JPH08188215A - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JPH08188215A
JPH08188215A JP6339772A JP33977294A JPH08188215A JP H08188215 A JPH08188215 A JP H08188215A JP 6339772 A JP6339772 A JP 6339772A JP 33977294 A JP33977294 A JP 33977294A JP H08188215 A JPH08188215 A JP H08188215A
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conveyor
work
processing
intermediate conveyor
welding
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Teruhiro Sudo
輝弘 須藤
Yasukimi Tanaka
康公 田中
Suguru Tan
英 丹
Shunichi Yoshida
俊一 吉田
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Abstract

(57)【要約】 [目的] 搬送ラインからワークを取出すことなくしか
も搬送ラインの幅よりも広い加工用治具によって加工を
行なうことが可能な搬送装置を提供することを目的とす
る。 [構成] 開閉自在な中間コンベア22の上方に固定配
置されている溶着用上型26に対して昇降動作を行なう
溶着用下型28にカム43を設けておき、メインシリン
ダ30による溶着用下型28の上昇動作に連動してカム
43によってコンベア支持台44を押し、これによって
中間コンベア22を開くようにしたものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は各種の加工に用いられる
搬送装置に係り、とくに搬送経路の途中に加工ステーシ
ョンが設けられ、この加工ステーションにおいて加工が
行なわれるようにした装置に用いて好適な搬送装置に関
する。
【0002】
【従来の技術】コンベアを用いてワークを移動させ、こ
のコンベアよりも幅が広い加工治具によってワークのコ
ンベアによって支持される部分を加工しようとすると、
コンベアと加工治具とが干渉する。従って上記搬送用コ
ンベア上で上述のようなワークの加工を行なうことは通
常不可能である。このような場合には従来は次のような
構造を採用するようにしていた。
【0003】従来の方法は、ワークを搬送用コンベアか
ら取出すとともに、別に設けた加工治具に取付けて加工
を行ない、その後に再び上記搬送用コンベアに戻して次
の工程へ流す方法である。また第2の方法は、主コンベ
アの側方に分岐して上記加工用の作業を行なうための副
コンベアを設け、副コンベアによって部品を引込んで加
工を行なった後に再び上記主コンベアに戻す方法であ
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】生産時間の短縮を図る
ためには、搬送用コンベアからワークを取出すことを避
け、上記の搬送用コンベア上において加工を行なうこと
が望ましい。従来の第1および第2の方法においては、
その何れにおいても搬送用コンベアからワークを移動し
て加工を行なった後に再び搬送用コンベアに戻すことに
なる。従ってその往復の時間がライン全体の生産時間に
加算されるために、生産性を増加させることに対して阻
害要因になっている。
【0005】本発明はこのような問題点に鑑みてなされ
たものであって、搬送用コンベアからワークを取出した
後加工し、再び上記コンベアに戻すためのワークの移載
に要する時間を省き、これによって生産性の増加に対す
る阻害要因を排除するようにした搬送装置を提供するこ
とを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、加工を行なう
ためのワークを供給コンベアによって供給するととも
に、供給コンベアの後方に直線状に配置されている開閉
自在なコンベアによって加工ステーションの下側または
上側へ上記ワークを搬送し、加工治具によって上記中間
コンベア上のワークを加工ステーション上に上昇移動ま
たは下降移動させて加工を行なうとともに、このような
上昇移動または下降移動の際に加工治具の昇降動作に連
動して中間コンベアを開閉機構によって開閉するように
し、加工ステーションで加工が行なわれたワークを中間
コンベアの後方に直線状に配置されている排出コンベア
によって排出するようにしたものである。
【0007】中間コンベアの両側の部分を左右一対の回
動可能な支持台上にそれぞれ設けるようにし、加工治具
の両側に設けられているカムによって支持台をこの加工
治具の昇降動作に連動して回動させるようにした構成よ
れば、加工治具の昇降動作に連動して中間コンベアの開
閉動作が行なわれることになる。
【0008】中間コンベアの上部に加工ステーションが
設けられる場合には、加工治具に対して移動可能にワー
クを支持する支持手段をさらに設けるようにし、この支
持手段によってワークを支持した状態で中間コンベアを
開くようにする。そして支持手段の加工ステーション側
への所定のストローク以上の移動に対して加工治具がス
トッパとして作用することになる。
【0009】加工ステーションが熱溶着ユニットから構
成される場合には、中間コンベアの上方または下方に固
定型が固定配置され、加工治具が昇降動作するとワーク
の熱溶着によるシールが加工治具と熱溶着ユニットとに
よって行なわれるようになっている。
【0010】
【作用】加工を行なうためのワークが供給コンベアから
中間コンベアに供給され、中間コンベア上に供給された
ワークが加工治具によって昇降動作されて加工ステーシ
ョン側に移動されるようになり、この加工ステーション
で加工が行なわれるとともに、加工を終ったワークが再
び中間コンベアに戻され、さらに排出コンベアによって
排出される。
【0011】加工治具の昇降動作に連動する開閉機構を
加工治具に設けられているカムによって構成した場合に
は、加工治具の昇降動作に連動して上記カムによって中
間コンベアを支持する左右一対の支持台が回動動作し、
これによって中間コンベアの開閉が達成される。
【0012】中間コンベアの上部に加工ステーションが
設けられるとともに、支持手段を付加した構造において
は、中間コンベアが開くのに先立って上記支持手段によ
ってまずワークが支持されるとともに、支持手段による
上昇動作は加工治具の位置によってそのストロークが規
制されることになる。
【0013】この搬送装置の加工ステーションを熱溶着
ユニットから構成する場合には、中間コンベアの上方ま
たは下方に固定型が固定配置されるとともに、加工治具
の昇降動作に伴ってワークが固定型に圧着され、これに
よってワークの熱溶着が行なわれる。
【0014】
【実施例】図1はこの実施例の搬送装置によって搬送さ
れるとともに、この搬送装置と組合わされた熱溶着ユニ
ットによって熱溶着が行なわれるテープレコーダの包装
形態を示すものであって、テープレコーダを包装する包
装手段はトレー状容器10と蓋体11とから構成されて
いる。トレー状容器10は不透明な合成樹脂成形体から
成り、その中間に設けられている凹部12によってポー
タブルタイプのテープレコーダ13を収納保持するよう
になっている。そして凹部12の回りに設けられている
別の凹部14にヘッドホン15と付属品16とがそれぞ
れ収納されるようになっている。そしてトレー状容器1
0の上には透明な蓋体11が装着されるとともに、トレ
ー状容器10のフランジ17と蓋体11のフランジ18
とが互いに熱溶着されて包装のシールが行なわれるよう
になっている。
【0015】図2〜図4はこのようなテープレコーダ1
3およびその付属品15、16をトレー状容器10と蓋
体11とによって包装してシールするためのシール装置
を含む搬送装置を示している。搬送装置は図2および図
3に示すように、供給コンベア21と中間コンベア22
と排出コンベア23とを備え、これらが直線状に1列に
配されている。すなわち供給コンベア21の後側に中間
コンベア22が、その後側に排出コンベア23が連続し
て配されるようになっている。
【0016】中間コンベア22の上方には加工ステーシ
ョン25が設けられている。加工ステーション25はト
レー状容器10と蓋体11とを熱溶着するための溶着用
上型26(図3参照)を備えるとともに、この上型26
は複数の超音波溶着ユニット27を備えている。
【0017】これに対して中間コンベア22の下側には
図3および図4に示すように、昇降自在な溶着用下型2
8が設けられている。下型28は支持板29によって支
持されるとともに、支持板29がメインシリンダ30の
ピストンロッド31に連結されている。なおメインシリ
ンダ30はフレーム32に支持されるようになってい
る。
【0018】上記フレーム32の下側には複数のバック
アップシリンダ35が設けられており、それらのピスト
ンロッド36が図4に示すように上方へ突出するように
なっている。ピストンロッド36の上端には連結ブロッ
ク37が固着されている。この連結ブロック37は上記
溶着用下型28の支持板29に当接するとともに、この
支持板29を貫通するように支柱38が上方へ延びてい
る。そして支柱38の上端にはワーク受け台39が固着
されている。ワーク受け台39は溶着用下型28に先立
ってトレー状容器10と蓋体11とから成るワークを支
持するようにしている。
【0019】上記溶着用下型28の両側には図5に示す
ようにそれぞれカム43が固着されている。そしてこの
カム43に対向するように、溶着用下型28の両側には
それぞれコンベア支持台44が配されている。左右のコ
ンベア支持台44の下端側はフレーム32に支持されて
いる支軸45によって回転自在に支持されている。そし
てコイルスプリングを内蔵するシリンダ46が左右のコ
ンベア支持台44に連結されており、これによって左右
のコンベア支持台44は互いに閉じる方向に回動付勢さ
れている。またコンベア支持台44にはそれぞれカムフ
ォロア47が取付けられており、これらのカムフォロア
47が上記シリンダ46の付勢力によってカム43に圧
接されている。
【0020】コンベア支持台44上にはさらにストッパ
50が取付けられている。ストッパ50はピン51によ
ってコンベア支持台44の上端に回動自在に支持される
とともに、エアシリンダ52によってその開閉動作が制
御されるようになっている。なおエアシリンダ52の下
端部がブラケット53を介してコンベア支持台44に支
持されるようになっている。
【0021】次にこのような構造に係る搬送装置の制御
系の構成を図10につき説明すると、この制御系はコン
ピュータを含むコントロールユニット56から構成され
ている。そしてコントロールユニット56の入力側には
起動スイッチ57、供給コンベア21にワークがあるか
ないかを検出するセンサ58、中間コンベア22にワー
クがあるかないかを検出するセンサ59、および排出コ
ンベア23によってワークの排出が行なわれたかどうか
を検出するセンサ60がそれぞれ接続されている。
【0022】上記コントロールユニット56は供給コン
ベア21、中間コンベア22、および排出コンベア23
をそれぞれ駆動用モータを介して制御するようになって
いる。さらにコントロールユニット56はメインシリン
ダ30、バックアップシリンダ35、ストッパ50の開
閉を行なうエアシリンダ52を制御するようになってい
る。また図示を省略した供給コンベア21のストッパの
開閉を制御するエアシリンダ63の制御をも行なうよう
になっている。
【0023】次に以上の構成に係る搬送装置の動作を説
明する。図1に示すようにトレー状容器10の中にテー
プレコーダ13とともにヘッドホン15と付属品16と
をそれぞれ収納し、蓋体11によって上部を覆ったワー
クが供給コンベア21によって図2において左方から右
方に搬送される。このときにワークの長さ方向の両端が
それぞれ供給コンベア21の左右の部分で支持された状
態で供給される。供給コンベア21から供給されたワー
クはさらに中間コンベア22に至る。
【0024】ワークが中間コンベア22に到達すると、
この中間コンベア22に設けられているセンサ59がワ
ークの到着を検出することになる。そしてこのときには
図5に示すように、エアシリンダ52のピストンロッド
が押出されており、ストッパ50はワークの移動経路を
塞ぐように配置されている。従ってワークはストッパ5
0に当接した位置で停止する。
【0025】この後に図6に示すようにバックアップシ
リンダ35のピストンロッド36が押出される。従って
このピストンロッド36に連結ブロック37を介して支
持されている支柱38の上端のワーク受け台39が図6
に示すように上昇し、中間コンベア22からワークを受
取って加工ステーション25の溶着用上型26に近接す
るようにワークを少しだけ上方に移動する。
【0026】エアシリンダから成るバックアップシリン
ダ35の出力が弱いために、連結ブロック37が溶着用
下型28の支持板29の下面に当接した状態で、それ以
上ワーク受け台39は上方に移動できなくなる。従って
ワークは中間位置で停止することになる。なお本実施例
に係る搬送装置においては、バックアップシリンダ35
のフルストロークにおいても、ワークは溶着用上型26
に対して任意の隙間を有する位置までしか上昇しないよ
うなっている。
【0027】そしてこの後にメインシリンダ30が作動
する。中間コンベア22のセンサ59がワークを検出し
て所定の時間を経過した後にメインシリンダ30が作動
する。従ってこのメインシリンダ30に支持板29を介
して取付けられている溶着用下型28が上昇するととも
に、これによってバックアップシリンダ35の余分のス
トロークに相当する分だけワーク受け台39が上昇す
る。これによってワークは溶着用上型26の下面に2m
m程度の隙間を残す位置まで上昇する。
【0028】バックアップシリンダ35によってワーク
受け台39を介してワークを受けた後にさらにメインシ
リンダ30によって溶着用下型28を上昇させると、ワ
ークが中間コンベア22の搬送面よりも約5mm程度上
昇した位置で、メインシリンダ30によって上昇される
溶着用下型28の両側に取付けられているカム43がカ
ムフォロア47を介してコンベア支持台44を押すこと
になる。すると左右のコンベア支持台44はばねを内蔵
するシリンダ46の弾性復元力に抗してそれぞれ開く方
向に回動される。従って中間コンベア22が図7に示す
ように開かれることになる。
【0029】メインシリンダ30によって溶着用下型2
8が上昇を続け、この溶着用下型28が中間コンベア2
1を越えて上昇するタイミングまで、カム43はコンベ
ア支持台44に取付けられたカムフォロア47を押し続
け、このコンベア支持台44の下端を支軸45を中心に
図8に示すようにさらに開く方向に回動させ、これによ
って中間コンベア22は溶着用下型28が通過する幅よ
りも十分広く拡幅される。
【0030】メインシリンダ30はバックアップシリン
ダ35のフルストロークを越えてさらに溶着用下型28
を上昇させるために、バックアップシリンダ35によっ
て上昇されるワーク受け台39からワークを受取り、さ
らにこの溶着用下型28によってワークが上昇される。
そして図8に示すように、溶着用下型28が溶着用上型
26と密着することになり、上型26と下型28とによ
ってワークが挟着されることになる。
【0031】このようにメインシリンダ30の往動によ
って下型28を上型26に密着させ、この位置において
上限センサによって検出が行なわれるとともに、上下の
金型26、28に組込まれたヒータによってトレー状容
器10のフランジ17と蓋体11の周囲のフランジ18
とが互いに熱溶着される。同時に溶着用上型26に設け
られている超音波ユニット27によってこのトレー状容
器10と蓋体11とがフランジ以外の部分においても間
欠的にスポット溶着されることになる。
【0032】溶着に必要な時間であってタイマによって
予め設定されている時間を経過した後に、メインシリン
ダ30がピストンロッド31を引込み、溶着用下型28
を図9に示すように下降させる。するとこの溶着用下型
28によって支持されていたワークが図9に示すように
ワーク受け台39によって受けられるようになる。従っ
て溶着用下型28がワークよりも先に下降されるととも
に、この下降に伴ってその両側に設けられているカム4
3によるコンベア支持台44のカムフォロア47の押圧
が解除される。従ってシリンダ46の弾性復元力によっ
て左右のコンベア支持台44が図6に示すように閉じら
れる。
【0033】この後にバックアップシリンダ35がピス
トンロッド36を引込むようになり、このピストンロッ
ド36によってワーク受け台39が下降されることにな
る。そしてワーク受け台39の下降に伴って、既に閉じ
られているコンベア支持台44上の中間コンベア22に
よって溶着されたワークが支持されることになる。なお
先に下降したメインシリンダ30はその下降動作が下限
センサによって検出される。
【0034】このように溶着を終ったワークを中間コン
ベア22まで下降させた後に、エアシリンダ52によっ
てストッパ50を開放する。すると中間コンベア22に
よって溶着されたワークが図2において右方に搬送さ
れ、排出コンベア23によって排出動作が行なわれる。
【0035】次に図10に示す制御系の制御動作を図1
1によって説明する。コントロールユニット56のコン
ピュータは中間コンベア22上にワークがあるかどうか
をセンサ59によって検出する。そして中間コンベア2
2上にワークがない場合には、供給コンベア21にワー
クがあるかどうかを供給コンベア21のセンサ58によ
って検出する。供給コンベア21にワークがある場合に
はエアシリンダ63を作動させてこの供給コンベア21
のストッパを開放し、供給コンベア21によって中間コ
ンベア22側にワークを搬送する。そしてこの後に供給
コンベア21側のストッパをエアシリンダ63によって
リセットする。
【0036】加工エリア、すなわち中間コンベア22上
にワークがあることがセンサ59によって検出された場
合には、上記の動作、すなわちバックアップシリンダ3
5およびメインシリンダ30による上昇動作によってワ
ークを加工ステーション25上に移動し、加工ステーシ
ョン25で溶着のための加工を行なう。
【0037】この後にメインシリンダ30およびバック
アップシリンダ35によってワークを下降させ、溶着さ
れたワークを中間コンベア22上に戻す。そしてこの後
にコントロールユニット56によってエアシリンダ52
を作動させ、ストッパ50を解除する。すると中間コン
ベア22から排出コンベア23に溶着されたワークが搬
送されることになる。この後にエアシリンダ52によっ
てストッパ50をリセットする。そして排出コンベア2
3上のワークをセンサ60によって検出することによ
り、溶着の1サイクルの動作を終了し、次のサイクルに
移る。
【0038】このように本実施例の搬送装置は、供給コ
ンベア21、中間コンベア22、および排出コンベア2
3から成り、これらが水平面内において直線状に配置さ
れるとともに、中間コンベア22が加工ステーション2
5の下方に位置するようになっている。そして中間コン
ベア22はコンベア支持台44に設けられたカムフォロ
ア47と溶着用下型28に取付けられているカム43と
から成る開閉機構によって開閉可能にし、溶着用下型2
8から成る加工治具の昇降動作時にこの加工治具が中間
コンベア22と干渉しないようにコンベア22の幅を広
げるようにし、溶着動作を完了した後に中間コンベア2
2を再び元の幅に戻し、溶着されたワークを受けて次の
工程へ送る機構としている。
【0039】従って上記の動作の説明から明らかなよう
に、一連の作業を連続して行なうフリーフローコンベア
において、中間コンベア22の幅よりも広い溶着用下型
28から成る加工治具を中間コンベア22の搬送位置を
越えて上下に移動させて作業を行なうことが可能にな
る。中間コンベア22は左右に分割されるとともに、左
右一対のコンベア支持台44によって支持されるように
なっており、溶着用下型28の上下動に連動して、この
下型28に設けられているカム43によって開閉動作を
行ない、必要なスペースを得るようにしている。
【0040】従ってワークの溶着加工のために搬送用コ
ンベアからワークを取出して加工を行なった後に再び搬
送用コンベアに戻す必要がなくなり、ワークの移載に要
する時間を省くことが可能になる。従って搬送装置と組
合わされる加工ステーションの効率を改善することが可
能になる。
【0041】なお上記実施例においては、溶着用下型2
8に設けられているカム43によって中間コンベア22
の開閉を行なうようにしているが、エアシリンダ等のア
クチュエータによってコンベアを移動させてその幅を変
更するようにしてもよい。また回動式のコンベア支持台
44を用いる代りに、左右に平行移動する開閉機構によ
って中間コンベア22の開閉を行なうようにしてもよ
い。またコンベア支持台44を閉じる方向に付勢するシ
リンダ46に代えて引張りばねを用いることが可能であ
る。
【0042】また上記実施例においては、加工ステーシ
ョン25が中間コンベア22の上方に位置しているが、
加工ステーション25を中間コンベア22の下側に配
し、ワークを中間コンベア22から下方に移動して加工
を行なうようにしてもよい。
【0043】
【発明の効果】以上のように本発明は、加工用治具の昇
降動作に連動して中間コンベアを開閉させるようにし、
加工治具の昇降動作に連動して中間コンベア上のワーク
を加工ステーションに移動させるようにしたものであ
る。
【0044】従って搬送用コンベアからワークを取出し
た後に加工を行ない、再び上記のコンベアに戻すための
ワークの移載および戻しに要する時間を省くことが可能
になる。従って生産の高速化、とくに生産のタクトタイ
ムの短縮化に寄与することが可能になる。
【0045】中間コンベアの両側の部分を左右一対の回
動可能な支持台上にそれぞれ設けるようにし、加工治具
の両側に設けられているカムによって支持台を加工治具
の昇降動作に連動して回動させるようにすると、加工治
具の昇降動作に連動して確実に開閉動作が行なわれる簡
潔な開閉機構を有する搬送装置が得られる。
【0046】中間コンベアの上部に加工ステーションを
設けるとともに、加工治具に対して移動可能にワークを
支持する支持手段を設けるようにし、支持手段の加工ス
テーション側への所定ストローク以上の移動に対して加
工治具がストッパとして作動するようにした構成によれ
ば、加工治具によるワークの支持の前に中間コンベアが
開かれても、ワークが支持手段によって支持されるため
に、ワークが支持を失って落下することがなく、円滑な
動作が可能になる。
【0047】加工ステーションを熱溶着ユニットから構
成するとともに、中間コンベアの上方または下方に固定
型を固定配置し、加工治具が昇降動作するとワークの熱
溶着によるシールが行なわれるようにした構成によれ
ば、搬送用コンベアからワークを取出すことなく高速で
熱溶着によるシールを行なうことが可能な搬送装置が提
供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】この搬送装置と組合わされる溶着ユニットによ
って溶着が行なわれる包装用容器を示す分解斜視図であ
る。
【図2】搬送装置の平面図である。
【図3】搬送装置の一部を破断した側面図である。
【図4】搬送装置の正面図である。
【図5】熱溶着の動作を示す要部縦断面図である。
【図6】熱溶着の動作を示す要部縦断面図である。
【図7】熱溶着の動作を示す要部縦断面図である。
【図8】熱溶着の動作を示す要部縦断面図である。
【図9】熱溶着の動作を示す要部縦断面図である。
【図10】制御系のブロック図である。
【図11】制御動作を示すフローチャートである。
【符号の説明】
10 トレー状容器 11 蓋体 12 凹部 13 テープレコーダ 14 凹部 15 ヘッドホン 16 付属品 17、18 フランジ 21 供給コンベア 22 中間コンベア 23 排出コンベア 25 加工ステーション 26 溶着用上型 27 超音波溶着ユニット 28 溶着用下型 29 支持板 30 メインシリンダ 31 ピストンロッド 32 フレーム 35 バックアップシリンダ 36 ピストンロッド 37 連結ブロック 38 支柱 39 ワーク受け台 43 カム 44 コンベア支持台 45 支軸 46 シリンダ 47 カムフォロア 50 ストッパ 51 ピン 52 エアシリンダ 53 ブラケット 56 コントロールユニット(コンピュータ) 57 起動スイッチ 58 供給コンベアのセンサ 59 中間コンベアのセンサ 60 排出コンベアのセンサ 63 エアシリンダ(供給コンベアストッパ)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉田 俊一 東京都千代田区東神田2−8−11萬産ビル トキオエンジニアリング株式会社内

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】加工を行なうためのワークを供給する供給
    コンベアと、 加工ステーションの下側または上側に設けられており、
    しかも前記供給コンベアの後方に直線状に配されている
    開閉自在な中間コンベアと、 前記加工ステーションで加工が行なわれたワークを排出
    するように前記中間コンベアの後方に直線状に配置され
    ている排出コンベアと、 昇降動作によって前記中間コンベア上のワークを前記加
    工ステーションに昇降移動させる加工治具と、 前記加工治具の昇降動作に連動して前記中間コンベアを
    開閉する開閉機構と、 をそれぞれ具備する搬送装置。
  2. 【請求項2】前記中間コンベアの両側の部分が左右一対
    の回動可能な支持台上にそれぞれ設けられており、前記
    加工治具の両側に設けられているカムによって前記支持
    台が該加工治具の昇降動作に連動して回動されて開閉動
    作が行なわれるようになっていることを特徴とする請求
    項1に記載の搬送装置。
  3. 【請求項3】前記中間コンベアの上部に加工ステーショ
    ンが設けられるとともに、前記加工治具に対して移動可
    能にワークを支持する支持手段が設けられ、前記支持手
    段の加工ステーション側への所定のストローク以上の移
    動に対して前記加工治具がストッパとして作用すること
    を特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
  4. 【請求項4】前記加工ステーションが熱溶着ユニットか
    ら構成されるとともに、前記中間コンベアの上方または
    下方に固定型が固定配置され、前記加工治具が昇降動作
    するとワークの熱溶着によるシールが行なわれることを
    特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100923904B1 (ko) * 2002-10-23 2009-10-28 (주)에이스안테나 다방향 작업이 가능한 가공장치

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JPS5840828A (ja) * 1982-05-22 1983-03-09 Tokyo Denshi Kagaku Kabushiki 自動枚葉処理型プラズマ反応処理装置
JPS62193907A (ja) * 1986-02-19 1987-08-26 出光石油化学株式会社 容器のシール装置

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