JPH1040508A - 磁気ヘッド摺動面加工装置及び磁気ヘッド摺動面加工方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】磁気ヘッドブロックの摺動面を加工する際に高
いデプス精度を得ることができる磁気ヘッド摺動面加工
装置を提供すること。 【解決手段】テープ走行面２ａをＸ方向に沿わせた状態
で磁気ヘッドブロック５を保持するクランプ６８と、ク
ランプ６８をＸ方向に沿って設けられた揺動中心軸Ｐを
中心に揺動させる揺動機構６５と、クランプ６８に保持
された磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２ａを研削
する回転砥石機構７０と、クランプ６８に保持された磁
気ヘッドブロック５を撮像しテープ走行面２ａのＸ方向
に対する傾き角度を検出する計測部８０と、傾き角度に
基づいてクランプ６８をＸ方向に直交するＺ方向回りに
回動させることにより傾き角度を調整するθテーブル６
３とを備えるようにした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、ビデオテ
ープレコーダ用の磁気ヘッドチップの摺動面（テープ走
行面）を研削する磁気ヘッド摺動面加工装置及び磁気ヘ
ッド摺動面加工方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、ビデオテープレコーダ用の磁気
ヘッドとして図１０に示すような磁気ヘッド１が用いら
れている。この磁気ヘッド１はフェライトチップ２と、
このフェライトチップ２を支持するベース板３とから構
成されている。フェライトチップ２の先端は磁気テープ
と摺動接触する湾曲したテープ走行面２ａ（摺動面）が
形成されている。なお、図１０中２ｂはギャップデプス
を示している。また、ベース板３には端子板３ａが接着
されている。

【０００３】このような磁気ヘッド１は通常、次のよう
な工程で製造される。すなわち、図１１の（ａ），
（ｂ）に示すようにフェライトチップ２の基本部分とな
る長さの異なる２つの角棒体５ａ，５ｂを接着して磁気
ヘッドブロック５を形成する。次にこの磁気ヘッドブロ
ック５を図１２の（ａ）に示すようなブロック固定治具
６にねじ止め式の取付金具６ａを利用して仮止めする。
このようなブロック固定治具６を図１２の（ｂ）に示す
ような円筒研削治具７にそれぞれ２本のねじを締め付け
て複数個取り付ける。このときの締め付け力は後述する
研削加工機８による研削抵抗よりも大きくする。

【０００４】次に円筒研削治具７を位置決め装置（不図
示）において磁気ヘッドブロック５の両端を双対物２視
野顕微鏡とカメラを用いてモニタに写しだし、このモニ
タを見ながら作業者が図１２の（ｃ）に示すように、仮
止めされたブロック固定治具６の図中下面から矢印α方
向に止めねじ（不図示）で押し上げることにより、２つ
のデプスエンドｄ１，ｄ２及びヘアラインｈ１，ｈ２を
基準にして、平行合わせと所定位置への位置決めを行う
ようにしていた。この位置決めを高精度に行うことによ
りギャップデプスの精度、すなわちデプス精度を高める
ことができ、磁気ヘッドの所定の性能を発揮させること
ができる。

【０００５】この後、円筒研削治具７を図１３の（ａ）
に示すような研削加工機８に両芯押し軸８ａにより揺動
自在に取り付ける。研削加工機８は円筒研削砥石９を備
えており、図１３の（ｂ）に示すように円筒研削治具７
を揺動させることによりテープ走行面２ａをＲ形状に研
削加工する。また、円筒研削砥石９を図１３の（ａ）中
矢印β方向に移動させることで磁気ヘッドブロック５の
テープ走行面２ａを連続的に加工する。

【０００６】このようにして加工された磁気ヘッドブロ
ック５をワイヤソー或いは外周型切断機等により、図１
４の（ａ），（ｂ）に示すように薄くスライスし、フェ
ライトチップ２を形成する。そして、フェライトチップ
２をベース板３に対し高精度に位置合わせして接着し、
フェライトチップ２に巻線を施す。この後、テープ走行
面２ａを乾式のラッピングテープ等により鏡面加工する
とともに、ベース板３に取り付けた際の誤差を修正し
て、磁気ヘッド１が完成する。

【０００７】一方、磁気ヘッドブロックのテープ走行面
２ａの半径は、機種によって５〜１０Ｒの範囲で数種類
に分類される。従来はこれらのテープ走行面に合わせた
専用のブロック固定治具を用いて加工していた。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の研削加
工機８を用いて磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２
ａを研削加工する場合には次のような問題があった。す
なわち、研削加工前に位置決め装置によりデプスエンド
ｄ１，ｄ２及びヘアーラインｈ１，ｈ２を基準にして加
工位置決めを高い精度で行って円筒研削治具７に取り付
けても、円筒研削治具７を研削加工機８にセットする際
にゴミを挟み込んだり、円筒研削治具７の摩耗等の影響
により加工位置が変化し、デプス精度が悪くなることが
ある。

【０００９】また、円筒研削砥石９を用いた加工では、
加工位置決めや工具管理など作業者の熟練を必要とし、
工程管理も困難である。そこで本発明は、磁気ヘッドブ
ロックのテープ走行面を加工する際に加工位置のずれを
防止することで高いデプス精度を得ることができる磁気
ヘッド摺動面加工装置及び磁気ヘッド摺動面加工方法を
提供することを目的としている。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決し目的を
達成するために、請求項１に記載された発明は、磁気ヘ
ッドブロックの摺動面を研削加工する磁気ヘッド摺動面
加工装置において、前記摺動面を所定の第１方向に沿わ
せた状態で前記磁気ヘッドブロックを保持するワーク保
持部と、このワーク保持部を前記第１方向に沿って設け
られた揺動軸を中心に揺動させるワーク揺動機構と、前
記ワーク保持部に保持された前記磁気ヘッドブロックの
前記摺動面を研削する摺動面研削部と、前記ワーク保持
部に保持された前記磁気ヘッドブロックを撮像し前記摺
動面の前記第１方向に対する傾き角度を検出する傾き角
度検出部と、この傾き角度検出部により検出された前記
傾き角度に基づいて前記ワーク保持部を前記第１方向に
直交する第２方向回りに回動させることにより前記傾き
角度を調整する回転機構部とを備えるようにした。

【００１１】請求項２に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、前記ワーク保持部には、前記
摺動面と前記揺動中心軸との距離を調整する調整機構が
設けられるようにした。

【００１２】請求項３に記載された発明は、請求項１に
記載された発明において、前記ワーク保持部と前記摺動
面研削部とを前記第１方向に沿って相対移動させる移動
機構を備えるようにした。

【００１３】請求項４に記載された発明は、磁気ヘッド
ブロックの摺動面を面取り用砥石で面取り加工するとと
もに、研削用砥石で研削加工する磁気ヘッド摺動面加工
方法において、前記摺動面を所定の第１方向に沿わせた
状態で前記磁気ヘッドブロックをワーク保持部に保持さ
せるワーク保持工程と、このワーク保持工程により前記
ワーク保持部に保持された前記磁気ヘッドブロックの摺
動面の前記第１方向に対する傾き角度を検出する傾き角
度検出工程と、この傾き角度検出工程により検出された
前記傾き角度に基づいて前記ワーク保持部を前記第１方
向に直交する第２方向回りに回動させることにより前記
傾き角度を調整する傾き角度調整工程と、この傾き角度
調整工程により調整された前記傾き角度を維持した状態
で、かつ、前記第１方向に沿った揺動中心軸回りの角度
位置を一定位置に維持した状態で前記ワーク保持部に保
持された前記磁気ヘッドブロックと前記面取り用砥石と
を前記第１方向に沿って相対運動させることにより前記
摺動面の面取り加工を行う面取り加工工程と、この面取
り加工工程の後に、前記ワーク保持部に保持された前記
磁気ヘッドブロックを前記揺動中心軸回りに揺動させた
状態で、前記研削用砥石により前記摺動面を曲面加工す
る摺動面加工工程とを備えるようにした。

【００１４】上記手段を講じた結果、次のような作用が
生じる。すなわち、請求項１に記載された発明では、ワ
ーク保持部により摺動面を所定の第１方向に沿わせた状
態で保持された磁気ヘッドブロックの両端部を撮像する
ことで摺動面の第１方向に対する傾き角度を検出するこ
とができる。この検出された傾き角度に基づいて回転機
構部によりワーク保持部を第１方向に直交する第２方向
回りに回動させることにより傾き角度を調整することが
できる。すなわち、磁気ヘッドブロックを磁気ヘッド摺
動面加工装置に取り付けた状態で摺動面研削部と摺動面
との平行度を合わせることができ高いデプス精度が得ら
れる。

【００１５】請求項２に記載された発明では、ワーク保
持部には摺動面と揺動中心軸との距離を調整する調整機
構が設けられているので、摺動面の半径の大きさを治具
を変更することなく容易に調整することができる。

【００１６】請求項３に記載された発明では、ワーク保
持部と摺動面研削部とを第１方向に沿って相対移動させ
る移動機構を備えるようにしたので、摺動面の面取り加
工を容易に行うことができる。

【００１７】請求項４に記載された発明では、ワーク保
持工程において摺動面を所定の第１方向に沿わせた状態
で磁気ヘッドブロックをワーク保持部に保持させ、傾き
角度検出工程においてワーク保持部に保持された磁気ヘ
ッドブロックの摺動面の第１方向に対する傾き角度を検
出し、傾き角度調整工程において傾き角度に基づいてワ
ーク保持部を第１方向に直交する第２方向回りに回動さ
せて傾き角度を調整することができる。このため、摺動
面と研削用砥石との平行度を合わせることができる。次
に面取り加工工程において傾き角度を維持した状態で、
かつ、第１方向に沿った揺動中心軸回りの角度位置を一
定位置に維持した状態でワーク保持部に保持された磁気
ヘッドブロックと面取り用砥石とを第１方向に沿って相
対運動させることにより摺動面の面取り加工を行うこと
ができる。そして、摺動面加工工程においてワーク保持
部に保持された磁気ヘッドブロックを揺動中心軸回りに
揺動させた状態で、研削用砥石により摺動面を曲面加工
することにより高いデプス精度を得ることができる。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施の形態に係
る磁気ヘッド摺動面加工装置２０を示す斜視図、図２は
平面図、図３は側面図である。図４及び図５は要部拡大
図、図６〜図９は本磁気ヘッド摺動面加工装置２０の動
作を説明するための図である。これらの図において、図
１０〜１４と同一機能部分には同一符号を付し、重複す
る部分の詳しい説明は省略する。また、図中矢印ＸＹＺ
は互いに直交する三方向を示しており、特に矢印Ｚは鉛
直方向を示している。

【００１９】磁気ヘッド摺動面加工装置２０は、ベース
３０と、このベース３０上に配置されたマガジン搬送機
構４０と、このマガジン搬送機構４０と後述する治具保
持機構６０との間に配置されマガジン搬送機構４０と治
具保持機構６０相互間のブロック固定治具６の移載を行
う治具移載機構５０と、ブロック固定治具６を保持し、
後述する回転砥石機構７０、計測部８０に適宜位置決め
する治具保持機構６０と、ヘッドブロック５の摺動面２
ａを研削加工するために回転砥石を駆動する回転砥石機
構７０（摺動面研削部）と、この回転砥石機構７０に隣
接して配置され磁気ヘッドブロック５のギャップ・トラ
ック２ｂ（ギャップデプス）を測定する計測部８０（傾
き角度検出部）と、これら各機構を連携制御する制御部
１００とを備えている。なお、図中Ｍはブロック固定治
具６を図１中矢印Ｘ方向（第１方向）に沿って一列に並
べて収容するマガジンを示している。

【００２０】マガジン搬送機構４０は、ベース３０上に
図１中矢印Ｘ方向に沿って設けられ、後述する搬送ベル
ト４２を支持する支持部４１と、この支持部４１に支持
され図中矢印Ｘ１方向に間欠駆動される搬送ベルト４２
と、支持部４１に隣接して設けられたマガジン供給部４
３と、このマガジン供給部４３に収容されたマガジンＭ
を搬送ベルト４２上に移載するマガジン移載機構４４
（図１，図３には不図示）と、支持部４１に隣接して設
けられたマガジン収容部４５と、搬送ベルト４２上のマ
ガジンＭをマガジン収容部４５に移載するマガジン移載
機構４６（図１には不図示）とを備えている。

【００２１】マガジン供給部４３には、マガジンＭを昇
降させる昇降機構４３ａが設けられており、マガジン収
容部４５には、マガジンＭを昇降させる昇降機構４５ａ
が設けられている。

【００２２】治具移載機構５０は、搬送ベルト４２上の
マガジンＭから所定のブロック固定治具６を取り出し、
治具保持機構６０の後述するクランプ６８に取り付ける
機能と、クランプ６８に取り付けられたブロック固定治
具６を取り外し、マガジンＭの所定の位置に収容する機
能とを有している。

【００２３】治具保持機構６０は、図２に示すようにベ
ース３０に取り付けられたガイド部６１と、このガイド
部６１に図中矢印Ｘ方向に沿って往復動自在に支持され
たスライダ６２と、このスライダ６２をガイド部６１に
沿って駆動する駆動機構（不図示）と、スライダ６２上
に配置され図２中矢印Ｚ方向（第２方向）の回転軸を有
するθテーブル６３（回転機構部）と、このθテーブル
６３上に配置されたガイド部６４と、このガイド部６４
上に図中矢印Ｘ方向に沿って往復動自在に支持された揺
動機構６５（ワーク揺動機構）と、この揺動機構６５を
ガイド部６４に沿って駆動する駆動機構（不図示）とを
備えている。なお、治具保持機構６０は後述する回転砥
石機構７０とにより摺動面研削部を形成している。

【００２４】揺動機構６５は、軸支持部６６と、この軸
支持部６６に取り付けられ図１中矢印Ｘ方向の揺動中心
軸Ｐを有し、図中矢印Ｒ方向に揺動する揺動軸６７と、
この揺動軸６７の先端に取り付けられブロック固定治具
６を挟持するクランプ６８（ワーク保持部）とを備えて
いる。

【００２５】クランプ６８は、図４の（ａ），（ｂ）に
示すようにブロック固定治具６を載置するベース６８ａ
を備えている。ベース６８ａはブロック固定治具６を位
置決めすることで、揺動軸６７の揺動及び後述する回転
砥石７３の作用によりブロック固定治具６に保持された
磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２ａを所定の半径
ｒとなるように研削する機能を有している。また、ベー
ス６８ａには、その一端部が上記ブロック固定治具６の
上面に当接し、かつ、他端部が後述するロッド６８ｄに
取り付けられたクランプバー６８ｂがその中間部がＸ方
向の軸回りに揺動自在に取り付けられている。さらに、
ベース６８ａにはＺ方向に作動するシリンダ６８ｃが取
り付けられており、そのロッド６８ｄの先端がクランプ
バー６８ｂの他端部に取り付けられている。すなわち、
シリンダ６８ｃを作動させてロッド６８ｄを図中矢印Ｚ
１方向に移動させることにより、クランプバー６８ｂを
揺動させてベース６８ａにブロック固定治具６を押しつ
ける機能を有している。

【００２６】ガイド部６１及びスライダ６２は後述する
ようなタイミングでクランプ６７に挟持された治具を回
転砥石機構７０、測定部８０に位置決めする機能を有し
ており、ガイド部６４及び揺動機構６５はスライダ６２
が回転砥石機構７０側に位置決めされた際に幅範囲内で
小刻みに往復動させる機能を有している。

【００２７】なお、クランプ６８においてベース６８ａ
にブロック固定治具６を載置する位置を調整することに
よってテープ走行面２ａの半径を所望の値に変えること
ができる。

【００２８】回転砥石機構７０は、図２に示すようにベ
ース３０に設けられたガイド部７１と、このガイド部７
１に図１中矢印Ｙ方向に往復動自在に案内され、後述す
る回転砥石７３を図１中矢印Ｇ方向に回転駆動する回転
駆動モータ７２と、この回転駆動モータ７２を所定のタ
イミングで図２中矢印Ｙ方向に沿って駆動する駆動モー
タ（不図示）と、回転駆動モータ７２に回転駆動される
回転砥石７３とを備えている。

【００２９】回転砥石７３は、図５に示すように回転駆
動モータ７２との連結に供される軸部７３ａと、この軸
部７３ａに支持された二重構造砥石７３ｂとから構成さ
れている。二重構造砥石７３ｂは、外周側に配置された
粗加工用砥粒により形成された粗加工砥石７３ｃと、内
周側に配置された仕上げ加工用砥粒により形成された仕
上加工砥石７３ｄとを備えている。なお、これは内周側
を粗加工用砥石とすると粗加工を行う際に遠心力で粗加
工用砥粒が外周側に配置された仕上げ加工用砥粒に付着
し、仕上げ粗さが低下するのを防止するためである。

【００３０】なお、二重構造砥石７３ｂの粗加工砥石７
３ｃと仕上加工砥石７３ｄとでは加工周速が異なるた
め、それぞれの砥粒に適した加工周速になるように回転
駆動モータ７２の回転数を適宜変更する。

【００３１】計測部８０は、図２に示すようにベース３
０に設けられたガイド部８１と、このガイド部８１に図
１中矢印Ｙ方向に往復動自在に案内されたスライダ８２
と、このスライダ８２を所定のタイミングで図２中矢印
Ｙ方向に沿って駆動する駆動モータ（不図示）と、スラ
イダ８２に支持された光学顕微鏡８３と、この光学顕微
鏡８３によって得られた画像を処理する画像処理部８４
とを備えている。

【００３２】なお、光学顕微鏡８３は、図６に示すよう
にブロック固定治具６に保持された磁気ヘッドブロック
５の両端部Ｑ１，Ｑ２とを切り替えて撮像するように配
置されている。また、画像処理部８４では端部Ｑ１，Ｑ
２を図７の（ａ），（ｂ）に示すような画像となるよう
に処理し、後述するモニタ１０２へ出力する。

【００３３】制御部１００は、後述するように各機構を
連携制御する制御装置１０１と、制御状態等を表示する
モニタ１０２とを備えている。このように構成された磁
気ヘッド摺動面加工装置２０では、次のようにして磁気
ヘッドブロック５のテープ走行面２ａの加工を行う。な
お、磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２ａの加工
は、ブロック固定治具６をクランプ６８にセットする
「治具セット工程」と、磁気ヘッドブロック５のテープ
走行面２ａを面取り加工する「面取り加工工程」と、磁
気ヘッドブロック５のテープ走行面２ａを所定のＲ面形
状に研削加工する「研削加工工程」と、クランプ６８に
セットされたブロック固定治具６をマガジンＭに収容
し、このマガジンＭをマガジン収容部４５に回収する
「治具回収工程」とからなる。

【００３４】「治具セット工程」では以下のようにして
クランプ６８にブロック固定治具６をセットする。すな
わち、予めマガジン供給部４３に積載されたマガジンＭ
のうち、最上部に載置されたマガジンＭの下面が搬送ベ
ルト４２の上面とほぼ同じ高さとなるように昇降機構４
３ａを作動させる。次にマガジン移載機構４４により図
中Ｙ２方向に最上位置のマガジンＭを押し出し、搬送ベ
ルト４２上に移載する。一方、治具保持機構６０のスラ
イダ６２をガイド部６１に沿って移動させ、クランプ６
８を図２中実線で示す位置で待機させておく。

【００３５】続いて搬送ベルト４２を図２中Ｘ１方向に
駆動し、マガジンＭに収容された治具のうち最先端に位
置するブロック固定治具６を治具移載機構５０により治
具保持機構６０のクランプ６８のベース６８ａ上に載置
する。ブロック固定治具６が所定の位置に載置された時
点でシリンダ６８ｃを作動させることでロッド６８ｄを
図４の（ｂ）中矢印Ｚ１方向に移動させ、クランプバー
６８ｂの先端でブロック固定治具６を固定する。なお、
図４の（ｂ）中δは揺動軸６７からデプスエンドまでの
距離を示している。

【００３６】次に計測部８０のスライダ８２を駆動モー
タにより図２中矢印Ｙ２方向に移動し、光学顕微鏡８３
の撮像範囲を図６に示す磁気ヘッドブロック５の端部Ｑ
１に調整する。このとき、モニタ１０２には図７の
（ａ）に示すような画像を表示させることでデプスエン
ドＤ１を認識する。次に光学顕微鏡８３の撮像範囲を図
６に示す磁気ヘッドブロック５の端部Ｑ２に調整する。
同様にしてデプスエンドＤ２を認識する。そして、認識
されたデプスエンドＤ１とデプスエンドＤ２とが平行と
なるように、治具保持機構６０のθテーブル６３をＺ方
向（第２方向）の軸を中心に回動させて補正する。以上
により「治具セット工程」を終了する。

【００３７】次に「面取り加工工程」では以下のように
して磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２ａを面取り
加工を行う。すなわち、スライダ６２を図２中矢印Ｘ２
方向に移動してブロック固定治具６を回転砥石機構７０
近傍に位置決めする。次に揺動軸６７を駆動して図８の
（ａ）に示すように水平位置から１０°上方に傾ける。
一方、回転駆動モータ７２を作動させ、回転砥石７３の
粗加工砥石７３ｃを適正な周速で回転駆動するととも
に、回転駆動モータ７２を図２中矢印Ｙ１方向に移動
し、粗加工砥石７３ｃと磁気ヘッドブロック５のテープ
走行面２ａの上端部、すなわち角部が所定の切り込み量
をもって接触するように調整する。そして、揺動機構６
５をガイド部６４に沿って移動させることでテープ走行
面２ａの面取り加工を行う。なお、揺動機構６５は適宜
往復動させる。

【００３８】この後、揺動軸６７を駆動して図８の
（ｂ）に示すように水平位置から１０°下方に傾ける。
同様にして粗加工砥石７３ｃと磁気ヘッドブロック５の
テープ走行面２ａの下端部、すなわち角部が所定の切り
込み量をもって接触するように調整し、揺動機構６５を
ガイド部６４に沿って移動させることでテープ走行面２
ａの面取り加工を行う。以上により「面取り加工工程」
を終了する。

【００３９】次に「研削加工工程」では以下にようにし
て磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２ａを所定のＲ
面形状に研削加工する。すなわち、スライダ６２をさら
に図２中矢印Ｘ２方向に移動してブロック固定治具６を
仕上加工砥石７３ｄ近傍に位置決めする。続いて揺動軸
６７を駆動して図８に示すように水平位置から±１０〜
３０°の範囲で揺動させる。一方、回転駆動モータ７２
により回転砥石７３ｃの仕上加工砥石７３ｄを適正な周
速で回転駆動するとともに、回転駆動モータ７２を図２
中矢印Ｙ２方向に移動し、仕上加工砥石７３ｄと磁気ヘ
ッドブロック５のテープ走行面２ａが所定の切り込み量
をもって接触するように調整する。さらに、揺動機構６
５をガイド部６４に沿って往復動させる。

【００４０】これらの作動によりブロック固定治具６に
保持された磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２ａが
Ｒ面に研削される。一方、所定時間が経過した後、揺動
軸６７の揺動を一旦停止し、スライダ６２を移動して、
ブロック固定治具６を光学顕微鏡８３の下方に移動す
る。ここで、上述した「治具セット工程」の場合と同様
にして両端部Ｑ１，Ｑ２を撮像し、デプスエンドＤ１，
Ｄ２をモニタ１０２により認識する。なお、モニタ１０
２には図７の（ｂ）に示すようにヘアラインＨ１，Ｈ２
がデプスエンドＤ１，Ｄ２に近付いている。

【００４１】ヘアラインＨ１，Ｈ２がデプスエンドＤ
１，Ｄ２に達していない場合には、さらに仕上加工砥石
６３ｄの切り込み量を増やして研削を行い、光学顕微鏡
８３により両端部Ｑ１，Ｑ２を撮像する。なお、仕上加
工砥石７３ｄの切り込み量は研削前後のヘアラインＨ
１，Ｈ２とデプスエンドＤ１，Ｄ２との距離に基づいて
調節する。このようにしてヘアラインＨ１，Ｈ２がデプ
スエンドＤ１，Ｄ２に達した時点で「研削加工工程」を
終了する。

【００４２】なお、この「研削加工工程」においてデプ
スエンドＤ１，Ｄ２を超えて研削加工をした場合には不
良品となり、図示しない搬送コンベア等で装置外へ搬出
する。

【００４３】次に「治具回収工程」では以下のようにし
てクランプ６８にセットされたブロック固定治具６をマ
ガジンＭに収容し、このマガジンＭをマガジン収容部４
５に回収する。すなわち、研削加工の終了した磁気ヘッ
ドブロック５を保持するブロック固定治具６を挟持する
クランプ６８をスライダ６２により図２中実線で示す位
置に移動する。

【００４４】続いて治具移載機構５０により、ブロック
固定治具６を移載搬送ベルト４２上のマガジンＭ内に収
容する。次に搬送ベルト４２を図２中Ｘ１方向に駆動
し、マガジンＭを図１中二点鎖線Ｍ′で示す位置まで搬
送する。そして、マガジン移載機構４６によりマガジン
収容部４５側に押し出して回収する。なお、移載される
際にマガジンＭがほぼ水平移動となるように昇降機構４
５ａにより既に収容されているマガジンＭの上面高さ位
置を予め適当な高さ位置に位置決めしておく。以上で
「治具回収工程」を終了する。

【００４５】上述したように本実施の形態に係る磁気ヘ
ッドの磁気ヘッド摺動面加工装置２０では、磁気ヘッド
ブロック５を保持したブロック固定治具６を位置決めす
る際に、クランプ６８にブロック固定治具６をセットし
た状態でクランプ６８を支持するθテーブル６３を駆動
して補正するようにしている。このため、ブロック固定
治具６をクランプ６８にセットする際にゴミが入った
り、ブロック固定治具６自体が摩耗によって位置ずれを
生じてもその影響を修正することができる。したがっ
て、高い精度で磁気ヘッドブロック５のテープ走行面２
ａと仕上加工砥石７３ｄとの平行度をとることができ、
ギャップデプスが安定し、特性が安定した磁気ヘッド１
を効率良く製造することが可能となる。

【００４６】また、磁気ヘッドブロック５の大きさやテ
ープ走行面２ａの半径を変える場合には、ブロック固定
治具６を変えることなくクランプ６８により保持する位
置を調整すればよい。

【００４７】さらに、クランプ６８を一定の角度で固定
することにより容易に面取り加工を行うことができる。
なお、本発明は上述した実施の形態に限定されるもので
はない。すなわち上記実施の形態では、シングルアジマ
スヘッドに用いられる磁気ヘッドブロックについて説明
したが、ダブルアジマスヘッドに用いられる磁気ヘッド
ブロックについても同様の測定を行うことができる。ま
た、磁気ヘッドブロックを治具にねじ止め式の取付金具
を用いて固定しているが、接着して固定するようにして
も良い。さらに、円環状に形成された二重構造の回転砥
石を用いているが、別々に設けられた円環状の回転砥石
を用いてもよい。また、往復動する平板状の砥石を用い
てもよい。このほか本発明の要旨を逸脱しない範囲で種
々変形実施可能であるのは勿論である。

【００４８】

【発明の効果】請求項１に記載された発明では、ワーク
保持部により摺動面を所定の第１方向に沿わせた状態で
保持された磁気ヘッドブロックを撮像することで摺動面
の第１方向に対する傾き角度を検出することができる。
この検出された傾き角度に基づいて回転機構部によりワ
ーク保持部を第１方向に直交する第２方向回りに回動さ
せることにより傾き角度を調整することができる。すな
わち、磁気ヘッドブロックを磁気ヘッド摺動面加工装置
に取り付けた状態で摺動面研削部と摺動面との平行度を
合わせることができ高いデプス精度が得られる。

【００４９】請求項２に記載された発明では、ワーク保
持部には摺動面と揺動中心軸との距離を調整する調整機
構が設けられているので、摺動面の半径の大きさを治具
を変更することなく容易に調整することができる。

【００５０】請求項３に記載された発明では、ワーク保
持部と摺動面研削部とを第１方向に沿って相対移動させ
る移動機構を備えるようにしたので、摺動面の面取り加
工を容易に行うことができる。

【００５１】請求項４に記載された発明では、ワーク保
持工程において摺動面を所定の第１方向に沿わせた状態
で磁気ヘッドブロックをワーク保持部に保持させ、傾き
角度検出工程においてワーク保持部に保持された磁気ヘ
ッドブロックの摺動面の第１方向に対する傾き角度を検
出し、傾き角度調整工程において傾き角度に基づいてワ
ーク保持部を第１方向に直交する第２方向回りに回動さ
せて傾き角度を調整することができる。このため、摺動
面と研削用砥石との平行度を合わせることができる。次
に面取り加工工程において傾き角度を維持した状態で、
かつ、第１方向に沿った揺動中心軸回りの角度位置を一
定位置に維持した状態でワーク保持部に保持された磁気
ヘッドブロックと面取り用砥石とを第１方向に沿って相
対運動させることにより摺動面の面取り加工を行うこと
ができる。そして、摺動面加工工程においてワーク保持
部に保持された磁気ヘッドブロックを揺動中心軸回りに
揺動させた状態で、研削用砥石により摺動面を曲面加工
することにより高いデプス精度を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド摺動面
加工装置を示す斜視図。

【図２】同装置の平面図。

【図３】同装置の側面図。

【図４】同装置に組み込まれたクランプを示す図。

【図５】同装置に組み込まれた回転砥石及びクランプを
一部切欠して示す平面図。

【図６】磁気ヘッドブロックを光学顕微鏡で拡大する位
置を示す平面図。

【図７】光学顕微鏡にて得られた画像を示す図。

【図８】面取り加工工程におけるクランプの角度を示す
側面図。

【図９】研削加工工程におけるクランプの角度を示す側
面図。

【図１０】一般的な磁気ヘッドを示す側面図。

【図１１】磁気ヘッドブロックを示す図。

【図１２】従来の磁気ヘッドブロックの平行度調整方法
を示す図。

【図１３】従来の磁気ヘッドブロックの研削加工方法を
示す図。

【図１４】フェライトチップを示す図。

【符号の説明】

２０…磁気ヘッド摺動面加工装置 ４０…マガジン搬送機構 ５０…治具移載機構 ６０…治具保持機構 ６１…ガイド部 ６２…スライダ ６３…θテーブル ６４…ガイド部 ６５…揺動機構 ６６…軸支持部 ６７…揺動軸 ６８…クランプ ６８ａ…ベース ６８ｂ…クランプバー ６８ｃ…シリンダ ６８ｄ…ロッド ７０…回転砥石機構 ７３…回転砥石 ７３ａ…軸部 ７３ｂ…二重構造砥石 ７３ｃ…粗加工砥石 ７３ｄ…仕上加工砥石 ８０…計測部 ８１…ガイド部 ８２…スライダ ８３…光学顕微鏡 ８４…画像処理部 １００…制御部 １０１…制御装置 １０２…モニタ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】磁気ヘッドブロックの摺動面を研削加工す
   る磁気ヘッド摺動面加工装置において、 前記摺動面を所定の第１方向に沿わせた状態で前記磁気
   ヘッドブロックを保持するワーク保持部と、 このワーク保持部を前記第１方向に沿って設けられた揺
   動軸を中心に揺動させるワーク揺動機構と、 前記ワーク保持部に保持された前記磁気ヘッドブロック
   の前記摺動面を研削する摺動面研削部と、 前記ワーク保持部に保持された前記磁気ヘッドブロック
   を撮像し前記摺動面の前記第１方向に対する傾き角度を
   検出する傾き角度検出部と、 この傾き角度検出部により検出された前記傾き角度に基
   づいて前記ワーク保持部を前記第１方向に直交する第２
   方向回りに回動させることにより前記傾き角度を調整す
   る回転機構部とを備えていることを特徴とする磁気ヘッ
   ド摺動面加工装置。
2. 【請求項２】前記ワーク保持部には、前記摺動面と前記
   揺動中心軸との距離を調整する調整機構が設けられてい
   ることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド摺動面
   加工装置。
3. 【請求項３】前記ワーク保持部と前記摺動面研削部とを
   前記第１方向に沿って相対移動させる移動機構を備えて
   いることを特徴とする請求項１に記載の磁気ヘッド摺動
   面加工装置。
4. 【請求項４】磁気ヘッドブロックの摺動面を面取り用砥
   石で面取り加工するとともに、研削用砥石で研削加工す
   る磁気ヘッド摺動面加工方法において、 前記摺動面を所定の第１方向に沿わせた状態で前記磁気
   ヘッドブロックをワーク保持部に保持させるワーク保持
   工程と、 このワーク保持工程により前記ワーク保持部に保持され
   た前記磁気ヘッドブロックの摺動面の前記第１方向に対
   する傾き角度を検出する傾き角度検出工程と、 この傾き角度検出工程により検出された前記傾き角度に
   基づいて前記ワーク保持部を前記第１方向に直交する第
   ２方向回りに回動させることにより前記傾き角度を調整
   する傾き角度調整工程と、 この傾き角度調整工程により調整された前記傾き角度を
   維持した状態で、かつ、前記第１方向に沿った揺動中心
   軸回りの角度位置を一定位置に維持した状態で前記ワー
   ク保持部に保持された前記磁気ヘッドブロックと前記面
   取り用砥石とを前記第１方向に沿って相対運動させるこ
   とにより前記摺動面の面取り加工を行う面取り加工工程
   と、 この面取り加工工程の後に、前記ワーク保持部に保持さ
   れた前記磁気ヘッドブロックを前記揺動中心軸回りに揺
   動させた状態で、前記研削用砥石により前記摺動面を曲
   面加工する摺動面加工工程とを備えていることを特徴と
   する磁気ヘッド摺動面加工方法。