JPH0820109A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH0820109A JPH0820109A JP15728794A JP15728794A JPH0820109A JP H0820109 A JPH0820109 A JP H0820109A JP 15728794 A JP15728794 A JP 15728794A JP 15728794 A JP15728794 A JP 15728794A JP H0820109 A JPH0820109 A JP H0820109A
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 31
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 9
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 9
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 6
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 abstract 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造が容易で、かつ寸法精度が高く、しかも
低価格化を図る。 【構成】 空孔パターン部材１は、円柱状の圧力室形成
部１ａと、両端に形成された細径状の流路形成部１ｂと
で形成され、固定部材１ｃにより固定されている。そし
て、この空孔パターン部材１を電極材２の溶液と圧電材
３の溶液に交互に複数回浸し、脱バインダ工程で空孔パ
ターン部材１を取り除く。
低価格化を図る。 【構成】 空孔パターン部材１は、円柱状の圧力室形成
部１ａと、両端に形成された細径状の流路形成部１ｂと
で形成され、固定部材１ｃにより固定されている。そし
て、この空孔パターン部材１を電極材２の溶液と圧電材
３の溶液に交互に複数回浸し、脱バインダ工程で空孔パ
ターン部材１を取り除く。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タ用プリンタヘッドに関し、特に積層型圧電素子のイン
クジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
タ用プリンタヘッドに関し、特に積層型圧電素子のイン
クジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】周知のように、この種のインクジェット
記録ヘッドは、圧電効果を利用してインクキャビティを
構成する圧力室および流路内のインクをインクノズルか
ら液滴状に噴射させている。図４は従来のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法を示す図で、（ａ）は製造工程
図、（ｂ）は製造工程によって形成されるインクジェッ
ト記録ヘッドの形成過程図である。同図に基づいて従来
のインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する。
記録ヘッドは、圧電効果を利用してインクキャビティを
構成する圧力室および流路内のインクをインクノズルか
ら液滴状に噴射させている。図４は従来のインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法を示す図で、（ａ）は製造工程
図、（ｂ）は製造工程によって形成されるインクジェッ
ト記録ヘッドの形成過程図である。同図に基づいて従来
のインクジェット記録ヘッドの製造方法を説明する。
【０００３】Ｓ１０において、感光性樹脂からなる空孔
パターン部材５を形成し、Ｓ１１において、空孔パター
ン部材５を圧電材シート６ａに熱圧着して塗布し、Ｓ１
２において、電極７が印刷された圧電シート６ｂを積層
後、圧着し、Ｓ１３において、脱バインダ工程で形成バ
インダおよび空孔パターン部材５を取り除き、インクキ
ャビティ８を形成し、Ｓ１４において、焼結していた。
パターン部材５を形成し、Ｓ１１において、空孔パター
ン部材５を圧電材シート６ａに熱圧着して塗布し、Ｓ１
２において、電極７が印刷された圧電シート６ｂを積層
後、圧着し、Ｓ１３において、脱バインダ工程で形成バ
インダおよび空孔パターン部材５を取り除き、インクキ
ャビティ８を形成し、Ｓ１４において、焼結していた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の積層型圧電素子のインクジェット記録ヘッドの
製造方法においては、感光性樹脂からなる空孔パターン
部材５を圧電材シートに熱圧着し、さらに事前に電極が
印刷された圧電材シートを積層後、圧着して圧電材部材
と電極とを形成するため、工程が複雑で低価格化が困難
であり、かつ圧電シートの圧着時に感光性樹脂と圧電材
シートの間に隙間が生じ、このため感光樹脂除去後の空
孔、すなわちインクキャビティが所定の形状に形成でき
ないという問題があった。
た従来の積層型圧電素子のインクジェット記録ヘッドの
製造方法においては、感光性樹脂からなる空孔パターン
部材５を圧電材シートに熱圧着し、さらに事前に電極が
印刷された圧電材シートを積層後、圧着して圧電材部材
と電極とを形成するため、工程が複雑で低価格化が困難
であり、かつ圧電シートの圧着時に感光性樹脂と圧電材
シートの間に隙間が生じ、このため感光樹脂除去後の空
孔、すなわちインクキャビティが所定の形状に形成でき
ないという問題があった。
【０００５】したがって、本発明は上記した従来の問題
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、製造が容易で、かつ寸法精度の高い、しかも低価格
化を実現したインクジェット記録ヘッドおよびその製造
方法を提供することにある。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、製造が容易で、かつ寸法精度の高い、しかも低価格
化を実現したインクジェット記録ヘッドおよびその製造
方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インク
キャビティの周りに電極材と圧電材とが交互に複数層形
成されたものである。また、本発明に係るインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法は、インクキャビティを形成す
る感光性樹脂または炭素からなる空孔パターン部材を電
極材の溶液と圧電材の溶液とに交互に複数回浸し、しか
るのち脱バインダ工程を行い、さらに焼結工程を行った
ものである。
に、本発明に係るインクジェット記録ヘッドは、インク
キャビティの周りに電極材と圧電材とが交互に複数層形
成されたものである。また、本発明に係るインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法は、インクキャビティを形成す
る感光性樹脂または炭素からなる空孔パターン部材を電
極材の溶液と圧電材の溶液とに交互に複数回浸し、しか
るのち脱バインダ工程を行い、さらに焼結工程を行った
ものである。
【０００７】
【作用】本発明によれば、インクキャビティの周りに圧
電材と電極材とを形成したので、これら圧電材および電
極材によりインクキャビティの周壁全体にインク噴射の
ための圧力をかけることができる。また、本発明によれ
ば、圧電材と電極材の形成を電極材と圧電材との溶液に
交互に浸すことにより行う。
電材と電極材とを形成したので、これら圧電材および電
極材によりインクキャビティの周壁全体にインク噴射の
ための圧力をかけることができる。また、本発明によれ
ば、圧電材と電極材の形成を電極材と圧電材との溶液に
交互に浸すことにより行う。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図に基づいて説明
する。図１は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの
製造方法を示すモデル図、図２は同じく製造工程図、図
３は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの断面図で
ある。これらの図において、Ｓ１で符号１で示す感光性
樹脂からなる空孔パターン部材を形成する。この空孔パ
ターン部材１は円柱状の圧力室を形成する圧力室形成部
１ａと、圧力室形成部１ａの両端に形成された細径状の
流路形成部１ｂとで形成され、この空孔パターン部材１
は、固定部材１ｃにより所定の位置に固定されている。
する。図１は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの
製造方法を示すモデル図、図２は同じく製造工程図、図
３は本発明に係るインクジェット記録ヘッドの断面図で
ある。これらの図において、Ｓ１で符号１で示す感光性
樹脂からなる空孔パターン部材を形成する。この空孔パ
ターン部材１は円柱状の圧力室を形成する圧力室形成部
１ａと、圧力室形成部１ａの両端に形成された細径状の
流路形成部１ｂとで形成され、この空孔パターン部材１
は、固定部材１ｃにより所定の位置に固定されている。
【０００９】次にＳ２において、この空孔パターン部材
１を電極材２の溶液と電極材２を空孔パターン部材１に
付着させる溶剤とが入った電極材ディップ槽２ａ内に一
定時間浸し、取り出し、Ｓ３において、乾燥する。しか
るのち、Ｓ４において、圧電材３の溶液が入った圧電材
ディップ槽３ａ内に一定時間浸し、取り出し、Ｓ５にお
いて、乾燥する。このＳ２からＳ５までの工程を複数回
繰り返して行い、電極材２および圧電材３を空孔パター
ン部材１の周りに隙間なく積層する。
１を電極材２の溶液と電極材２を空孔パターン部材１に
付着させる溶剤とが入った電極材ディップ槽２ａ内に一
定時間浸し、取り出し、Ｓ３において、乾燥する。しか
るのち、Ｓ４において、圧電材３の溶液が入った圧電材
ディップ槽３ａ内に一定時間浸し、取り出し、Ｓ５にお
いて、乾燥する。このＳ２からＳ５までの工程を複数回
繰り返して行い、電極材２および圧電材３を空孔パター
ン部材１の周りに隙間なく積層する。
【００１０】その後、Ｓ６の脱バインダ工程において、
５００℃で比較的長時間加熱して、感光性樹脂を溶融さ
せるとともに、電極材２を空孔パターン部材１に付着さ
せる溶剤を溶融させて、空孔パターン部材１を取り除
き、圧力室および流路を構成するインクキャビティ４を
形成する。最後にＳ７の焼結工程において、１２００℃
で加熱する。
５００℃で比較的長時間加熱して、感光性樹脂を溶融さ
せるとともに、電極材２を空孔パターン部材１に付着さ
せる溶剤を溶融させて、空孔パターン部材１を取り除
き、圧力室および流路を構成するインクキャビティ４を
形成する。最後にＳ７の焼結工程において、１２００℃
で加熱する。
【００１１】このように、空孔パターン部材１への電極
材２と圧電材３との形成を電極材２の溶液および圧電材
３の溶液内に浸すことにより行っているので、電極材２
および圧電材３が空孔パターン部材１の周りに隙間なく
積層されて、空孔パターン部材１を取り除いた後のイン
クキャビティ４が所定の形状に良く形成され、このため
寸法精度が向上するとともに、単にディップ槽２ａおよ
び３ａに浸すだけで電極材２と圧電材３とが形成できる
ので、製造が容易となり、低価格化が可能となる。
材２と圧電材３との形成を電極材２の溶液および圧電材
３の溶液内に浸すことにより行っているので、電極材２
および圧電材３が空孔パターン部材１の周りに隙間なく
積層されて、空孔パターン部材１を取り除いた後のイン
クキャビティ４が所定の形状に良く形成され、このため
寸法精度が向上するとともに、単にディップ槽２ａおよ
び３ａに浸すだけで電極材２と圧電材３とが形成できる
ので、製造が容易となり、低価格化が可能となる。
【００１２】また、インクキャビティ４の周壁全体に電
極材２と圧電材３とを形成できるので、インクキャビテ
ィ４の周壁全体にインク噴射のための圧力をかけること
ができ、このため、インク噴射が円滑に行われる。ま
た、空孔パターン部材１の形状を円柱状や多角柱状の立
体形状としても、インクキャビティの回りに均一に電極
材２と圧電材３とを形成することができ、インクキャビ
ティを立体形状とすることにより、インクキャビティ４
内におけるインクの流れを円滑にすることができる。
極材２と圧電材３とを形成できるので、インクキャビテ
ィ４の周壁全体にインク噴射のための圧力をかけること
ができ、このため、インク噴射が円滑に行われる。ま
た、空孔パターン部材１の形状を円柱状や多角柱状の立
体形状としても、インクキャビティの回りに均一に電極
材２と圧電材３とを形成することができ、インクキャビ
ティを立体形状とすることにより、インクキャビティ４
内におけるインクの流れを円滑にすることができる。
【００１３】なお、本実施例では、空孔パターン部材１
を感光性樹脂で形成したが、これに限定されず、炭素で
形成してもよく、この場合空孔パターン部材１を取り除
く工程は、焼結工程Ｓ７で行われる。
を感光性樹脂で形成したが、これに限定されず、炭素で
形成してもよく、この場合空孔パターン部材１を取り除
く工程は、焼結工程Ｓ７で行われる。
【００１４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、イ
ンクキャビティの周りに電極材と圧電材とを交互に複数
層形成したことにより、インクキャビティの周壁全体に
電極材と圧電材とを形成できるので、インクキャビティ
の周壁全体にインク噴射のための圧力をかけることがで
き、このため、インク噴射が円滑に行われる。
ンクキャビティの周りに電極材と圧電材とを交互に複数
層形成したことにより、インクキャビティの周壁全体に
電極材と圧電材とを形成できるので、インクキャビティ
の周壁全体にインク噴射のための圧力をかけることがで
き、このため、インク噴射が円滑に行われる。
【００１５】また、インクキャビティを立体形状に形成
したので、インクキャビティ内におけるインクの流れを
円滑にすることができる。
したので、インクキャビティ内におけるインクの流れを
円滑にすることができる。
【００１６】また、本発明によれば、空孔パターン部材
への電極材と圧電材との形成を電極材の溶液および圧電
材の溶液内に浸すことにより行っているので、電極材お
よび圧電材が空孔パターン部材の周りに隙間なく積層さ
れて、空孔パターン部材を脱バインダ工程あるいは焼結
工程で取り除いた後のインクキャビティが所定の形状に
良く形成され、このため寸法精度が向上するとともに、
単にディップ槽に浸すだけで電極材と圧電材とが形成で
きるので、製造が容易となり、低価格化が可能となる。
への電極材と圧電材との形成を電極材の溶液および圧電
材の溶液内に浸すことにより行っているので、電極材お
よび圧電材が空孔パターン部材の周りに隙間なく積層さ
れて、空孔パターン部材を脱バインダ工程あるいは焼結
工程で取り除いた後のインクキャビティが所定の形状に
良く形成され、このため寸法精度が向上するとともに、
単にディップ槽に浸すだけで電極材と圧電材とが形成で
きるので、製造が容易となり、低価格化が可能となる。
【図１】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製
造方法を示すモデル図で、（ａ）は、空孔パターン部材
の全体斜視図、（ｂ）は、電極材ディップ槽の断面図、
（ｃ）は、圧電材ディップ層の断面図である。
造方法を示すモデル図で、（ａ）は、空孔パターン部材
の全体斜視図、（ｂ）は、電極材ディップ槽の断面図、
（ｃ）は、圧電材ディップ層の断面図である。
【図２】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドの製
造工程図である。
造工程図である。
【図３】 本発明に係るインクジェット記録ヘッドの断
面図である。
面図である。
【図４】 （ａ）は、従来のインクジェット記録ヘッド
の製造工程図、（ｂ）は、製造工程図に対応したインク
ジェット記録ヘッドの形成過程図である。
の製造工程図、（ｂ）は、製造工程図に対応したインク
ジェット記録ヘッドの形成過程図である。
１…空孔パターン部材、１ａ…圧力室形成部、１ｂ…流
路形成部、２…電極材の溶液、３…圧電材の溶液、４…
インクキャビティ。
路形成部、２…電極材の溶液、３…圧電材の溶液、４…
インクキャビティ。
Claims (3)
- 【請求項１】 インクキャビティの周りに電極材と圧電
材とを交互に複数層形成したことを特徴とするインクジ
ェット記録ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドにおいて、前記インクキャビティを立体形状に形成し
たことを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 インクキャビティを形成する感光性樹脂
または炭素からなる空孔パターン部材を電極材の溶液と
圧電材の溶液とに交互に複数回浸し、しかるのち脱バイ
ンダ工程を行い、さらに焼結工程を行ったことを特徴と
するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15728794A JPH0820109A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
| EP19950110506 EP0693379B1 (en) | 1994-07-08 | 1995-07-05 | Method for manufacturing an ink jet recording head |
| DE1995617367 DE69517367T2 (de) | 1994-07-08 | 1995-07-05 | Herstellungsverfahren für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15728794A JPH0820109A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0820109A true JPH0820109A (ja) | 1996-01-23 |
Family
ID=15646365
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15728794A Pending JPH0820109A (ja) | 1994-07-08 | 1994-07-08 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0693379B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0820109A (ja) |
| DE (1) | DE69517367T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7490405B2 (en) | 2004-03-24 | 2009-02-17 | Fujifilm Corporation | Method for manufacturing a liquid droplet discharge head. |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1116590B1 (en) * | 2000-01-11 | 2003-09-17 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Ink-jet head device with multi-stacked PZT actuator |
| KR102022392B1 (ko) * | 2012-12-11 | 2019-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 노즐프린터 |
| CN107584885B (zh) * | 2017-09-15 | 2019-01-25 | 京东方科技集团股份有限公司 | 喷头及其驱动方法、喷墨装置 |
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|---|---|---|---|---|
| JPH03147852A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Murata Mfg Co Ltd | 多連型液体吐出装置 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| EP0249221A3 (de) * | 1986-06-13 | 1989-10-04 | Siemens Aktiengesellschaft | Verfahren zum Aufbau einer fertig kontaktierten Piezobaugruppe für Tintenschreibköpfe |
| DE3733109A1 (de) * | 1987-09-30 | 1989-04-13 | Siemens Ag | Verfahren zur herstellung eines piezokeramik-elementes fuer einen tintenstrahlschreiber |
| JPH023311A (ja) * | 1988-06-20 | 1990-01-08 | Nec Corp | インクジェットヘッドおよびその製造方法 |
| US5210455A (en) * | 1990-07-26 | 1993-05-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Piezoelectric/electrostrictive actuator having ceramic substrate having recess defining thin-walled portion |
-
1994
- 1994-07-08 JP JP15728794A patent/JPH0820109A/ja active Pending
-
1995
- 1995-07-05 EP EP19950110506 patent/EP0693379B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1995-07-05 DE DE1995617367 patent/DE69517367T2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03147852A (ja) * | 1989-11-02 | 1991-06-24 | Murata Mfg Co Ltd | 多連型液体吐出装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7490405B2 (en) | 2004-03-24 | 2009-02-17 | Fujifilm Corporation | Method for manufacturing a liquid droplet discharge head. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69517367D1 (de) | 2000-07-13 |
| EP0693379A2 (en) | 1996-01-24 |
| EP0693379A3 (en) | 1997-03-12 |
| DE69517367T2 (de) | 2000-10-12 |
| EP0693379B1 (en) | 2000-06-07 |
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