JPH04222916A - 磁気記録再生ヘッド装置及び記録再生方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録再生ヘッド装
置、及びこの磁気記録再生ヘッド装置を用いて、所定の
磁気記録媒体（磁気ディスク）に情報信号を記録，再生
する記録再生方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ハードディスク等の磁気記録媒体円盤（
以下単に「媒体」又は「磁気ディスク」とも記載する）
を使用する記録再生装置において、磁気ディスク表面（
記録面）を傷付けることなく安定に信号の記録，再生が
できるようにするために、磁気ディスクに対する情報信
号の記録動作時と、媒体からの情報信号の再生動作時と
に、磁気ヘッドの磁気空隙部が媒体面に対して所定の微
小な間隔を隔てて浮上した状態でトレースすることが、
従来より実施されている。かかる記録再生装置に搭載さ
れる、いわゆる浮上型磁気ヘッド（磁気変換器）の従来
例について、図面を参照し乍ら説明する。

【０００３】図１０は従来用いられているスキースライ
ダタイプの磁気変換器１０を、上下逆にして示す斜視図
であり、図中、２はヘッド部、４はスライダ部、５は基
体、１１，１２はスライダスキー、１１ａ，１２ａは夫
々スライダスキー１１及び１２の導入部、２１はセンタ
ースキー、２７はヘッド部２のコアに捲回されるコイル
、ｇはコアに形成されている磁気ギャップである。かか
る構成において、後述する媒体が矢印α方向に走行｛実
際は回転であるが、局部的に見ると走行と言える｝する
と、媒体面とスライダ部の浮上面スライダスキーとの間
に薄層気体流が発生し、この気体流によって浮上面に生
じる揚力により、媒体面上で安定した浮上走行姿勢が得
られる。また、中央部のセンタースキー２１と同一面上
に設けられた磁気ヘッド（ヘッド部）２によって、媒体
への記録，再生が行なわれる。

【０００４】図１１は浮上型磁気ヘッドの他の従来例２
０を上下逆にして示す斜視図であり、この図において図
１０に示した装置１０と同一構成部分には同一符号を付
してその詳細な説明を省略する。図中、９は圧電素子（
圧電セラミック）、Ｅ１，Ｅ２　は電極である。かかる
構成において、媒体の矢印α方向への走行によりに生じ
る薄層気体流の上を、スライダ部４はスライダスキー１
１及び１２によって安定して浮上走行する。この点は上
記図１０に示した装置１０と同じであるが、この従来例
装置２０には、スライダ部４の中心線上に設けられたヘ
ッド部２の，媒体面に対する走行高さを可変できるとい
う特徴が有る。これは、ヘッド部２を支持している圧電
素子９の電極Ｅ１，Ｅ２　に互いに異なる電圧を印加し
、圧電素子９を所定量撓ませて、ヘッド部２を首振り駆
動させることにより実現している。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の浮上型磁気
ヘッドのうち、図１０に示した装置１０は走行安定性が
良くて安価である反面、次のような欠点があった。■媒
体表面に分散して生じている突起物に接触しない高さに
まで磁気変換器の底面（スライダ部）を浮上させて記録
，再生しなければならない（従って高密度録再を妨げる
）。■スライダ素材とヘッド材が一体的に形成されてい
るので、スライダ材の選択幅が狭く、スライダにとって
最適な材料を使用できない。■具体的にはスライダ材に
はフェライトが用いられているので柔かく、上記突起物
等によりスライダ面が傷付けられ、この傷付いた個所に
塵埃がこびり着いて媒体表面と接触し、最悪の場合媒体
を傷損させてしまい、信頼性に限界がある。■ヘッドギ
ャップ部にＭＩＧ（Ｍｅｔａｌ　ｉｎ　Ｇａｐ）構成等
を施した際には、ギャップ部に落込み現象が見られ、こ
れによりヘッド部２の磁気感知部分が媒体表面より更に
遠ざかることになり、高密度録再に逆行する。■ヘッド
部２がスライダ部４の後面より食出している構造なので
、媒体の回転運動過渡期（Ｓｔａｒｔ時及びＳｔｏｐ時
）にヘッド部２が媒体表面より離間したり接触したりす
る際に、ヘッド支え部２ａがいわゆるピッチング運動を
起し易く、かかる現象によりヘッドギャップ面が摩耗し
て落込みが除々に進行してしまう。

【０００６】また、図１１に示した従来装置２０には前
記特長がある反面、構造上次のような欠点があった。■
ヘッド部の媒体表面に対する近接離間は、圧電素子９の
固定端を支点とする回転運動になる。ところで、ヘッド
ギャップ部の両側に存在するヘッドコア部２６はスライ
ダ面としても機能しており、ヘッド部２が圧電素子９の
撓みにより媒体面に接近する際最も近づくのはコア部２
６の先端２６ａであり、この先端２６ａを媒体に非接触
で走行させようとすると、ギャップｇの媒体面に接近す
る距離はある程度制限されてしまい、折角の走行高さ可
変機能が十分発揮されない。■媒体表面の突起物に対す
る保護機能が磁気変換器側にないので、突起物に接触し
ない高さにまでスライダ面を浮上させて記録，再生しな
ければならない。■スライダ部４が３つの部品より成る
接着構造のため、所望の平面性を確保するのに困難があ
る｛温度や外力による変形，研磨時の印加力を解除した
際の３部材の機械的変形により｝。この平面性を許容し
得る走行高さに設定しなければならない。

【０００７】以上のような理由により、前記従来の各装
置１０，２０にあっては、録再の高密度化が妨げられる
という問題があった。なお、スライダ材としてダイヤモ
ンドを使用した磁気変換器も、例えば特公昭５７−５６
９号公報に提案されているが、このものは接触走行を条
件としているものの、記録，再生時に媒体面上の前記突
起物を切除してその上面を滑走若しくは浮上走行させる
技術思想は無かった。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、浮上走行乃至
接触走行するスライダ部を単一の素材にて形成すると共
に、スライダ面の両辺に走行方向に後退形となる開き角
形状の導入部を形成し、スライダ面の走行方向側のうち
導入部以外の部分に，磁気記録媒体面に生じている突起
物を除去し得る切除部を形成すると共に、スライダ部の
走行方向上導出側に切欠き部を形成し、切欠き部に磁気
ヘッド部を配置すると共に、磁気ヘッド部とスライダ部
とをサポータで固定する等して磁気記録再生ヘッド装置
を構成することにより、上記課題を解決した。

【０００９】また、かかる磁気記録再生ヘッド装置を用
いてこれを超低浮上走行させることにより、磁気記録媒
体の表面にランダムに生じている突起物の上部を切削除
去して平滑面を形成しつつ、又は除去した後に残留突起
物に接触しないよう磁気記録再生ヘッド装置への加圧力
を若干弱めて、磁気記録媒体に情報信号を記録，再生す
る記録再生方法を提供することにより、上記課題を解決
した。

【００１０】

【実施例】本発明の磁気記録再生ヘッド装置及び記録再
生方法の具体例について、図面を参照し乍ら説明する。 図１は本発明の磁気記録再生ヘッド装置の第１実施例を
上下逆にして示す拡大斜視図である。この図において２
ａはヘッドコア導入面であり、図１０，１１に示した従
来装置と同一構成部分には同一符号を付して、その詳細
な説明を省略する。この第１実施例装置１Ａの構成や製
造方法等について、以下説明する。

【００１１】まず、スライダ部４をダイヤモンド等の単
一平板より作製し、空気流入用のスライダ導入面（傾斜
＝約３°）３ａ，３ｂを後退翼形とし、その中心線上に
、ディスク表面に生じた突起物を切除するための突起物
切除角（垂直面より約１０°）３ｃを設ける。切除角３
ｃ及び導入角とスライダ面３と接するエッジ部は、例え
ば　０．１μｍの欠けも無いように精密仕上げされる。 スライダ面３の平面性は、浮上隙間０．０５μｍにも対
応するため、これより小さな平面精度としている。平板
（スライダ部４）には中心方向に向けてコ字状（又は半
円形でも良い）切欠き部４ｃが形成されており、この部
分に磁気ヘッド部２が嵌装，固定される。かかる構造に
より、前記従来装置１０における欠点，即ち、スライダ
部のピッチング，ローリングにより生ずるギャップ部の
落込みを防ぐことができる。

【００１２】なお、スライダ部に用いる素材としては、
ダイヤモンドに限定されるものではなく、次の諸条件を
満足する材料であれば、如何なるものでも良い。■媒体
の突起物を切削しても破損しない硬いもの。■ゴミが付
着し難く、付着ゴミによる媒体面破損の恐れが殆ど無い
もの。■スライダ面３が傷付かない堅固なもの。■形状
が安定しているもの｛温度変化や経年変化の殆ど無いも
の｝。

【００１３】ここで、磁気感応素子である磁気ヘッド部
２の具体的な構成について説明する。ヘッドコア２５は
サポータ１３に保持され、スライダ部４とは直接結合し
ていない。サポータ１３はサファイア等の絶縁材で作ら
れ、スライダ部４に接着剤１８，１９により接合されて
、ヘッドコア２５を保持（挟持）している。このサポー
タ１３は堅固な絶縁材であれば何でも良いが、サファイ
アのように透明な素材を使用すれば、組立て時にサポー
タポインタの先端を目視できるので便利である。このサ
ポータ１３に接するスライダ部４の面には、金属材料に
よる膜が、イオン注入或いはスパッタリングにより形成
されている。また、サポータ１３にはスライダ部４の支
点を支えるスライダポインタを嵌入させるための凹部（
いずれも図示せず）が設けられている。なお、ヘッドコ
ア２５やコイル２７の形状は、図示の態様に限らず、メ
タル，フェライト，ＭＩＧ，薄膜等、いずれの構造及び
材料でも差支えない。

【００１４】次に、本発明の磁気記録再生ヘッド装置の
第２実施例について、図２を参照し乍ら説明する。図２
は本発明の第２実施例装置１Ｂを上下逆にして示す拡大
斜視図であり、この図において図１に示した第１実施例
装置１Ａと同一構成部分には同一符号を付して、その詳
細な説明を省略する。この第２実施例装置１Ｂの主な特
徴は、スライダ部（部材）４とサポータ１３との間に板
状の圧電素子（圧電セラミック）９ａ，９ｂを図示の如
く挿入積層し、接着剤１７，１８で固定した点にある。

【００１５】この圧電素子９ａ，９ｂの両面には電極膜
Ｅ１，Ｅ２が形成されており、この電極膜Ｅ１，Ｅ２　
に図示しないリード線を介して電圧を印加することによ
り厚み効果作用を生ぜしめて、スライダ面３を上下させ
ることにより、相対的に媒体面からのヘッドギャップ面
２ｇの高さを調節することができるものである。この圧
電素子９ａ，９ｂの厚さは約０．２ｍｍであり、ヘッド
ギャップ面２ｇの研磨により生ずるギャップ落ちを防ぐ
働きをする。そして、上下動の動作の平行性を保つため
に、スライダ部４の両辺に、同一材料，同一形状のもの
を夫々１本づつ並列に配置され、同圧位，同一変位（偏
位）方向に駆動される。

【００１６】次に、本発明になる磁気記録再生ヘッド装
置を支持するための構成について、図３の拡大斜視図を
参照して説明する。この図において、７はサスペンショ
ン、８はスライダポインタであり、この図３においても
図１〜２に示した第１，第２実施例装置と同一構成部分
には同一符号を付して、その詳細な説明を省略する。サ
スペンション７は２５μｍ厚のステンレス製であり、サ
ポート材（セラミック）上に接着剤で接着され、圧電セ
ラミック９とは電気的に絶縁されている。そして、サポ
ータ１３の両辺を保持し、図４の横断面図に示すスライ
ダ自由動支点Ｐを中心として、ピッチング，ローリング
が可能となる作用をなす。

【００１７】スライダポインタ８は、曲げ難い　１００
μｍ厚のステンレス製であり、略固定された位置にあっ
て、スライダ自由動支点Ｐをポイント押圧する構成とな
っている。この支点Ｐは図４の模式図に示すように、走
行方向のほぼ中心線上でスライダ面３によって生ずる浮
上動圧の面積分布により定まる，媒体に対して平行を保
つ位置に定められる。本実施例でスライダサイズ＝１ｍ
ｍ×１ｍｍの場合は、走行導入端（３ｃ）より約　４５
０μｍの位置に支点Ｐは存在する。なお、スライダポイ
ンタ８と上記サスペンション７は、溶接部２８の点にて
、フレクシャ１６にレーザー溶接される。かかる構成に
より、スライダ部４の媒体に対する全圧は、フレクシャ
１６自体の曲げ力によって加えられる（一部のみ図示）
。

【００１８】図５は、本発明装置を支持する構成を示す
拡大底面図である。この図から、押圧支点Ｐは走行中心
線上にあることが分る。また、サスペンション７は、ピ
ッチングやローリングを可能とする機構となっているこ
とも理解される。なお、図５において、９ａ１，９ｂ１
　は圧電セラミック端子部、３１，３２は折曲げ部であ
り、その他、図１〜４に示した各部分と同一構成要素に
は同一符号を付して、その詳細な説明は省略する。

【００１９】ここで、本発明装置の特徴である、低浮上
走行と突起物の切除動作について、図６の原理図を参照
して説明する。図６（Ａ）　〜（Ｃ）　において、Ｄは
記録媒体、矢印αは媒体Ｄの走行方向、Ｄａ，Ｄｂ，Ｄ
ｃは媒体Ｄ表面に生じている突起物、３ｃ，３ｄはスラ
イダ部４の夫々突起物切除角及び突起物切除面である。 これらの突起物Ｄａ〜Ｄｃは、媒体Ｄをテクスチャ製作
する際及び媒体上の異物により生ずるもので、その大き
さ（高さ）及び発生個所はランダムである。実測による
一例では、０．３５ｍｍの検知幅を有するタッチセンサ
で測定したところ、１回転に１回，１０回，及び　１０
０回タッチ（接触）をカウントされた突起物（Ｄａ〜Ｄ
ｃ）の高さ（媒体Ｄ表面からの高さ）は、夫々０．１６
μｍ，０．１３μｍ，０．１２μｍであった。なお、被
測定媒体の種類は通称“２０ＭＢ，３．５ｉｎｃｈＨＤ
”メディアで、直径８０ｍｍの個所である。

【００２０】従来装置においては、図６（Ａ）　に示す
ように、大きな０．１６μｍの突起物（Ｄａ）にも接触
しないように浮上高を設定していたので、隙間＝０．０
３μｍを加味して計０．１９μｍの高さでスライダ部４
を走行させて、媒体Ｄに記録，再生していた。これに対
し本発明装置においては、図６（Ｂ）　に示すように、
比較的低い突起物Ｄｃにも接触すべく浮上高を例えばａ
＝０．０８μｍの低さに設定し、媒体Ｄにとって最初の
トレースで、突起物の０．０８μｍ以上の部分を切除角
３ｃにて切削，切除する。かかる超低浮上走行は、前記
フレクシャ１６の曲げ量を増大して、スライダ面３の全
押圧力を増大することにより実現する方法や、媒体Ｄの
回転速度を低下して、スライダ面３に生ずる動浮上圧を
減少する方法等が考えられるが、実験の結果、後者の方
がより適切であった。

【００２１】超低浮上量を０．０８μｍとして、図６（
Ｂ）　に示すようにａに相当する高さで浮上走行し、突
起物のうちこれ以上の高さ（ｂ，ｃ）の部分を切除した
後、上記同様にタッチセンサで測定したところ、１回転
に１回，１０回，及び　１００回タッチをカウントされ
る媒体Ｄ表面からの高さは、夫々０．１　μｍ，０．０
９６　μｍ，０．０９４　μｍであった。この測定結果
から、切除後の突起物の最大高さはａ＝０．１　μｍと
なり、これに余裕分ｂ＝０．０３μｍを加えると計０．
１３μｍとなり、上記従来装置における浮上高＝０．１
９μｍに対して０．０６μｍ近接した低浮上走行が可能
となり、これにより一層高密度な記録，再生を実現でき
、特性向上に役立つものである。なお、１回転につき何
回タッチするまでの突起高さを許容値とするかは、各々
の設計や信頼性の思想により定めるもので、上記実施例
値に限定されるものではない。

【００２２】図７は磁気記録再生ヘッド装置の従来の研
磨方法を説明するための縦断面図であり、３０は研磨盤
、２５はフェライトコア、３３ａ，３３ｂは　ＭＩＧメ
タル、３４はギャップ材である。研磨盤３０を用いて、
スライダ面３とヘッド面（ヘッドギャップ面２ｇ）とが
同一平面上になるよう研磨すると、比較的柔らかいギャ
ップ材３４，特に　ＭＧＩタイプの如くメタルで構成さ
れた部分が表面より陥没し（実測でΔｌ　＝０．０３μ
ｍ程度）、記録再生面（媒体表面）からの実質的スペー
ス増加となって、高密度録再特性を低下させてしまって
いた。

【００２３】また、図１２に示すような、従来タイプの
スキースライダヘッド装置においても、研磨の際に、ギ
ャップ部を構成する　ＭＩＧ部材３３ａ，３３ｂの陥没
（Δｌ　＝０．０３〜０．０５μｍ程度）が見られた。 なお、４ｆはスライダフェライト、２６はスライダヘッ
ドである。

【００２４】同様に、図１３に示すような、従来タイプ
のスキースライダ薄膜ヘッド装置においても、研磨の際
に、ギャップ部を構成するメタル部３５ａ，３５ｂの陥
没（Δｌ　＝０．０２５　μｍ程度）があった。なお、
３６はモールド、３７は電気的な絶縁材である。

【００２５】これらの陥没（Δｌ）は、スライダ材料や
ヘッド材料により異なるが、研磨手法や研磨材によって
も大幅に変化するので、本発明者を始め、作製者，開発
技術者にあっては、Δｌ　を少しでも減少させるべく、
ギャップ部が陥没しないように切れ味良く研磨できる手
法を模索し続けている。その結果、本発明者は研磨手法
の改良にも成功したので、以下その手法について、図面
と共に説明する。

【００２６】図８は、新規な研磨方法を説明するための
、磁気記録再生ヘッド装置１Ｃ（前記第２実施例装置１
Ｂでも良い）の縦断面図であり、この図においても前記
図１〜７と同一構成部分には同一符号を付して、その詳
細な説明を省略する。図８中、２ｃはヘッド研磨部、９
Ｍは圧電セラミック厚さ増大のマーク、Ｖは電圧印加用
のＤＣ電源、Ｓｗは開閉スイッチであり、この研磨方法
においては、圧電セラミック（圧電素子）９を有効に利
用している。即ち、研磨時に生ずる陥没は必ず発生する
ものとして、陥没量に相当する高さ又はそれより若干大
き目にヘッドスライダ面２ｂをスライダ面３よりも突出
させて、研磨盤３０でヘッド研磨部２ｃを研磨するもの
である。図８において、破線で示した部分２ｃが取りし
ろであるヘッド研磨部であり、その突出量は、ＤＣ電源
Ｖの電圧を加減して圧電セラミック９の厚みを調節する
ことにより、相対的に調整される。

【００２７】このＤＣ（直流）電源Ｖによる印加電圧は
、ヘッド研磨時にのみ圧電セラミック９の両電極膜Ｅ１
，Ｅ２　に印加され、実測例ではＶ＝１５０Ｖの時に０
．０９μｍ程度の厚み変化が得られたので、前記のΔｌ
　＝０．０３μｍ及びこれに若干の突出し量を加えて、
０．０６μｍ程度の突出量とするのが適当で、そのため
にＶ＝約１００Ｖの電圧を電極膜Ｅ１，Ｅ２　間に印加
した。

【００２８】次に、かかる研磨方法により得られた磁気
記録再生ヘッド装置の使用例について、図９と共に説明
する。この図は、若干突出し量０．０３μｍ（＝−Δｌ
’）を保ちつつ、媒体Ｄ表面上を浮上走行している状況
を示している。この時、電極膜Ｅ１，Ｅ２　間はリード
線４３で短絡（ショート）して電圧Ｖ＝０とし、圧電セ
ラミック９の厚みを最小にしている。かかる短絡は、研
磨後直ちに行なって圧電素子間を０電位にして、残留偏
位が無いようにしておく必要がある。

【００２９】なお、電極膜Ｅ１，Ｅ２　間に印加する電
圧Ｖを変化して、ヘッドギャップ面（２ｇ）のスライダ
面３からの突出量を自在に調節することも可能である。 もし、そのように構成する場合は、上記研磨時における
印加電圧を、陥没量Δｌ　の補正より遥かに大きく、例
えばＶ＝１５０Ｖ（０．０９μｍ）相当の電圧を印加し
て研磨を行ない、記録，再生に際して印加電圧を若干減
らしてＶ＝１５０Ｖ→１００Ｖ…等に設定できるように
、可変抵抗やアッテネータを接続して構成すると良い。 しかし乍ら、かかる電圧値は、圧電素子９にとってはか
なり高い電圧であるので、回路上好ましくはなく、やは
りＶ＝０電位で最高の性能が発揮できるように構成する
のが最も望ましい。

【００３０】ところで、２０ＭＢ相当の媒体では前述の
如くき浮上走行高を得たが、別の媒体，即ち予めテクス
チャ処理を施さない鏡面仕上げのディスク（図示せず）
においては、突起物に１回転当り１０回接触する浮上高
（図６のａ＋ｂ）として、０．０６μｍが得られた。こ
れは、鏡面状ディスクと言えども、媒体製作時において
各種の残留体積物が存在し、これが予期せぬ突起物とな
って媒体面上に分布していることを意味し、媒体製作の
困難さを示唆している。

【００３１】なお、本発明の磁気記録再生ヘッド装置を
使用した場合の実測例として、媒体の回転数＝２４００
ｒｐｍ，ダイヤモンドスライダ角＝１．０２６ｍｍ，ス
ライダ面積＝０．６７ｍｍ２　の場合、径８０φ，１０
ｍ／ｓ　にて　０．１μｍ／１．３ｇｒ　，０．０８μ
ｍ／２．２ｇｒ　，０．０５μｍ／４ｇｒ　；径５５φ
，６．９ｍ／ｓ　にて　０．１μｍ／１．１ｇｒ　，０
．０７μｍ／１．７ｇｒ　の印加圧，浮上量の関係が得
られた。

【００３２】

【発明の効果】叙上の如く、本発明の磁気記録再生ヘッ
ド装置及び記録再生方法によれば、次のような優れた特
長効果を有する。 （１）　媒体面にランダムに生じている突起物を短く変
形させた後、その上を浮上走行するので、本来記録媒体
が有する浮上走行許容値よりもかなり低く浮上走行する
ことができ、ディスクへの記録，再生の高密度化を図る
ことができる。 （２）　スライダ材が単一（一体的に形成）なので、温
度変化や加工時の変化及び経年変化等の影響を殆ど受け
ず、安定性の高いヘッド装置を提供できる。 （３）　突起物切除角や突起物切除面が２つのスライダ
導入面と、主スライダ面に囲まれた安定なスライダ面と
、ピッチングやローリング対して自動バランスする支点
に支えられた構造と、デルタ状の浮上面分布に保持され
るので、浮上走行時に姿勢のバランスを崩したり、その
結果切除角によって媒体表面を損傷する等の虞れがない
。 （４）　スライダ材は単一面素材であって素材の加工が
容易な形状であり、その為ダイヤモンドを素材とするこ
とができ、超小型（０．６〜１ｍｍ　角，厚さ０．２ｍ
ｍ）ながら走行安定性が保てる。また、小さいので低価
格で入手できる。 （５）　スライダ材としてダイヤモンドを使用した場合
、その硬度は突起物よりもかなり高いので、超低浮上走
行時に突起物を切除する際にスライダ面を破損すること
が無く、安定な使用が長期に可能である。 （６）　スライダ材としてダイヤモンドを使用した場合
、劈開等の現象を起こし難く、従ってゴミが劈開面に食
い込むことも無いので、ゴミがスライダ面にこびり着か
ず、これにより浮上走行時やスタート，ストップ時に媒
体面を破損することが殆ど無くなった。そのために、ダ
イヤ製スライダを用いた浮上走行は、従来例のスライダ
材の浮上走行に比し、一層超低浮上走行させることがで
きる。 （７）　ヘッドギャップ部がスライダ材の中心部側の切
欠き部の中に入り込んでいるため、スライダ面のピッチ
ングやローリングにより、比較的に柔かいヘッドギャッ
プ部がスライダ端部より先に媒体に接して磨耗するとい
うことが無く、長期に良好且つ安定な録再特性を維持し
得る。 （８）　圧電セラミックの厚み変化を利用した構造でス
ライダ面に対するヘッドスライダ面の動きが同一垂直動
となるため、スライダ面に傾斜が発生せず、ギャップ部
を媒体に最接近して走行でき、高密度録再に寄与できる
。 （９）　スライダポインタによる浮上力分布の中点を、
ポイント（支点）押えとし、スライダ端部を吊す（サス
ペンドする）構成としているので、スライダが約１ｍｍ
×１ｍｍの微小サイズにも拘らず、安定な浮上姿勢を保
ち得る。 （１０）スライダ面は後退翼形のＵ字型に近い形状なの
で、３輪車走行に近い安定な走行姿勢を維持し得る。 （１１）スライダ部が超小型なので、軽重量となり、ア
クセス速度を向上し得る。 （１２）　ＭＩＧ構造等、研磨仕上時に生ずるギャップ
部落ち込み現象を、研磨時に圧電素子駆動効果により落
ち込み面をスライダ面と同一又は僅かにスライダ面より
突出た位置に研磨仕上することができ、ギャップ部を媒
体に近接走行させられる。 （１３）録再使用時に圧電素子の両電極膜を短絡するの
で、圧電素子の０リセットを保って用いることになり、
圧電素子の電荷ホールドにより生ずる予期せぬトラブル
を未然に防止できる。 （１４）スライダ部の他の部材との接着面には、金属性
物質をイオン注入又はスパッタ処理加工して接着してい
るので、接着材との親和性が良く、強固なヘッド構成を
成している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録再生ヘッド装置の第１実施例
を上下逆に示す拡大斜視図。

【図２】本発明の第２実施例装置を上下逆にして示す拡
大斜視図である。

【図３】本発明装置及びこれを支持する構成を上下逆に
示す拡大斜視図である。

【図４】本発明装置を支持する構成を示す断面図である
。

【図５】本発明装置を支持する構成を示す拡大底面図で
ある。

【図６】従来装置及び本発明装置における低浮上走行と
突起物の切除動作を説明する為の原理図である。

【図７】磁気記録再生ヘッド装置の従来の研磨方法説明
用縦断面図である。

【図８】新規な研磨方法説明用の磁気記録再生ヘッド装
置の縦断面図である。

【図９】図８で得られたヘッド装置及びその浮上走行例
を示す縦断面図である。

【図１０】スキースライダタイプの従来装置の底面斜視
図である。

【図１１】従来の浮上型磁気ヘッド装置の底面斜視図で
ある。

【図１２】従来タイプのスキースライダヘッド装置の縦
断面図である。

【図１３】従来タイプのスキースライダ薄膜ヘッド装置
の縦断面図である。

【符号の説明】

１Ａ〜１Ｃ　　磁気記録再生ヘッド装置２　　磁気ヘッ
ド部 ２ｇ　　ヘッドギャップ面 ３　　スライダ面 ３ａ，３ｂ　　スライダ導入面 ３ｃ　　突起物切除角 ４　　スライダ部 ４ｃ　　切欠き部 ８　　スライダポインタ ９ａ，９ｂ　　圧電素子（圧電セラミック）１３　　サ
ポータ ２５　　フェライトコア Ｄ　　記録媒体 Ｄａ〜Ｄｃ　　突起物 ｇ　　磁気ギャップ Ｐ　　スライダ自由動支点

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】スライダ部と磁気ヘッド部とから成り、ス
   ライダ部のスライダ面と磁気記録媒体の表面との間に生
   ずる気体流により揚力を得て浮上走行し乍ら、該磁気記
   録媒体に上記磁気ヘッド部にて信号を記録再生する磁気
   記録再生ヘッド装置において、　　浮上走行乃至接触走
   行する上記スライダ部を単一の素材にて形成すると共に
   、上記スライダ面の両辺に走行方向に後退形となる開き
   角形状の導入部を形成し、該スライダ面の走行方向側の
   うち上記導入部以外の部分に，上記磁気記録媒体面に生
   じている突起物を除去し得る切除部を形成すると共に、
   上記スライダ部の走行方向上導出側に切欠き部を形成し
   、該切欠き部に上記磁気ヘッド部を配置すると共に、該
   磁気ヘッド部と上記スライダ部とをサポータで固定して
   構成したことを特徴とする磁気記録再生ヘッド装置。
2. 【請求項２】上記スライダ部とサポータとの間に、厚み
   を変化し得る圧電素子を挿入することにより、上記スラ
   イダ面と上記磁気ヘッド部のギャップ面との相対的な高
   さを微調整できるよう構成した、請求項１記載の磁気記
   録再生ヘッド装置。
3. 【請求項３】上記スライダ面のローリング支点を走行方
   向の略中心線上とすると共に、上記スライダ部のピッチ
   ング支点を，上記媒体表面に平行したスライダ面走行を
   成し得るバランス点とし、上記磁気ヘッド部の走行方向
   の中心線をローリング線と略一致させて構成すると共に
   、上記ピッチング支点に加圧力を印加するスライダポイ
   ンタを備えることにより、上記媒体表面にランダムに生
   じている突起物に上記切除部が接触し乍らこれを除去す
   るよう構成した、請求項１又は２記載の磁気記録再生ヘ
   ッド装置。
4. 【請求項４】請求項１〜３のうちいずれかに記載の磁気
   記録再生ヘッド装置を用いてこれを超低浮上走行させる
   ことにより、磁気記録媒体の表面にランダムに生じてい
   る突起物の上部を切削除去して平滑面を形成しつつ、又
   は除去した後に残留突起物に接触しないよう該磁気記録
   再生ヘッド装置への加圧力を若干弱めて、上記磁気記録
   媒体に情報信号を記録，再生する記録再生方法。