JPH08190365A - シフトレジスタ - Google Patents

シフトレジスタ

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JPH08190365A
JPH08190365A JP7018347A JP1834795A JPH08190365A JP H08190365 A JPH08190365 A JP H08190365A JP 7018347 A JP7018347 A JP 7018347A JP 1834795 A JP1834795 A JP 1834795A JP H08190365 A JPH08190365 A JP H08190365A
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JP
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mis
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effect transistor
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JP7018347A
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English (en)
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Toshio Kameshima
登志男 亀島
Toshihiro Saiga
敏宏 雑賀
Koji Tomota
幸治 友田
Tadao Endo
忠夫 遠藤
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 イメージセンサまたは液晶ディスプレイの光
電変換部との同時成膜が可能で、かつイメージセンサお
よび液晶ディスプレイの駆動装置としてこれらの高機能
化と低コスト化を可能とするシフトレジスタを提供す
る。 【構成】 入力信号INを所定のクロックに従って取り
込みかつ順次後の出力段1−1〜1−Nへ転送するとと
もに、少なくとも1つの出力段の出力信号をモニタする
モニタ手段4を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、入力信号を所定のクロ
ックに従って取り込みかつ順次後の出力段へ転送するシ
フトレジスタに関し、特にイメージセンサや液晶ディス
プレイなどのように多数の光電変換素子や液晶素子を選
択駆動するパルスを発生する駆動装置(または駆動部)
として好適なシフトレジスタに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のa−Siイメージセンサは概略図
6に示されている構成を有している。ここでは光電変換
素子S1〜SN、信号電荷蓄積用コンデンサC1−1〜
C1−NおよびC2−1〜C2−Nならびに電荷転送用
薄膜トランジスタ(TFT)T1〜TNからなる光電変
換部2と、シフトレジスタであるセンサ駆動装置1と、
光電変換部2からの信号電荷を画像信号に変換する読み
出し用アンプIC3から構成されている。このうち光電
変換部2とセンサ駆動装置1はa−SiTFTプロセス
で同時に成膜して形成されている。図7は従来のセンサ
駆動装置(シフトレジスタ)の1段の構成を示したもの
である。ここでは薄膜トランジスタM1〜M6とコンデ
ンサC10,C20とでいわゆるインバータータイプの
シフトレジスタを構成している。また図8に従来のa−
Siイメージセンサを駆動する場合のタイミング図を示
す。このように入力信号INがシフトクロックCLK1
とCLK2によって次段へ転送される。各画素の信号電
荷蓄積用コンデンサC1−1〜C1−Nには原稿等の情
報光に応じた電荷が蓄積される。次に転送用薄膜トラン
ジスタT1〜TNのゲート電極にセンサ駆動装置で作ら
れたパルスVg1〜VgNが送られると、コンデンサC
1−1〜C1−Nの電荷がコンデンサC2−1〜C2−
Nに転送され、その後然るべきタイミングで読み出し用
アンプIC3で画像信号として読み出される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
従来の駆動装置は以下の欠点を有している。すなわち、
駆動装置を光電変換部と同時に成膜して形成することは
装置の小型化や低コスト化に対して非常に有効である
が、駆動装置を光電変換部と同時に成膜して形成した場
合、その駆動装置は比較的短時間で動作不良を起こし、
この駆動装置を用いたイメージセンサは正常な読み取り
動作が行なえなくなるという問題点があった。これは、
以下の理由によるものと推定される。すなわち、一般に
a−Si薄膜トランジスタ、特にMIS型電解効果トラ
ンジスタのようにゲート電極から絶縁膜を介して半導体
に電界を加え、チャネルを形成するスイッチング素子
(例えば図8のM2,M3,M5,M6)においては、
自身のオン動作によりその絶縁膜と半導体膜の界面の欠
陥に電子や正孔がトラップされ、しきい値電圧Vthが
初期より高い電圧にシフトしてしまうという現象が生じ
る。このシフト量は一般にはゲート電極に印加する電圧
値と電圧印加時間に比例する。しきい値電圧Vthのシ
フトが生じると図8のVg1’〜VgN’に示すとお
り、転送用薄膜トランジスタT1〜TNのゲート電極に
印加される電圧値が(Vdd−Vth)から(Vdd−
Vth−dVth)のように低下し、コンデンサC1−
xの電荷をコンデンサC2−xへ十分に転送できなくな
る。この現象は駆動装置の動作に必要な電源電圧の変化
として現れる。また定電圧駆動の場合には駆動装置の寿
命として現れる。そして、このようにしきい値Vthが
上昇すると、駆動装置が動作不良を起こしイメージセン
サとして正常な読み取り動作が行なえなくなる。
【0004】同様の問題は、液晶素子を駆動する液晶デ
ィスプレイの駆動装置においても同様の問題が発生す
る。なお、液晶ディスプレイの場合、図6のイメージセ
ンサの光電変換部2および読み出し用アンプ3とは入出
力関係が逆になる。すなわち、液晶ディスプレイの場
合、読み出し用アンプ3が書き込み用アンプとなり、光
電変換素子S1〜SNが液晶素子となって、液晶素子S
x用の表示信号は、書き込み用アンプ3からコンデンサ
C2−xに書き込まれ、次いで駆動装置1からゲート信
号Vgxが供給されてトランジスタTxがオンすること
により、表示信号がコンデンサC2−xからコンデンサ
C1−xに転送されて、液晶素子Sxが駆動される。
【0005】以上のように、従来のイメージセンサやや
液晶ディスプレイにおいては、駆動部とそれにより駆動
される被駆動部(イメージセンサの光電変換部や液晶デ
ィスプレイの表示部)を同時に成膜して形成することが
装置の小型化や低コスト化に対して非常に有効であるこ
とは分かっていても、比較的短時間でしきい値Vthが
上昇して動作不良を起こすため、実際には駆動部と被駆
動部を同時成膜で形成することはできないという問題点
があった。本発明はこれらの問題点に鑑みてなされたも
のである。
【0006】本発明の目的は、前述の従来技術の問題点
を除去し、駆動部と光電変換部または表示部との同時成
膜を可能とし、イメージセンサおよび液晶ディスプレイ
の高機能化と低コスト化を可能とする駆動装置として適
用可能なシフトレジスタを提供することである。
【0007】
【課題を解決するための手段】前記問題点を解決するた
めに、本発明のシフトレジスタは、その少なくとも1つ
の出力段の出力信号をモニタすることを特徴としてい
る。本発明の好ましい実施例において、本発明のシフト
レジスタはイメージセンサの光電変換部の駆動装置とし
て用いられ、入力信号としてスタートパルスを供給さ
れ、そのパルスを順次の出力段に転送するとともに順次
の液晶素子またはイメージセンサ素子に駆動パルスを供
給する。モニタ手段はシフトレジスタの最終段の出力パ
ルスの振幅に基づいて該駆動装置の動作を監視する。ま
た、別の実施例においては、駆動装置の最終段の次に駆
動すべき液晶素子またはイメージセンサをもたないダミ
ーの出力段を付加し、このダミーの出力段の出力パルス
をモニタする。モニタの結果、出力パルスの高さが設定
した値より小さくなるなどの異常が生じた場合には、 ユーザーに告知する、あるいは 駆動装置の駆動条件を変更するか、または しきい値電圧Vthを逆方向へシフトさせるように薄
膜トランジスタに電界を印加することにより駆動装置の
寿命延長を図るようにする。
【0008】
【作用】上記の構成によれば、シフトレジスタの出力の
少なくとも1つをモニタし、該出力に異常が検出された
場合は、 ユーザーに告知する、あるいは シフトレジスタの出力条件を変更するか、または しきい値電圧Vthを逆方向へシフトさせるように薄
膜トランジスタに電界を印加することによりシフトレジ
スタの出力条件の回復、すなわち寿命延長を図る。
【0009】異常をユーザーに告知するだけの場合、告
知により異常を知ったユーザーは、その異常が、イメー
ジセンサや液晶ディスプレイの故障または寿命として表
面化する前に、シフトレジスタの出力条件を変更する等
して、シフトレジスタの駆動能力を補償したり、しきい
値電圧Vthを逆方向へシフトさせる等して、シフトレ
ジスタの駆動能力を回復する処置を行なうことができ
る。さらに、上記補償または回復が困難または不可能で
あったり、補償または回復による正常動作時間の充分な
延長が期待できない場合は、シフトレジスタを交換する
ことができる。
【0010】シフトレジスタが自動で上記の補償または
回復処置を行なう場合、所定の条件においてシフトレジ
スタの交換を告知するようにしてもよい。所定の条件
は、例えば補償または回復回数が所定回数に達したと
き、または前回の補償または回復後、今回の異常検出ま
での動作時間が所定時間以下であったとき等を設定する
ことができる。
【0011】
【効果】以上のように、本発明によれば、シフトレジス
タの出力をモニタし、出力異常が検出された場合は、そ
れが故障等として表面化する前にシフトレジスタの出力
を補償したり、回復して出力から見たシフトレジスタの
寿命延長を図っている。このため、シフトレジスタをイ
メージセンサの光電変換部や液晶ディスプレイの表示部
等と同時成膜により形成した場合のように、動作中の電
荷蓄積等により、動作異常を生じ易い場合であっても、
それを故障または寿命として表面化させることなく、補
償または回復することができ、そのままでは短命である
ものを充分な寿命で用いることができる。すなわち、シ
フトレジスタをイメージセンサの光電変換部や液晶ディ
スプレイの表示部等と同時成膜により形成することは、
従来は寿命の面から実用化できないされていたものが、
本発明ではモニタ手段を設けて正常動作期間を延長する
ようにしたため、実用化できるようになった。
【0012】
【実施例】実施例1 以下に本発明を実施例を用いて説明する。図1は本発明
の一実施例に係る駆動部を用いたイメージセンサの模式
的回路図である。また、図2は図1の駆動部1における
駆動タイミング図である。図において、1はシフトレジ
スタからなる駆動部、2は光電変換部で、駆動部1と光
電変換部2はa−Siプロセスで同時に成膜して形成さ
れる。3は読み出し用アンプICである。4は制御部
で、駆動部1の最終段1−Nの出力パルスを入力して駆
動部1の能力を判定し、駆動部1の能力に異常または劣
化を検出したときはそれをブザーや表示によりユーザー
に告知する。ユーザーはこの告知に基づいて、 駆動部の駆動条件を変更するか、または しきい値電圧Vthを逆方向へシフトさせるように電
界を印加する などの能力補償のための処置または後述する能力復活の
ための処置を行なう。あるいは、必要に応じて駆動部1
および光電変換部2を交換する。
【0013】なお、上記の能力異常の告知の代わりに、
またはそれと併せて、上記の能力補償または能力復活処
置を、制御部4等に自動的に行なわせるようにしてもよ
い。
【0014】図において、Vddは電源ライン、CLK
1,CLK2はシフトクロック、INは入力信号、RE
S1〜RESNはリセット信号を示し、これらの信号
は、制御部4から駆動部1へ供給される。なお、電源V
dd、クロックCLK1,CLK2および入力信号IN
の供給機能は外部に設けた回路に担わせても良いし、前
述の読み出し用アンプIC3に担わせても良い。さらに
リセット信号RESxは制御部4から与えてもよいし、
出力パルスVgxなどで代用してもよい。また、駆動部
1の能力の判定は動作中に行なってもよいし、あるいは
通常の読み取り時以外に行なってもよい。また能力判定
を行なう時の駆動条件も通常の読み取り動作と同じでも
よいし、周波数、電源電圧、温度などを変化させてもよ
い。
【0015】一般に図1のような構成を有する駆動部に
おいて、動作に最低必要な電源電圧Vddminと駆動
周波数の関係は図3のようになっている。図3から分か
るように、高い周波数で動作させるには高い電源電圧が
必要である。また初期の状態と、耐久動作後のVthが
シフトした状態とを比較すると、同じ周波数で駆動する
場合は耐久動作後の方が高い電源電圧Vddminが必
要である。さらに、図示はされていないが、高温と低温
では低温の方が高い電源電圧Vddminが必要であ
る。また、駆動部1を構成する薄膜トランジスタに光を
照射すれば駆動に必要な電源電圧Vddminは低下す
る。さらに、ゲート電極へ電界を印加することによって Vth’=Vth+dVth のようなしきい電圧Vthのシフトが生じた薄膜トラン
ジスタはゲート電極に逆電圧を印加することによってし
きい電圧Vthのシフトが回復する。
【0016】したがって、制御部4で駆動部1の能力の
異常または劣化が検出された場合、ユーザーは、上記の
異常または劣化の告知に応じて、 電源電圧Vddを上昇させる 駆動周波数を低下させる 環境温度を上昇させる 駆動部を構成する薄膜トランジスタ部にバイアス光
を照射する しきい値電圧Vthを逆方向にシフトさせるように
電界を印加する など、能力を補償したり復活させるための処置を実行し
て駆動部1の寿命を延長することができる。あるいは、
必要であれば、駆動部1の異常または劣化が実際の故障
または寿命として現れる前に駆動部1および光電変換部
2を交換することができる。
【0017】実施例2 図4は本発明の第2の実施例に係る駆動部を用いたイメ
ージセンサの模式的回路図である。一般に駆動部1の能
力は各段の出力に負荷される容量に依存する。図1の第
1の実施例のように駆動部1の最終段1−Nの出力端子
を制御部4に接続すると、最終段1−Nから出力され転
送用薄膜トランジスタTNのゲート電極に印加されるパ
ルスVgNが制御部4の容量Csにより影響を受ける。
しかし図4の例のように駆動する光電変換部を持たない
ダミーの出力段1−(N+1)を設けることによって、
最終段1−Nの出力パルスVgNが制御部4の容量Cs
の影響を受けることがなくなる。また制御部の容量Cs
と転送用薄膜トランジスタの寄生容量を同等にすれば駆
動部の能力をより正しく判断することができる。
【0018】実施例3 図5に本発明の第3の実施例に係る駆動部の模式的回路
図を示す。一般にa−Si材料は単結晶、あるいは多結
晶に比べて移動度が低く、高速駆動が困難とされてい
る。この問題を解決するためにマトリクス駆動あるいは
ブロック駆動が用いられる。図5のように第1〜第nビ
ットの転送用トランジスタTx−1〜Tx−nを同時に
駆動するブロック構成とすることによって液晶素子が多
い場合あるいは光電変換素子数が多い場合にも十分な読
み取り速度の駆動部を構成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1の実施例に係るシフトレジスタ
を用いたイメージセンサの模式的回路図である。
【図2】 図1のイメージセンサの駆動タイミング図で
ある。
【図3】 駆動用波数と駆動に必要な電圧との関係を示
すグラフである。
【図4】 本発明の第2の実施例に係る駆動部の構成を
示す模式的回路図である。
【図5】 本発明の第3の実施例に係る駆動部の構成を
示す模式的回路図である。
【図6】 従来の駆動部を用いたイメージセンサの模式
的回路図である。
【図7】 従来のセンサ駆動装置の1段の構成を示す回
路図である。
【図8】 図6のイメージセンサを駆動する場合のタイ
ミング図である。
【符号の説明】
1:駆動部(シフトレジスタ)、1−N:最終出力段、
1−(N+1):駆動部ダミー出力段、2:光電変換
部、3:読み出し用アンプIC、4:制御部、Vdd:
電源ライン、CLK1,CLK2:シフトクロック、I
N:入力信号、RES1〜RESN:リセット信号、T
1,T2,‥‥,Tx,‥‥,TN:薄膜トランジスタ
(TFT)。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G11C 19/00 G 19/28 D H01L 27/146 29/786 H03M 9/00 C 9382−5K H04N 5/335 P 5/66 102 B (72)発明者 遠藤 忠夫 東京都大田区下丸子3丁目30番2号キヤノ ン株式会社内

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項01】 入力信号を所定のクロックに従って取
    り込みかつ順次後の出力段へ転送するシフトレジスタに
    おいて、少なくとも1つの出力段の出力信号をモニタす
    るモニタ手段を設けたことを特徴とするシフトレジス
    タ。
  2. 【請求項02】 前記入力信号がパルスであり、前記モ
    ニタ手段は前記出力段から出力されるパルスの振幅をモ
    ニタして該振幅が所定のレベル以下になったとき当該シ
    フトレジスタの動作異常検出信号を発生することを特徴
    とする請求項1記載のシフトレジスタ。
  3. 【請求項03】 第1の容量手段に書き込まれた信号を
    薄膜トランジスタを介して第2の容量手段に転送する信
    号転送回路を複数個有するイメージセンサまたは液晶装
    置において、前記各薄膜トランジスタに対応する前記各
    出力段より順次駆動パルスを供給する駆動装置として用
    いられることを特徴とする請求項1または2記載のシフ
    トレジスタ。
  4. 【請求項04】 駆動すべき薄膜トランジスタを持たな
    いダミーの出力段を持ち、このダミー出力段の出力パル
    スをモニタすることを特徴とする請求項3記載のシフト
    レジスタ。
  5. 【請求項05】 前記ダミー出力段が前記シフトレジス
    タの最終段の次に置かれていることを特徴とする請求項
    4記載のシフトレジスタ。
  6. 【請求項06】 モニタする出力パルスに異常が生じた
    場合にユーザーに告知する手段を有することを特徴とす
    る請求項3〜5のいずれかに記載のシフトレジスタ。
  7. 【請求項07】 モニタする出力パルスに異常が生じた
    場合に該シフトレジスタの動作条件を変更させる手段を
    有することを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載
    のシフトレジスタ。
  8. 【請求項08】 前記出力段は1段が、ソースまたはド
    レインとなる第1および第2の電極ならびにゲート電極
    をそれぞれ有するMIS型電解効果トランジスタを用
    い、第1のMIS型電解効果トランジスタのゲート電極
    を入力端子とし、前記第1のMIS型電解効果トランジ
    スタの第1の電極を電源に接続するか、もしくは前記入
    力端子に接続し、前記第1のMIS型電解効果トランジ
    スタの第2の電極を、第2のMIS型電解効果トランジ
    スタのゲート電極と第3のMIS型電解効果トランジス
    タの第1の電極に接続し、前記第2のMIS型電解効果
    トランジスタの第1の電極を出力端子とし、前記第2の
    MIS型電解効果トランジスタの第2の電極にはシフト
    クロックを印加し、前記第3のMIS型電解効果トラン
    ジスタの第2の電極を電源に接続し、前記第3のMIS
    型電解効果トランジスタのゲート電極にリセットパルス
    を印加する構成を有することを特徴とする請求項1〜7
    のいずれかに記載のシフトレジスタ。
  9. 【請求項09】 前記イメージセンサまたは液晶装置の
    素子部と同時に成膜され形成されたことを特徴とする請
    求項3〜8のいずれかに記載のシフトレジスタ。
  10. 【請求項10】 前記素子部とシフトレジスタの同時成
    膜形成をa−Siプロセスで行なったことを特徴とする
    請求項9記載のシフトレジスタ。
JP7018347A 1995-01-11 1995-01-11 シフトレジスタ Pending JPH08190365A (ja)

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