についてものである。逆に、副スライダ3 下面が主
スライダ2 下面より低い位置に配置された場合について
は以下のとおりとなる。
主スライダ2 下面と同じかまたは高い位置に配置された
場合についてものである。逆に、副スライダ3 下面が主
スライダ2 下面より低い位置に配置された場合について
は以下のとおりとなる。
【００４３】このような場合においては、主スライダ2
が磁気ディスク101 上を一定量で浮上していても、副ス
ライダ3 は磁気ディスク101 にわずかに押し付けられた
状態で接触している可能性がある。ここで電極9 と副ス
ライダ3 との間に電圧を印加し、電極9 とこの電極9 に
対向する部位がそれぞれ異極となるように（一方を＋
極，他方を−極となるように）帯電させれば、電極9 と
副スライダ3 との間に吸引力が生じる。これにより副ス
ライダ3 には磁気ディスク101 から引き離される力が作
用する。しかし、連結ビーム6 が副スライダ3 に付与し
ている押し付け力（バネ力）が吸引力と逆向きの力を発
生させるため、この力に打ち勝つだけの大きな吸引力が
発生するまでは接触状態が維持される。
が磁気ディスク101 上を一定量で浮上していても、副ス
ライダ3 は磁気ディスク101 にわずかに押し付けられた
状態で接触している可能性がある。ここで電極9 と副ス
ライダ3 との間に電圧を印加し、電極9 とこの電極9 に
対向する部位がそれぞれ異極となるように（一方を＋
極，他方を−極となるように）帯電させれば、電極9 と
副スライダ3 との間に吸引力が生じる。これにより副ス
ライダ3 には磁気ディスク101 から引き離される力が作
用する。しかし、連結ビーム6 が副スライダ3 に付与し
ている押し付け力（バネ力）が吸引力と逆向きの力を発
生させるため、この力に打ち勝つだけの大きな吸引力が
発生するまでは接触状態が維持される。
【００４４】そして、さらに電圧を増加させてバネ力に
打ち勝つだけの大きな吸引力を発生させると、連結ビー
ム6 が弾性変形して副スライダ3 が磁気ディスク101 か
ら離間する。すると、エアギャップ8 の間隔が相対的に
狭くなり、電極9 と副スライダ3 とで形成される静電容
量Ｃが増加する。この様子を図６に示す。
打ち勝つだけの大きな吸引力を発生させると、連結ビー
ム6 が弾性変形して副スライダ3 が磁気ディスク101 か
ら離間する。すると、エアギャップ8 の間隔が相対的に
狭くなり、電極9 と副スライダ3 とで形成される静電容
量Ｃが増加する。この様子を図６に示す。
【００４５】先の説明と同様に、図６における変曲点
（点線で示す）を基準状態とし、一定の量だけ電荷を減
らせば、接触端5 と磁気ディスク101 との間に所定の接
触力を与えることができる。また、基準状態から一定の
量だけ電荷を増加させれば、接触端5 と磁気ディスク10
1 とに所定の間隔、すなわち所定のギャップを発生させ
ることができる。さらに、基準状態を保持して接触力を
限りなく０に近づけることもできる。
（点線で示す）を基準状態とし、一定の量だけ電荷を減
らせば、接触端5 と磁気ディスク101 との間に所定の接
触力を与えることができる。また、基準状態から一定の
量だけ電荷を増加させれば、接触端5 と磁気ディスク10
1 とに所定の間隔、すなわち所定のギャップを発生させ
ることができる。さらに、基準状態を保持して接触力を
限りなく０に近づけることもできる。
【００４６】特にこの例の場合には、電極に対向する異
極に帯電させる構成であるため、帯電させ易いといった
特徴がある。このように本発明によれば、接触端と磁気
ディスクとの接触状態およびそのわずかに浮上した状態
を自由にかつ極めて精度良く制御することができるとい
った実用上多大な効果が得られる。
極に帯電させる構成であるため、帯電させ易いといった
特徴がある。このように本発明によれば、接触端と磁気
ディスクとの接触状態およびそのわずかに浮上した状態
を自由にかつ極めて精度良く制御することができるとい
った実用上多大な効果が得られる。
【００４７】なお、図４，図５のような電荷と静電容量
との関係は、あらかじめ図示しない制御装置に記憶され
ており、目的の接触力あるいはギャップ長に応じて、発
生させる電荷を決定できるように構成されている。
との関係は、あらかじめ図示しない制御装置に記憶され
ており、目的の接触力あるいはギャップ長に応じて、発
生させる電荷を決定できるように構成されている。
【００４８】以上のように本発明によれば、副スライダ
とプレートとの間に形成されたギャップの寸法を、その
ギャップ内に配置された電極の静電容量を測定すること
により知ることができる。また、検出されたギャップの
寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録再生ヘッ
ドと情報記録媒体との接触力やギャップの寸法を変化さ
せることができる。
とプレートとの間に形成されたギャップの寸法を、その
ギャップ内に配置された電極の静電容量を測定すること
により知ることができる。また、検出されたギャップの
寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録再生ヘッ
ドと情報記録媒体との接触力やギャップの寸法を変化さ
せることができる。
【００４９】したがって、ギャップの寸法に応じて電極
の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生
ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。
の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生
ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。
【００５０】なお、副スライダ3 と磁気ディスク101 と
が極めて近接した状態においては、副スライダ3 表面と
磁気ディスク101 表面との間に、いわゆる原子間力が作
用することが考えられる。ここで作用する原子間力は、
副スライダ3 と磁気ディスク101 とが離間する方向の微
小な反発力を発生するものであるため、この反発力と逆
向きに力を発生させれば原子間力との釣り合いを保つこ
とが可能となる。
が極めて近接した状態においては、副スライダ3 表面と
磁気ディスク101 表面との間に、いわゆる原子間力が作
用することが考えられる。ここで作用する原子間力は、
副スライダ3 と磁気ディスク101 とが離間する方向の微
小な反発力を発生するものであるため、この反発力と逆
向きに力を発生させれば原子間力との釣り合いを保つこ
とが可能となる。
【００５１】原子間力は、例えば半径0.5mm 程度のプロ
ーブでは50mg、半径2 μm 程度のプローブでは10mgの測
定圧であることが知られている。そのため、数mg程度の
圧力を設定することにより、副スライダと磁気ディスク
のギャップ寸法，接触力の制御はもちろん、これらに原
子間力が作用する状態であったとしても、非接触状態で
極めて微小なギャップを保つことができ、副スライダと
磁気ディスクとの摩耗を防止することのできる浮上制御
を行うことが可能となる。
ーブでは50mg、半径2 μm 程度のプローブでは10mgの測
定圧であることが知られている。そのため、数mg程度の
圧力を設定することにより、副スライダと磁気ディスク
のギャップ寸法，接触力の制御はもちろん、これらに原
子間力が作用する状態であったとしても、非接触状態で
極めて微小なギャップを保つことができ、副スライダと
磁気ディスクとの摩耗を防止することのできる浮上制御
を行うことが可能となる。
【００５２】続いて図７乃至図９を参照して本発明の第
２実施例を説明する。図７乃至図９は本発明の第２実施
例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜
視図である。なお、以下の実施例においては、第１の実
施例と同一構成要素には同一符号を付して重複する説明
を省略する。
２実施例を説明する。図７乃至図９は本発明の第２実施
例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，斜
視図である。なお、以下の実施例においては、第１の実
施例と同一構成要素には同一符号を付して重複する説明
を省略する。
【００５３】本実施例と第１の実施例との違いは、連結
ビーム6 の形状にある。すなわち、第１の実施例の連結
ビーム6 は磁気ディスク101 の移動方向（空気流出方
向）と平行な方向に延設されているのに対し、第２の実
施例では連結ビーム6 は磁気ディスク101 の移動方向
（空気流出方向）と直交する方向に延設されている。
ビーム6 の形状にある。すなわち、第１の実施例の連結
ビーム6 は磁気ディスク101 の移動方向（空気流出方
向）と平行な方向に延設されているのに対し、第２の実
施例では連結ビーム6 は磁気ディスク101 の移動方向
（空気流出方向）と直交する方向に延設されている。
【００５４】すなわち、副スライダ3 はその先端部3aが
空気流入端であるＹ方向に向かって延長して形成され、
その端部付近から両側の主スライダ2a,2b のあるＸ方向
に向かって２本の連結ビーム6a,6b が架設されている。
空気流入端であるＹ方向に向かって延長して形成され、
その端部付近から両側の主スライダ2a,2b のあるＸ方向
に向かって２本の連結ビーム6a,6b が架設されている。
【００５５】このような構造の本実施例によれば、上述
した第１の実施例と同様な効果を奏する上に、さらに次
のような効果も得られる。つまり、連結ビーム6a,6b が
Ｘ方向の２か所で支持されているため、副スライダ3 の
Ｙ軸回りの回転変形が起こりにくくなる。そのため、接
触端5 と磁気ディスク101 との良好なヘッドタッチが得
られるといった効果がある。
した第１の実施例と同様な効果を奏する上に、さらに次
のような効果も得られる。つまり、連結ビーム6a,6b が
Ｘ方向の２か所で支持されているため、副スライダ3 の
Ｙ軸回りの回転変形が起こりにくくなる。そのため、接
触端5 と磁気ディスク101 との良好なヘッドタッチが得
られるといった効果がある。
【００５６】続いて図10乃至図13を参照して本発明の第
３の実施例を説明する。図10乃至図13は本発明の第３実
施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，
断面図，斜視図である。なお、図11は空気流入方向と直
交する面による断面図であり、図12は空気流入方向の面
による断面図である。
３の実施例を説明する。図10乃至図13は本発明の第３実
施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，
断面図，斜視図である。なお、図11は空気流入方向と直
交する面による断面図であり、図12は空気流入方向の面
による断面図である。
【００５７】本実施例と第２の実施例との違いは、連結
ビーム6 を挟んで副スライダ3 と反対側にカウンタウエ
イト12が設けられており、副スライダ3 とカウンタウエ
イト12とを合計した質量における重心位置が、連結ビー
ム6 で連結されている部分とほぼ一致する構成になって
いることである。
ビーム6 を挟んで副スライダ3 と反対側にカウンタウエ
イト12が設けられており、副スライダ3 とカウンタウエ
イト12とを合計した質量における重心位置が、連結ビー
ム6 で連結されている部分とほぼ一致する構成になって
いることである。
【００５８】また、補強プレート7 とカウンタウエイト
12との間には、磁気ディスク101 と平行な第２のエアギ
ャップ8bが形成されている。この第２のエアギャップ8b
内に位置するように、補強プレート7 のエアギャップ8
側に第２の電極9bが設けられている。
12との間には、磁気ディスク101 と平行な第２のエアギ
ャップ8bが形成されている。この第２のエアギャップ8b
内に位置するように、補強プレート7 のエアギャップ8
側に第２の電極9bが設けられている。
【００５９】このような構造の本実施例によれば、上述
した第２の実施例と同様な効果が得られる上に、さらに
次のような効果が得られる。つまり、副スライダ3 とカ
ウンタウエイト12とを合計した質量の重心位置が、連結
ビーム6 により連結されている部分とほぼ一致している
ために、装置に対して外乱が作用しても接触端5 と磁気
ディスク101 との接触力の変動がほとんど発生しない構
成となる。
した第２の実施例と同様な効果が得られる上に、さらに
次のような効果が得られる。つまり、副スライダ3 とカ
ウンタウエイト12とを合計した質量の重心位置が、連結
ビーム6 により連結されている部分とほぼ一致している
ために、装置に対して外乱が作用しても接触端5 と磁気
ディスク101 との接触力の変動がほとんど発生しない構
成となる。
【００６０】さらに、カウンタウエイト12には第２のエ
アギャップ8bが設けられ、そのギャップ長を第１のエア
ギャップ8(8a) と同様に静電力により制御することによ
り、第１のエアギャップ8(8a) と協調して接触端5 と磁
気ディスク101 との接触力を制御することができるよう
になる。
アギャップ8bが設けられ、そのギャップ長を第１のエア
ギャップ8(8a) と同様に静電力により制御することによ
り、第１のエアギャップ8(8a) と協調して接触端5 と磁
気ディスク101 との接触力を制御することができるよう
になる。
【００６１】そして、エアギャップを形成する一方の部
位が異極となり吸引力が作用し、エアギャップを形成す
る他方の部位が同極となり反発力が作用するため、一方
のエアギャップ長が大きくなって電荷の増加に対する力
の増加が少なくなっても、他方のギャップ長が狭くなり
電荷の増加に対する力の増加が大きくなるため、副スラ
イダ3 とカウンタウエイト12の平衡をとることができ、
その特性が線形に近い状態となる。したがって、印加電
圧と発生する接触力との関係の非線形性が少なくなり、
制御が容易となる。特に吸引力だけを扱うという点でも
制御を容易に行うことができる。
位が異極となり吸引力が作用し、エアギャップを形成す
る他方の部位が同極となり反発力が作用するため、一方
のエアギャップ長が大きくなって電荷の増加に対する力
の増加が少なくなっても、他方のギャップ長が狭くなり
電荷の増加に対する力の増加が大きくなるため、副スラ
イダ3 とカウンタウエイト12の平衡をとることができ、
その特性が線形に近い状態となる。したがって、印加電
圧と発生する接触力との関係の非線形性が少なくなり、
制御が容易となる。特に吸引力だけを扱うという点でも
制御を容易に行うことができる。
【００６２】続いて図14乃至図16を参照して本発明の第
４の実施例を説明する。図14乃至図16は本発明の第４実
施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，
斜視図である。
４の実施例を説明する。図14乃至図16は本発明の第４実
施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，
斜視図である。
【００６３】第１の実施例では、主スライダ2 ，副スラ
イダ3 ，連結ビーム6 がシリコーンなどの半導体により
一体的に形成されていたのに対し、本実施例では副スラ
イダ3 と連結ビーム6 と中継部材13がシリコーンなどの
半導体により一体的に形成されている。そして、主スラ
イダ2 は中継部材13とは別部材で構成し、主スライダ2
と中継部材13とは拡散接合などの手段により接合されて
いる。
イダ3 ，連結ビーム6 がシリコーンなどの半導体により
一体的に形成されていたのに対し、本実施例では副スラ
イダ3 と連結ビーム6 と中継部材13がシリコーンなどの
半導体により一体的に形成されている。そして、主スラ
イダ2 は中継部材13とは別部材で構成し、主スライダ2
と中継部材13とは拡散接合などの手段により接合されて
いる。
【００６４】ここで、主スライダ2 を構成する２本のス
ライダ2a,2b は、その空気流出端が互いに近接する方向
に突出しており、その端部付近は副スライダ3 のＴ字上
面の下部と対向する関係となっている。この対向部分に
エアギャップ14a,14b が形成されている。
ライダ2a,2b は、その空気流出端が互いに近接する方向
に突出しており、その端部付近は副スライダ3 のＴ字上
面の下部と対向する関係となっている。この対向部分に
エアギャップ14a,14b が形成されている。
【００６５】そして、このエアギャップ14a,14b の間に
は、スライダ2a,2b の側にそれぞれ電極15a,15b が固定
されている。このような構成の本実施例によれば、第１
の実施例と同様な効果が得られる他に、主スライダ2 を
記録再生ヘッド4 や接触端5 とは異なる製造プロセスで
製作できるため、それぞれの最適な製造方法を採用して
記録再生ヘッドスライダの特性向上を図ることができ
る。
は、スライダ2a,2b の側にそれぞれ電極15a,15b が固定
されている。このような構成の本実施例によれば、第１
の実施例と同様な効果が得られる他に、主スライダ2 を
記録再生ヘッド4 や接触端5 とは異なる製造プロセスで
製作できるため、それぞれの最適な製造方法を採用して
記録再生ヘッドスライダの特性向上を図ることができ
る。
【００６６】続いて図17乃至図19を参照して本発明の第
５の実施例を説明する。図17乃至図19は本発明の第５実
施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，
斜視図である。
５の実施例を説明する。図17乃至図19は本発明の第５実
施例を示す記録再生ヘッドスライダの背面図，断面図，
斜視図である。
【００６７】本実施例と第４の実施例との違いは、中継
部材13の上面に補強プレート15を設けた点にある。この
補強プレート15と副スライダ3 との間には、磁気ディス
ク101 と平行な第３のエアギャップ16が形成される。こ
の第３のエアギャップ16内に位置するように、補強プレ
ート15の第３のエアギャップ16側に電極17が設けられて
いる。
部材13の上面に補強プレート15を設けた点にある。この
補強プレート15と副スライダ3 との間には、磁気ディス
ク101 と平行な第３のエアギャップ16が形成される。こ
の第３のエアギャップ16内に位置するように、補強プレ
ート15の第３のエアギャップ16側に電極17が設けられて
いる。
【００６８】このような構造の本実施例によれば、第３
の実施例で説明した２つのエアギャップ8a,8b の関係と
同様に、第１のエアギャップ8 と第３のエアギャップ16
とが協調して押し付け力を発生させ、接触端5 と磁気デ
ィスク101 との接触力を制御することができるようにな
る。
の実施例で説明した２つのエアギャップ8a,8b の関係と
同様に、第１のエアギャップ8 と第３のエアギャップ16
とが協調して押し付け力を発生させ、接触端5 と磁気デ
ィスク101 との接触力を制御することができるようにな
る。
【００６９】そして、印加電圧と発生する接触力との関
係の非線形性が少なくなり、制御が容易となる。以上、
本発明について説明したが、本発明はこれら実施例に限
定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で種
々の変形が可能である。
係の非線形性が少なくなり、制御が容易となる。以上、
本発明について説明したが、本発明はこれら実施例に限
定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で種
々の変形が可能である。
【００７０】例えば、本発明はいわゆるロータリアクチ
ュエータにより位置決め駆動される磁気ディスク装置に
限らず、リニアアクチュエータ等を有する他の磁気ディ
スク装置においても同様の効果が期待できる。
ュエータにより位置決め駆動される磁気ディスク装置に
限らず、リニアアクチュエータ等を有する他の磁気ディ
スク装置においても同様の効果が期待できる。
【００７１】また、上述の各実施例では、記録再生ヘッ
ドスライダの一例として磁気ヘッドスライダを、また記
録再生装置の一例として磁気ディスク装置について説明
した。しかしながら本発明はこの実施形態に限ることな
く、例えば光情報記録再生装置等の他の記録再生装置に
も応用が可能である。
ドスライダの一例として磁気ヘッドスライダを、また記
録再生装置の一例として磁気ディスク装置について説明
した。しかしながら本発明はこの実施形態に限ることな
く、例えば光情報記録再生装置等の他の記録再生装置に
も応用が可能である。
【００７２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、副
スライダとプレートとの間に形成されたギャップの寸法
を、そのギャップ内に配置された電極の静電容量を測定
することにより知ることができる。また、検出されたギ
ャップの寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録
再生ヘッドと情報記録媒体との接触力やギャップの寸法
を変化させることができる。
スライダとプレートとの間に形成されたギャップの寸法
を、そのギャップ内に配置された電極の静電容量を測定
することにより知ることができる。また、検出されたギ
ャップの寸法に応じて電極に与える電圧を制御し、記録
再生ヘッドと情報記録媒体との接触力やギャップの寸法
を変化させることができる。
【００７３】したがって、ギャップの寸法に応じて電極
の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生
ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。
の電圧制御を行うことにより、情報記録媒体と記録再生
ヘッドとの接触力を小さく抑え、両者の接触状態を安定
に保つことが可能な記録再生ヘッドスライダ及びこれを
用いた記録再生装置が実現する。
【図１】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。
イダの背面図。
【図２】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの断面図。
イダの断面図。
【図３】本発明の第１実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。
イダの斜視図。
【図４】記録再生ヘッドスライダとサスペンションとの
取り付け方法を示す図。
取り付け方法を示す図。
【図５】電極に与える印加電圧に対する静電容量の変化
を示す図。
を示す図。
【図６】電極に与える印加電圧に対する静電容量の変化
を示す図。
を示す図。
【図７】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの背面図。
イダの背面図。
【図８】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの断面図。
イダの断面図。
【図９】本発明の第２実施例に係る記録再生ヘッドスラ
イダの斜視図。
イダの斜視図。
【図１０】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの背面図。
ライダの背面図。
【図１１】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの断面図。
ライダの断面図。
【図１２】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの断面図。
ライダの断面図。
【図１３】本発明の第３実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの斜視図。
ライダの斜視図。
【図１４】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの背面図。
ライダの背面図。
【図１５】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの断面図。
ライダの断面図。
【図１６】本発明の第４実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの斜視図。
ライダの斜視図。
【図１７】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの背面図。
ライダの背面図。
【図１８】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの断面図。
ライダの断面図。
【図１９】本発明の第５実施例に係る記録再生ヘッドス
ライダの斜視図。
ライダの斜視図。
【図２０】本発明が適用される一例である磁気ディスク
装置の概略構成を示す斜視図。
装置の概略構成を示す斜視図。
【図２１】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの断
面図であり、力およびモーメントの釣合いを説明する
図。
面図であり、力およびモーメントの釣合いを説明する
図。
【図２２】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの背
面図。
面図。
【図２３】従来技術に係る記録再生ヘッドスライダの断
面図であり、慣性力，接触力，流体力の釣合いを説明す
る図。
面図であり、慣性力，接触力，流体力の釣合いを説明す
る図。
１ 磁気ヘッドスライダ（記録再生ヘッドスライダ） 2,2a,2b 主スライダ ３ 副スライダ ４ 記録再生ヘッド（記録再生部） ５ 接触端 ６ 連結ビーム 7,15 補強プレート 8,8a,8b,14a,14b,16 エアギャップ 9,9a,9b,17 電極 12 カウンタウエイト 13 中継部材 101 磁気ディスク 104 サスペンション
Claims (8)
- 【請求項１】回転する情報記録媒体から流体軸受力を受
けて浮上力を得る主スライダと、 前記情報記録媒体の面方向に変位可能となるように前記
主スライダに弾性支持される副スライダと、 前記副スライダに設けられ前記情報記録媒体に対する情
報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、 前記主スライダに固定され、前記副スライダの変位に応
じて寸法が変化するギャップを形成してなるプレート
と、 前記ギャップ内に配置される電極と、 を有することを特徴とする記録再生ヘッドスライダ。 - 【請求項２】前記電極の静電容量を測定可能に構成した
ことを特徴とする請求項１記載の記録再生ヘッドスライ
ダ。 - 【請求項３】前記電極に与える電圧を制御することによ
り前記情報記録媒体に対する前記副スライダの接触力を
変化させることを特徴とする請求項１記載の記録再生ヘ
ッドスライダ。 - 【請求項４】前記電極に与える電圧を制御することによ
り前記ギャップの寸法を変化させることを特徴とする請
求項１記載の記録再生ヘッドスライダ。 - 【請求項５】情報記録媒体と、 前記情報記録媒体の回転時に前記情報記録媒体から流体
軸受力を受けて浮上力を得る主スライダと、 前記情報記録媒体の面方向に変位可能となるように前記
主スライダに弾性支持される副スライダと、 前記副スライダに設けられ前記情報記録媒体に対する情
報の記録再生を行う記録再生ヘッドと、 前記主スライダに固定され、前記副スライダの変位に応
じて寸法が変化するギャップを形成してなるプレート
と、 前記ギャップ内に配置される電極と、 を有することを特徴とする記録再生装置。 - 【請求項６】前記電極の静電容量を測定可能に構成した
ことを特徴とする請求項５記載の記録再生装置。 - 【請求項７】前記電極に与える電圧を制御することによ
り前記情報記録媒体に対する前記副スライダの接触力を
変化させることを特徴とする請求項５記載の記録再生装
置。 - 【請求項８】前記電極に与える電圧を制御することによ
り前記ギャップの寸法を変化させることを特徴とする請
求項５記載の記録再生装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00925495A JP3748911B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置 |
| US08/591,003 US5764432A (en) | 1995-01-24 | 1996-01-24 | Recording and reproducing head slider and recording and reproducing apparatus using same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP00925495A JP3748911B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08203053A true JPH08203053A (ja) | 1996-08-09 |
| JP3748911B2 JP3748911B2 (ja) | 2006-02-22 |
Family
ID=11715292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP00925495A Expired - Fee Related JP3748911B2 (ja) | 1995-01-24 | 1995-01-24 | 記録再生ヘッドスライダ及びこれを用いた記録再生装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5764432A (ja) |
| JP (1) | JP3748911B2 (ja) |
Cited By (2)
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| US6005736A (en) * | 1997-10-21 | 1999-12-21 | International Business Machines Corporation | Method and means for active shock protection in a magnetic disk storage device using electrostatic forces |
| US6317293B1 (en) | 1998-03-12 | 2001-11-13 | Fujitsu Limited | Magnetic head slider |
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- 1995-01-24 JP JP00925495A patent/JP3748911B2/ja not_active Expired - Fee Related
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1996
- 1996-01-24 US US08/591,003 patent/US5764432A/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3748911B2 (ja) | 2006-02-22 |
| US5764432A (en) | 1998-06-09 |
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