JPH08185228A - 逆流防止装置 - Google Patents
逆流防止装置Info
- Publication number
- JPH08185228A JPH08185228A JP32757994A JP32757994A JPH08185228A JP H08185228 A JPH08185228 A JP H08185228A JP 32757994 A JP32757994 A JP 32757994A JP 32757994 A JP32757994 A JP 32757994A JP H08185228 A JPH08185228 A JP H08185228A
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- gas pipe
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Abstract
(57)【要約】
【目的】ガス供給装置と反応室とのガス供給配管途中に
設けられる逆流防止装置において、確実に弁の開閉し逆
流することなく円滑にガスの供給ができるとともに上流
側の不要なガスを抜き取ることができるようにする 【構成】遮断バルブ１の上流側ガス管２に第１の圧力計
３下流側ガス管４に第２の圧力計５を設け、第１の圧力
計３と第２の圧力計５の圧力差を比較回路６に入力しあ
らかじめ設定器７にて設定されていた順方向圧または逆
方向圧と比較して大小を判定し遮断バルブ１の開閉を行
なう。
設けられる逆流防止装置において、確実に弁の開閉し逆
流することなく円滑にガスの供給ができるとともに上流
側の不要なガスを抜き取ることができるようにする 【構成】遮断バルブ１の上流側ガス管２に第１の圧力計
３下流側ガス管４に第２の圧力計５を設け、第１の圧力
計３と第２の圧力計５の圧力差を比較回路６に入力しあ
らかじめ設定器７にて設定されていた順方向圧または逆
方向圧と比較して大小を判定し遮断バルブ１の開閉を行
なう。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガス供給装置からＣＶ
Ｄ装置などの反応室にガスを供給する配管途中に設けら
れる逆流防止装置に関する。
Ｄ装置などの反応室にガスを供給する配管途中に設けら
れる逆流防止装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】通常、ＣＶＤ装置などで半導体基板に成
膜を施す場合や膜を取去るためにエッチングする場合な
ど反応室に反応ガスを供給していた。しかしながら、反
応室側の配管の詰りなどの故障などによって下流側の圧
力が上昇し反応室から供給側に反応ガスが逆流するとい
ことが多々発生していた。このため、カス供給配管の配
管途中に逆流防止装置が設けられていた。
膜を施す場合や膜を取去るためにエッチングする場合な
ど反応室に反応ガスを供給していた。しかしながら、反
応室側の配管の詰りなどの故障などによって下流側の圧
力が上昇し反応室から供給側に反応ガスが逆流するとい
ことが多々発生していた。このため、カス供給配管の配
管途中に逆流防止装置が設けられていた。
【０００３】図３は従来の逆流防止装置の一例を示す図
である。最も簡単な逆流防止装置の一つとして、図３に
示すようなメカニカル構造の逆止弁（チャッキ弁）が用
いられていた。また、この逆止弁は、ガス供給装置側で
ある上流側ガス配管１２と反応室側である下流側ガス配
管１３との間に挿入し配設されていた。
である。最も簡単な逆流防止装置の一つとして、図３に
示すようなメカニカル構造の逆止弁（チャッキ弁）が用
いられていた。また、この逆止弁は、ガス供給装置側で
ある上流側ガス配管１２と反応室側である下流側ガス配
管１３との間に挿入し配設されていた。
【０００４】この逆止弁による逆流防止装置は、通常の
ガス供給時に、上流側ガス管１２の圧力が下流側ガス管
１３の圧力よりもある値以上の状態になることで、バル
ブディスク１０と弁座のパッキングとの気密を維持でき
る圧力であるクラッキング圧より高くなりバルブディス
ク１０が下流側ガス管１側に押さえバネ１４に抗して押
されることにより、ガスを上流側ガス管１２より下流側
ガス管１３へ流し反応室に供給していた。
ガス供給時に、上流側ガス管１２の圧力が下流側ガス管
１３の圧力よりもある値以上の状態になることで、バル
ブディスク１０と弁座のパッキングとの気密を維持でき
る圧力であるクラッキング圧より高くなりバルブディス
ク１０が下流側ガス管１側に押さえバネ１４に抗して押
されることにより、ガスを上流側ガス管１２より下流側
ガス管１３へ流し反応室に供給していた。
【０００５】また、この種のガス供給装置は処理に応じ
て種々のガスを供給していた。従って、一処理が終ると
別のガスに交換することが多々ある。このような場合
は、もともとこのガスはＳｉＨ4 ，ＰＨ3 ，ＷＦ6 のよ
うな危険ガスであるため前処理で使用したガスを完全に
抜き取る必要があった。
て種々のガスを供給していた。従って、一処理が終ると
別のガスに交換することが多々ある。このような場合
は、もともとこのガスはＳｉＨ4 ，ＰＨ3 ，ＷＦ6 のよ
うな危険ガスであるため前処理で使用したガスを完全に
抜き取る必要があった。
【０００６】このガスを配管から抜取る場合は、まず、
カス供給装置のバルブを閉てガスの供給を停止してか
ら、下流側ガス管１３すなわち二次配管へＮ2 ガスを供
給し、その後真空排気し二次配管を１Ｐａ程度まで減圧
し、再度二次配管中にＮ2 を流しさらに１Ｐａ程度に真
空引きし、この操作を繰り返してガスを希釈しながらガ
スを抜き取っていた。
カス供給装置のバルブを閉てガスの供給を停止してか
ら、下流側ガス管１３すなわち二次配管へＮ2 ガスを供
給し、その後真空排気し二次配管を１Ｐａ程度まで減圧
し、再度二次配管中にＮ2 を流しさらに１Ｐａ程度に真
空引きし、この操作を繰り返してガスを希釈しながらガ
スを抜き取っていた。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の逆流防
止装置であるメカニカルな構造の逆止弁では、バネ定数
によりクラッキング圧が決まるので。微量なガスを供給
するにはクラッキング圧を小さしなければならずバネ定
数を小さくしなければならなかった。しかしながらバネ
定数を小さくすると、再シール圧（遮断しようとする圧
力）も小さくなり下流側の僅かな圧力上昇により下流側
から上流側に逆流し上流側にリークしてしまうという問
題があった。また、バネ定数を大きくすると、上流側の
圧力が下流側の圧力よりかなり大きくならないと流れ
ず、流れる圧力に達してもガスの一時的の流れによる一
次配管の圧力の降下とガスの流れの停止による再度の圧
力上昇とを繰返し遮断バルブがハンチングしてしまいガ
スの供給が円滑にできないという問題がある。
止装置であるメカニカルな構造の逆止弁では、バネ定数
によりクラッキング圧が決まるので。微量なガスを供給
するにはクラッキング圧を小さしなければならずバネ定
数を小さくしなければならなかった。しかしながらバネ
定数を小さくすると、再シール圧（遮断しようとする圧
力）も小さくなり下流側の僅かな圧力上昇により下流側
から上流側に逆流し上流側にリークしてしまうという問
題があった。また、バネ定数を大きくすると、上流側の
圧力が下流側の圧力よりかなり大きくならないと流れ
ず、流れる圧力に達してもガスの一時的の流れによる一
次配管の圧力の降下とガスの流れの停止による再度の圧
力上昇とを繰返し遮断バルブがハンチングしてしまいガ
スの供給が円滑にできないという問題がある。
【０００８】また、別のガスに交換する際に、前の危険
なガスを抜き取ろうとして、下流側からポンプで真空引
きしてガスを排気する場合、上流側のガス管の圧力があ
る程度下がったところで遮断バルブが閉じてしまい上流
側ガス管の真空引きがうまく行われず、２００〜３００
Ｐａより圧力が下がらず危険なガスが残るという問題が
ある。
なガスを抜き取ろうとして、下流側からポンプで真空引
きしてガスを排気する場合、上流側のガス管の圧力があ
る程度下がったところで遮断バルブが閉じてしまい上流
側ガス管の真空引きがうまく行われず、２００〜３００
Ｐａより圧力が下がらず危険なガスが残るという問題が
ある。
【０００９】従って、本発明の目的は、確実に弁の開閉
し逆流することなく円滑にガスの供給ができるとともに
上流側の不要なガスを抜き取ることができる逆流防止装
置を提供することである。
し逆流することなく円滑にガスの供給ができるとともに
上流側の不要なガスを抜き取ることができる逆流防止装
置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、ガス供
給装置と反応室との間のガス配管途中に配設されるとと
もにソレノイドに通電することで開閉する遮断バルブ
と、この遮断バルブの上流側のガス配管内の圧力と前記
遮断バルブの下流側のガス配管内の圧力との圧力差を測
定する手段と、測定された前記圧力差と予じめ設定され
た圧力差と比較してその大きさに差があるか否かで前記
遮断バルブの開閉を制御する制御手段とを備える逆流防
止装置である。
給装置と反応室との間のガス配管途中に配設されるとと
もにソレノイドに通電することで開閉する遮断バルブ
と、この遮断バルブの上流側のガス配管内の圧力と前記
遮断バルブの下流側のガス配管内の圧力との圧力差を測
定する手段と、測定された前記圧力差と予じめ設定され
た圧力差と比較してその大きさに差があるか否かで前記
遮断バルブの開閉を制御する制御手段とを備える逆流防
止装置である。
【００１１】また、前記圧力差を測定する手段は、前記
上流側のガス配管に取付けられる第１の圧力計と、前記
下流側のガス配管に取付けられる第２の圧力計とを含ん
で構成されるかまたは差圧計であることを特徴としてい
る。
上流側のガス配管に取付けられる第１の圧力計と、前記
下流側のガス配管に取付けられる第２の圧力計とを含ん
で構成されるかまたは差圧計であることを特徴としてい
る。
【００１２】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
る。
【００１３】図１は本発明の逆流防止装置の一実施例を
示す図である。この逆流防止装置は、図１に示すよう
に、ガス供給装置と反応室との間のガス配管中に配設さ
れるとともにソレノイドに通電することでバルブを開閉
する遮断バルブ１と、上流側ガス管２に取付けられガス
管内の圧力を測定する第１の圧力計３と、下流側ガス管
４に取付けられガス管内の圧力を測定する第２の圧力計
５と、これら第１の圧力計および第２の圧力計の出力を
入力するとともに第１の圧力計３と第２の圧力計５の圧
力差を算出しこの圧力差とあらかじめ設定器７に設定さ
れた順方向圧または逆方向圧と比較し遮断バルブ１の開
閉信号を出力する比較回路６とを備えている。
示す図である。この逆流防止装置は、図１に示すよう
に、ガス供給装置と反応室との間のガス配管中に配設さ
れるとともにソレノイドに通電することでバルブを開閉
する遮断バルブ１と、上流側ガス管２に取付けられガス
管内の圧力を測定する第１の圧力計３と、下流側ガス管
４に取付けられガス管内の圧力を測定する第２の圧力計
５と、これら第１の圧力計および第２の圧力計の出力を
入力するとともに第１の圧力計３と第２の圧力計５の圧
力差を算出しこの圧力差とあらかじめ設定器７に設定さ
れた順方向圧または逆方向圧と比較し遮断バルブ１の開
閉信号を出力する比較回路６とを備えている。
【００１４】ここで言う順方向圧の定義は、上流側から
下流側への所望の流量のガスが流れるために必要の圧力
差と第１の圧力計３と第２の圧力計５までの配管内の摩
擦による圧力損失を加味した圧力値である。すなわち、
下流側から上流側に逆流することなく所望の流量のガス
が供給できる圧力差であって、比較回路６では、第１の
圧力計３の圧力値をＡとし第２の圧力計５の値をＢとす
ると、Ａ−Ｂ−順方向圧＞０を満たした場合、比較回路
６の信号によりソレノイドに通電しバルブ閉の状態の遮
断バルブ１はバルブ開となりガスは上流側から下流側に
供給される。従って、流量を微量にしたい場合は、この
順方向圧を低く設定すれば良い。
下流側への所望の流量のガスが流れるために必要の圧力
差と第１の圧力計３と第２の圧力計５までの配管内の摩
擦による圧力損失を加味した圧力値である。すなわち、
下流側から上流側に逆流することなく所望の流量のガス
が供給できる圧力差であって、比較回路６では、第１の
圧力計３の圧力値をＡとし第２の圧力計５の値をＢとす
ると、Ａ−Ｂ−順方向圧＞０を満たした場合、比較回路
６の信号によりソレノイドに通電しバルブ閉の状態の遮
断バルブ１はバルブ開となりガスは上流側から下流側に
供給される。従って、流量を微量にしたい場合は、この
順方向圧を低く設定すれば良い。
【００１５】一方、逆方向圧の定義は、管内摩擦による
圧力損失を考慮しても下流側から上流側に逆流を引起す
最小の圧力差で定義する。すなわち、摩擦損失を０と考
えれば圧力差は０であるはずである。従って、ここで言
う逆方向圧は管内摩擦による圧力損失値である。第１の
圧力計３の圧力値Ａと第２の圧力計５の圧力値Ｂが逆方
向圧より小さければ、すなわち、Ａ−Ｂ−逆方向圧＜０
を満たした場合、バルブ開の状態の遮断バルブ１をバ
ルブ閉にする。
圧力損失を考慮しても下流側から上流側に逆流を引起す
最小の圧力差で定義する。すなわち、摩擦損失を０と考
えれば圧力差は０であるはずである。従って、ここで言
う逆方向圧は管内摩擦による圧力損失値である。第１の
圧力計３の圧力値Ａと第２の圧力計５の圧力値Ｂが逆方
向圧より小さければ、すなわち、Ａ−Ｂ−逆方向圧＜０
を満たした場合、バルブ開の状態の遮断バルブ１をバ
ルブ閉にする。
【００１６】なお、遮断バルブ１のバルブ開閉は、バル
ブディスクの開閉動作をソレノイドへ流す直流電流の向
きを変えて行なっても、ソレノイドバルブを介してバル
ブディスクを動作させるエアシリンダを作動させても良
い。いずれにしても従来のバネ作動の遮断バルブではな
い。
ブディスクの開閉動作をソレノイドへ流す直流電流の向
きを変えて行なっても、ソレノイドバルブを介してバル
ブディスクを動作させるエアシリンダを作動させても良
い。いずれにしても従来のバネ作動の遮断バルブではな
い。
【００１７】比較回路６は公知の回路で、例えば、コン
パレータとフリップフロップと組合せた回路で、設定器
７で設定された順方向圧もしくは逆方向圧に対応する設
定電圧を基準電圧として入力し、第１および第２の圧力
計の圧力差に対応する電圧と比較し出力としてハイレベ
ルまたはローレベルの電圧を出力するものである。そし
て、この出力をソレノイド電源に入力させ動作させ遮断
バルブ１の開閉を制御する。
パレータとフリップフロップと組合せた回路で、設定器
７で設定された順方向圧もしくは逆方向圧に対応する設
定電圧を基準電圧として入力し、第１および第２の圧力
計の圧力差に対応する電圧と比較し出力としてハイレベ
ルまたはローレベルの電圧を出力するものである。そし
て、この出力をソレノイド電源に入力させ動作させ遮断
バルブ１の開閉を制御する。
【００１８】ここで、上流側ガス管２から下流側ガス管
４に仮にＮ2 ガスを２０ｃｃ／ｍｉｎ流し、管内摩擦に
よる圧力低下を求めたところ、０．００６Ｋｇ／ｃｍ2
（６０８Ｐａ）の圧力損失であった。一方、ハンチング
がなく上述の量のガスを円滑に供給するためには圧力差
０．０１５ｇ／ｃｍ2 を必要とした。そこで、順方向圧
を０．０２１Ｋｇ／ｃｍ2 に設定したところ、第１と第
２の圧力計３，５の圧力差が設定された順方向圧を超え
ると遮断バルブ１が開き２０ｃｃ／ｍｉｎのガスが円滑
に供給することができた。
４に仮にＮ2 ガスを２０ｃｃ／ｍｉｎ流し、管内摩擦に
よる圧力低下を求めたところ、０．００６Ｋｇ／ｃｍ2
（６０８Ｐａ）の圧力損失であった。一方、ハンチング
がなく上述の量のガスを円滑に供給するためには圧力差
０．０１５ｇ／ｃｍ2 を必要とした。そこで、順方向圧
を０．０２１Ｋｇ／ｃｍ2 に設定したところ、第１と第
２の圧力計３，５の圧力差が設定された順方向圧を超え
ると遮断バルブ１が開き２０ｃｃ／ｍｉｎのガスが円滑
に供給することができた。
【００１９】また、逆方向圧を前述の圧力損失を考慮し
て０．００６Ｋｇ／ｃｍ2 （６０８Ｐａ）に設定し、下
流側ガス管４をポンプで真空引きし始めると、上流側ガ
ス管２は圧力が高く遮断バルブ１は開いた状態で上流側
のガス管２のガスは排気される。そして上流側ガス管２
の圧力が６０８Ｐａ以下になると上記の式を満足し遮断
バルブ１が閉じた。さらに上流側ガス管２のガスを排気
するために、逆方向圧の設定を下げ、例えば、逆方向圧
を０Ｋｇ／ｃｍ2 に設定し、下流側ガス管４から排気し
たところ、遮断バルブ１は開の状態を維持し上流側ガス
管２のガス圧が１Ｐａなるまで排気することができた。
なお、実際には、圧力計の誤差などにより遮断バルブ１
が閉じても１０ｃｃ／ｍｉｎ程度の逆流が生じたが、バ
ルブ動作の極めて短時間の間であるので実質的には問題
なかった。
て０．００６Ｋｇ／ｃｍ2 （６０８Ｐａ）に設定し、下
流側ガス管４をポンプで真空引きし始めると、上流側ガ
ス管２は圧力が高く遮断バルブ１は開いた状態で上流側
のガス管２のガスは排気される。そして上流側ガス管２
の圧力が６０８Ｐａ以下になると上記の式を満足し遮断
バルブ１が閉じた。さらに上流側ガス管２のガスを排気
するために、逆方向圧の設定を下げ、例えば、逆方向圧
を０Ｋｇ／ｃｍ2 に設定し、下流側ガス管４から排気し
たところ、遮断バルブ１は開の状態を維持し上流側ガス
管２のガス圧が１Ｐａなるまで排気することができた。
なお、実際には、圧力計の誤差などにより遮断バルブ１
が閉じても１０ｃｃ／ｍｉｎ程度の逆流が生じたが、バ
ルブ動作の極めて短時間の間であるので実質的には問題
なかった。
【００２０】図２は本発明の逆流防止装置の他の実施例
を示す図である。この逆流防止装置は、図２に示すよう
に、ガス配管中に遮断バルブ１が取り付けられ上流側ガ
ス管２と下流側ガス管４との圧力差を測定出来る差圧計
８を組み込んでいる。それ以外は前述の実施例と同じで
ある。すなわち、この差圧計８より出力される圧力差信
号は比較回路６に入力される。そして、比較回路６では
この入力された差圧とあらかじめ設定器７にて設定され
た順方向圧または逆方向圧とを演算して遮断バルブ１を
開閉する。
を示す図である。この逆流防止装置は、図２に示すよう
に、ガス配管中に遮断バルブ１が取り付けられ上流側ガ
ス管２と下流側ガス管４との圧力差を測定出来る差圧計
８を組み込んでいる。それ以外は前述の実施例と同じで
ある。すなわち、この差圧計８より出力される圧力差信
号は比較回路６に入力される。そして、比較回路６では
この入力された差圧とあらかじめ設定器７にて設定され
た順方向圧または逆方向圧とを演算して遮断バルブ１を
開閉する。
【００２１】この実施例では、直接差圧を測定する差圧
計８を設けることにより、第１の実施例で考えられる圧
力計自体の測定誤差により微少な逆流（微差圧）を検知
できないという問題を解消できるという利点がある。こ
こで使用する差圧計８は、例えば、半導体隔離板をもつ
半導体圧力センサを使用することが望ましい。ただし上
流側ガス管２と下流側ガス管４との圧力測定のポイント
の距離が離れている場合には、管長による圧力損失を考
慮して設定圧力の補正する必要がある。
計８を設けることにより、第１の実施例で考えられる圧
力計自体の測定誤差により微少な逆流（微差圧）を検知
できないという問題を解消できるという利点がある。こ
こで使用する差圧計８は、例えば、半導体隔離板をもつ
半導体圧力センサを使用することが望ましい。ただし上
流側ガス管２と下流側ガス管４との圧力測定のポイント
の距離が離れている場合には、管長による圧力損失を考
慮して設定圧力の補正する必要がある。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ガ
スが供給される上流側の圧力値が下流側の圧力値と比べ
その圧力差がガスの流れによる圧力損失を加味した所望
の流量のガスが流れ得る圧力である順方向圧を上回ると
きに遮断バルブを開くことにより円滑に所望の流量のガ
スを供給できるという効果がある。また、前述の圧力差
が逆流を引起す逆方向圧に到達することを検知し遮断バ
ルブを遮断するので上流側への逆流が皆無となる。ま
な、意識的に逆方向圧を低くく設定することで遮断バル
ブを開いた状態に維持できるので、上流側に停留するガ
スを完全抜き取ることができるという効果がある。
スが供給される上流側の圧力値が下流側の圧力値と比べ
その圧力差がガスの流れによる圧力損失を加味した所望
の流量のガスが流れ得る圧力である順方向圧を上回ると
きに遮断バルブを開くことにより円滑に所望の流量のガ
スを供給できるという効果がある。また、前述の圧力差
が逆流を引起す逆方向圧に到達することを検知し遮断バ
ルブを遮断するので上流側への逆流が皆無となる。ま
な、意識的に逆方向圧を低くく設定することで遮断バル
ブを開いた状態に維持できるので、上流側に停留するガ
スを完全抜き取ることができるという効果がある。
【図１】本発明の逆流防止装置の一実施例を示す図であ
る。
る。
【図２】本発明の逆流防止装置の他の実施例を示す図で
ある。
ある。
【図３】従来の逆流防止装置の一例を示す図である。
【符号の説明】 １ 遮断バルブ ２，１２ 上流側ガス管 ３ 第１の圧力計 ４，１３ 下流側ガス管 ５ 第２の圧力計 ６ 比較回路 ７ 設定器 ８ 差圧計 １０ バルブディスク １４ 押さえバネ
Claims (3)
- 【請求項１】 ガス供給装置と反応室との間のガス配管
途中に配設されるとともにソレノイドに通電することで
開閉する遮断バルブと、この遮断バルブの上流側のガス
配管内の圧力と前記遮断バルブの下流側のガス配管内の
圧力との圧力差を測定する手段と、測定された前記圧力
差と予じめ設定された圧力差と比較してその大きさに差
があるか否かで前記遮断バルブの開閉を制御する制御手
段とを備えることを特徴とする逆流防止装置。 - 【請求項２】 前記圧力差を測定する手段は、前記上流
側のガス配管に取付けられる第１の圧力計と、前記下流
側のガス配管に取付けられる第２の圧力計とを含んで構
成されることを特徴とする請求項１記載の逆流防止装
置。 - 【請求項３】 前記圧力差を測定する手段は差圧計であ
ることを特徴とする請求項１記載の逆流防止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32757994A JPH08185228A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 逆流防止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32757994A JPH08185228A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 逆流防止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08185228A true JPH08185228A (ja) | 1996-07-16 |
Family
ID=18200640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32757994A Pending JPH08185228A (ja) | 1994-12-28 | 1994-12-28 | 逆流防止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08185228A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020051627A (ko) * | 2000-12-23 | 2002-06-29 | 이구택 | 수소가스 역류 방지장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5232114A (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-11 | Hitachi Ltd | Preventive system for gas overflow |
| JPH0517686U (ja) * | 1991-08-21 | 1993-03-05 | 株式会社東和エンジニアリング | 表示板装置 |
| JPH05204466A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-08-13 | Takenaka Komuten Co Ltd | 流量制御弁の制御方法 |
-
1994
- 1994-12-28 JP JP32757994A patent/JPH08185228A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5232114A (en) * | 1975-09-08 | 1977-03-11 | Hitachi Ltd | Preventive system for gas overflow |
| JPH05204466A (ja) * | 1991-07-05 | 1993-08-13 | Takenaka Komuten Co Ltd | 流量制御弁の制御方法 |
| JPH0517686U (ja) * | 1991-08-21 | 1993-03-05 | 株式会社東和エンジニアリング | 表示板装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20020051627A (ko) * | 2000-12-23 | 2002-06-29 | 이구택 | 수소가스 역류 방지장치 |
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