JPH08194931A - 磁気記録媒体 - Google Patents
磁気記録媒体Info
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- JPH08194931A JPH08194931A JP497195A JP497195A JPH08194931A JP H08194931 A JPH08194931 A JP H08194931A JP 497195 A JP497195 A JP 497195A JP 497195 A JP497195 A JP 497195A JP H08194931 A JPH08194931 A JP H08194931A
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- Japan
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- magnetic
- column
- magnetic film
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電磁変換特性に優れた垂直記録用の磁気記録
媒体を提供することを目的とする。 【構成】 カラムが斜めに成長した金属薄膜型の磁性膜
が支持体上にｎ層（２≦ｎ）積層された磁気記録媒体で
あって、支持体から一番遠い位置にある最上層の磁性膜
のカラムの傾きをθ1 、最上層の磁性膜から下１番目に
ある磁性膜のカラムの傾きをθ2 、……、最上層の磁性
膜から下（ｋ−１）番目にある磁性膜のカラムの傾きを
θk 、……、支持体に一番近い位置にある最下層の磁性
膜のカラムの傾きをθn （２≦ｋ≦ｎ）とした場合、 （θ1 の値と９０°との差の絶対値）≦（θ2 の値と９
０°との差の絶対値）≦……≦（θk の値と９０°との
差の絶対値）≦……≦（θn の値と９０°との差の絶対
値） を満たすと共に、０°＜θk-1 ＜９０°（あるいは９０
°＜θk-1 ＜１８０°）とした場合、 ９０°＜θk ＜１８０°（あるいは０°＜θk ＜９０
°） を満たすよう形成されてなる磁気記録媒体。
媒体を提供することを目的とする。 【構成】 カラムが斜めに成長した金属薄膜型の磁性膜
が支持体上にｎ層（２≦ｎ）積層された磁気記録媒体で
あって、支持体から一番遠い位置にある最上層の磁性膜
のカラムの傾きをθ1 、最上層の磁性膜から下１番目に
ある磁性膜のカラムの傾きをθ2 、……、最上層の磁性
膜から下（ｋ−１）番目にある磁性膜のカラムの傾きを
θk 、……、支持体に一番近い位置にある最下層の磁性
膜のカラムの傾きをθn （２≦ｋ≦ｎ）とした場合、 （θ1 の値と９０°との差の絶対値）≦（θ2 の値と９
０°との差の絶対値）≦……≦（θk の値と９０°との
差の絶対値）≦……≦（θn の値と９０°との差の絶対
値） を満たすと共に、０°＜θk-1 ＜９０°（あるいは９０
°＜θk-1 ＜１８０°）とした場合、 ９０°＜θk ＜１８０°（あるいは０°＜θk ＜９０
°） を満たすよう形成されてなる磁気記録媒体。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、垂直記録に適した磁気
記録媒体に関する。
記録媒体に関する。
【０００２】
【発明の背景】高密度記録には垂直磁気記録方式が適し
ている。この垂直磁気記録方式に用いる磁気記録媒体の
磁性膜は、膜厚が大きくなると反磁界が強まることか
ら、薄い方が良い。しかし、磁性膜の厚さが薄いと、長
波長領域での電磁変換特性が期待出来ない。このことか
ら、磁性膜を複数の層で形成することが知られている。
ている。この垂直磁気記録方式に用いる磁気記録媒体の
磁性膜は、膜厚が大きくなると反磁界が強まることか
ら、薄い方が良い。しかし、磁性膜の厚さが薄いと、長
波長領域での電磁変換特性が期待出来ない。このことか
ら、磁性膜を複数の層で形成することが知られている。
【０００３】
【発明の開示】ところで、磁性膜を積層した垂直記録用
磁気記録媒体において、磁性粒子のカラムの傾きに対す
る考察が全く行われていなかった。すなわち、カラムの
傾きの関係によって高密度記録が大きく影響されること
は誰も気付いていなかった。この点について、本発明者
による研究が鋭意押し進められて行った結果、積層した
磁性膜における隣接カラムが、例えば「く」の字型、あ
るいは逆「く」の字型のように形成されていると、電磁
変換特性が向上することに気付いた。すなわち、長波長
領域での電磁変換特性を確保する為には磁性膜の厚さを
薄くすることは出来ない。従って、複数の磁性膜を積層
することが考えられる。積層タイプにした場合、磁気カ
ラムを同一方向にあるよりも「く」の字型、あるいは逆
「く」の字型にさせていると、磁化反転に際しての静磁
エネルギが低く、エネルギ的に有利である。
磁気記録媒体において、磁性粒子のカラムの傾きに対す
る考察が全く行われていなかった。すなわち、カラムの
傾きの関係によって高密度記録が大きく影響されること
は誰も気付いていなかった。この点について、本発明者
による研究が鋭意押し進められて行った結果、積層した
磁性膜における隣接カラムが、例えば「く」の字型、あ
るいは逆「く」の字型のように形成されていると、電磁
変換特性が向上することに気付いた。すなわち、長波長
領域での電磁変換特性を確保する為には磁性膜の厚さを
薄くすることは出来ない。従って、複数の磁性膜を積層
することが考えられる。積層タイプにした場合、磁気カ
ラムを同一方向にあるよりも「く」の字型、あるいは逆
「く」の字型にさせていると、磁化反転に際しての静磁
エネルギが低く、エネルギ的に有利である。
【０００４】又、対極型のヘッドを用いて垂直記録を行
う場合、磁性膜の上層側の磁気カラムは垂直に立ってい
る方が有利である。このような知見を基にして本発明が
達成されたものであり、本発明は、電磁変換特性に優れ
た垂直記録用の磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。この本発明の目的は、カラムが斜めに成長した金属
薄膜型の磁性膜が支持体上にｎ層（２≦ｎ）積層された
磁気記録媒体であって、支持体から一番遠い位置にある
最上層の磁性膜のカラムの傾きをθ1 、最上層の磁性膜
から下１番目にある磁性膜のカラムの傾きをθ2 、…
…、最上層の磁性膜から下（ｋ−１）番目にある磁性膜
のカラムの傾きをθk 、……、支持体に一番近い位置に
ある最下層の磁性膜のカラムの傾きをθn （２≦ｋ≦
ｎ）とした場合、 （θ1 の値と９０°との差の絶対値）≦（θ2 の値と９
０°との差の絶対値）≦……≦（θk の値と９０°との
差の絶対値）≦……≦（θn の値と９０°との差の絶対
値） を満たすと共に、０°＜θk-1 ＜９０°（あるいは９０
°＜θk-1 ＜１８０°）とした場合、 ９０°＜θk ＜１８０°（あるいは０°＜θk ＜９０
°） を満たすよう形成されてなることを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。
う場合、磁性膜の上層側の磁気カラムは垂直に立ってい
る方が有利である。このような知見を基にして本発明が
達成されたものであり、本発明は、電磁変換特性に優れ
た垂直記録用の磁気記録媒体を提供することを目的とす
る。この本発明の目的は、カラムが斜めに成長した金属
薄膜型の磁性膜が支持体上にｎ層（２≦ｎ）積層された
磁気記録媒体であって、支持体から一番遠い位置にある
最上層の磁性膜のカラムの傾きをθ1 、最上層の磁性膜
から下１番目にある磁性膜のカラムの傾きをθ2 、…
…、最上層の磁性膜から下（ｋ−１）番目にある磁性膜
のカラムの傾きをθk 、……、支持体に一番近い位置に
ある最下層の磁性膜のカラムの傾きをθn （２≦ｋ≦
ｎ）とした場合、 （θ1 の値と９０°との差の絶対値）≦（θ2 の値と９
０°との差の絶対値）≦……≦（θk の値と９０°との
差の絶対値）≦……≦（θn の値と９０°との差の絶対
値） を満たすと共に、０°＜θk-1 ＜９０°（あるいは９０
°＜θk-1 ＜１８０°）とした場合、 ９０°＜θk ＜１８０°（あるいは０°＜θk ＜９０
°） を満たすよう形成されてなることを特徴とする磁気記録
媒体によって達成される。
【０００５】尚、カラムの傾きθが９０°（実質上９０
°の場合も含む）の磁性膜を更に最上層に設けていても
良い。すなわち、最上層の磁性膜から下１番目にある磁
性膜から本発明の構成としていても良い。但し、カラム
の傾きθが９０°の磁性膜を成膜しようとすれば、スパ
ッタ手段を採用するのが通常である。これに対して、カ
ラムの傾きθが８５°の磁性膜を成膜しようとすれば、
斜め蒸着手段を採用するのが通常である。従って、カラ
ムの傾きθが結果的に実質上９０°になった場合を除け
ば、斜め蒸着手段とスパッタ手段とを併用して磁性膜を
積層するのは生産コストから適していない。
°の場合も含む）の磁性膜を更に最上層に設けていても
良い。すなわち、最上層の磁性膜から下１番目にある磁
性膜から本発明の構成としていても良い。但し、カラム
の傾きθが９０°の磁性膜を成膜しようとすれば、スパ
ッタ手段を採用するのが通常である。これに対して、カ
ラムの傾きθが８５°の磁性膜を成膜しようとすれば、
斜め蒸着手段を採用するのが通常である。従って、カラ
ムの傾きθが結果的に実質上９０°になった場合を除け
ば、斜め蒸着手段とスパッタ手段とを併用して磁性膜を
積層するのは生産コストから適していない。
【０００６】又、（θn の値と９０°との差の絶対値）
≦４０°を満たしていることが一層好ましい。尚、θ1
の値と９０°との差の絶対値は、理論的には、零に無限
に近いものであっても差し支えない。但し、現実的に
は、θ1 の値と９０°との差の絶対値は５〜１０°程度
である。各磁性膜の厚さは５００〜１５００Å、より好
ましくは７００〜１２００Åが好ましい。そして、全磁
性膜の厚さは１０００〜５０００Å、より好ましくは１
５００〜３０００Åが好ましい。これは、長波長領域か
ら短波長領域の全領域にわたって電磁変換特性を期待出
来るからである。尚、このことから考えると、磁性膜は
２〜３層の積層が妥当である。
≦４０°を満たしていることが一層好ましい。尚、θ1
の値と９０°との差の絶対値は、理論的には、零に無限
に近いものであっても差し支えない。但し、現実的に
は、θ1 の値と９０°との差の絶対値は５〜１０°程度
である。各磁性膜の厚さは５００〜１５００Å、より好
ましくは７００〜１２００Åが好ましい。そして、全磁
性膜の厚さは１０００〜５０００Å、より好ましくは１
５００〜３０００Åが好ましい。これは、長波長領域か
ら短波長領域の全領域にわたって電磁変換特性を期待出
来るからである。尚、このことから考えると、磁性膜は
２〜３層の積層が妥当である。
【０００７】そして、二層積層型のものであれば、下層
磁性膜のカラムの傾きθ2 は７０〜８５°、上層磁性膜
のカラムの傾きθ1 は９０〜１００°が好適である。三
層積層型のものであれば、下層磁性膜のカラムの傾きθ
3 は６０〜７５°、中層磁性膜のカラムの傾きθ2 は９
５〜１１０°、上層磁性膜のカラムの傾きθ 1 は８０〜
９０°が好適である。
磁性膜のカラムの傾きθ2 は７０〜８５°、上層磁性膜
のカラムの傾きθ1 は９０〜１００°が好適である。三
層積層型のものであれば、下層磁性膜のカラムの傾きθ
3 は６０〜７５°、中層磁性膜のカラムの傾きθ2 は９
５〜１１０°、上層磁性膜のカラムの傾きθ 1 は８０〜
９０°が好適である。
【０００８】以下、本発明を更に詳しく説明する。本発
明の磁気記録媒体に用いられる支持体は、磁性あるいは
非磁性いずれのものでも良いが、一般的には非磁性のも
のである。このような支持体はＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった有機
材料、ガラス等のセラミックス、その他にもアルミニウ
ム合金などの金属材料が用いられる。尚、支持体の表面
には、磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のア
ンダーコート層が適宜設けられる。
明の磁気記録媒体に用いられる支持体は、磁性あるいは
非磁性いずれのものでも良いが、一般的には非磁性のも
のである。このような支持体はＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった有機
材料、ガラス等のセラミックス、その他にもアルミニウ
ム合金などの金属材料が用いられる。尚、支持体の表面
には、磁性層（磁性薄膜）の密着性を向上させる為のア
ンダーコート層が適宜設けられる。
【０００９】支持体の一面側に、例えば斜め蒸着手段に
よって磁性薄膜が設けられる。金属磁性薄膜を形成する
磁性粒子の材料としては、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の
金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−
Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡ
ｌ等の金属を含有させたもの等が用いられる。又、Ｆｅ
−Ｎ合金、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ合金、Ｆｅ−Ｃ合金、Ｆｅ−Ｃ
−Ｏ合金なども用いられる。尚、金属磁性薄膜の成膜時
には酸化性ガスが供されていて、金属磁性薄膜の表面層
には酸化膜からなる保護層が形成されることが好まし
い。そして、更に、保護層として、ダイヤモンドライク
カーボン、炭化ホウ素、窒化珪素などが設けられると一
層好ましい。又、保護層の上層にフッ素系や炭素系の潤
滑剤を設けておくことが好ましい。
よって磁性薄膜が設けられる。金属磁性薄膜を形成する
磁性粒子の材料としては、例えばＦｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の
金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−
Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ
−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡ
ｌ等の金属を含有させたもの等が用いられる。又、Ｆｅ
−Ｎ合金、Ｆｅ−Ｎ−Ｏ合金、Ｆｅ−Ｃ合金、Ｆｅ−Ｃ
−Ｏ合金なども用いられる。尚、金属磁性薄膜の成膜時
には酸化性ガスが供されていて、金属磁性薄膜の表面層
には酸化膜からなる保護層が形成されることが好まし
い。そして、更に、保護層として、ダイヤモンドライク
カーボン、炭化ホウ素、窒化珪素などが設けられると一
層好ましい。又、保護層の上層にフッ素系や炭素系の潤
滑剤を設けておくことが好ましい。
【００１０】金属磁性薄膜を斜め蒸着手段によって成膜
する装置としては、図１に示す斜め蒸着装置を採用する
ことが出来る。図１中、１ａは支持体２の供給側ロー
ル、１ｂは支持体２の巻取側ロール、３ａ，３ｂは冷却
用ガイド、４は支持体２の走行経路に設けられたガイド
ローラ、５ａ，５ｂはルツボ、６ａ，６ｂは電子銃、７
ａ，７ｂは酸化性（酸素）ガス供給ノズル、８は磁性金
属である。尚、冷却用ガイド３ａ，３ｂは、ルツボ５ａ
から蒸発した金属磁性粒子が冷却用ガイド３ａに沿って
案内される支持体２上に堆積して形成される下層磁性膜
のカラムの傾きをθ2 が、例えば７０°、ルツボ５ｂか
ら蒸発した金属磁性粒子が冷却用ガイド３ｂに沿って案
内される下層磁性膜上に堆積して形成される上層磁性膜
のカラムの傾きをθ1 が、例えば９５°となるよう、セ
ッティングされている。尚、三層以上の積層型を形成し
ようとすれば、図１の装置を更に発展させれば良い。例
えば、冷却用ガイド３ｂを中心にして冷却用ガイド３ａ
と略対称な位置にもう一つ冷却用ガイドをセットし、冷
却用ガイド３ｂの後、支持体をこれに沿って走行させ、
同様にセットしたルツボから斜め蒸着させれば、三層積
層型のものが得られる。
する装置としては、図１に示す斜め蒸着装置を採用する
ことが出来る。図１中、１ａは支持体２の供給側ロー
ル、１ｂは支持体２の巻取側ロール、３ａ，３ｂは冷却
用ガイド、４は支持体２の走行経路に設けられたガイド
ローラ、５ａ，５ｂはルツボ、６ａ，６ｂは電子銃、７
ａ，７ｂは酸化性（酸素）ガス供給ノズル、８は磁性金
属である。尚、冷却用ガイド３ａ，３ｂは、ルツボ５ａ
から蒸発した金属磁性粒子が冷却用ガイド３ａに沿って
案内される支持体２上に堆積して形成される下層磁性膜
のカラムの傾きをθ2 が、例えば７０°、ルツボ５ｂか
ら蒸発した金属磁性粒子が冷却用ガイド３ｂに沿って案
内される下層磁性膜上に堆積して形成される上層磁性膜
のカラムの傾きをθ1 が、例えば９５°となるよう、セ
ッティングされている。尚、三層以上の積層型を形成し
ようとすれば、図１の装置を更に発展させれば良い。例
えば、冷却用ガイド３ｂを中心にして冷却用ガイド３ａ
と略対称な位置にもう一つ冷却用ガイドをセットし、冷
却用ガイド３ｂの後、支持体をこれに沿って走行させ、
同様にセットしたルツボから斜め蒸着させれば、三層積
層型のものが得られる。
【００１１】このようにして、支持体から一番遠い位置
にある最上層の磁性膜のカラムの傾きをθ1 、最上層の
磁性膜から下１番目にある磁性膜のカラムの傾きを
θ2 、……、最上層の磁性膜から下（ｋ−１）番目にあ
る磁性膜のカラムの傾きをθk 、……、支持体に一番近
い位置にある最下層の磁性膜のカラムの傾きをθn （２
≦ｋ≦ｎ）とした場合、 （θ1 の値と９０°との差の絶対値）≦（θ2 の値と９
０°との差の絶対値）≦……≦（θk の値と９０°との
差の絶対値）≦……≦（θn の値と９０°との差の絶対
値） を満たすと共に、０°＜θk-1 ＜９０°（あるいは９０
°＜θk-1 ＜１８０°）とした場合、 ９０°＜θk ＜１８０°（あるいは０°＜θk ＜９０
°） を満たす積層金属薄膜型の磁気記録媒体が得られる。
にある最上層の磁性膜のカラムの傾きをθ1 、最上層の
磁性膜から下１番目にある磁性膜のカラムの傾きを
θ2 、……、最上層の磁性膜から下（ｋ−１）番目にあ
る磁性膜のカラムの傾きをθk 、……、支持体に一番近
い位置にある最下層の磁性膜のカラムの傾きをθn （２
≦ｋ≦ｎ）とした場合、 （θ1 の値と９０°との差の絶対値）≦（θ2 の値と９
０°との差の絶対値）≦……≦（θk の値と９０°との
差の絶対値）≦……≦（θn の値と９０°との差の絶対
値） を満たすと共に、０°＜θk-1 ＜９０°（あるいは９０
°＜θk-1 ＜１８０°）とした場合、 ９０°＜θk ＜１８０°（あるいは０°＜θk ＜９０
°） を満たす積層金属薄膜型の磁気記録媒体が得られる。
【００１２】以下、具体的な実施例を挙げて本発明を説
明する。
明する。
【００１３】
〔実施例１〕図２は、本発明になる磁気記録媒体の第１
実施例の概略図である。本実施例の磁気記録媒体は、図
１に示した斜め蒸着装置により得られる。すなわち、非
磁性の支持体（７μｍ厚さのＰＥＴフィルム）２を供給
側ロール１ａと巻取側ロール１ｂとの間に掛け渡し、そ
して冷却用ガイド３ａ，３ｂに沿って走行させる。真空
容器内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気し
た後、電子銃６ａ，６ｂからの電子ビーム加熱によりル
ツボ５ａ，５ｂ内の磁性金属（Ｃｏ）８を溶融、蒸発さ
せ、支持体上に厚さが８００Åでカラムの傾きθ2 が７
０°の下層Ｃｏ金属磁性膜を形成し、その上に厚さが１
０００Åでカラムの傾きθ 1 が９５°の上層Ｃｏ金属磁
性膜を積層形成し、図２に示す積層金属薄膜型の磁気記
録媒体Ｍを得た。尚、この磁気記録媒体Ｍの水平方向の
Ｈｃは１４００Ｏｅ、垂直方向のＨｃは２３００Ｏｅ、
Ｂｓは６２００Ｇであった。又、図示はしていないが、
この後通常の工程を経てカーボンブラック含有バインダ
樹脂からなるバックコート層が０．５μｍ厚さ設けられ
ている。
実施例の概略図である。本実施例の磁気記録媒体は、図
１に示した斜め蒸着装置により得られる。すなわち、非
磁性の支持体（７μｍ厚さのＰＥＴフィルム）２を供給
側ロール１ａと巻取側ロール１ｂとの間に掛け渡し、そ
して冷却用ガイド３ａ，３ｂに沿って走行させる。真空
容器内を１０-4〜１０-6Ｔｏｒｒ程度の真空度に排気し
た後、電子銃６ａ，６ｂからの電子ビーム加熱によりル
ツボ５ａ，５ｂ内の磁性金属（Ｃｏ）８を溶融、蒸発さ
せ、支持体上に厚さが８００Åでカラムの傾きθ2 が７
０°の下層Ｃｏ金属磁性膜を形成し、その上に厚さが１
０００Åでカラムの傾きθ 1 が９５°の上層Ｃｏ金属磁
性膜を積層形成し、図２に示す積層金属薄膜型の磁気記
録媒体Ｍを得た。尚、この磁気記録媒体Ｍの水平方向の
Ｈｃは１４００Ｏｅ、垂直方向のＨｃは２３００Ｏｅ、
Ｂｓは６２００Ｇであった。又、図示はしていないが、
この後通常の工程を経てカーボンブラック含有バインダ
樹脂からなるバックコート層が０．５μｍ厚さ設けられ
ている。
【００１４】〔実施例２〕図３は、本発明になる磁気記
録媒体の第２実施例の概略図である。本実施例の磁気記
録媒体Ｍは、図１に示した斜め蒸着装置を発展させた装
置を用いて得られたものであり、支持体上に厚さが６０
０Åでカラムの傾きθ3 が７０°の下層Ｃｏ−Ｃｒ（９
５−５）合金磁性膜を形成し、その上に厚さが６００Å
でカラムの傾きθ2 が１００°の中層Ｃｏ−Ｃｒ（９５
−５）合金磁性膜を形成し、その上に厚さが６００Åで
カラムの傾きθ1 が８８°の上層Ｃｏ−Ｃｒ（９５−
５）合金磁性膜を形成したものである。この磁気記録媒
体Ｍの水平方向のＨｃは１６８０Ｏｅ、垂直方向のＨｃ
は２４８０Ｏｅ、Ｂｓは５４００Ｇであった。
録媒体の第２実施例の概略図である。本実施例の磁気記
録媒体Ｍは、図１に示した斜め蒸着装置を発展させた装
置を用いて得られたものであり、支持体上に厚さが６０
０Åでカラムの傾きθ3 が７０°の下層Ｃｏ−Ｃｒ（９
５−５）合金磁性膜を形成し、その上に厚さが６００Å
でカラムの傾きθ2 が１００°の中層Ｃｏ−Ｃｒ（９５
−５）合金磁性膜を形成し、その上に厚さが６００Åで
カラムの傾きθ1 が８８°の上層Ｃｏ−Ｃｒ（９５−
５）合金磁性膜を形成したものである。この磁気記録媒
体Ｍの水平方向のＨｃは１６８０Ｏｅ、垂直方向のＨｃ
は２４８０Ｏｅ、Ｂｓは５４００Ｇであった。
【００１５】〔比較例１〕支持体上に厚さが８００Åで
カラムの傾きθ2 が８５°の下層Ｃｏ金属磁性膜を形成
し、その上に厚さが１０００Åでカラムの傾きθ1 が１
１０°の上層Ｃｏ金属磁性膜を積層形成し、図４に示す
積層金属薄膜型の磁気記録媒体Ｍを得た。 〔比較例２〕スパッタ手段により、支持体上に厚さが８
００Åの下層Ｃｏ金属磁性膜を形成し、その上に厚さが
１０００Åの上層Ｃｏ金属磁性膜を積層形成し、図５に
示す積層金属薄膜型の磁気記録媒体Ｍを得た。
カラムの傾きθ2 が８５°の下層Ｃｏ金属磁性膜を形成
し、その上に厚さが１０００Åでカラムの傾きθ1 が１
１０°の上層Ｃｏ金属磁性膜を積層形成し、図４に示す
積層金属薄膜型の磁気記録媒体Ｍを得た。 〔比較例２〕スパッタ手段により、支持体上に厚さが８
００Åの下層Ｃｏ金属磁性膜を形成し、その上に厚さが
１０００Åの上層Ｃｏ金属磁性膜を積層形成し、図５に
示す積層金属薄膜型の磁気記録媒体Ｍを得た。
【００１６】〔特性〕センダスト合金を用いて形成した
対極垂直磁気ヘッドを用い、上記各例の磁気テープに５
ＭＨｚ，１０ＭＨｚ，２０ＭＨｚのパルス波を記録し、
これを再生して出力を調べたので、結果を表−１に示
す。 表−１ ５ＭＨｚ（ｄＢ） １０ＭＨｚ（ｄＢ） ２０ＭＨｚ（ｄＢ） 実施例１ ＋０．２ ＋０．７ ＋１．４ 実施例２ ＋０．３ ＋０．９ ＋１．７ 比較例１ −０．２ −０．９ −２．３ 比較例２ ０ ０ ０ これから判る通り、本発明のものは、高密度記録に適し
たものであり、かつ、再生出力も高い。
対極垂直磁気ヘッドを用い、上記各例の磁気テープに５
ＭＨｚ，１０ＭＨｚ，２０ＭＨｚのパルス波を記録し、
これを再生して出力を調べたので、結果を表−１に示
す。 表−１ ５ＭＨｚ（ｄＢ） １０ＭＨｚ（ｄＢ） ２０ＭＨｚ（ｄＢ） 実施例１ ＋０．２ ＋０．７ ＋１．４ 実施例２ ＋０．３ ＋０．９ ＋１．７ 比較例１ −０．２ −０．９ −２．３ 比較例２ ０ ０ ０ これから判る通り、本発明のものは、高密度記録に適し
たものであり、かつ、再生出力も高い。
【００１７】
【効果】再生出力が高く、高密度記録に適したものであ
る。
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の磁気記録媒体を製造する為の斜め蒸着
装置の概略図
装置の概略図
【図２】本発明の磁気記録媒体の概略図
【図３】本発明の磁気記録媒体の概略図
【図４】比較例の磁気記録媒体の概略図
【図５】比較例の磁気記録媒体の概略図
フロントページの続き (72)発明者 石川 准子 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (3)
- 【請求項１】 カラムが斜めに成長した金属薄膜型の磁
性膜が支持体上にｎ層（２≦ｎ）積層された磁気記録媒
体であって、 支持体から一番遠い位置にある最上層の磁性膜のカラム
の傾きをθ1 、最上層の磁性膜から下１番目にある磁性
膜のカラムの傾きをθ2 、……、最上層の磁性膜から下
（ｋ−１）番目にある磁性膜のカラムの傾きをθk 、…
…、支持体に一番近い位置にある最下層の磁性膜のカラ
ムの傾きをθn （２≦ｋ≦ｎ）とした場合、 （θ1 の値と９０°との差の絶対値）≦（θ2 の値と９
０°との差の絶対値）≦……≦（θk の値と９０°との
差の絶対値）≦……≦（θn の値と９０°との差の絶対
値） を満たすと共に、 ０°＜θk-1 ＜９０°（あるいは９０°＜θk-1 ＜１８
０°）とした場合、 ９０°＜θk ＜１８０°（あるいは０°＜θk ＜９０
°） を満たすよう形成されてなることを特徴とする磁気記録
媒体。 - 【請求項２】 （θn の値と９０°との差の絶対値）≦
４０° を満たすよう形成されてなることを特徴とする請求項１
の磁気記録媒体。 - 【請求項３】 各磁性膜の厚さは５００〜１５００Å、
全磁性膜の厚さが１０００〜５０００Åであることを特
徴とする請求項１の磁気記録媒体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP497195A JPH08194931A (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP497195A JPH08194931A (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08194931A true JPH08194931A (ja) | 1996-07-30 |
Family
ID=11598489
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP497195A Pending JPH08194931A (ja) | 1995-01-17 | 1995-01-17 | 磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08194931A (ja) |
-
1995
- 1995-01-17 JP JP497195A patent/JPH08194931A/ja active Pending
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