JPH08147669A - 磁気記録媒体及びその製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体及びその製造方法Info
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- JPH08147669A JPH08147669A JP30940794A JP30940794A JPH08147669A JP H08147669 A JPH08147669 A JP H08147669A JP 30940794 A JP30940794 A JP 30940794A JP 30940794 A JP30940794 A JP 30940794A JP H08147669 A JPH08147669 A JP H08147669A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録密度の向上に対応可能な磁気記録媒
体と、その製造方法を提案する。 【構成】 珪素基板とＣｒを主成分とする下地層との間
に、白金族元素又はその合金から構成される３０〜１０
００Åの層を介在させてなる。
体と、その製造方法を提案する。 【構成】 珪素基板とＣｒを主成分とする下地層との間
に、白金族元素又はその合金から構成される３０〜１０
００Åの層を介在させてなる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスク装置等の
磁気記録装置に用いられる磁気記録媒体及びその製造方
法に関するものである。
磁気記録装置に用いられる磁気記録媒体及びその製造方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録は目覚ましい勢いで高密度化が
進んでおり、当初大型コンピューターの外部記憶媒体と
して出発したハード・ディスク（以下、ＨＤと略す）は
小型化及び低価格化を実現してパーソナル機種への内蔵
が進展し、近年ではラップトップ機でもＨＤ内蔵型が珍
しくなくなってきている。その陰に記録媒体であるＨＤ
と磁気ヘッドとの双方の高性能化があったのは勿論であ
るが、とりわけＨＤの側では、記録密度の向上に対応す
るための磁性層の電磁特性向上と膜厚の低減、ディスク
表面の一層の平滑化が図られてきた。即ち前者では磁性
層の組成とスパッタリング等の薄膜調製技術上の工夫
が、そして後者では平坦さ、平滑さを向上させるための
基板材質と表面加工、表面処理技術上の工夫が重ねられ
てきたのである。
進んでおり、当初大型コンピューターの外部記憶媒体と
して出発したハード・ディスク（以下、ＨＤと略す）は
小型化及び低価格化を実現してパーソナル機種への内蔵
が進展し、近年ではラップトップ機でもＨＤ内蔵型が珍
しくなくなってきている。その陰に記録媒体であるＨＤ
と磁気ヘッドとの双方の高性能化があったのは勿論であ
るが、とりわけＨＤの側では、記録密度の向上に対応す
るための磁性層の電磁特性向上と膜厚の低減、ディスク
表面の一層の平滑化が図られてきた。即ち前者では磁性
層の組成とスパッタリング等の薄膜調製技術上の工夫
が、そして後者では平坦さ、平滑さを向上させるための
基板材質と表面加工、表面処理技術上の工夫が重ねられ
てきたのである。
【０００３】しかし、記録密度増強に伴う磁気ヘッドの
浮上高さ（グライド・ハイト）の逓減は、磁気ヘッドと
ＨＤとの相互作用の重要性を加速度的に増す結果とな
り、技術革新の必要性が従来以上に高まっている現状で
ある。例えばＨＤ側では、表面の平坦性及び平滑性や磁
気ヘッドとの接触摺動特性、とりわけその耐久性及び安
定性の向上に対する要求が急速に強まっている。
浮上高さ（グライド・ハイト）の逓減は、磁気ヘッドと
ＨＤとの相互作用の重要性を加速度的に増す結果とな
り、技術革新の必要性が従来以上に高まっている現状で
ある。例えばＨＤ側では、表面の平坦性及び平滑性や磁
気ヘッドとの接触摺動特性、とりわけその耐久性及び安
定性の向上に対する要求が急速に強まっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ＨＤに対する前述のよ
うな要求にこたえるものとして、ガラス、カーボン、珪
素等、新たな基板素材が提案されている。しかし、どの
基板素材を用いるにしても磁気記録密度向上の鍵は磁性
層の磁気特性であって、それをいかに高めるかがＨＤ高
性能化の要諦である。磁性層の特性向上に関しては、従
来成膜温度を高めたり、バイアス電圧を印加する等の手
法が用いられてきた。しかしながら、成膜温度と磁気特
性、例えば保磁力との相関はコバルト合金等では認めら
れるものの、基板の熱的性質の規制があって、必ずしも
制御・適用は容易ではない。一方、バイアス電圧の印加
は、磁気特性の全般的改善に効果が認められるが、この
場合もやはり基板の電気的特性上の制約から免れられな
い。したがって、基板の性質に規制されることなく、磁
性層の磁気特性を向上させる手段が求められていた。
うな要求にこたえるものとして、ガラス、カーボン、珪
素等、新たな基板素材が提案されている。しかし、どの
基板素材を用いるにしても磁気記録密度向上の鍵は磁性
層の磁気特性であって、それをいかに高めるかがＨＤ高
性能化の要諦である。磁性層の特性向上に関しては、従
来成膜温度を高めたり、バイアス電圧を印加する等の手
法が用いられてきた。しかしながら、成膜温度と磁気特
性、例えば保磁力との相関はコバルト合金等では認めら
れるものの、基板の熱的性質の規制があって、必ずしも
制御・適用は容易ではない。一方、バイアス電圧の印加
は、磁気特性の全般的改善に効果が認められるが、この
場合もやはり基板の電気的特性上の制約から免れられな
い。したがって、基板の性質に規制されることなく、磁
性層の磁気特性を向上させる手段が求められていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、スパッタ
リング成膜による磁性層形成について詳細に検討を加え
た結果、Ｐｄ、Ｐｔ等の金属層を珪素基板とＣｒ下地層
との間に介在させることによって磁気特性が飛躍的に向
上することを見いだし、本発明に至ったものである。
リング成膜による磁性層形成について詳細に検討を加え
た結果、Ｐｄ、Ｐｔ等の金属層を珪素基板とＣｒ下地層
との間に介在させることによって磁気特性が飛躍的に向
上することを見いだし、本発明に至ったものである。
【０００６】すなわち、珪素基板上にまずＰｄ、Ｐｔ等
の金属層（介在層）を成膜し、その上にＣｒ等の下地
層、次にコバルト合金等の磁性層を形成すると、Ｐｄ等
の介在層がない場合に比べて、大幅な保磁力の向上、保
磁力角型比の改善等の静磁気特性の向上のみならず、ビ
ット・シフトの大幅な改善等、電磁変換特性にも大きな
改善が認められる。この現象は、ｄ電子のスピン相関に
よるものと推定され、白金族元素全般に見られるもので
ある。この白金族元素ないしその合金の介在層の厚みは
３０〜１０００Åの範囲であるが、より好ましくは５０
〜６００Å、さらに好ましくは５０〜３００Åである。
上記介在層の厚みが３０Åより薄い場合には、保磁力角
型比の改善効果並びに電磁変換特性の改善効果が十分表
われない。また、１０００Åより厚い場合にはそれ以上
効果が認められないし、材料の無駄になる。
の金属層（介在層）を成膜し、その上にＣｒ等の下地
層、次にコバルト合金等の磁性層を形成すると、Ｐｄ等
の介在層がない場合に比べて、大幅な保磁力の向上、保
磁力角型比の改善等の静磁気特性の向上のみならず、ビ
ット・シフトの大幅な改善等、電磁変換特性にも大きな
改善が認められる。この現象は、ｄ電子のスピン相関に
よるものと推定され、白金族元素全般に見られるもので
ある。この白金族元素ないしその合金の介在層の厚みは
３０〜１０００Åの範囲であるが、より好ましくは５０
〜６００Å、さらに好ましくは５０〜３００Åである。
上記介在層の厚みが３０Åより薄い場合には、保磁力角
型比の改善効果並びに電磁変換特性の改善効果が十分表
われない。また、１０００Åより厚い場合にはそれ以上
効果が認められないし、材料の無駄になる。
【０００７】尚、上記の効果は基板の種類にかかわらず
発現するが、ＨＤのより高性能化へ向けての趨勢、具体
的にはより高い平坦性、平滑性、軽量性、安定性、高強
度等の使用要求趨勢、を勘案した場合、珪素基板が最も
好ましいと判断される。
発現するが、ＨＤのより高性能化へ向けての趨勢、具体
的にはより高い平坦性、平滑性、軽量性、安定性、高強
度等の使用要求趨勢、を勘案した場合、珪素基板が最も
好ましいと判断される。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を示す。
【０００９】〈実施例１及び比較例１，２〉通常のスパ
ッタリング法により、珪素基板上にＰｄ層、Ｃｒ下地
層、磁性層、保護膜を逐次成膜し、最上面にＰＦＰＥ
（パーフロロポリエーテル）系潤滑剤を塗布して実施例
１の磁気記録媒体を製造した。構成内容、膜厚値等を表
１に示した。また、この磁気記録媒体の磁気特性、及び
記録高密度化の指標としてビット・シフトを測定し、各
々の値を表２に示した。磁気特性は製造した記録媒体か
ら７ｍｍ試験片を切り出し、振動試料型磁力計（ＶＳ
Ｍ）によりＨｃ（保磁力）、Ｂｒδ（残留磁化×磁性膜
厚）、Ｓ* （保磁力角型比）を測定した。ビット・シフ
トの測定条件はギャップ長０．３５μｍ、トラック幅
６．９μｍの薄膜ヘッドを用い、浮上高さ６４ｎｍ、半
径２０ｍｍにて測定した。変調コードはＭ．Ｆ．Ｍ．、
記録パターンはＢ６Ｄ９にて評価した。比較のため、Ｐ
ｄ層を設けない以外は前記実施例１と全く同一の構成の
磁気記録媒体（比較例１）、珪素基板をガラス基板に代
えた以外は前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒
体（比較例２）を作製し、同様の測定及び評価を行った
結果を表２に併記した。
ッタリング法により、珪素基板上にＰｄ層、Ｃｒ下地
層、磁性層、保護膜を逐次成膜し、最上面にＰＦＰＥ
（パーフロロポリエーテル）系潤滑剤を塗布して実施例
１の磁気記録媒体を製造した。構成内容、膜厚値等を表
１に示した。また、この磁気記録媒体の磁気特性、及び
記録高密度化の指標としてビット・シフトを測定し、各
々の値を表２に示した。磁気特性は製造した記録媒体か
ら７ｍｍ試験片を切り出し、振動試料型磁力計（ＶＳ
Ｍ）によりＨｃ（保磁力）、Ｂｒδ（残留磁化×磁性膜
厚）、Ｓ* （保磁力角型比）を測定した。ビット・シフ
トの測定条件はギャップ長０．３５μｍ、トラック幅
６．９μｍの薄膜ヘッドを用い、浮上高さ６４ｎｍ、半
径２０ｍｍにて測定した。変調コードはＭ．Ｆ．Ｍ．、
記録パターンはＢ６Ｄ９にて評価した。比較のため、Ｐ
ｄ層を設けない以外は前記実施例１と全く同一の構成の
磁気記録媒体（比較例１）、珪素基板をガラス基板に代
えた以外は前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒
体（比較例２）を作製し、同様の測定及び評価を行った
結果を表２に併記した。
【００１０】
【表１】
【００１１】
【表２】
【００１２】〈実施例２，３、比較例３〉Ｐｄ層の膜厚
を１０００〜２０Åの範囲で変化させた以外は前記実施
例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（膜厚１０００Å
…実施例２，膜厚５００Å…実施例３，膜厚２０Å…比
較例３）を作製し、同様の測定及び評価を行った結果を
表３に示した。
を１０００〜２０Åの範囲で変化させた以外は前記実施
例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（膜厚１０００Å
…実施例２，膜厚５００Å…実施例３，膜厚２０Å…比
較例３）を作製し、同様の測定及び評価を行った結果を
表３に示した。
【００１３】
【表３】
【００１４】〈実施例４〉Ｐｄ層の代わりにＰｔ層を介
在させた以外は前記実施例１と全く同一の構成の磁気記
録媒体（実施例４）を作製し、同様の測定及び評価を行
った結果を表４に示した。
在させた以外は前記実施例１と全く同一の構成の磁気記
録媒体（実施例４）を作製し、同様の測定及び評価を行
った結果を表４に示した。
【００１５】
【表４】
【００１６】〈実施例５〜８〉Ｐｄ層の代わりに他の白
金族元素（Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｕ，Ｏｓ）層を介在させた以
外は前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（実
施例５〜８）を作製し、同様の測定及び評価を行った結
果を表５に示した。
金族元素（Ｒｈ，Ｉｒ，Ｒｕ，Ｏｓ）層を介在させた以
外は前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（実
施例５〜８）を作製し、同様の測定及び評価を行った結
果を表５に示した。
【００１７】〈実施例９〉Ｐｄ層の代わりにＰｔ−Ｐｄ
合金層（Ｐｔ１０％−Ｐｄ９０％）を介在させた以外は
前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（実施例
９）を作製し、同様の測定及び評価を行った結果を表５
に示した。
合金層（Ｐｔ１０％−Ｐｄ９０％）を介在させた以外は
前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（実施例
９）を作製し、同様の測定及び評価を行った結果を表５
に示した。
【００１８】〈実施例１０〉Ｐｄ層の代わりにＰｄ−Ｒ
ｕ合金層（Ｐｄ９５％−Ｒｕ５％）を介在させた以外は
前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（実施例
１０）を作製し、同様の測定及び評価を行った結果を表
５に示した。
ｕ合金層（Ｐｄ９５％−Ｒｕ５％）を介在させた以外は
前記実施例１と全く同一の構成の磁気記録媒体（実施例
１０）を作製し、同様の測定及び評価を行った結果を表
５に示した。
【００１９】
【表５】
【００２０】以上本発明の実施例を示したが、本発明は
上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲
に記載の構成を変更しない限りどのようにでも実施する
ことができる。
上記実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲
に記載の構成を変更しない限りどのようにでも実施する
ことができる。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は白金族元
素又はその合金層を珪素基板の直上に形成することで磁
気特性を向上させた磁気記録媒体に関するものであり、
高密度記録に適した磁気記録媒体を提供するものであ
る。
素又はその合金層を珪素基板の直上に形成することで磁
気特性を向上させた磁気記録媒体に関するものであり、
高密度記録に適した磁気記録媒体を提供するものであ
る。
Claims (2)
- 【請求項１】 珪素基板とＣｒを主成分とする下地層と
の間に、白金族元素又はその合金から構成される３０〜
１０００Åの層を介在させてなる事を特徴とする磁気記
録媒体。 - 【請求項２】 珪素基板上に、白金族元素又はその合金
から構成される３０〜１０００Åの層を形成し、その上
にＣｒを主成分とする下地層、磁性層、保護膜、潤滑剤
膜をこの順に成膜するようにした事を特徴とする磁気記
録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30940794A JP2736960B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30940794A JP2736960B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08147669A true JPH08147669A (ja) | 1996-06-07 |
| JP2736960B2 JP2736960B2 (ja) | 1998-04-08 |
Family
ID=17992644
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30940794A Expired - Fee Related JP2736960B2 (ja) | 1994-11-21 | 1994-11-21 | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2736960B2 (ja) |
-
1994
- 1994-11-21 JP JP30940794A patent/JP2736960B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2736960B2 (ja) | 1998-04-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080116 Year of fee payment: 10 |
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| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090116 |
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