JPH08186230A - 半導体保護装置 - Google Patents

半導体保護装置

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JPH08186230A
JPH08186230A JP6329014A JP32901494A JPH08186230A JP H08186230 A JPH08186230 A JP H08186230A JP 6329014 A JP6329014 A JP 6329014A JP 32901494 A JP32901494 A JP 32901494A JP H08186230 A JPH08186230 A JP H08186230A
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Japan
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capacitor
terminal
resistor
surge
input
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JP6329014A
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Yutaka Tajima
豊 田島
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Nissan Motor Co Ltd
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Nissan Motor Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、過電圧サージによる被保護内部回
路及び保護装置自体の破壊を防止し、またチップ面積を
小さくすることを目的とする。 【構成】 入力端子1又は電源端子6と低電位端子との
間に第1のコンデンサ10と第2のコンデンサ11を直
列に接続し、第1のコンデンサ10には抵抗12を並列
接続し、第2のコンデンサ11にはプルダウンダイオー
ド14を並列接続し、第1のコンデンサ10と第2のコ
ンデンサ11の接続点を被保護内部回路の入力電極に接
続したことを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、過電圧サージ(以下、
単にサージと記す)に対する破壊耐量の高い半導体保護
装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来の半導体保護装置としては、例えば
図9に示すようなものがある(特開昭55−91172
号公報)。入力端子1が被保護内部回路におけるMOS
トランジスタ5のゲート電極に接続されている。入力端
子1とVss(低電位)端子の間には逆方向接続のダイオ
ード2とコンデンサ4が並列に接続されている。抵抗3
はダイオード2の寄生抵抗である。入力端子1にサージ
が印加された場合、サージはダイオード2又はコンデン
サ4を経てVss端子へバイパスされる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の半導体保護装置にあっては、以下のような問
題点があった。第1に、サージによる過大電流がダイオ
ードを流れるために、ダイオードが破壊されるおそれが
ある。第2に、サージ電圧が高くかつ急峻である場合
は、抵抗の存在のためにダイオードは十分にサージをバ
イパスできない。ダイオードを流れなかったサージはコ
ンデンサに印加され、コンデンサを充電する。コンデン
サの充電によってMOSトランジスタのゲート電位が高
くなり、MOSトランジスタが破壊されるおそれがあ
る。第3に、入力端子の電位とMOSトランジスタのゲ
ート電位が等しいために、MOSトランジスタのゲート
破壊を防ぐためには、ダイオード及びコンデンサのイン
ピーダンスを極めて小さくする必要がある。即ち、ダイ
オードのpn接合及びコンデンサの極板を極めて大きく
する必要があり、チップ面積が大きくなる。
【0004】本発明は、このような従来の問題点に着目
してなされたもので、過電圧サージによる被保護内部回
路及び保護装置自体の破壊を防止することができるとと
もにチップ面積を小さくすることができる半導体保護装
置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、請求項1記載の発明は、入力端子又は電源端子の何
れかと低電位端子との間に第1のコンデンサと第2のコ
ンデンサを直列に接続し、前記第1のコンデンサには抵
抗を並列に接続し、前記第2のコンデンサにはプルダウ
ンダイオードを並列に接続し、前記第1のコンデンサと
第2のコンデンサの接続点を被保護内部回路の入力電極
に接続してなることを要旨とする。
【0006】請求項2記載の発明は、入力端子又は電源
端子の何れかと低電位端子との間に第1のコンデンサと
第2のコンデンサを直列に接続し、この接続点を当該接
続点側をアノードとしたダイオードを介して被保護内部
回路の入力電極に接続し、前記入力端子又は電源端子の
何れかと前記入力電極との間に抵抗を接続し、前記入力
電極と前記低電位端子との間にプルダウンダイオードを
接続してなることを要旨とする。
【0007】請求項3記載の発明は、入力端子又は電源
端子の何れかと低電位端子との間に第1のコンデンサと
第2のコンデンサを直列に接続し、前記第1のコンデン
サには第1の抵抗を並列に接続し、前記第1のコンデン
サと第2のコンデンサの接続点を第2の抵抗を介して被
保護内部回路の入力電極に接続し、該入力電極と前記低
電位端子との間にプルダウンダイオードを接続してなる
ことを要旨とする。
【0008】請求項4記載の発明は、上記請求項1,2
又は3記載の半導体保護装置において、前記第2のコン
デンサの容量を前記第1のコンデンサの容量よりも大き
くしてなることを要旨とする。
【0009】請求項5記載の発明は、上記請求項1,
2,3又は4記載の半導体保護装置において、前記第1
のコンデンサと第2のコンデンサのうちの少なくとも前
記第2のコンデンサを強誘電体膜で構成してなることを
要旨とする。
【0010】請求項6記載の発明は、上記請求項1,
2,3,4又は5記載の半導体保護装置において、前記
第1のコンデンサ又は第2のコンデンサの少なくとも何
れかを前記入力端子、電源端子又は低電位端子のパッド
電極下に形成してなることを要旨とする。
【0011】請求項7記載の発明は、上記請求項1,
2,3,4,5又は6記載の半導体保護装置において、
前記入力端子又は電源端子の何れかと前記低電位端子と
の間にプルダウン抵抗を接続してなることを要旨とす
る。
【0012】請求項8記載の発明は、入力端子と低電位
端子との間に強誘電体膜で構成したコンデンサと抵抗の
並列回路を接続し、前記入力端子を電源端子と前記低電
位端子の間に接続された被保護内部回路の入力電極に接
続してなることを要旨とする。
【0013】請求項9記載の発明は、上記請求項8記載
の半導体保護装置において、前記コンデンサを前記入力
端子又は低電位端子のパッド電極下に形成してなること
を要旨とする。
【0014】
【作用】請求項1記載の発明において、入力端子又は電
源端子にサージが加わったとき、そのサージ電圧Vin
第1のコンデンサと第2のコンデンサに分圧されて被保
護内部回路の入力電極に加わる電圧は低くなる。サージ
電圧Vinは印加直後ピークに達し、その後第1、第2の
コンデンサをバイパスして徐々に低下するとともに第1
のコンデンサの充電電荷が抵抗を通じて放電される。こ
の放電で第2のコンデンサが充電され、その端子間電圧
2 が上昇するが、この電圧V2 がプルダウンダイオー
ドの降伏電圧BVに達するとプルダウンダイオードが降
伏して電圧V2 はその降伏電圧BVにクランプされる。
降伏電圧BVを被保護内部回路の入力電極におけるゲー
ト絶縁膜等の絶縁破壊電圧より低く設定しておくことに
より被保護内部回路の破壊が防止される。またプルダウ
ンダイオードの降伏電流が抵抗で制限されることで保護
装置自体の破壊が防止される。
【0015】請求項2記載の発明においては、第1のコ
ンデンサと第2のコンデンサの接続点を当該接続点側を
アノードとしたダイオードを介して被保護内部回路の入
力電極に接続したことで、このダイオードの降伏電圧を
通常の動作時において入力端子に印加されるHレベル電
位以上に設定しておけば、このHレベル電位で第2のコ
ンデンサには殆んど充電が生じない。したがって通常の
回路動作時に被保護内部回路の動作速度の遅延が一層防
止される。
【0016】請求項3記載の発明においては、第1のコ
ンデンサに第1の抵抗を並列に接続し、第1のコンデン
サと第2のコンデンサの接続点を第2の抵抗を介して被
保護内部回路の入力電極に接続したことで、第2の抵抗
を第1の抵抗よりも大きく設定すれば、サージが加わっ
たときプルダウンダイオードに流れる電流が第2の抵抗
で制限されて保護装置自体の破壊が防止される。一方、
第1の抵抗の値をR1、第2のコンデンサの容量をC2
としたとき、通常の回路動作時に、第2のコンデンサに
充電される時間R1 ・C2 が前記請求項1記載の発明に
おける値よりも小さくできて、回路動作に与える影響を
より一層小さくすることが可能となる。
【0017】請求項4記載の発明において、第2のコン
デンサの容量を第1のコンデンサの容量よりも大に設定
することで、サージが加わったときの第2のコンデンサ
に分圧される電圧V2 が小さくなり、被保護内部回路の
破壊が一層確実に防止される。
【0018】請求項5記載の発明において、第1のコン
デンサと第2のコンデンサのうち少なくとも第2のコン
デンサを強誘電体膜で構成すれば、第2のコンデンサの
容量が第1のコンデンサの容量に比べて極めて大きくな
り、サージが加わったときの第2のコンデンサに分圧さ
れる電圧V2 が一層小さくなり、被保護内部回路の破壊
がさらに確実に防止される。
【0019】請求項6記載の発明において、第1のコン
デンサ又は第2のコンデンサの少なくとも何れかを入力
端子等のパッド電極下に形成することでチップ面積を小
さくすることが可能となる。
【0020】請求項7記載の発明において、入力端子又
は電源端子の何れかと低電位端子との間にプルダウン抵
抗を接続することで、サージ印加時に第2のコンデンサ
に充電された電荷が第1のコンデンサに並列接続された
抵抗及び上記のプルダウン抵抗を経て放電される。これ
により第2のコンデンサの端子間電圧V2 がより小さく
なって、被保護内部回路の破壊が一層確実に防止され
る。
【0021】請求項8記載の発明において、入力端子と
低電位端子との間に強誘電体膜で構成したコンデンサと
抵抗の並列回路を接続し、入力端子を被保護内部回路の
入力電極に接続することで、コンデンサは大容量で低イ
ンピーダンスであることから、サージは低電位端子に容
易にバイパスされて被保護内部回路の破壊が防止され
る。またコンデンサに充電された電荷は抵抗を経て放電
される。
【0022】請求項9記載の発明において、上記強誘電
体膜で構成したコンデンサを入力端子又は低電位端子の
パッド電極下に形成することで、前記と同様にチップ面
積を小さくすることが可能となる。
【0023】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図1乃至図3は、本発明の第1実施例を示す図で
ある。まず、図1を用いてその構成を説明する。入力端
子1と被保護内部回路におけるインバータ13のゲート
電極との間に第1のコンデンサ10と抵抗12の並列回
路が接続され、そのインバータ13のゲート電極とVss
端子との間に第2のコンデンサ11とプルダウンダイオ
ード14の並列回路が接続されている。
【0024】次に、上述のように構成された半導体保護
装置の作用を説明する。まず、入力端子1とVss端子間
にサージが印加された場合の作用を、サージ印加時の等
価回路を示す図2と動作原理を示す図3を用いて説明す
る。サージ放電コンデンサ16からなるサージ放電回路
15が入力端子1とVss端子の間に接続されている。サ
ージ放電コンデンサ16の容量をCsurge 、第1のコン
デンサ10の容量をC1 、第2のコンデンサ11の容量
をC2 とする。また抵抗12の値をR1 、サージ印加直
前のサージ放電コンデンサ16の端子間電圧を
surge 、サージ印加直後の入力端子1の電位をVin
第2のコンデンサ11の端子間電圧をV2 とする。第
1、第2のコンデンサ10,11の直列容量C0 は次式
で表わされる。
【0025】 C0 =C1 ・C2 /(C1 +C2 ) …(1) よって、サージ印加直後のVinとV2 は、次の(2),
(3)式で表わされる。
【数1】 Vin=[Csurge /(Csurge +C0 )]・Vsurge …(2) V2 =[C1 /(C1 +C2 )]・Vin …(3) (2)式と(3)式より、次式を得る。
【0026】
【数2】 V2 =[C1 /(C1 +C2 )] ・[Csurge /(Csurge +C0 )]・Vsurge …(4) ここで、プルダウンダイオード14の降伏電圧BVは、
インバータ13のゲート酸化膜の絶縁破壊電圧より低く
しておく。サージ印加により、サージ電圧は第1のコン
デンサ10と第2のコンデンサ11に分圧される。図3
(a),(b)に示すように、Vinがピークに達するt
=t1 において、V2 は(4)式で決る値になる。ここ
でサージによる過大電流は第1、第2のコンデンサ1
0,11をバイパスするが、サージが急峻である程、コ
ンデンサのインピーダンスは小さくなって、より多くの
サージエネルギをバイパスできる。なお、(4)式よ
り、C1とC2 を大きくしてC0 を大きくする程、又は
1 と比較してC2 を大きくする程、V2 は小さくな
る。t=t1 以後は、Vinが低下するとともに第1のコ
ンデンサ10の電荷は抵抗12を経て放電される。ここ
でサージ印加時間がR1 ,C2 と同程度以上ならば第2
のコンデンサ11は抵抗12を介してさらに充電され
る。この結果、V2 は上昇するが、V2 が降伏電圧BV
に達するとダイオード14が降伏する。そしてサージ電
流はダイオード14を流れるようになり、V2 は降伏電
圧BVにクランプされる。したがってインバータ13の
ゲート電極電位は降伏電圧BVまでしか上昇しないの
で、インバータ13のゲート酸化膜は破壊されない。ま
たダイオード14の降伏電流は抵抗12で制限されるの
で、ダイオード14の破壊も防止される。
【0027】なお、第2のコンデンサ11にPZT等の
強誘電体膜を用いれば、 C1 ≪C2 …(5) となる。また、第1、第2のコンデンサ10,11とも
に強誘電体膜を用い、かつ第2のコンデンサ11の極板
面積を第1のコンデンサ10の極板面積より大きくすれ
ば、両コンデンサ10,11の直列容量C0 が大きくな
るとともに、C1<C2 となる。よって前述したように
2 がより一層小さくなって大部分のサージ電圧は第1
のコンデンサ10に印加される。さらに、第1、第2の
コンデンサ10,11の直列回路のインピーダンスが小
さくなってサージがより一層バイパスされる。このため
インバータ13の破壊がさらに抑えられる。
【0028】例えば、第1、第2のコンデンサ10,1
1の誘電体にε=1000、膜厚t=2000ÅのPZ
Tを用いて、第1のコンデンサ10の極板面積を452
0μm2 、第2のコンデンサ11の極板面積を1807
0μm2 とすると、 C1 =200pF,C2 =800pF …(6) となる。またサージ放電回路15としてマシンモデルに
よるESDを考慮すると、 Csurge =200pF …(7) となる。またR1 =50kΩ,BV=30V,Vsurge
=250Vとすると、(4)式より、 V2 ≒28V …(8) よってV2 の値はダイオード14の降伏電圧BV以下に
抑えられる。やがてV2が上昇してダイオード14が降
伏した場合の降伏電流は次式で与えられる。
【0029】
【数3】 Idiode =(Vin−BV)/R2 =2.2mA …(9) このため降伏電流も過大にならず、ダイオード14は破
壊されない。
【0030】次に、入力端子1とVdd(電源)端子6間
にサージが印加された場合は、サージ電圧は第1、第2
のコンデンサ10,11及びインバータ13内部の寄生
ダイオード(図示せず)に印加されるが、上記と同様に
してインバータ13の破壊は防止される。
【0031】次いで、通常の回路動作について説明す
る。入力端子1にHレベル又はLレベルの信号が入力さ
れれば、抵抗12を介してインバータ13のゲートにH
レベル又はLレベルの信号が印加される。ここで入力端
子1にHレベルの信号が印加された場合、抵抗12を介
して第2のコンデンサ11が充電されることにより、イ
ンバータ13のゲート電位がHレベルになる。このため
に要する時間はR1 ・C2 程度であり、この時間が回路
動作に悪影響を与えないようにR1 又はC2 の値を設定
することが可能である。
【0032】このように、本実施例では、サージによる
過電圧又は過電流による半導体保護装置自身及び被保護
内部回路の破壊を防止でき、かつ回路動作に悪影響を与
えることもない。また半導体保護装置の大きさが過大に
なることもない。
【0033】図4には、本発明の第2実施例を示す。本
実施例は、上記第1実施例の構成に加えて、入力端子1
とVss端子間にプルダウン抵抗17を接続したものであ
る。プルダウン抵抗17の値は比較的大きく、数10k
Ω〜100kΩ程度である。
【0034】本実施例では、上記第1実施例の作用に加
えて、次のような作用がある。第1に、サージ印加によ
り第2のコンデンサ11に充電された電荷が抵抗12と
プルダウン抵抗17を経て放電される。よって前記図3
においてt=t1 以降のV2の値をより一層小さくする
ことができて、さらにインバータ13の破壊を防止する
ことができる。第2に、入力端子1が開放の場合に、イ
ンバータ13のゲート電極電位は抵抗12,17を経て
ss電位になる。よってゲート電極の電位が不定になる
ことを防止できる。
【0035】図5には、本発明の第3実施例を示す。本
実施例は、前記第1実施例の構成に加えて、第1、第2
のコンデンサ10,11の接続点と、抵抗12とプルダ
ウンダイオード14の接続点との間に、第1、第2のコ
ンデンサ10,11の接続点側をアノードとしたダイオ
ード18を接続したものである。
【0036】本実施例では、前記第1実施例の作用に加
えて、次のような作用がある。即ち、ダイオード18の
降伏電圧を入力端子1に印加されるHレベル電位以上に
しておけば、通常の回路動作時において第2のコンデン
サ11は殆んど充電されない。よって通常の回路動作時
において、インバータ13の動作速度が遅くなることを
より一層防止することができる。
【0037】図6には、本発明の第4実施例を示す。本
実施例はVdd(電源)端子6に印加されたサージによる
出力トランジスタ等の破壊を防止するようにしたもので
ある。即ち、Vdd端子6とオープンドレインの出力MO
Sトランジスタ20のゲート電極との間に、前記第1実
施例と同様の第1のコンデンサ10と抵抗12の並列回
路が接続され、その出力MOSトランジスタ20のゲー
ト電極とVss端子との間に第2のコンデンサ11とプル
ダウンダイオード14の並列回路が接続されている。1
9はゲートが内部回路に接続されたNchMOSトランジ
スタであり、出力MOSトランジスタ20のゲートとV
ss端子との間に接続されている。本実施例は、前記第1
実施例と同様の作用により、Vdd端子6に印加されたサ
ージによるNchMOSトランジスタ19及び出力MOS
トランジスタ20の破壊が防止される。
【0038】図7には、本発明の第5実施例を示す。本
実施例は、入力端子1が第1のコンデンサ10と第1の
抵抗12の並列回路及び第2の抵抗21を介してインバ
ータ13のゲート電極に接続され、上記並列回路と第2
の抵抗21の接続点と、Vss端子との間に第2のコンデ
ンサ11が接続され、インバータ13のゲート電極とV
ss端子との間にプルダウンダイオード14が接続されて
いる。
【0039】本実施例は、前記第1実施例の作用に加え
て、次のような作用がある。第1の抵抗12の値R1
1kΩ〜10kΩ程度に小さくし、第2の抵抗21の値
を数10kΩ〜100kΩ程度に大きくすれば、サージ
印加時にプルダウンダイオード14に流れる電流が第2
の抵抗21で制限されてプルダウンダイオード14の破
壊が一層起きにくくなり、かつ通常の回路動作時に、第
2のコンデンサ11が充電される時間R1 ・C2 が第1
実施例の場合よりも小さくできる。よって回路動作に与
える影響をより一層小さくできる。
【0040】なお、第3、第4、第5の各実施例におい
て、入力端子1又はVdd端子6とVss端子の間に、前記
第2実施例(図4)と同様のプルダウン抵抗17を接続
すれば、第2実施例と同様の効果が生じる。第4実施例
において、第3実施例(図5)と同様のダイオード18
を設ければ、第3実施例と同様の効果が生じ、第5実施
例(図7)と同様の第2の抵抗21を設ければ、第5実
施例と同様の効果が生じる。第2、第3、第4及び第5
の各実施例において、第2のコンデンサ11又は第1、
第2のコンデンサ10,11を強誘電体膜により構成す
れば、第1実施例と同様により一層サージに対する保護
効果が高くなる。また、第1乃至第5の各実施例におい
て、第1のコンデンサ10又は第2のコンデンサ11の
少なくとも一方を、入力端子1のパッド電極又はVss
子のパッド電極の下に形成すれば、より一層チップ面積
を小さくすることができる。
【0041】図8には、本発明の第6実施例を示す。入
力端子1とVss端子の間に強誘電体コンデンサ22と抵
抗23が並列に接続されている。入力端子1はインバー
タ13のゲート電極に接続されている。
【0042】次に、上述のように構成された本実施例の
作用を説明する。入力端子1にサージが印加された際、
コンデンサ22は強誘電体を用いているため大容量で低
インピーダンスであるのでサージはVss端子に容易にバ
イパスされる。このためインバータ13のゲートには過
電圧が印加されることなく破壊が防止される。コンデン
サ22に充電された電荷は抵抗23により放電される。
抵抗23の値を10kΩ〜100kΩ程度に大きく設定
すれば、抵抗23が通常の回路動作に悪影響を与えるこ
とはない。なお、コンデンサ22を入力端子1又はVss
端子のパッド電極下に形成すれば、コンデンサ22によ
りチップ面積が増大することはない。
【0043】
【発明の効果】以上説明したように、請求項1記載の発
明によれば、入力端子又は電源端子の何れかと低電位端
子との間に第1のコンデンサと第2のコンデンサを直列
に接続し、前記第1のコンデンサには抵抗を並列に接続
し、前記第2のコンデンサにはプルダウンダイオードを
並列に接続し、前記第1のコンデンサと第2のコンデン
サの接続点を被保護内部回路の入力電極に接続したた
め、入力端子又は電源端子に印加されたサージ電圧が第
1のコンデンサと第2のコンデンサに分圧されて被保護
内部回路の入力電極に加わる電圧が低下し、被保護内部
回路の破壊を防止することが可能となる。またプルダウ
ンダイオードに流れる電流は抵抗で制限されるので保護
装置自体の破壊を防止することが可能となる。
【0044】請求項2〜7記載の発明によれば、それぞ
れ上記請求項1記載の発明の効果に加えて、さらに以下
のような効果がある。
【0045】請求項2記載の発明によれば、入力端子又
は電源端子の何れかと低電位端子との間に第1のコンデ
ンサと第2のコンデンサを直列に接続し、この接続点を
当該接続点側をアノードとしたダイオードを介して被保
護内部回路の入力電極に接続し、前記入力端子又は電源
端子の何れかと前記入力電極との間に抵抗を接続し、前
記入力電極と前記低電位端子との間にプルダウンダイオ
ードを接続したため、上記ダイオードの降伏電圧を通常
の回路動作時において入力端子に印加されるHレベル電
位以上に設定しておくことにより、このHレベル電位で
第2のコンデンサには殆んど充電が生じることがない。
したがって通常の回路動作時に被保護内部回路の動作速
度の遅延を防止することができる。
【0046】請求項3記載の発明によれば、入力端子又
は電源端子の何れかと低電位端子との間に第1のコンデ
ンサと第2のコンデンサを直列に接続し、前記第1のコ
ンデンサには第1の抵抗を並列に接続し、前記第1のコ
ンデンサと第2のコンデンサの接続点を第2の抵抗を介
して被保護内部回路の入力電極に接続し、該入力電極と
前記低電位端子との間にプルダウンダイオードを接続し
たため、第2の抵抗の値を第1の抵抗の値よりも大きく
設定することにより、サージが加わったときのプルダウ
ンダイオードに流れる電流が第2の抵抗で制限されて保
護装置自体の破壊を防止することができる。一方、第1
の抵抗の値をR1 、第2のコンデンサの容量をC2 とし
たとき、通常の回路動作時に第2のコンデンサに充電さ
れる時間R1 ・C2 が前記請求項1記載の発明における
値よりも小さくなって回路動作に与える影響をより一層
小さくすることができる。
【0047】請求項4記載の発明によれば、前記第2の
コンデンサの容量を前記第1のコンデンサの容量よりも
大きくしたため、サージが加わったときの第2のコンデ
ンサに分圧される電圧が小さくなって被保護内部回路の
破壊を一層確実に防止することができる。
【0048】請求項5記載の発明によれば、前記第1の
コンデンサと第2のコンデンサのうちの少なくとも前記
第2のコンデンサを強誘電体膜で構成したため、第2の
コンデンサの容量を第1のコンデンサの容量に比べて極
めて大きくすることが可能となり、サージが加わったと
きの第2のコンデンサに分圧される電圧を一層小さくす
ることができて、被保護内部回路の破壊をさらに確実に
防止することができる。
【0049】請求項6記載の発明によれば、前記第1の
コンデンサ又は第2のコンデンサの少なくとも何れかを
前記入力端子、電源端子又は低電位端子のパッド電極下
に形成したため、チップ面積を小さくすることができ
る。
【0050】請求項7記載の発明によれば、前記入力端
子又は電源端子の何れかと前記低電位端子との間にプル
ダウン抵抗を接続したため、サージ印加時に第2のコン
デンサに充電された電荷が第1のコンデンサに並列接続
された抵抗及び上記のプルダウン抵抗を経て放電され、
第2のコンデンサの端子間電圧がより小さくなって、被
保護内部回路の破壊を一層確実に防止することができ
る。
【0051】請求項8記載の発明によれば、入力端子と
低電位端子との間に強誘電体膜で構成したコンデンサと
抵抗の並列回路を接続し、前記入力端子を電源端子と前
記低電位端子の間に接続された被保護内部回路の入力電
極に接続したため、強誘電体膜で構成したコンデンサは
大容量で低インピーダンスとなることから、印加された
サージが低電位端子に容易にバイパスされて被保護内部
回路の破壊を防止することができる。
【0052】請求項9記載の発明によれば、上記コンデ
ンサを前記入力端子又は低電位端子のパッド電極下に形
成したため、前記と同様にチップ面積を小さくすること
ができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る半導体保護装置の第1実施例を示
す回路図である。
【図2】上記第1実施例においてサージ印加時の等価回
路を示す図である。
【図3】上記第1実施例において印加サージ電圧及び第
2のコンデンサの端子間電圧の時間変化を示す図であ
る。
【図4】本発明の第2実施例を示す回路図である。
【図5】本発明の第3実施例を示す回路図である。
【図6】本発明の第4実施例を示す回路図である。
【図7】本発明の第5実施例を示す回路図である。
【図8】本発明の第6実施例を示す回路図である。
【図9】従来の半導体保護装置の回路図である。
【符号の説明】
1 入力端子 6 電源端子 10 第1のコンデンサ 11 第2のコンデンサ 12,23 抵抗 13 被保護内部回路におけるインバータ 14 プルダウンダイオード 17 プルダウン抵抗 18 ダイオード 21 第2の抵抗 22 強誘電体コンデンサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/092

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力端子又は電源端子の何れかと低電位
    端子との間に第1のコンデンサと第2のコンデンサを直
    列に接続し、前記第1のコンデンサには抵抗を並列に接
    続し、前記第2のコンデンサにはプルダウンダイオード
    を並列に接続し、前記第1のコンデンサと第2のコンデ
    ンサの接続点を被保護内部回路の入力電極に接続してな
    ることを特徴とする半導体保護装置。
  2. 【請求項2】 入力端子又は電源端子の何れかと低電位
    端子との間に第1のコンデンサと第2のコンデンサを直
    列に接続し、この接続点を当該接続点側をアノードとし
    たダイオードを介して被保護内部回路の入力電極に接続
    し、前記入力端子又は電源端子の何れかと前記入力電極
    との間に抵抗を接続し、前記入力電極と前記低電位端子
    との間にプルダウンダイオードを接続してなることを特
    徴とする半導体保護装置。
  3. 【請求項3】 入力端子又は電源端子の何れかと低電位
    端子との間に第1のコンデンサと第2のコンデンサを直
    列に接続し、前記第1のコンデンサには第1の抵抗を並
    列に接続し、前記第1のコンデンサと第2のコンデンサ
    の接続点を第2の抵抗を介して被保護内部回路の入力電
    極に接続し、該入力電極と前記低電位端子との間にプル
    ダウンダイオードを接続してなることを特徴とする半導
    体保護装置。
  4. 【請求項4】 前記第2のコンデンサの容量を前記第1
    のコンデンサの容量よりも大きくしてなることを特徴と
    する請求項1,2又は3記載の半導体保護装置。
  5. 【請求項5】 前記第1のコンデンサと第2のコンデン
    サのうちの少なくとも前記第2のコンデンサを強誘電体
    膜で構成してなることを特徴とする請求項1,2,3又
    は4記載の半導体保護装置。
  6. 【請求項6】 前記第1のコンデンサ又は第2のコンデ
    ンサの少なくとも何れかを前記入力端子、電源端子又は
    低電位端子のパッド電極下に形成してなることを特徴と
    する請求項1,2,3,4又は5記載の半導体保護装
    置。
  7. 【請求項7】 前記入力端子又は電源端子の何れかと前
    記低電位端子との間にプルダウン抵抗を接続してなるこ
    とを特徴とする請求項1,2,3,4,5又は6記載の
    半導体保護装置。
  8. 【請求項8】 入力端子と低電位端子との間に強誘電体
    膜で構成したコンデンサと抵抗の並列回路を接続し、前
    記入力端子を電源端子と前記低電位端子の間に接続され
    た被保護内部回路の入力電極に接続してなることを特徴
    とする半導体保護装置。
  9. 【請求項9】 前記コンデンサを前記入力端子又は低電
    位端子のパッド電極下に形成してなることを特徴とする
    請求項8記載の半導体保護装置。
JP6329014A 1994-12-28 1994-12-28 半導体保護装置 Pending JPH08186230A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009231831A (ja) * 2008-03-21 2009-10-08 Hynix Semiconductor Inc 蓄積キャパシタ及びそれを備える半導体メモリ装置
JP2019138708A (ja) * 2018-02-07 2019-08-22 住友電気工業株式会社 電流積分装置

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JP2009231831A (ja) * 2008-03-21 2009-10-08 Hynix Semiconductor Inc 蓄積キャパシタ及びそれを備える半導体メモリ装置
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