JPH0820282A - 可変曲率ミラー及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 部品点数を少なくして、組立工数を削減する
と共に製造コストを安くし、また、ミラーの鏡面の曲率
検知精度を高くする。 【構成】 本発明の可変曲率ミラーは、ミラー３を押圧
してミラー３の鏡面の曲率を可変する押圧体と、この押
圧体を駆動するモータとを備えて成るものにおいて、ミ
ラー３を、湾曲変形可能な透明ガラス板１０と、この透
明ガラス板１０の裏面のほぼ全面に薄膜成膜方法により
形成された反射膜１１と、透明ガラス板１０の裏面の縁
部に反射膜１１と同時に薄膜成膜方法により形成された
歪センサ１２とから構成したものである。これにより、
歪センサ１２をミラー３に簡単且つ容易に一体化するこ
とが可能であるから、部品点数及び組立工数が少なくな
ると共に、ミラーの鏡面の歪（曲率）検知精度が高くな
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ミラーを用いて後方を
視認する場合にミラーの視認範囲を可変することが可能
な可変曲率ミラー及びその製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】この種の可変曲率ミラーとしては、従来
より、実開平１−６８２５２号公報、実開平２−１３３
９３８号公報、実開平４−９６５５２号公報に記載され
たミラーがある。これらの可変曲率ミラーは、湾曲変形
可能な平面状のミラーと、このミラーの裏面側の中心部
を押圧して変形させる押圧体と、この押圧体を押圧方向
及び反押圧方向へ往復駆動するモータとを備えて構成さ
れている。この構成の場合、ミラーの視野を広くしたい
場合には、モータを駆動して押圧体によりミラーの裏面
側の中心部を押圧し、ミラーをその鏡面が凸面状（球面
状）になるように湾曲変形させて、鏡面の曲率を可変
（小さく変化）させるようにしている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来構成において
は、押圧体の移動位置を検知する位置センサを設け、こ
の位置センサからの位置検知信号に基づいてミラーの鏡
面の曲率をどれくらい可変したかを検知するようにして
おり、上記位置検知信号に基づいてモータの通電制御を
行うように構成されている。しかし、この構成では、位
置センサとして例えば複数のマイクロスイッチが別途必
要となるので、部品点数が多くなり、組立工数が多くな
ると共に、製造コストが高くなるという欠点があった。
また、上記構成では、位置センサにより押圧体の移動位
置を検知することにより、ミラーの鏡面の曲率を間接的
に検知する構成であるので、ミラーの鏡面の曲率検知精
度がどうしても悪くなるという不具合があった。

【０００４】そこで、本発明の目的は、部品点数を少な
くして、組立工数を削減すると共に製造コストを安くす
ることができ、また、ミラーの鏡面の曲率検知精度を高
くすることができる可変曲率ミラー及びその製造方法を
提供するにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の可変曲率ミラー
は、ミラーを押圧してミラーの鏡面の曲率を可変する押
圧手段と、この押圧手段を駆動する駆動手段とを備えて
成るものにおいて、前記ミラーを、湾曲変形可能な透明
基板と、この透明基板の裏面のほぼ全面に薄膜成膜方法
により形成された反射膜と、前記透明基板の裏面の縁部
に前記反射膜と同時に薄膜成膜方法により形成された歪
センサとから構成したところに特徴を有する。この構成
の場合、前記反射膜及び前記歪センサを、歪抵抗変化が
大きい特性を有する金属膜、半導体膜または金属酸化膜
から構成することが好ましい。

【０００６】また、本発明の可変曲率ミラーの製造方法
は、反射膜及び歪センサを透明基板の裏面に同時に形成
する場合に、前記反射膜及び前記歪センサのパターンが
形成されたマスク部材を透明基板の裏面に取り付ける工
程と、前記マスク部材の上方からスパッタ法または真空
蒸着法により膜材料を堆積させて前記透明基板の裏面に
成膜する工程と、前記透明基板の裏面から前記マスク部
材を取り外す工程とを有して構成された薄膜成膜方法を
用いているところに特徴を有する。

【０００７】更に、本発明の他の可変曲率ミラーの製造
方法は、反射膜及び歪センサを透明基板の裏面に同時に
形成する場合に、透明基板の裏面の全面に、前記反射膜
及び前記歪センサを構成するための薄膜を形成する工程
と、前記薄膜に対してフォトリソグラフィ法により前記
反射膜及び前記歪センサのパターンを形成する工程とか
ら構成された薄膜成膜方法を用いているところに特徴を
有する。

【０００８】

【作用】上記手段によれば、ミラーを、湾曲変形可能な
透明基板と、この透明基板の裏面のほぼ全面に薄膜成膜
方法により形成された反射膜と、前記透明基板の裏面の
縁部に前記反射膜と同時に薄膜成膜方法により形成され
た歪センサとから構成したので、ミラーの鏡面の歪量
（即ち曲率）を検知する歪センサをミラーに一体化する
ことができる。従って、部品点数が少なくなって、組立
工数が削減されると共に、製造コストが安くなる。そし
て、歪センサによりミラーの鏡面の歪量、即ち、曲率を
直接検知する構成となるので、ミラーの鏡面の曲率検知
精度を高くすることができる。また、この構成の場合、
反射膜及び歪センサを、歪抵抗変化が大きい特性を有す
る金属膜、半導体膜または金属酸化膜から構成すれば、
歪センサによる曲率検知精度が一層高くなる。

【０００９】一方、反射膜及び歪センサを透明基板の裏
面に同時に形成する薄膜成膜方法を、反射膜及び歪セン
サのパターンが形成されたマスク部材を透明基板の裏面
に取り付ける工程と、マスク部材の上方からスパッタ法
または真空蒸着法により膜材料を放出させて透明基板の
裏面に成膜する工程と、そして、透明基板の裏面からマ
スク部材を取り外す工程とから構成すれば、ミラーに歪
センサを一体化する構成を容易且つ低コストに実現する
ことができる。

【００１０】また、上記したようにマスク部材を用いる
薄膜成膜方法に代えて、透明基板の裏面の全面に、反射
膜及び歪センサを構成する薄膜を形成する工程と、薄膜
に対してフォトリソグラフィ法により反射膜及び歪セン
サのパターンを形成する工程とから成る薄膜成膜方法を
用いる構成としても良い。これによっても、ミラーに歪
センサを一体化する構成を容易且つ低コストに実現する
ことが可能である。

【００１１】

【実施例】以下、本発明を自動車用サイドミラー（例え
ばドアミラー）に適用した第１の実施例について図１な
いし図５を参照しながら説明する。まず、サイドミラー
の概略縦断面を示す図２において、ミラーボディ１は、
後面部（図２中左面部）が開口しており、その内部に容
器状のミラー支持体２が配設（設置）角度を調節可能に
配設されている。このミラー支持体２は後面部（図２中
左面部）が開口しており、その開口端部の内側にミラー
３が固定支持されている。このミラー３は、図１に示す
ように、全体としてほぼ矩形平板状をなしており、湾曲
変形可能なものである。

【００１２】また、ミラー支持体２の内部には、押圧手
段である例えば棒状の押圧体４が前後方向（図２中左右
方向）に移動可能に設けられている。この押圧体４の左
端部がミラー３の裏面の中心部に当接するように構成さ
れている。上記押圧体４の図２中下面部にはラック５が
設けられており、このラック５にウォームホイール６が
噛合している。そして、ウォームホイール６には、駆動
手段である例えばモータ７の回転軸８に取付けられたウ
ォーム９が噛合している。この場合、モータ７を正逆回
転駆動すると、その回転力がウォーム９、ウォームホイ
ール６、ラック５を介して押圧体４に伝達されて、該押
圧体４が左右方向に移動駆動されるように構成されてい
る。

【００１３】そして、押圧体４が左方へ移動されて該押
圧体４がミラー３の裏面の中心部を左方へ押すと、ミラ
ー３が左方へ突出するように湾曲変形し、もって、ミラ
ー３の鏡面が球面状になっていわゆる凸面鏡となるよう
に構成されている（図２中２点鎖線参照）。これによ
り、ミラー３の視野の範囲が広くなる。更に、この場
合、押圧体４の移動距離を調節することにより、ミラー
３の球面状の鏡面の曲率（即ち、変形量または歪量）を
可変することが可能な構成となっている。

【００１４】さて、上記ミラー３について詳細に説明す
る。ミラー３は、図１に示すように、湾曲変形可能な透
明基板である例えば透明ガラス板１０と、この透明ガラ
ス板１０の裏面（図２中右側面）のほぼ全面、具体的に
は、周縁部を除いた中央部分に形成された反射膜１１
と、透明ガラス板１０の裏面の周縁部における図１中下
辺部中央に形成された歪センサ１２とから構成されてい
る。上記反射膜１１と上記歪センサ１２とは、同時に薄
膜成膜方法により形成されている。ここで、上記薄膜成
膜方法について、図３に従って具体的に説明する。

【００１５】まず、図３（ａ）に示すように、透明ガラ
ス板１０を用意すると共に、この透明ガラス板１０の下
面（反射膜１１等を形成する側の面）にマスク部材１３
を密着させて取り付ける。このマスク部材１３は、透明
ガラス板１０よりも少し大きい形状の例えば金属板から
構成されており、これには、反射膜１１と歪センサ１２
のパターン１３ａが形成されている。このパターン１３
ａは、反射膜１１と歪センサ１２の形状と同じ形状の貫
通孔から構成されている。

【００１６】続いて、図３（ｂ）に示すように、マスク
部材１３の上方（この場合、下面側）から膜材料（蒸着
源またはスパッタ源）として例えばクロム（Ｃｒ）１４
を真空蒸着法またはスパッタ法により堆積させて膜１５
を成膜するようにしている。そして、この後、図３
（ｃ）に示すように、透明ガラス板１０からマスク部材
１３を取外すと、透明ガラス板１０の裏面に残った膜１
５が反射膜１１及び歪センサ１２を構成している。これ
によって、反射膜１１及び歪センサ１２が透明ガラス板
１０に同時に形成されるようになっている。尚、本実施
例の場合、反射膜１１及び歪センサ１２（即ちクロム
膜）の厚み寸法を約２００オングストローム以上約２０
００オングストローム以下に設定している。これは、２
００オングストローム未満であると、鏡としての反射率
が得られなくなり、一方、２０００オングストロームを
越えると、膜がガラス板１０から剥離するおそれが高く
なるためである。この場合、ほぼ１０００オングストロ
ーム程度に設定することが最も好ましい態様である。

【００１７】また、電気的構成を示す図４において、マ
イクロコンピュータ等から構成された制御回路１５は、
モータ駆動回路１６を介して上記モータ７を通電制御す
るように構成されている。上記制御回路１５は、歪セン
サ１２から出力された歪検出信号を増幅器１７を介して
受けると共に、ミラー３の視野範囲（ミラー３の鏡面の
曲率）を切替設定するための操作スイッチ１８からのス
イッチ信号を受けるように構成されている。この操作ス
イッチ１８は、運転者が操作可能な位置に配設されてお
り、例えば複数のプッシュスイッチからなり、複数の切
替信号（視野範囲が普通、やや大、中ぐらい大、かなり
大等に対応する各スイッチ信号）を出力可能な構成とな
っている。

【００１８】次に、上記構成の作用を図５も参照して説
明する。図５のフローチャートは、制御回路１５に記憶
された制御プログラムの制御内容を概略示すものであ
る。今、ミラー３の視野範囲が普通の状態で、視野範囲
を大きくすることを指示する操作スイッチ１８が操作さ
れたとする。すると、図５のステップＳ１にて「ＹＥ
Ｓ」へ進み、操作された操作スイッチ１８が指示する視
野範囲に対応するミラー３の鏡面の曲率、具体的には、
その曲率に相当する歪量が設定されて、制御回路１５に
記憶される（ステップＳ２）。続いて、ミラー３の現在
の曲率を歪センサ１２により検知する（ステップＳ
３）。この場合、歪センサ１２は、実際にはミラー３の
歪量を検知している。今の場合、検知歪量は鏡面が平面
状であることを示す値（零）となる。

【００１９】そして、検知歪量と設定歪量とを比較し
（ステップＳ４）、この場合、検知歪量が設定歪量より
も小さいから、ステップＳ４にて「ＹＥＳ」へ進み、モ
ータ７を正転方向へ通電駆動する（ステップＳ５）。こ
のモータ７の正転駆動により、押圧体４が図２中左方へ
移動駆動されてミラー３の裏面中心部を左方へ押すよう
になり、ミラー３が湾曲し始める。続いて、ステップＳ
３へ戻り、歪センサ１２によりミラー３の歪量（曲率）
を検知する。これにより、検知歪量が設定歪量に等しく
なるまでモータ７を正転方向へ通電駆動するようになっ
ている。

【００２０】この後、検知歪量が設定歪量に等しくなる
と、ステップＳ４にて「ＮＯ」へ進み、検知歪量が設定
歪量に等しいか否かを判断する（ステップＳ６）。この
場合、等しいからステップＳ６にて「ＹＥＳ」へ進み、
モータ７を断電停止する（ステップＳ７）。これによ
り、ミラー３の鏡面の歪量（曲率、視野範囲）が設定歪
量に設定されるのである。上述した制御では、ミラー３
の初期状態が平面状であって、ミラー３の歪量を大きく
する設定を行った場合について述べたが、ミラー３の初
期状態が少し歪んでいる状態であって、ミラー３の歪量
を更に大きくする設定を行った場合の制御もほぼ同様に
して実行される。

【００２１】次に、ミラー３の初期状態が大きく歪んで
いる状態であって、ミラー３の歪量を小さくする（或い
は歪量を零にする）設定を行った場合について説明す
る。この場合、ミラー３の歪量を小さくする操作スイッ
チ１８が操作されると、ステップＳ１にて「ＹＥＳ」へ
進み、操作された操作スイッチ１８が指示する視野範囲
に対応するミラー３の鏡面の曲率、即ち、その曲率に相
当する歪量が設定されて、制御回路１５に記憶される
（ステップＳ２）。続いて、ミラー３の現在の歪量（曲
率）を歪センサ１２により検知する（ステップＳ３）。

【００２２】そして、検知歪量と設定歪量とを比較し
（ステップＳ４）、この場合、検知歪量が設定歪量より
も大きいから、ステップＳ４にて「ＮＯ」へ進むと共に
ステップＳ６にても「ＮＯ」へ進み、モータ７を反転方
向へ通電駆動する（ステップＳ８）。このモータ７の反
転駆動により、押圧体４が図２中右方へ移動駆動される
ようになり、ミラー３の湾曲が小さくなり始める。続い
て、ステップＳ３へ戻り、歪センサ１２によりミラー３
の歪量（曲率）を検知する。これにより、検知歪量が設
定歪量に等しくなるまでモータ７の反転方向へ通電駆動
が継続される構成となっている。この後、検知歪量が設
定歪量に等しくなると、ステップＳ４にて「ＮＯ」へ進
むと共に、ステップＳ６にて「ＹＥＳ」へ進み、モータ
７を断電停止する（ステップＳ７）。これにより、ミラ
ー３の鏡面の歪量（曲率、視野範囲）が設定歪量に設定
されるのである。

【００２３】このような構成の本実施例によれば、ミラ
３ーを、湾曲変形可能な透明ガラス板１０と、この透明
ガラス板１０の裏面のほぼ全面に薄膜成膜方法により形
成された反射膜１１と、透明ガラス板１０の裏面の縁部
に反射膜１１と同時に薄膜成膜方法により形成された歪
センサ１２とから構成したので、ミラー３の鏡面の歪量
（曲率）を検知する歪センサ１２をミラー３に一体化す
ることができる。従って、従来構成に比べて、部品点数
が少なくなって、組立工数を削減できると共に製造コス
トを安くすることができる。そして、歪センサ１２によ
りミラー３の鏡面の歪量、即ち、曲率を直接検知する構
成となるので、間接検知を行う従来構成に比べて、ミラ
ー３の鏡面の曲率検知精度を高くすることができる。

【００２４】尚、上記実施例では、反射膜１１及び歪セ
ンサ１２をクロムからなる薄膜１５により形成したが、
これに限られるものではなく、歪抵抗変化が大きい特性
を有する材質の薄膜であれば、他の金属膜、半導体膜ま
たは金属酸化膜から構成しても良い。また、上記実施例
では、透明基板として透明ガラス板１０を用いる構成と
したが、これに代えて、透明プラスチック板を用いる構
成としても良い。そして、この透明プラスチック板を用
いる構成の場合、ミラー３をかなり大きく変形させる
（視野範囲をかなり広く設定する）ことが可能となる。

【００２５】更に、上記実施例では、歪センサ１２を透
明ガラス板１０の縁部の図１中下辺部中央に配設する構
成としたが、これに限られるものではなく、図１中上辺
部中央、図１中右辺部中央或いは図１中左辺部中央に配
設する構成としても良い。また、歪センサ１２を１個設
ける代わりに、２個設けても良く、更に、２個の歪セン
サを透明ガラス板１０の両面に設け、両者の差動信号に
基づいて歪を検出するように構成しても良い。

【００２６】一方、上記実施例では、押圧体４によりミ
ラー３の裏面の中央部を押圧してミラー３を湾曲変形さ
せる構成としたが、これに代えて、図６（ａ）及び
（ｂ）に示す本発明の第２の実施例のように、押圧体１
９によりミラー３の右端部のほぼ中央部を図中左方へ押
圧してミラー３を断面ほぼかまぼこ形状に湾曲変形させ
る構成としても良く（図２（ｂ）２点鎖線参照）、この
場合にも、第１の実施例とほぼ同様な作用効果を得るこ
とができる。尚、上述した以外の構成は、第１の実施例
の構成とほぼ同様な構成となっている。

【００２７】また、反射膜１１及び歪センサ１２を透明
ガラス板１０の裏面に同時に形成する薄膜成膜方法とし
て、図７に示す第３の実施例のように、フォトリソグラ
フィ法を使用しても良い。この第３の実施例の場合、ま
ず、図７（ａ）に示すように、透明ガラス板１０の裏面
（図７中上面）の全面に、反射膜１１及び歪センサ１２
を構成するためのクロム製の薄膜２０を形成する。この
場合、上記薄膜２０は真空蒸着法またはスパッタ法等に
より成膜する。続いて、上記薄膜２０に対してフォトリ
ソグラフィ法により反射膜１１及び歪センサ１２のパタ
ーン以外の部分の薄膜２０を除去して、反射膜１１及び
歪センサ１２を形成する。

【００２８】具体的には、図７（ｂ）に示すように、ク
ロムの薄膜２０の上面全体にフォトレジスト層２１を形
成する。続いて、図７（ｃ）に示すように、フォトレジ
スト層２１の上面に、フォトマスク部材２２を載せて密
着させる。このフォトマスク部材２２は、例えば透明ガ
ラス板からなり、反射膜１１及び歪センサ１２のパター
ン２２ａ、即ち、反射膜１１及び歪センサ１２の形状と
同形状であってしかも遮光部材からなるパターン２２ａ
が形成されている。そして、フォトマスク部材２２の上
方から光を照射してフォトレジスト層２１を感光させ
る。

【００２９】この後、フォトマスク部材２２を取り外
し、フォトレジスト層２１を現像すると、図７（ｄ）に
示すように、フォトレジスト層２１のうちのフォトマス
ク部材２２のパターン２２ａ（反射膜１１及び歪センサ
１２のパターン２２ａ）と同形状の部分が残る。即ち、
フォトレジスト層２１のうちの光が当たった部分が除去
されるようになっている。続いて、クロムを除去するエ
ッチングを行うと、図７（ｅ）に示すように、薄膜２０
のうちの上記パターン２２ａと同形状の部分、即ち、反
射膜１１及び歪センサ１２が残る。この後、図７（ｆ）
に示すように、反射膜１１及び歪センサ１２の上に残っ
ているフォトレジスト層２１を除去すれば、ミラー３が
完成する。尚、上述した以外の構成は、第１の実施例の
構成と同じ構成となっている。

【００３０】従って、上記第３の実施例においても、第
１の実施例とほぼ同様な作用効果を得ることができる。
特に、第３の実施例によれば、ミラー３に歪センサ１２
を一体に形成する際に、フォトリソグラフィ法を用いる
構成としたので、歪センサ１２の形状をより一層高精度
に形成することができる。

【００３１】

【発明の効果】本発明は以上の説明から明らかなよう
に、ミラーを、湾曲変形可能な透明基板と、この透明基
板の裏面のほぼ全面に薄膜成膜方法により形成された反
射膜と、前記透明基板の裏面の縁部に前記反射膜と同時
に薄膜成膜方法により形成された歪センサとから構成し
たので、ミラーの鏡面の歪（曲率）を検知する歪センサ
をミラーに一体化することができ、従って、部品点数を
少なくし得ると共に、組立工数を削減し得、ひいては製
造コストを安くすることができ、しかも、ミラーの鏡面
の歪（曲率）検知精度を高くし得るという優れた効果を
奏する。また、上記構成の場合、反射膜及び歪センサ
を、歪抵抗変化が大きい特性を有する金属膜、半導体膜
または金属酸化膜から構成すれば、歪センサによる曲率
検知精度が一層高くなる。

【００３２】一方、反射膜及び歪センサを透明基板の裏
面に同時に形成する薄膜成膜方法を、反射膜及び歪セン
サのパターンが形成されたマスク部材を透明基板の裏面
に取り付ける工程と、マスク部材の上方からスパッタ法
または真空蒸着法により膜材料を放出させて透明基板の
裏面に成膜する工程と、そして、透明基板の裏面からマ
スク部材を取り外す工程とから構成すれば、ミラーに歪
センサを一体化する構成を容易且つ低コストに実現する
ことができる。

【００３３】また、上記したようにマスク部材を用いる
薄膜成膜方法に代えて、透明基板の裏面の全面に、反射
膜及び歪センサを構成する薄膜を形成する工程と、薄膜
に対してフォトリソグラフィ法により反射膜及び歪セン
サのパターンを形成する工程とから成る薄膜成膜方法を
用いる構成としても良い。これによっても、ミラーに歪
センサを一体化する構成を容易且つ低コストに実現する
ことができ、また、歪センサの形状精度を高くすること
も可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例を示すミラーの裏面図

【図２】サイドミラーの部分縦断側面図

【図３】（ａ）〜（ｃ）は薄膜成膜方法の作業工程を示
す図

【図４】ブロック図

【図５】フローチャート

【図６】（ａ）及び（ｂ）は本発明の第２の実施例を示
す破断正面図及び横断面図

【図７】（ａ）〜（ｆ）は本発明の第３の実施例を示す
もので、薄膜成膜方法の作業工程を示す図

【符号の説明】 １はミラーボディ、２はミラー支持体、３はミラー、４
は押圧体（押圧手段）、７はモータ（駆動手段）、１０
は透明ガラス板（透明基板）、１１は反射膜、１２は歪
センサ、１３はマスク部材、１３ａはパターン、１４は
クロム（膜材料）、１５は制御回路、１８は操作スイッ
チ、１９は押圧体（押圧手段）を示す。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ミラーを押圧してミラーの鏡面の曲率を
   可変する押圧手段と、この押圧手段を駆動する駆動手段
   とを備えて成る可変曲率ミラーにおいて、 前記ミラーを、 湾曲変形可能な透明基板と、 この透明基板の裏面のほぼ全面に薄膜成膜方法により形
   成された反射膜と、 前記透明基板の裏面の縁部に前記反射膜と同時に薄膜成
   膜方法により形成された歪センサとから構成したことを
   特徴とする可変曲率ミラー。
2. 【請求項２】 前記反射膜及び前記歪センサは、歪抵抗
   変化が大きい特性を有する金属膜、半導体膜または金属
   酸化膜から構成されていることを特徴とする請求項１記
   載の可変曲率ミラー。
3. 【請求項３】 反射膜及び歪センサを透明基板の裏面に
   同時に形成する薄膜成膜方法は、 前記反射膜及び前記歪センサのパターンが形成されたマ
   スク部材を透明基板の裏面に取り付ける工程と、 前記マスク部材の上方からスパッタ法または真空蒸着法
   により膜材料を堆積させて前記透明基板の裏面に成膜す
   る工程と、 前記透明基板の裏面から前記マスク部材を取り外す工程
   とから構成されていることを特徴とする可変曲率ミラー
   の製造方法。
4. 【請求項４】 反射膜及び歪センサを透明基板の裏面に
   同時に形成する薄膜成膜方法は、 透明基板の裏面の全面に、前記反射膜及び前記歪センサ
   を構成するための薄膜を形成する工程と、 前記薄膜に対してフォトリソグラフィ法により前記反射
   膜及び前記歪センサのパターンを形成する工程とから構
   成されていることを特徴とする可変曲率ミラーの製造方
   法。