JPH08199370A - ＴｉＡｌの耐酸化膜 - Google Patents
ＴｉＡｌの耐酸化膜Info
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- JPH08199370A JPH08199370A JP1206895A JP1206895A JPH08199370A JP H08199370 A JPH08199370 A JP H08199370A JP 1206895 A JP1206895 A JP 1206895A JP 1206895 A JP1206895 A JP 1206895A JP H08199370 A JPH08199370 A JP H08199370A
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- Japan
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- tial
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- oxidation resistant
- film
- oxidation
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＴｉＡｌの耐酸化膜の高温条件下での耐酸化
性を高めることを目的とする。 【構成】 コーティング液を、シリコンアルコキシドお
よびコロイダルシリカからなる主剤，アルコールからな
る溶媒，水からなる加水分解水および酸触媒を配合して
準備し、これをＴｉＡｌ表面に塗布した後、乾燥焼成さ
せてＴｉＡｌ表面に、シリカガラス粒子が散在したＳｉ
Ｏ2 膜を形成する。
性を高めることを目的とする。 【構成】 コーティング液を、シリコンアルコキシドお
よびコロイダルシリカからなる主剤，アルコールからな
る溶媒，水からなる加水分解水および酸触媒を配合して
準備し、これをＴｉＡｌ表面に塗布した後、乾燥焼成さ
せてＴｉＡｌ表面に、シリカガラス粒子が散在したＳｉ
Ｏ2 膜を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＴｉＡｌの耐酸化膜に
関するものであり、例えばエンジン用ターボチャージャ
のタービンロータ材として用いられる。
関するものであり、例えばエンジン用ターボチャージャ
のタービンロータ材として用いられる。
【０００２】
【従来の技術】この種のＴｉＡｌの耐酸化膜の従来技術
としては、日本金属学会誌 第５７巻第６号（１９９
３）６６６−６７３に示されるようなものがある。この
従来技術を図９に基づいて説明すると、シリコンアルコ
キシドからなる主剤，アルコールからなる溶媒，水から
なる加水分解水およびＨＣｌからなる触媒を原料として
コーティング液を配合し、このコーティング液を金属間
化合物であるＴｉＡｌの素材表面に塗布した後に乾燥焼
成させて、ＴｉＡｌの素材表面に耐酸化膜としてＳｉＯ
2 膜（ゲル状態）を形成している。この形成方法は一般
にゾル−ゲル法として知られている。
としては、日本金属学会誌 第５７巻第６号（１９９
３）６６６−６７３に示されるようなものがある。この
従来技術を図９に基づいて説明すると、シリコンアルコ
キシドからなる主剤，アルコールからなる溶媒，水から
なる加水分解水およびＨＣｌからなる触媒を原料として
コーティング液を配合し、このコーティング液を金属間
化合物であるＴｉＡｌの素材表面に塗布した後に乾燥焼
成させて、ＴｉＡｌの素材表面に耐酸化膜としてＳｉＯ
2 膜（ゲル状態）を形成している。この形成方法は一般
にゾル−ゲル法として知られている。
【０００３】ところが、このシリコンアルコキシドをコ
ーティング液の主剤としたＳｉＯ2膜では、９００℃程
度で高温放置されると、ゲル状態の膜がガラス質へ転移
するために膜収縮が起きてクラックが発生しやすい。こ
のクラックから空気中の酸素がＴｉＡｌに到達し、Ｔｉ
Ａｌを酸化させてしまう。つまり、耐酸化膜に発生する
クラックにより、耐酸化性は十分に確保できない。９０
０℃で高温連続酸化試験を行ったところ、図４に破線で
示すように時間の経過と共にＴｉＡｌの酸化が進行して
いることがよく分かる。このようなＳｉＯ2 膜をもつＴ
ｉＡｌは、エンジン用ターボチャージャのタービンロー
タのように９００℃程度の高温排気ガスにさらされる条
件のもとでは使用に耐えられないことが分かる。
ーティング液の主剤としたＳｉＯ2膜では、９００℃程
度で高温放置されると、ゲル状態の膜がガラス質へ転移
するために膜収縮が起きてクラックが発生しやすい。こ
のクラックから空気中の酸素がＴｉＡｌに到達し、Ｔｉ
Ａｌを酸化させてしまう。つまり、耐酸化膜に発生する
クラックにより、耐酸化性は十分に確保できない。９０
０℃で高温連続酸化試験を行ったところ、図４に破線で
示すように時間の経過と共にＴｉＡｌの酸化が進行して
いることがよく分かる。このようなＳｉＯ2 膜をもつＴ
ｉＡｌは、エンジン用ターボチャージャのタービンロー
タのように９００℃程度の高温排気ガスにさらされる条
件のもとでは使用に耐えられないことが分かる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、Ｔ
ｉＡｌの耐酸化膜の高温条件下での耐酸化性を高めるこ
とを課題とする。
ｉＡｌの耐酸化膜の高温条件下での耐酸化性を高めるこ
とを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために本発明において講じた第１の手段は、コーティン
グ液をＴｉＡｌ表面に塗布した後に乾燥焼成させて、該
ＴｉＡｌ表面に形成される耐酸化膜において、前記コー
ティング液を、シリコンアルコキシドおよびコロイダル
シリカからなる主剤，アルコールからなる溶媒，加水分
解水および酸触媒を配合したものとしたことである。
ために本発明において講じた第１の手段は、コーティン
グ液をＴｉＡｌ表面に塗布した後に乾燥焼成させて、該
ＴｉＡｌ表面に形成される耐酸化膜において、前記コー
ティング液を、シリコンアルコキシドおよびコロイダル
シリカからなる主剤，アルコールからなる溶媒，加水分
解水および酸触媒を配合したものとしたことである。
【０００６】上記した課題を解決するために本発明にお
いて講じた第２の手段は、コーティング液をＴｉＡｌ表
面に塗布した後に乾燥焼成させて、該ＴｉＡｌ表面に形
成される耐酸化膜において、前記コーティング液を、シ
リコンアルコキシドおよびアルミニウムアルコキシドか
らなる主剤，アルコールからなる溶媒，加水分解水およ
び酸触媒を配合したものとしたことである。
いて講じた第２の手段は、コーティング液をＴｉＡｌ表
面に塗布した後に乾燥焼成させて、該ＴｉＡｌ表面に形
成される耐酸化膜において、前記コーティング液を、シ
リコンアルコキシドおよびアルミニウムアルコキシドか
らなる主剤，アルコールからなる溶媒，加水分解水およ
び酸触媒を配合したものとしたことである。
【０００７】
【作用】上記した第１の手段によれば、ＳｉＯ2 ゲル中
にシリカガラス粒子が散在したＳｉＯ2 膜がＴｉＡｌ表
面に耐酸化膜として形成される。
にシリカガラス粒子が散在したＳｉＯ2 膜がＴｉＡｌ表
面に耐酸化膜として形成される。
【０００８】上記した第２の手段によれば、ＳｉＯ2 ゲ
ル中にＡｌ2 Ｏ3 ゲル粒子が散在したＳｉＯ2 膜がＴｉ
Ａｌ表面に耐酸化膜として形成される。
ル中にＡｌ2 Ｏ3 ゲル粒子が散在したＳｉＯ2 膜がＴｉ
Ａｌ表面に耐酸化膜として形成される。
【０００９】
【実施例】本発明に係る実施例を図面に基づいて説明す
る。図１〜図４は第１実施例を示す。
る。図１〜図４は第１実施例を示す。
【００１０】図１に示されるように、シリコンアルコキ
シド［Ｓｉ（ＯＲ）4 ，Ｒ：Ｃ2 Ｈ5 ，ＣＨ3 ，Ｃ3 Ｈ
7 ］およびコロイダルシリカ［ＳｉＯ2 ］からなる主
剤，アルコールからなる溶媒，水からなる加水分解水お
よびＨＣｌからなる酸触媒をコーティング液原料として
準備する。尚、アルコールとしてはエタノール，メタノ
ール，ブタノール，ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）
などが用いられ、加水分解反応を均一化させる働きを持
つ。この原料を配合してコーティング液とする。（STEP
1） このコーティング液を金属間化合物であるＴｉＡｌの素
材表面にディップコート法により塗布する。（STEP 2） これを、４００℃で５分間乾燥焼成させる。（STEP 3） 以上のステップを経てＴｉＡｌの素材１１の表面に耐酸
化膜としてのＳｉＯ2膜２１がゲル状態で形成される。
図２を参照してＳｉＯ2 膜２１を詳しく見ると、比較的
小径なＳｉＯ2 の多数のゲル粒子２２の中に比較的大径
なシリカガラス粒子２３が散在している。
シド［Ｓｉ（ＯＲ）4 ，Ｒ：Ｃ2 Ｈ5 ，ＣＨ3 ，Ｃ3 Ｈ
7 ］およびコロイダルシリカ［ＳｉＯ2 ］からなる主
剤，アルコールからなる溶媒，水からなる加水分解水お
よびＨＣｌからなる酸触媒をコーティング液原料として
準備する。尚、アルコールとしてはエタノール，メタノ
ール，ブタノール，ＩＰＡ（イソプロピルアルコール）
などが用いられ、加水分解反応を均一化させる働きを持
つ。この原料を配合してコーティング液とする。（STEP
1） このコーティング液を金属間化合物であるＴｉＡｌの素
材表面にディップコート法により塗布する。（STEP 2） これを、４００℃で５分間乾燥焼成させる。（STEP 3） 以上のステップを経てＴｉＡｌの素材１１の表面に耐酸
化膜としてのＳｉＯ2膜２１がゲル状態で形成される。
図２を参照してＳｉＯ2 膜２１を詳しく見ると、比較的
小径なＳｉＯ2 の多数のゲル粒子２２の中に比較的大径
なシリカガラス粒子２３が散在している。
【００１１】この耐酸化膜について９００℃で高温連続
酸化試験を行ったところ、図４に実線で示すようになっ
た。ＳｉＯ2 膜２１は９００℃の環境下では、ＳｉＯ2
ゲル膜がガラス質にゆるやかに転移していく。図３に示
すようにこの転移に伴って、ゲル粒子２２の各々が徐々
に整列していき粒子間距離も近づいてくるため、膜２１
全体としては収縮する挙動を示す。一方、シリカガラス
粒子２３はすでにガラス状態であり、安定しているため
９００℃の環境下でも変化は生じない。従って、シリカ
ガラス粒子２３の容積分だけ膜２１の収縮量は少なくな
るため、従来技術のようにＳｉＯ2 膜２１にクラックが
生じない。
酸化試験を行ったところ、図４に実線で示すようになっ
た。ＳｉＯ2 膜２１は９００℃の環境下では、ＳｉＯ2
ゲル膜がガラス質にゆるやかに転移していく。図３に示
すようにこの転移に伴って、ゲル粒子２２の各々が徐々
に整列していき粒子間距離も近づいてくるため、膜２１
全体としては収縮する挙動を示す。一方、シリカガラス
粒子２３はすでにガラス状態であり、安定しているため
９００℃の環境下でも変化は生じない。従って、シリカ
ガラス粒子２３の容積分だけ膜２１の収縮量は少なくな
るため、従来技術のようにＳｉＯ2 膜２１にクラックが
生じない。
【００１２】ところで、ＳｉＯ2 膜２１は耐酸化膜とは
いえ、ＴｉＡｌの素材表面に空気中の酸素を僅かながら
も到達させる。つまり、ＴｉＡｌの素材表面に到達する
酸素分圧は低く、この環境ではＴｉよりもＡｌが優先的
に酸化される。この結果、ＴｉＡｌの素材表面にはＡｌ
2 Ｏ3 層が形成される。図４でＡｌ2 Ｏ3 層の形成を示
すのが試験開始から２４時間経過までの間であり、２４
時間経過において酸化増量は１平方メートル当たり１０
ｇ程度となっている。Ａｌ2 Ｏ3 は耐酸化作用を持つた
め、本試験で２４時間経過後以降ではＳｉＯ2 膜２１の
耐酸化膜作用とともにＴｉＡｌを酸化から守る。従っ
て、２４時間経過後以降の酸化増量はある一定量以上増
加しないようになり、耐酸化膜の性能が優れていること
が分かる。
いえ、ＴｉＡｌの素材表面に空気中の酸素を僅かながら
も到達させる。つまり、ＴｉＡｌの素材表面に到達する
酸素分圧は低く、この環境ではＴｉよりもＡｌが優先的
に酸化される。この結果、ＴｉＡｌの素材表面にはＡｌ
2 Ｏ3 層が形成される。図４でＡｌ2 Ｏ3 層の形成を示
すのが試験開始から２４時間経過までの間であり、２４
時間経過において酸化増量は１平方メートル当たり１０
ｇ程度となっている。Ａｌ2 Ｏ3 は耐酸化作用を持つた
め、本試験で２４時間経過後以降ではＳｉＯ2 膜２１の
耐酸化膜作用とともにＴｉＡｌを酸化から守る。従っ
て、２４時間経過後以降の酸化増量はある一定量以上増
加しないようになり、耐酸化膜の性能が優れていること
が分かる。
【００１３】エンジン用ターボチャージャのタービンロ
ータは９００℃程度の高温排気ガスにさらされるが、本
実施例の耐酸化膜をもつＴｉＡｌは上記のとおり耐酸化
膜の性能が高く、タービンロータの材料として適してい
ることが分かる。
ータは９００℃程度の高温排気ガスにさらされるが、本
実施例の耐酸化膜をもつＴｉＡｌは上記のとおり耐酸化
膜の性能が高く、タービンロータの材料として適してい
ることが分かる。
【００１４】図５〜図８は第２実施例を示す。
【００１５】図５に示されるように、シリコンアルコキ
シド［Ｓｉ（ＯＲ）4 ，Ｒ：Ｃ2 Ｈ5 ，ＣＨ3 ，Ｃ3 Ｈ
7 ］およびアルミニウムアルコキシド［Ａｌ（ＯＲ）3
，Ｒ＝ＣＨ3 ，Ｃ2 Ｈ5 ，Ｃ3 Ｈ7 ，Ｃ4 Ｈ9 ］から
なる主剤，アルコールからなる溶媒，水からなる加水分
解水およびＨＣｌからなる酸触媒をコーティング液原料
として準備する。尚、アルコールとしてはエタノール，
メタノール，ブタノール，ＩＰＡ（イソプロピルアルコ
ール）などが用いられ、加水分解反応を均一化させる働
きを持つ。この原料を配合してコーティング液とする。
（STEP 1） このコーティング液を金属間化合物であるＴｉＡｌの素
材表面にディップコート法により塗布する。（STEP 2） これを、４００℃で５分間乾燥焼成させる。（STEP 3） 以上のステップを経てＴｉＡｌの素材１１１の表面に耐
酸化膜としてのＳｉＯ2 膜１２１がゲル状態で形成され
る。図６を参照してＳｉＯ2 膜１２１を詳しく見ると、
比較的小径なＳｉＯ2 の多数のゲル粒子１２２の中に比
較的大径なＡｌ2 Ｏ3 ゲル粒子１２３が散在している。
シド［Ｓｉ（ＯＲ）4 ，Ｒ：Ｃ2 Ｈ5 ，ＣＨ3 ，Ｃ3 Ｈ
7 ］およびアルミニウムアルコキシド［Ａｌ（ＯＲ）3
，Ｒ＝ＣＨ3 ，Ｃ2 Ｈ5 ，Ｃ3 Ｈ7 ，Ｃ4 Ｈ9 ］から
なる主剤，アルコールからなる溶媒，水からなる加水分
解水およびＨＣｌからなる酸触媒をコーティング液原料
として準備する。尚、アルコールとしてはエタノール，
メタノール，ブタノール，ＩＰＡ（イソプロピルアルコ
ール）などが用いられ、加水分解反応を均一化させる働
きを持つ。この原料を配合してコーティング液とする。
（STEP 1） このコーティング液を金属間化合物であるＴｉＡｌの素
材表面にディップコート法により塗布する。（STEP 2） これを、４００℃で５分間乾燥焼成させる。（STEP 3） 以上のステップを経てＴｉＡｌの素材１１１の表面に耐
酸化膜としてのＳｉＯ2 膜１２１がゲル状態で形成され
る。図６を参照してＳｉＯ2 膜１２１を詳しく見ると、
比較的小径なＳｉＯ2 の多数のゲル粒子１２２の中に比
較的大径なＡｌ2 Ｏ3 ゲル粒子１２３が散在している。
【００１６】この耐酸化膜について９００℃で高温連続
酸化試験を行ったところ、図８に実線で示すようになっ
た。ＳｉＯ2 膜１２１は９００℃の環境下では、ＳｉＯ
2 ゲル膜がガラス質にゆるやかに転移していく。図７に
示すようにこの転移に伴って、ゲル粒子１２２の各々が
徐々に整列していき粒子間距離も近づいてくるため、膜
１２１全体としては収縮する挙動を示す。しかし、９０
０℃の環境下ではＳｉＯ2 ゲルのガラス質の転移より
も、Ａｌ2 Ｏ3 ゲル粒子の結晶化が先に進み、すなわち
ＳｉＯ2 ゲルがガラス質に転移していくときには、すで
にＡｌ2 Ｏ3 結晶がゲル中に散在した形となる。Ａｌ2
Ｏ3 結晶はすでに結晶状態であり、安定しているため９
００℃の環境下でも変化は生じない。従って、Ａｌ2 Ｏ
3 結晶の容積分だけ膜１２１の収縮量は少なくなるた
め、従来技術のようにＳｉＯ2 膜１２１にクラックが生
じない。
酸化試験を行ったところ、図８に実線で示すようになっ
た。ＳｉＯ2 膜１２１は９００℃の環境下では、ＳｉＯ
2 ゲル膜がガラス質にゆるやかに転移していく。図７に
示すようにこの転移に伴って、ゲル粒子１２２の各々が
徐々に整列していき粒子間距離も近づいてくるため、膜
１２１全体としては収縮する挙動を示す。しかし、９０
０℃の環境下ではＳｉＯ2 ゲルのガラス質の転移より
も、Ａｌ2 Ｏ3 ゲル粒子の結晶化が先に進み、すなわち
ＳｉＯ2 ゲルがガラス質に転移していくときには、すで
にＡｌ2 Ｏ3 結晶がゲル中に散在した形となる。Ａｌ2
Ｏ3 結晶はすでに結晶状態であり、安定しているため９
００℃の環境下でも変化は生じない。従って、Ａｌ2 Ｏ
3 結晶の容積分だけ膜１２１の収縮量は少なくなるた
め、従来技術のようにＳｉＯ2 膜１２１にクラックが生
じない。
【００１７】ところで、ＳｉＯ2 膜１２１は耐酸化膜と
はいえ、ＴｉＡｌの素材表面に空気中の酸素を僅かなが
らも到達させる。つまり、ＴｉＡｌの素材表面に到達す
る酸素分圧は低く、この環境ではＴｉよりもＡｌが優先
的に酸化される。この結果、ＴｉＡｌの素材表面にはＡ
ｌ2 Ｏ3 層が形成される。図８でＡｌ2 Ｏ3 層の形成を
示すのが試験開始から２４時間経過までの間であり、２
４時間経過において酸化増量は１平方メートル当たり１
０ｇ程度となっている。Ａｌ2 Ｏ3 は耐酸化作用を持つ
ため、本試験で２４時間経過後以降ではＳｉＯ2 膜１２
１の耐酸化膜作用とともにＴｉＡｌを酸化から守る。従
って、２４時間経過後以降の酸化増量はある一定量以上
増加しないようになり、耐酸化膜の性能が優れているこ
とが分かる。
はいえ、ＴｉＡｌの素材表面に空気中の酸素を僅かなが
らも到達させる。つまり、ＴｉＡｌの素材表面に到達す
る酸素分圧は低く、この環境ではＴｉよりもＡｌが優先
的に酸化される。この結果、ＴｉＡｌの素材表面にはＡ
ｌ2 Ｏ3 層が形成される。図８でＡｌ2 Ｏ3 層の形成を
示すのが試験開始から２４時間経過までの間であり、２
４時間経過において酸化増量は１平方メートル当たり１
０ｇ程度となっている。Ａｌ2 Ｏ3 は耐酸化作用を持つ
ため、本試験で２４時間経過後以降ではＳｉＯ2 膜１２
１の耐酸化膜作用とともにＴｉＡｌを酸化から守る。従
って、２４時間経過後以降の酸化増量はある一定量以上
増加しないようになり、耐酸化膜の性能が優れているこ
とが分かる。
【００１８】エンジン用ターボチャージャのタービンロ
ータは９００℃程度の高温排気ガスにさらされるが、本
実施例の耐酸化膜をもつＴｉＡｌは上記のとおり耐酸化
膜の性能が高く、タービンロータの材料として適してい
ることが分かる。
ータは９００℃程度の高温排気ガスにさらされるが、本
実施例の耐酸化膜をもつＴｉＡｌは上記のとおり耐酸化
膜の性能が高く、タービンロータの材料として適してい
ることが分かる。
【００１９】また、コーティング液の原料においてシリ
コンアルコキシドおよびアルミニウムアルコキシドのモ
ル比を３［Ａｌ／Ｓｉ］とすれば、耐酸化膜を９００℃
以上で長時間放置するとＳｉＯ2 ゲルおよびＡｌ2 Ｏ3
ゲルの結晶化が進み、耐酸化膜は３Ａｌ2 Ｏ3 ・２Ｓｉ
Ｏ2 の組成からなるムライト膜となり、高温安定性が高
い耐酸化膜となる。ゲル状態の耐酸化膜をもつＴｉＡｌ
タービンロータの材料として使用すれば、エンジン運転
の際、つまり使用中に９００℃程度の高温排気ガスにさ
らされてムライト膜化が進行する。
コンアルコキシドおよびアルミニウムアルコキシドのモ
ル比を３［Ａｌ／Ｓｉ］とすれば、耐酸化膜を９００℃
以上で長時間放置するとＳｉＯ2 ゲルおよびＡｌ2 Ｏ3
ゲルの結晶化が進み、耐酸化膜は３Ａｌ2 Ｏ3 ・２Ｓｉ
Ｏ2 の組成からなるムライト膜となり、高温安定性が高
い耐酸化膜となる。ゲル状態の耐酸化膜をもつＴｉＡｌ
タービンロータの材料として使用すれば、エンジン運転
の際、つまり使用中に９００℃程度の高温排気ガスにさ
らされてムライト膜化が進行する。
【００２０】
【発明の効果】本発明の請求項１によれば、ＴｉＡｌ表
面に形成される耐酸化膜は多数のＳｉＯ2 ゲル粒子中に
シリカガラス粒子が散在した形となる。シリカガラス粒
子はその名のとおりガラス状態であるため高温環境下に
おいても変化が起きず、従って耐酸化膜内ではシリカガ
ラス粒子の分だけＳｉＯ2 ゲル粒子の収縮量が少なくな
り、つまり耐酸化膜全体としての収縮量が少なく抑えら
れるので膜にクラックが生じない。
面に形成される耐酸化膜は多数のＳｉＯ2 ゲル粒子中に
シリカガラス粒子が散在した形となる。シリカガラス粒
子はその名のとおりガラス状態であるため高温環境下に
おいても変化が起きず、従って耐酸化膜内ではシリカガ
ラス粒子の分だけＳｉＯ2 ゲル粒子の収縮量が少なくな
り、つまり耐酸化膜全体としての収縮量が少なく抑えら
れるので膜にクラックが生じない。
【００２１】本発明の請求項２によれば、ＴｉＡｌ表面
に形成される耐酸化膜は多数のＳｉＯ2 ゲル粒子中にＡ
ｌ2 Ｏ3 ゲルが散在した形となる。Ａｌ2 Ｏ3 ゲルは高
温環境下でＳｉＯ2 ゲル粒子のガラス質への転移に先立
って結晶化する。従って、耐酸化膜内ではＡｌ2 Ｏ3 結
晶の分だけＳｉＯ2 ゲル粒子の収縮量が少なくなり、つ
まり耐酸化膜全体としての収縮量が少なく抑えられるの
で膜にクラックが生じない。
に形成される耐酸化膜は多数のＳｉＯ2 ゲル粒子中にＡ
ｌ2 Ｏ3 ゲルが散在した形となる。Ａｌ2 Ｏ3 ゲルは高
温環境下でＳｉＯ2 ゲル粒子のガラス質への転移に先立
って結晶化する。従って、耐酸化膜内ではＡｌ2 Ｏ3 結
晶の分だけＳｉＯ2 ゲル粒子の収縮量が少なくなり、つ
まり耐酸化膜全体としての収縮量が少なく抑えられるの
で膜にクラックが生じない。
【００２２】本発明の請求項３によれば、高温環境下で
ＳｉＯ2 ゲルおよびＡｌ2 Ｏ3 ゲルの結晶化が進み、耐
酸化膜は高温安定性が高いムライト膜［３Ａｌ2 Ｏ3 ・
２ＳｉＯ2 ］となるため、耐酸化膜の耐久性が一層向上
する。
ＳｉＯ2 ゲルおよびＡｌ2 Ｏ3 ゲルの結晶化が進み、耐
酸化膜は高温安定性が高いムライト膜［３Ａｌ2 Ｏ3 ・
２ＳｉＯ2 ］となるため、耐酸化膜の耐久性が一層向上
する。
【図１】本発明に係る第１実施例の耐酸化膜形成ステッ
プである。
プである。
【図２】図１の耐酸化膜の部分断面図である。
【図３】ゲルからガラス状態への転移を示す模式図であ
る。
る。
【図４】第１実施例の９００℃における高温連続酸化試
験の実験結果である。
験の実験結果である。
【図５】本発明に係る第２実施例の耐酸化膜形成ステッ
プである。
プである。
【図２】図５の耐酸化膜の部分断面図である。
【図７】ゲルから結晶状態への転移を示す模式図であ
る。
る。
【図８】第２実施例の９００℃における高温連続酸化試
験の実験結果である。
験の実験結果である。
【図９】従来技術の耐酸化膜形成ステップである。
１１，１１１・・・ＴｉＡｌ、 ２１，１２１・・・ＳｉＯ2 膜（耐酸化膜）。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成７年６月１６日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図面の簡単な説明
【補正方法】変更
【補正内容】
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る第１実施例の耐酸化膜形成ステツ
プである。
プである。
【図２】図１の耐酸化膜の部分断面図である。
【図３】ゲルからガラス状態への転移を示す模式図であ
る。
る。
【図４】第１実施例の９００℃における高温連続酸化試
験の実験結果である。
験の実験結果である。
【図５】本発明に係る第２実施例の耐酸化膜形成ステツ
プである。
プである。
【図６】図５の耐酸化膜の部分断面図である。
【図７】ゲルから結晶状態への転移を示す模式図であ
る。
る。
【図８】第２実施例の９００℃における高温連続酸化試
験の実験結果である。
験の実験結果である。
【図９】従来技術の耐酸化膜形成ステツプである。
【符号の説明】 １１，１１１・・・ＴｉＡｌ、 ２１，１２１・・・ＳｉＯ2 膜( 耐酸化膜）。
Claims (3)
- 【請求項１】 コーティング液をＴｉＡｌ表面に塗布し
た後に乾燥焼成させて、該ＴｉＡｌ表面に形成される耐
酸化膜において、 前記コーティング液を、シリコンアルコキシドおよびコ
ロイダルシリカからなる主剤，アルコールからなる溶
媒，加水分解水および酸触媒を配合したものとすること
を特徴とするＴｉＡｌの耐酸化膜。 - 【請求項２】 コーティング液をＴｉＡｌ表面に塗布し
た後に乾燥焼成させて、該ＴｉＡｌ表面に形成される耐
酸化膜において、 前記コーティング液を、シリコンアルコキシドおよびア
ルミニウムアルコキシドからなる主剤，アルコールから
なる溶媒，加水分解水および酸触媒を配合したものとす
ることを特徴とするＴｉＡｌの耐酸化膜。 - 【請求項３】 前記両アルコキシドのモル比を、３［ア
ルミニウムアルコキシド／シリコンアルコキシド］とし
たことを特徴とする請求項２記載のＴｉＡｌの耐酸化
膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1206895A JPH08199370A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | ＴｉＡｌの耐酸化膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1206895A JPH08199370A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | ＴｉＡｌの耐酸化膜 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08199370A true JPH08199370A (ja) | 1996-08-06 |
Family
ID=11795295
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1206895A Pending JPH08199370A (ja) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | ＴｉＡｌの耐酸化膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08199370A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009504369A (ja) * | 2005-08-11 | 2009-02-05 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 発電の領域において使用するためのコーティング |
-
1995
- 1995-01-27 JP JP1206895A patent/JPH08199370A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009504369A (ja) * | 2005-08-11 | 2009-02-05 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 発電の領域において使用するためのコーティング |
| JP4940237B2 (ja) * | 2005-08-11 | 2012-05-30 | シーメンス アクチエンゲゼルシヤフト | 発電の領域において使用するためのコーティング |
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