JPH08147685A - 磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置 - Google Patents

磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置

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JPH08147685A
JPH08147685A JP28072894A JP28072894A JPH08147685A JP H08147685 A JPH08147685 A JP H08147685A JP 28072894 A JP28072894 A JP 28072894A JP 28072894 A JP28072894 A JP 28072894A JP H08147685 A JPH08147685 A JP H08147685A
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic disk
disk substrate
texture
contact roller
tape
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Pending
Application number
JP28072894A
Other languages
English (en)
Inventor
Tatsuya Nagatsu
辰也 永津
Eisuke Tejima
英介 手島
Kuniyuki Someya
邦之 染谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Asahi Komag Co Ltd
AGC Inc
Original Assignee
Asahi Glass Co Ltd
Asahi Komag Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【構成】 磁気ディスク用基板52の表面にテクスチャ
テープ40を押し付けるコンタクトローラ44をリニア
モータ34に設けた。リニアモータ34はコンタクトロ
ーラ44を磁気ディスク用基板52から退避させること
ができ、これにより、磁気ディスク用基板52の着脱が
可能になる。また、リニアモータ34はコンタクトロー
ラ44を軸線方向に振動させて磁気ディスク用基板52
の表面をテクスチャ加工する。 【効果】 構造の簡素化を図り、精度の劣化を防止する
ことができ、かつ、環境汚染による製品品質の低下を防
止することができる磁気ディスク用基板のテクスチャ加
工装置を提供する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はテクスチャテープを磁気
ディスク用基板の表面に押し付けて、磁気ディスク用基
板の表面をテクスチャ加工する磁気ディスク用基板のテ
クスチャ加工装置に関する。
【0002】
【従来の技術】磁気ディスクは、ドーナツ状の円形アル
ミニウム基板やガラス基板等の磁気ディスク用基板の表
面に下地膜を成膜し、この下地膜の表面に磁性膜を成膜
する。そして、磁性膜の表面に近接させた状態で非接触
にヘッドを浮かせ、このヘッドを磁性膜の表面に沿って
移動して磁性膜に記録エリアを生成、又は再生する。こ
の場合、ヘッドを磁性膜の表面に近接した状態で非接触
に移動するので、磁性膜の表面を適度な微小凹凸を有す
る面としておく。この様な微小凹凸面性状としておくと
磁性膜の微小凹凸表面とヘッドの間に空気が取り入れら
れ、取り入れられた空気でヘッドを磁性膜の表面から浮
上させることができる。
【0003】この微小凹凸面の加工は、予め磁気ディス
ク用基板の下地膜表面に対しテクスチャ加工装置を利用
しておこなわれる。この磁気ディスク用基板のテクスチ
ャ加工装置は、それぞれ一対のコンタクトローラが設け
られている。図4に示すように、一対のコンタクトロー
ラ10、10は磁気ディスク用基板12の両側に設けら
れ、磁気ディスク用基板12とコンタクトローラ10と
の間にはテクスチャ加工用のテクスチャテープ14が配
置されている。そして、テクスチャテープ14、14は
それぞれコンタクトローラ10、10で第1ステージの
磁気ディスク用基板12の表面に、あるいは該基板表面
に形成された下地膜表面に押し付けられる。
【0004】このテクスチャテープ14は終端部及び始
端部がそれぞれ巻戻しローラ及び巻取りローラに取り付
けら、テクスチャテープ14は予め巻戻しローラに巻き
付けられている。そして、テクスチャテープ14を巻戻
しローラから巻取りローラに巻き取ることにより、テク
スチャテープ14は図4に示すように下方向に移動す
る。
【0005】この場合、テクスチャテープ14、14が
下方向に移動するとともに磁気ディスク用基板12が回
転する。同時に、図示ないモータが駆動してカムが回転
する。このカムが回転することによりコンタクトローラ
10、10が矢印B−B方向に一定の周期でオシュレー
ション移動する。これにより、テクスチャテープ14、
14に接触した磁気ディスク用基板12の表面に、ある
いは下地膜の表面にテクスチャ加工がおこなわれる。
【0006】しかしながら、コンタクトローラ10、1
0をカム機構でオシュレーション移動させる場合、コン
タクトローラ10、10のオシュレーション量が限定さ
れるので、コンタクトローラ10、10を磁気ディスク
用基板12から退避させることができない。従って、磁
気ディスク用基板12をインデックスステージに取り付
ける場合、コンタクトローラ10、10を磁気ディスク
用基板12から退避させるために、カム機構の他にエア
シリンダ等が要求される。これにより、磁気ディスク用
基板のテクスチャ加工装置の構造が複雑になるという問
題がある。
【0007】一方、コンタクトローラ10、10をオシ
ュレーション移動させる機構として、ボールねじを機構
を使用したものが知られている。このボールねじ機構に
よれば、コンタクトローラ10、10のオシュレーショ
ン移動とコンタクトローラ10、10の退避とを1つの
機構で行うことができる。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ボール
ねじ機構でコンタクトローラ10、10をオシュレーシ
ョン移動させる方式の場合、高速度でのオシュレーショ
ンが困難であり、長期間の使用において精度が劣化する
恐れがあるという問題がある。また、ボールねじ機構の
場合、金属部材同士の接触で金属粉が発生して環境が汚
染されるという問題がある。特に、磁気ディスク用基板
12はゴミの付着が品質の悪化につながるので、ゴミが
付着しないようにクリーンルーム内で加工されている。
従って、ボールねじ機構による金属粉による環境汚染は
磁気ディスク用基板12の品質の悪化に大きく影響す
る。
【0009】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、構造の簡素化を図り、さらに精度劣化を防止す
るとともに環境を汚染しない磁気ディスク用基板のテク
スチャ加工装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決する為の手段】本発明は、磁気ディスク用
基板の表面に沿って張設されたテクスチャテープをコン
タクトローラで磁気ディスク用基板の表面に押し付けた
状態で、前記磁気ディスク用基板の回転中に前記テクス
チャテープを一定方向に送りながら前記コンタクトロー
ラをその軸線方向に振動させて前記磁気ディスク用基板
の表面をテクスチャ加工する磁気ディスク用基板のテク
スチャ加工装置において、前記コンタクトローラをリニ
アモータ上に設け、前記テクスチャテープに略直交する
ように前記コンタクトローラを振動させることを特徴と
している。
【0011】
【作用】本発明によれば、磁気ディスク用基板の表面に
テクスチャテープを押し付けるコンタクトローラをリニ
アモータに設けた。このリニアモータはコンタクトロー
ラを磁気ディスク用基板から退避させることができ、こ
れにより、磁気ディスク用基板の着脱が可能になる。ま
た、リニアモータはコンタクトローラを軸線方向に振動
させることができる。従って、コンタクトローラで磁気
ディスク用基板の表面にテクスチャテープを押し付けた
状態で、磁気ディスク用基板の回転中にテクスチャテー
プを一定方向に送りながら、コンタクトローラをその軸
線方向に振動させて磁気ディスク用基板の表面をテクス
チャ加工する。
【0012】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係る磁気ディ
スク用基板のテクスチャ加工装置の好ましい実施例につ
いて説明する。図1に示す磁気ディスク用基板のテクス
チャ加工装置30はテクスチャユニット32及びリニア
モータ34を備えている。テクスチャユニット32はテ
ープリールヘッド32A及びコンタクトローラヘッド3
2Bを有している。テープリールヘッド32Aとコンタ
クトローラヘッド32Bとは分割構成にしてもよく、ま
た一体構成にしてもよいが、実施例では一体構成として
説明する。
【0013】テープリールヘッド32A及びコンタクト
ローラヘッド32Bには右側及び左側にそれぞれ右側テ
ープ送り手段35A及び左側テープ送り手段35Bが設
けられている。右側テープ送り手段35Aの巻戻しリー
ル36はテープリールヘッド32Aの上端部に設けら
れ、巻戻しリール36の下方には巻取りリール38が設
けられている。
【0014】巻戻しリール36にはテクスチャテープ4
0の終端部が取り付けられ、テクスチャテープ40は送
りローラ42、コンタクトローラ44、送りローラ4
6、48、50を介して巻取りリール38まで延長され
ている。巻取りリール38にはテクスチャテープ40の
始端部が取り付けられている。そして、テクスチャテー
プ40は巻戻しリール36に予め巻き取られている。従
って、巻取りリール38及び巻戻しリール36がそれぞ
れ反時計回り方向に回転することにより、テクスチャテ
ープ40は巻戻しリール36から巻戻されて巻取りリー
ル38に巻き取られる。なお、送りローラ42、コンタ
クトローラ44及び送りローラ46、48、50はコン
タクトローラヘッド32Bの右側に設けられている。
【0015】コンタクトローラ44はコンタクトローラ
ヘッド32Bの下端部に設けられている。このコンタク
トローラ44は、後述する磁気ディスク用基板52に平
行に配設され、かつ磁気ディスク用基板52と直交する
方向に移動自在に支持されている。また、コンタクトロ
ーラ44は加圧シリンダ(図示せず)に連結され、この
加圧シリンダが伸長するとコンタクトローラ44が磁気
ディスク用基板52の表面に押し付けられる。
【0016】尚、右側テープ送り手段35Aと左側テー
プ送り手段35Bとは同一類似部材で構成されているの
で、右側テープ送り手段35Aのみを説明して左側テー
プ送り手段35Bの説明を省略する。また、リニアモー
タ34は固定子56、スライダ58を有し、固定子56
は図示しない装置本体に固定されている。固定子56
は、その表面に磁極歯56A、56A…が形成されてい
る。磁極歯56A、56A…の上側及び下側にはそれぞ
れガイドレール56B、56Bが互いに平行に配設さ
れ、ガイドレール56B、56Bにスライダ58が摺動
自在に支持されている。
【0017】スライダ58には、磁極歯56A、56A
…に対向するように磁極歯(図示せず)が形成されてい
る。このスライダ58にはコンタクトローラヘッド32
Bが設けられ、前述したようにコンタクトローラ44が
磁気ディスク用基板52に対して平行に配せられる。従
って、スライダ58内に設けられている捲線(図示せ
ず)に励磁電流を流すとスライダ58とともにコンタク
トローラ44がガイドレール56B、56Bに沿って移
動する。
【0018】これにより、コンタクトローラ44が磁気
ディスク用基板52の表面に沿って矢印A−A方向(図
1、図2、図3参照)に一定の周期でオシュレーション
移動する。なお、固定子56のガイドレール56Bの下
方にはリニアレゾルバ60が設けられ、リニアレゾルバ
60はスライダ58の位置を検出する。前記の如く構成
された磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置の作用
について説明する。
【0019】先ず、リニアモータ34を操作してスライ
ダ58と共にテクスチャユニット32をガイドレール5
6B、56Bに沿って移動し、コンタクトローラ44を
磁気ディスク用基板52の取付け位置から退避させる。
次に、磁気ディスク用基板52の内周を図示しないスピ
ンドルに嵌入して、磁気ディスク用基板52を装置本体
に固定する。
【0020】次いで、リニアモータ34を操作してテク
スチャユニット32を磁気ディスク用基板52に向けて
前進させ、コンタクトローラ44、44を図3の位置ま
で移動する。次に、コンタクトローラ44、44…の加
圧機構(図示せず)を伸長してコンタクトローラ44、
44を磁気ディスク用基板52の両側面に押し付ける。
【0021】続いて、テクスチャユニット32の右側テ
ープ送り手段35Aの巻取りリール38及び巻戻しリー
ル36をそれぞれ反時計回り方向に回転して、テクスチ
ャテープ40を巻戻しリール36から巻戻して巻取りリ
ール38に巻き取る。これにより、右側テープ送り手段
35Aのテクスチャテープ40が上方から下方に移動す
る。
【0022】また、テクスチャユニット32の右側テー
プ送り手段35Aと同時に、左側テープ送り手段35B
の巻取りリール38及び巻戻しリール36をそれぞれ時
計回り方向に回転して、テクスチャテープ40を巻戻し
リール36から巻戻して巻取りリール38に巻き取る。
これにより、左側テープ送り手段35Bのテクスチャテ
ープ40が上方から下方に移動する。
【0023】同時に、磁気ディスク用基板52を時計回
り方向に回転し、さらに、リニアモータ34を操作して
コンタクトローラ44を矢印A−A方向(図3参照)に
一定周期でオシュレーション移動させる。これにより、
磁気ディスク用基板52の両側の主表面にテクスチャ加
工が行われる。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る磁気
ディスク用基板のテクスチャ加工装置によれば、リニア
モータは、コンタクトローラを磁気ディスク用基板から
退避させることができ、さらに、コンタクトローラをテ
クスチャ位置で振動させることができる。このように、
リニアモータだけでコンタクトローラの退避とコンタク
トローラの振動を行うことができ、またその退避量や振
動巾を数値入力にて自由に設定できるので構成の簡素化
を図ることができる。
【0025】また、リニアモータの場合、ボールねじ機
構のように精度が劣化することがなく、さらに、金属部
材同士の接触により発生した金属粉で環境が汚染される
こともない。従って、磁気ディスク用基板にゴミが付着
して品質が悪化することを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る磁気ディスク用基板のテクスチャ
加工装置のリニアモータを示した側面図
【図2】本発明に係る磁気ディスク用基板のテクスチャ
加工装置を示した斜視図
【図3】本発明に係る磁気ディスク用基板のテクスチャ
加工装置を示した側面図
【図4】従来の磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装
置の要部を示した斜視図
【符号の説明】
30…磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置 34…リニアモータ 40…テクスチャテープ 44…コンタクトローラ 52…磁気ディスク用基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 染谷 邦之 山形県米沢市八幡原4−2837−9 旭コマ グ株式会社内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 磁気ディスク用基板の表面に沿って張設
    されたテクスチャテープをコンタクトローラで磁気ディ
    スク用基板の表面に押し付けた状態で、前記磁気ディス
    ク用基板の回転中に前記テクスチャテープを一定方向に
    送りながら前記コンタクトローラおよび前記テクスチャ
    テープをその軸線方向に振動させて前記磁気ディスク用
    基板の表面をテクスチャ加工する磁気ディスク用基板の
    テクスチャ加工装置において、 前記コンタクトローラをリニアモータに設け、前記テク
    スチャテープに略直交するように前記コンタクトローラ
    を振動させることを特徴とする磁気ディスク用基板のテ
    クスチャ加工装置。
JP28072894A 1994-11-15 1994-11-15 磁気ディスク用基板のテクスチャ加工装置 Pending JPH08147685A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009045679A (ja) * 2007-08-16 2009-03-05 Ebara Corp 研磨装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009045679A (ja) * 2007-08-16 2009-03-05 Ebara Corp 研磨装置
US8393935B2 (en) 2007-08-16 2013-03-12 Ebara Corporation Polishing apparatus

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